Aplikasi SEM-EDX di Bidang

Geologi
 Kimia Analitik Instrumen B
ANGGOTA KELOMPOK

DESSY ALAMANDA 24030115130068

NABILA AGITA PUTRI 24030115140072
WINDA SRI HANDAYANI
24030115410075
 Apa Itu SEM?

Scanning Electron Microscope (SEM)adalah

sebuah mikroskop elektron yang didesain untuk
menyelidiki permukaan dari objek solid secara
langsung. Scanning Electron Microscope
(SEM)adalah sebuah mikroskop elektron yang
didesain untuk menyelidiki permukaan dari objek
solid secara langsung.
 Prinsip Kerja SEM

SEM menggunakan prinsip scanning, maksudnya berkas

elektron diarahkan dari titik ke titik pada objek. Gerakan berkas
elektron dari satu titik ke titik yang lain pada suatu daerah objek
menyerupai gerakan membaca. Gerakan membaca ini disebut
dengan scanning.
 Prinsip kerja SEM yaitu bermula darielectronbeamyang
dihasilkan oleh sebuah filamen padaelectrongun. Pada
umumnyaelectron gunyang digunakan adalahtungsten hairpin
gundengan filamen berupa lilitantungstenyang berfungsi sebagai
katoda. Tegangan diberikan kepada lilitan yang mengakibatkan
terjadinya pemanasan. Anoda kemudian akan membentuk gaya
yang dapat menarik elektron
Kemudianelectron melaju menuju
beamdifokuskan ke anoda.
ke suatu titik pada
permukaan sampel dengan menggunakan dua buahcondenser
lens.Condenser lenskedua (atau biasa disebut dengan lensa objektif)
memfokuskanbeamdengan diameter yang sangat kecil, yaitu sekitar
10-20 nm. Hamburan elektron, baikSecondary Electron
(SE)atauBack Scattered Electron (BSE)dari permukaan sampel akan
dideteksi oleh detektor dan dimunculkan dalam bentuk gambar pada
layar CRT.
 EDX

Energy Dispersive X-ray (EDX) analisis adalah alat yang

berharga untuk analisis kuantitatif dan kualitatif elemen. Metode
ini memungkinkan cepat dan analisis kimia non-destruktif dengan
resolusi spasial dalam rezim mikrometer. Hal ini didasarkan pada
analisis spektral radiasi sinar-X karakteristik yang dipancarkan dari
atom sampel pada iradiasi dengan berkas elektron difokuskan dari
SEM. Dalam sistem kami spektroskopi dari foton sinar-X
dipancarkan dilakukan oleh detektor-Li Si dengan resolusi energi
sekitar 150 eV pada 5 mm jarak kerja

( Martinez, 2010 )
 SEM-EDX

SEM-EDX adalah nama (dispersive X-ray spektroskopi) energi

analisis yang dilakukan dengan menggunakan SEM . Alat dipakai
umumnya untuk aplikasi evaluasi kualitas batuan reservoir melalui
studi diagnosa yang meliputi identifikasi dan interpretasi
keberadaan mineral dan distribusinya pada sistem porositas batuan.
Investigasi permasalahan produksi migas seperti efek dari clay
minerals, steamfloods dan chemical treatments yang terjadi pada
peralatan pemboran, gravelpacks dan pada reservoir Identifikasi dari
mikrofosil untuk penentuan umur dan lingkungan pengendapan
( Taufik, 2008 ).
Kegunaan:
Pengamatan dan pengkajian morfologi material padatan
berskala mikro dengan resolusi hingga 3 nm dan
pembesaran hingga 1 juta kali. Detektor Energy Dispersive
X-ray (EDX) memungkinkan dilakukannya mikroanalisis
secara kualitatif dan semi kuantitatif untuk unsur-unsur
mulai dari litium (Li) sampai Uranium (U).

Fitur-fitur kunci:
Pengoperasian pada tekanan yang bervariasi
Perpindahan stage yang besar
Pemompaan vakum yang cepat

Contoh dari aplikasi EDX untuk masing-masing

persentase
Hampir sama dengan SEM hanya saja pada SEM EDX merupakan dua
perangkat analisis yang digabungkan menjadi satu panel analitis
sehingga mempermudah proses analitis dan lebih efisien. Pada
dasarnya SEM EDX merupakan pengembangan SEM. Analisa SEM EDX
dilakukan untuk memproleh gambaran permukaan atau fitur material
dengan resolusi yang sangat tinggi hingga memperoleh suatu tampilan
dari permukaan sampel yang kemudian di komputasikan dengan
software untuk menganalisis komponen materialnya baik dari
kuantitatif mau pun dari kualitalitatifnya
Aplikasi SEM
EDX

MATERI BIOLO GEOLO

AL GI GI

FORENS MEDIS
IK
DI BIDANG
GEOLOGI

BATUAN FOSIL

MINER
TANA
AL
H

Aplikasi SEM-EDX di bidang geologi adalah untuk

menganalisis topografi, morfologi, bentuk permukaan
dari suatu material bumi. Seperti halnya pada
MINERAL
 Pada sampel geologi, terdapat keuntungan
menggunakan SEM EDX, yaitu preparasi yang sederhana
dan dengan resolusi yang tinggi penggambaran sampel
dapat diperoleh informasi mengenai morfologi dan
topografi dari sampel geologi tersebut.

Sampel geologi umumnya dalam bentuk agregat mineral. SEM

dikombinasikan dengan EDX dapat mengidentifikasi komponen
dan
menguji semi kuantitatif mineral murni. Contohnya, mineral tanah
liat
dalam batu sedimen, misalnya ilit, smektit dan klorit, sulit
dibedakan
bentuk dan morfologinya satu dengan yang lainnya. Sedangkan
EDX
dapat membedakan ketiganya dengan cepat dan efektif.
Menggunakan scanning garis, sangat memungkinkan untuk
menganalisis variasi komposisi mineral dalam satu arah. Dengan
komponen pemetaan, dapat dianalisis penyebaran unsur dalam
sampel. Menggunakan SEM, dapat dianalisis dengan jelas enstatit
(MgSiO3), forsterit (Mg2SiO4) , dan quartz (SiO2); rumus reaksinya
adalah Mg2SiO4+SiO2=2MgSiO3. Menggunakan analisis
 Dari gambar dapat mengidentifikasi distribusi Si dan Mg dalam area distribusi mineral
menggunakan SEM EDX

Hasil yang diperoleh dari analisis mineral menggunakan SEM EDX

adalah terlihat kerusakan kristal mineral dan bekas komposisi unsur
dapat terlihat dan dapat membantu untuk membangun pertumbuhan
mineral yang tak ternilai harganya.

Pada proses scanning material diatas penghamburan electron beam

akan terjadi ketika energi elektron beam tinggi, dimana ruang sampel
dalam mode low vacuum. Radius elektron menghambur sama dengan
tekanan dalam ruang sampel, percepatan tegangan dan jarak.
Jaraknya cenderung konstan saat percepatan tegangan meningkat,
dan saat tekanan menurun, dan radius penghamburan elektron
menjadi kecil.
Hasil SEM EDX

MINERAL FOSIL
 Kesimpulan

Saat menggunakan SEM konvensional, diperlukan pelapisan

yang sangat tebal dengan film konduktif sebelum observasi
untuk menyembunyikan beberapa detail. Namun, menggunakan
SEM low-vacuum, kita dapat menganalisis tanpa melapisi
sampel.

Kesimpulannya, menggunakan SEM EDX sangatlah efektif

dalam menganalisis scanning garis dan pemetaan sampe non
konduktif, sampel di analisis dalam mode high vacuum setelah
dilapisi. Penghamburan elektron beam dalam mode low-vacuum
dapat mempengaruhi keakuratan dari scanning.
Click icon to add Click icon to add Click icon to add
picture picture picture

TERIMA
KASIH SEMOGA BERMANFAAT