Scanning Electron Microscope (SEM)

- Mikroskop optik, memotret material berdasarkan interaksi foton (ahaya) dengan permukaan
material.
-Mikroskop elektron, memotret material berdasarkan interaksi elektron dengan permukaan
material, untuk melihat morfologi permukaan/pori
-Cahaya mampu mencapai 200 nm sedangkan elektron mencapai resolusi sampai 0,1-0,2 nm.
-Untuk objek dengan skala sub-micron (nm) = 10^-9 m digunakan SEM-TEM.
-Untuk mengamati objek dengan ukuran mikron (10^-6 m) dapat digunakan M-Optik.

Kegunaan SEM yaitu mempelajari morphology permukaan (sifat permukaan) suatu material:
-ukuran partikel/chanel/pori
-bentuk partikel/pori
-pada SEM yang dilengkapi dengan EDX dapat pula ditentukan komposisi internal dari
partikel
Dasar: interaksi bekas elektron-sample

Prinsip SEM :
-permukaan material padatan disinari atau terkena berkas elektron akan memantulkan
kembali berkas elektron atau dinamkan berkas elektron sekunder ke segala arah
-SEM: menggambarkan permukaan material padatan dengan berkas elektron yang
dipantulkan dengan energi tinggi

Peralatan utama pada SEM

-pistol elektron, biasanya berupa filamen yang terbuat dari unsur yg mudah melepas elektron
misalnya tungsten.

Cara kerja alat:

-sebuah pistol elektron memproduksi sinar elektron dan dipercepat dgn anoda
-lensa magnetik memfokuskan elektrok menuju me sampel.
-sinar elektron yang terfokus memindai )scan) keseluruhan sampel dengan diarahkan oleh
koil pemindai.
-ketika elektron mengenai sampel maka sampel akan mengeluarkan elektron baru yang akan
diterima oleh detektor dan dikirimkan ke monitor (CRT).
Fungsi lensa magnetik, untuk mencegah berkas elektron dibelokkan oleh medan magnetik
sekitarnya sehingga dapat mengenai sampel.

-berkas elektron yang dipantulkan memiliki intensitas tertinggi.

-detektor SEM akan mendeteksi berkas elektron yang berintensitas tertinggi.

Buat resume karakteristik dari SEM, pengukuran SEM (tugas mingdep).

Transmission Electron Microscopy (TEM)

-bisa melihat kisi ke dalam suatu material
-analisis mikrostruktur, identifikasi defek
-analisis interfasa, struktur kristal, tatanan atom pada kristal, serta analisa elemental skala
nanometer

Kelebihan TEM:
-resolusi superior 0,1-0,2 nm, lebih besar dari SEM (1~3 nm)
-mampu mendapatkan informasi komposisi dari kristalografi dari bahan uji dengan resolusi
tinggi
-memungkinkan untuk mendapatkan berbagai signal dari satu lokasi yang sama

Kelemahannya:
-hanya meneliti area yang sangat kecil dari sampel
-preparasi sampel cukup rumit sampai bisa mendapatkan gambar yang baik
-elektron dapat merusak atau menginggalkan jejak pada sampel yg diuji

Perbedaan SEM&TEM
- Pada sem sampel tidak ditembus oleh elektron sehingga hanya pendaran hasil dari
tumbukan elektron dgn sampel yg ditangkap oleh detektor dan diolah.-
- Pada tem, sampel disiapkan sangat tipis sehingga elektron dpt menembus hingga bulk
dimana hasil dri tembusan elektron tersebut yg diolah menjadi image.