SEM (SCANNING ELECTRON MICROSCOPE)

BAB 1
PENDAHULUAN
A. Latar Belakang
Berbicara tentang teknologi nano, maka tidak akan bisa lepas dari mikroskop, yaitu alat
pembesar untuk melihat struktur benda kecil tersebut. (Teknologi nano : teknologi yang
berbasis pada struktur benda berukuran nano meter. Satu nano meter = sepermilyar
meter).Tentu yang dimaksud di sini bukanlah mikroskop biasa, tetapi mikroskop yang
mempunyai tingkat ketelitian (resolusi) tinggi untuk Melihat struktur berukuran nano meter
Untuk melihat benda berukuran di bawah 200 nanometer, diperlukan mikroskopdengan
panjang gelombang pendek.Dari ide inilah, di tahun 1932 lahir mikroskop
elektron.Sebagaimana namanya, mikroskop elektron menggunakan sinar elektron yang
panjanggelombangnya lebih pendek dari cahaya.Karena itu, mikroskop elektron
mempunyaikemampuan pembesaran obyek (resolusi) yang lebih tinggi dibanding mikroskop
optik.Sebenarnya, dalam fungsi pembesaran obyek, mikroskop elektron juga menggunakan
lensa,namun bukan berasal dari jenis gelas sebagaimana pada mikroskop optik, tetapi dari
jenismagnet. Sifat medan magnet ini bisa mengontrol dan mempengaruhi elektron
yangmelaluinya, sehingga bisa berfungsi menggantikan sifat lensa pada mikroskop optik.
Kekhususan lain dari mikroskop elektron ini adalah pengamatan obyek dalam kondisi
hampaudara (vacuum). Hal ini dilakukan karena sinar elektron akan terhambat alirannya
bilamenumbuk molekul-molekul yang ada di udara normal. Dengan membuat ruang
pengamatan obyek berkondisi vacum, tumbukan elektron-molekul bisa terhindarkan
( Oktaviana, 2009 ).
Konsep awal yang melibatkan teori scanning mikroskop elektron pertama kali diperkenalkan
di Jerman (1935) oleh M. Knoll.Konsep standar dari SEM modern dibangun oleh von
Ardenne pada tahun 1938 yang ditambahkan scan kumparan ke mikroskop elektron
transmisi.Desain SEM dimodifikasi oleh Zworykinpada tahun 1942 ketika bekerja untuk
RCA Laboratories di Amerika Serikat.Desain kembali direkayasa oleh CW pada tahun 1948
seorang profesor di Universitas Cambridge.Sejak itu,semakin banyak bermunculan kontribusi
signifikan yang mengoptimalkan perkembangan modern mikroskop elektron.

Fungsi mikroskop elektron scanning atau SEM adalah dengan memindai terfokus balok halus
elektron ke sampel.Elektron berinteraksi dengan sampel komposisi molekul. Energi dari
elektron menuju ke sampel secara langsung dalam proporsi jenis interaksi elektron yang
dihasilkan dari sampel. Serangkaian energi elektron terukur dapat dihasilkan yang dianalisis
oleh sebuah mikroprosesor yang canggih yang menciptakan gambar tiga dimensi atau
spektrum elemen yang unik yang ada dalam sampel dianalisis.Ini adalah rangkaian elektron
yang dibelokkan oleh tumbukan dengan elektron sampel.Sebelum menjelajahi jenis elektron
dihasilkan oleh SEM khas, pemahaman dasar dari teori elemen yang dikelilingi
diklasifikasikan tabel periodik perlu disebutkan.Sepanjang sejarah banyak fisikawan,
matematikawan, dan ahli kimia mempelajari unsur-unsur di bumi. Beberapa nama

Ini adalah karya Proust yang terinspirasi John Dalton (1766-1844) untuk mengembangkan
hipotesis-nya ke "Hukum perbandingan berganda":
 Ketika dua unsur membentuk suatu rangkaian senyawa, rasio massa dari elemen
kedua yang menggabungkan dengan 1 gram dari elemen pertama selalu bisa direduksi
menjadi bilangan bulat kecil.
Seorang ahli kimia Rusia bernama Dmitri Mendeleev (1834-1907) menyusun 63 unsur yang
dikenal ke tabel berdasarkan massa atom mereka.Susunan elemen akhirnya berubah menjadi
tabel periodik modern unsur digunakan di seluruh dunia.

Melalui kerja keras orang-orang ini dan sejumlah orang lain, sejumlah besar informasi yang
disusun dan diuji untuk menetapkan prinsip dasar digunakan saat ini dalam pengembangan
mikroskop elektron scanning modern. Sebelum menjelajahi lebih lanjut ke teori dan
fungsionalitas dari EDX / mikroskop SEM, itu adalah layak disebut dualitas elektron dan x-
ray.Awal percobaan dengan elektron dan karakteristik fisik telah menyebabkan ilmuwan
untuk memodifikasi pemahaman dasar fisika.Sebelum kemajuan teknologi modern, banyak
ilmuwan harus menjelaskan perilaku fisik berdasarkan interaksi kimia yang dilihat dengan
mata telanjang.Ketika prinsip-prinsip radiasi elektro magnetik pertama kali diperkenalkan,
konsep ini paling mudah dijelaskan sebagai gelombang yang berjalan di panjang dan
frekuensi tertentu.Kemudian eksperimen menunjukkan bahwa cahaya dan x-rays partikel
aktual yang dapat dideteksi.Singkatnya, rontgen dianggap baik sebagai gelombang dan
partikel.Lebih khusus, mereka adalah paket kecil dari gelombang elektromagnetik yang
disebut kuanta atau partikel yang disebut foton.

Tergantung pada jenis informasi analis yang tertarik pada jenis elektron satu studi. Setiap
elektron yang dihasilkan dari berkas elektron primer yang dihasilkan oleh SEM ketika
melanggar sampel yang diberikan menghasilkan elektron energi tertentu yang dapat
diukur.Jenis-jenis elektron yang dihasilkan untuk setiap contoh yang diberikan perlu terlebih
dahulu dieksplorasi.Elektron yang dihasilkan dari komposisi molekul sampel diklasifikasikan
sebagai baik dan elektron inelastis elastis.

Elektron inelastik adalah elektron energi rendah dibelokkan dari sampel.Kebanyakan diserap
oleh spesimen, tetapi mereka yang melarikan diri dekat permukaan.Elektron ini disebut
elektron sekunder, yaitu energi elektron muncul kurang dari 50eV, 90% dari elektron
sekunder memiliki energi kurang dari 10 eV, sebagian besar dari 2 sampai 5 eV.Elektron
sekunder memberikan informasi topografi permukaan dan putih, tiga dimensi gambar hitam
sampel.Ini adalah gambar paling umum kebanyakan orang mengasosiasikan dengan
SEM.Elektron elastis adalah setiap elektron yang berinteraksi dengan berkas elektron utama
untuk menghasilkan energi spesifik dari tabrakan dan menahan sebagian besar
energinya.Elektron ini dikategorikan sebagai:
Elektron Backscattered-menghasilkan komposisi dan crystallographical informasi
permukaan, topologi.
Diserap saat ini yang memungkinkan studi struktur internal semi-konduktor atau
(EBIC).
Cathodluminescence-menunjukkan dan energi tingkat distribusi di fosfor.
elektron Auger-berisi informasi dan kimia unsur dari lapisan permukaan.
Karakteristik X-ray radiasi-hasil Mikroanalisis dan distribusi unsur-unsur sampel
yang diberikan.
Sebuah SEM khas memiliki kemampuan untuk menganalisa suatu sampel tertentu
menggunakan salah satu metode yang disebutkan di atas. Sayangnya, setiap jenis analisis
dianggap merupakan tambahan perangkat aksesori untuk SEM.Yang paling umum aksesori
dilengkapi dengan SEM adalah dispersif energi x-ray detektor atau EDX (kadang-kadang
disebut sebagai EDS).Jenis detektor memungkinkan pengguna untuk menganalisis sampel
komposisi molekul.

Dengan biaya-biaya dari Scanning Electron Microscopes (SEM) yang turun dalam beberapa
tahun terakhir, SEM berubah melebihi pusat bursa yang berkisar pada pusat-pusat penelitian,
universitas, pusat-pusat analisis, dan sebagainya menjadi suatu alat yang aplikasinya lebih
luas yang mencakup sekolah-sekolah tinggi dan divisi pengendalian mutu dari banyak
industri. Demikian juga dengan munculnya kebutuhan untuk memahami komposisi dan
distribusi dari unsur-unsur disamping untuk mengamati bentuk material, sekarang telah lazim
untuk bisnis dan organisasi-organisasi memperkenalkan alat analisa Energy Dispersive X-
Ray (EDX) pada waktu yang bersamaan dengan pembelian SEM.

SEM dan EDX telah dirancang secara konvensional untuk penggunaannya oleh ahli teknologi
analitis. Akan tetapi, dengan perkembangan bursa dari SEM/EDX yang cepat, dibutuhkan
perkembangan untuk meningkatkan kemampuan dari alat-alat ini sehingga dapat digunakan
dengan mudah oleh ahli mesin yang bekerja dalam Pengendalian mutu.

Juga dengan kemajuan dalam bidang elektronik, operasi SEM/EDX telah berubah dari analog
menjadi operasi digital, dengan pengatur alat dan pengolahan data yang dilakukan oleh
computer. Biasanya, suatu sistem operasi WindowsTM dan aplikasi Windows digunakan,
membuat lingkungan system yang hampir setiap orang dapat menggunakan dengan mudah.

Berdasarkan pada kebutuhan dan perubahan bursa dalam lingkungan teknologi, maka
dibuatlah SEM-EDX yang merupakan suatu system analisis yang menggabungkan SEM dan
EDX menjadi satu unit.

BAB 11
TINJAUAN PUSTAKA
A. Pengertian
SEM (Scanning Electron Microscope) adalah salah satu jenis mikroscop electron yang
menggunakan berkas electron untuk menggambarkan bentuk permukaan dari material yang
dianalisis. Prinsip kerja dari SEM ini adalah dengan menggambarkan permukaan benda atau
 material dengan berkas electron yang dipantulkan dengan energy tinggi. Permukaan material
yang disinari atau terkena berkar electron akan memantulkan kembali berkas electron atau
dinamakan berkas electron sekunder ke segala arah. Tetapi dari semua berkas electron yang
dipantulkan terdapat satu berkas electron yang dipantulkan dengan intensitas tertinggi.
Detector yang terdapat di dalam SEM akan mendeteksi berkas electron berintensitas
tertinggi yang dipantulkan oleh benda atau material yang dianalisis. Selain itu juga dapat
menentukan lokasi berkas electron yang berintensitas tertinggi itu.
Ketika dilakukan pengamatan terhadap material, lokasi permukaan benda yang ditembak
dengan berkas elektron yang ber intensitas tertinggi di scan keseluruh permukaan material
pengamatan. Karena luasnya daerah pengamatan kita dapat membatasi lokasi pengamatan
yang kita lakukan dengan melakukan zoon in atau zoon out. Dengan memanfaatkan
berkas pantulan dari benda tersebut maka informasi dapat di ketahui dengan menggunakan
program pengolahan citra yang terdapat dalam computer.
SEM (Scanning Electron Microscope) memiliki resolusi yang lebih tinggi dari pada
mikroskop optic. Hal ini di sebabkan oleh panjang gelombang de Broglie yang memiliki
electron lebih pendekdek daripada gelombang optic. Karena makin kecil panjang gelombang
yang digunakan maka makin tinggi resolusi mikroskop.
(Gambar SEM)
SEM mempunyai depthoffield yang besar, yang dapat memfokuskan jumlah sampel yang
lebih banyak pada satu waktu dan menghasilkan bayangan yang baik dari sampel tiga
dimensi. SEM juga menghasilkan bayangan dengan resolusi tinggi, yang berarti mendekati
bayangan yang dapat diuji dengan perbesaran tinggi.
Kombinasiperbesaranyanglebihtinggi,darkfield,resolusi yang lebih besar,dankomposisi serta
informasi kristallografi membuat SEM merupakan satu dari peralatan yang paling banyak
digunakan dalam penelitian, R& D industri khususnya industri semikonductor
Elektron memiliki resolusi yang lebih tinggi daripada cahaya. Cahaya hanya mampu
mencapai 200nm sedangkan elektron bisa mencapai resolusi sampai 0,1 0,2 nm. Dibawah
ini diberikan perbandingan hasil gambar mikroskop cahaya Dengan elektron

Disamping itu dengan menggunakan elektron kita juga bisa mendapatkan beberapa jenis
pantulan yang berguna untuk keperluan karakterisasi. Jika elektron mengenai suatu benda
maka akan timbul dua jenis pantulan yaitu pantulan elastis dan pantulan non elastis seperti
pada gambar dibawah ini.

1. Pada sebuah mikroskop elektron (SEM) terdapat beberapa peralatan utama antara lain:
Pistol elektron, biasanya berupa filamen yang terbuat dari unsur yang mudah melepas
elektron misal tungsten.
2. Lensa untuk elektron, berupa lensa magnetis karena elektron yang bermuatan negatif dapat
dibelokkan oleh medan magnet.
3. Sistem vakum, karena elektron sangat kecil dan ringan maka jika ada molekul udara yang
lain elektron yang berjalan menuju sasaran akan terpencar oleh tumbukan sebelum mengenai
sasaran sehingga menghilangkan molekul udara menjadi sangat penting.
SEM tersusun dari beberapa bagian yang dapat dibuat suatu skema seperti berikut

a. Penembak Elektron (Elektron Gun)

Ada dua tipe dari elektron Gun, yaitu:

1.Termal

Pada emisi jenis ini, energi luar yang masuk ke bahan ialah dalam bentuk

energi panas. Oleh elektron energi panas ini diubah menjadi energi kinetik. Semakinbesar
panas yang diterima oleh bahan maka akan semakin besar pula kenaikan energy kinetik yang
terjadi pada elektron, dengan semakin besarnya kenaikan energi kinetic dari elektron maka
gerakan elektron menjadi semakin cepat dan semakin tidakmenentu. Pada situasi inilah akan
terdapat elektron yang pada ahirnya terlepas keluarmelalui permukaan bahan. Pada proses
emisi thermionic dan juga pada proses emisilainnya, bahan yang digunakan sebagai asal
ataupun sumber elektron disebut sebagai"emiter" atau lebih sering disebut "katoda"
(cathode), sedangkan bahan yangmenerima elektron disebut sebagai anoda. Dalam konteks
tabung hampa (vacuumtube) anoda lebih sering disebut sebagai "plate". Dalam proses emisi
thermionic dikenal dua macam jenis katoda yaitu :

a) Katoda panas langsung (Direct Heated Cathode, disingkat DHC)

b) Katoda panas tak langsung (Indirect Heated Cathode, disingkat IHC)

Pada katoda jenis ini katoda selain sebagai sumber elektron juga dialiri oleh arusheater
(pemanas).Material yang digunakan untuk membuat katoda diantaranya adalah :

Tungsten Filamen
Material ini adalah material yang pertama kali digunakan orang untuk membuatkatode.
Tungsten memiliki dua kelebihan untuk digunakan sebagai katoda yaitumemiliki ketahanan
mekanik dan juga titik lebur yang tinggi (sekitar 3400 derajatCelcius), sehingga tungsten
banyak digunakan untuk aplikasi khas yaitu tabung XRayyang bekerja pada tegangan sekitar
5000V dan temperature tinggi. Akan tetapiuntuk aplikasi yang umum terutama untuk aplikasi
Tabung Audio dimana tegangankerja dan temperature tidak terlalu tinggi maka tungsten
bukan material yang ideal,hal ini disebabkan karena tungsten memilik fungsi kerja yang
tinggi( 4,52 eV) danjuga temperature kerja optimal yang cukup tinggi (sekitar 2200 derajat
celcius).
2. Field emission
Pada emisi jenis ini yang menjadi penyebab lepasnya elektron dari bahan ialahadanya gaya
tarik medan listrik luar yang diberikan pada bahan. Pada katoda yangdigunakan pada proses
emisi ini dikenakan medan listrik yang cukup besarsehingga tarikan yang terjadi dari medan
listrik pada elektron menyebabkanelektron memiliki energi yang cukup untuk lompat keluar
dari permukaan katoda.Emisi medan listrik adalah salah satu emisi utama yang terjadi pada
vacuum tubeselain emisi thermionic.

Jenis katoda yang digunakan adalah :

 Cold Field Emission
Schottky Field Emission Gun

b. lensa Magnet
c. secondary Elektron Detector
d. Backcattered Electron Detector
Demikian, SEM mempunyai resolusi tinggi dan familiar untuk mengamati obyekbenda
berukuran nano meter.Meskipun demikian, resolusi tinggi tersebut didapatkanuntuk scan
dalam arah horizontal, sedangkan scan secara vertikal (tinggi rendahnyastruktur) resolusinya
rendah.Ini merupakan kelemahan SEM yang belum diketahuipemecahannya. Namun
demikian, sejak sekitar tahun 1970-an, telah dikembangkanmikroskop baru yang mempunyai
resolusi tinggi baik secara horizontal maupun secaravertikal, yang dikenal dengan "scanning
probe microscopy (SPM)"( Oktaviana, 2010 ). Di bawah ini disajikan hasil pengamatan SEM
dengan berbagai batasdan kemungkinan pembesarannya.

B. Prinsip Kerja Alat

1. Prinsip kerja dari SEM adalah sebagai berikut:
Sebuah pistol elektron memproduksi sinar elektron dan dipercepat dengan anoda.
2. Lensa magnetik memfokuskan elektron menuju ke sampel.
3. Sinar elektron yang terfokus memindai (scan) keseluruhan sampel dengan diarahkan oleh
koil pemindai.
4. Ketika elektron mengenai sampel maka sampel akan mengeluarkan elektron baru yang akan
diterima oleh detektor dan dikirim ke monitor (CRT).

Secara lengkap skema SEM dijelaskan oleh gambar dibawah ini:

(sumber:iastate.edu)
Ada beberapa sinyal yang penting yang dihasilkan oleh SEM. Dari pantulan inelastis
didapatkan sinyal elektron sekunder dan karakteristik sinar X sedangkan dari pantulan elastis
didapatkan sinyal backscattered electron. Sinyal -sinyal tersebut dijelaskan pada gambar
dibawah ini.

Perbedaan gambar dari sinyal elektron sekunder dengan backscattered adalah sebagai berikut:
elektron sekunder menghasilkan topografi dari benda yang dianalisa, permukaan yang tinggi
berwarna lebih cerah dari permukaan rendah. Sedangkan backscattered elektron memberikan
perbedaan berat molekul dari atom atom yang menyusun permukaan, atom dengan berat
molekul tinggi akan berwarna lebih cerah daripada atom dengan berat molekul rendah.
Contoh perbandingan gambar dari kedua sinyal ini disajikan pada gambar dibawah ini.

Mekanisme kontras dari elektron sekunder dijelaskan dengan gambar dibawah ini.
Permukaan yang tinggi akan lebih banyak melepaskan elektron dan menghasilkan gambar
yang lebih cerah dibandingkan permukaan yang rendah atau datar.
 Sedangkan mekasime kontras dari backscattered elektron dijelaskan dengan gambar dibawah
ini yang secara prinsip atom atom dengan densitas atau berat molekul lebih besar akan
memantulkan lebih banyak elektron sehingga tampak lebih cerah dari atom berdensitas
rendah. Maka teknik ini sangat berguna untuk membedakan jenis atom.

Namun untuk mengenali jenis atom dipermukaan yang mengandung multi atom para peneliti
lebih banyak mengunakan teknik EDS (Energy Dispersive Spectroscopy). Sebagian besar alat
SEM dilengkapi dengan kemampuan ini, namun tidak semua SEM punya fitur ini. EDS
dihasilkan dari Sinar X karakteristik, yaitu dengan menembakkan sinar X pada posisi yang
ingin kita ketahui komposisinya. Maka setelah ditembakkan pada posisi yang diinginkan
maka akan muncul puncak puncak tertentu yang mewakili suatu unsur yang terkandung.
Dengan EDS kita juga bisa membuat elemental mapping (pemetaan elemen) dengan
memberikan warna berbeda beda dari masing masing elemen di permukaan bahan. EDS
bisa digunakan untuk menganalisa secara kunatitatif dari persentase masing masing elemen.
Contoh dari aplikasi EDS digambarkan pada diagram dibawah ini.

(sumber: umich.edu)

C. Prinsip Operasi
Insiden elektron sinar membangkitkan elektron dalam keadaan energi yang lebih rendah,
mendorong ejeksi mereka dan mengakibatkan pembentukan lubang elektron dalam struktur
elektronik atom.Elektron dari kulit, energi luar yang lebih tinggi kemudian mengisi lubang,
dan kelebihan energi elektron tersebut dilepaskan dalam bentuk foton sinar-X. Pelepasan ini
sinar-X menciptakan garis spektrum yang sangat spesifik untuk setiap elemen. Dengan cara
ini data X-ray emisi dapat dianalisis untuk karakterisasi sampel di pertanyaan. Sebagai
contoh, kehadiran tembaga ditunjukkan oleh dua K puncak disebut demikian (K dan K
) pada sekitar 8,0 dan 8,9 keV dan puncak L pada 0,85 eV. Dalam unsur-unsur berat seperti

tungsten, sebuah ot transisi yang berbeda yang mungkin dan banyak puncak karena itu
hadir( Irawan, 2010 ).

Pada SEM sampel tidak ditembus oleh elektron sehingga hanya pendaran hasil dari tumbukan
elektron dengan sampel yang ditangkap oleh detektor dan diolah( Oktoviawan, 2009 ).
D. Instrumentasi

Konfigurasi Sistem

Dengan system konvensional, EDX yang berdiri sendiri dikombinasikan dengan SEM yang
terpisah, sehingga operator harus belajar menggunakan kedua system, dan masing-masing
system harus dioperasikan secara terpisah. Melalui SEM-EDX, SEM dan EDX digabungkan
menjadi satu unit, mengurangi kebutuhan akan Operasi yang komplek/ rumit.
Fungsi dari suatu SEM dan EDX digabungkan menjadi satu unit, sehingga konfigurasi dapat
dibagi menjadi unit SEM dan unit EDX. Unit SEM terdiri dari detektor EDX, dan panel
operasi terdiri dari 2 monitor, sebuah keyboard dan mouse. Untaian pengendali EDX, 2
komputer dan disk drive MO ditempatkan dalam suatu rak padat terletak di sebelah panel
operasi. Gambar 2 menunjukkan bagian luar dari gabungan SEM-EDX dan gambar 3
menunjukkan konfigurasi/susunan system
Untuk menggabungkan fungsi SEM dan EDX dalam suatu alat SEM-EDX, computer dari
tiap unit dihubungkan dengan suatu Ethernet untuk pembagian data, dan software Hi-Mouse
yang dikembangkan memberikan pengoperasian yang mudah. Dengan Ethernet dan software
Hi-Mouse, satu keyboard, satu mouse, dan dua monitor dapat digunakan menjalankan dengan
lembut fungsi dari SEM maupun EDX.

Hubungan user pada unit SEM berdedikasi pada jendela EDX yang dapat digunakan untuk
mengontrol unit EDX. Folder-folder windows dapat diatur menjadi shared, mengizinkan
data dibagi antara 2 komputer. Cara kerja jauh lebih sederhana, dan menampilkan gambar
lebih mudah, melalui pengaturan salah satu monitor untuk menampilkan gambar pengamatan
dan monitor yang Monitor yang lai menampilkan data analisis.Karena masing-masing system
harus dioperasikan secara terpisah, maka perlu dipelajari operasi dari SEM dan EDX secara
tersendiri.
E. Aplikasi
SEM-EDX adalah nama -dispersive X-ray spektroskopi energi analisis yang dilakukan
dengan menggunakanSEM . Alat dipakai umumnya untuk aplikasi yang cukup bervariasi
pada permasalahan eksplorasi dan produksi migas, termasuk didalamnya: Evaluasi kualitas
batuan reservoir melalui studi diagnosa yang meliputi identifikasi dan interpretasi keberadaan
mineral dan distribusinya pada sistem porositas batuan. Investigasi permasalahan produksi
migas seperti efek dari clay minerals, steamfloods dan chemical treatments yang terjadi pada
peralatan pemboran, gravelpacks dan pada reservoir
Identifikasi dari mikrofosil untuk penentuan umur dan lingkungan pengendapan Taufik,
2008).
Instrumen ini sangat cocok untuk berbagai jenis investigasi. Hal ini mungkin untuk
menyelidiki misalnya struktur serat kayu dan kertas, logam.permukaan fraktur, produksi cacat
di karet dan plastic. Detail terkecil yang dapat dilihat pada gambar SEM adalah 4-5 nm (4-5
sepersejuta milimeter). Detail terkecil yang dapat dianalisis adalah pM 2-3 (2-3 seperseribu
milimeter).
Aplikasi dari teknik SEM EDS dirangkum sebagai berikut:

1.Topografi: Menganalisa permukaan dan teksture (kekerasan, reflektivitas dsb)

2. Morfologi: Menganalisa bentuk dan ukuran dari benda sampel
3. Komposisi: Menganalisa komposisi dari permukaan benda secara kuantitatif dan
kualitatif.

Sedangkan kelemahan dari teknik SEM antara lain:

1. Memerlukan kondisi vakum

2. Hanya menganalisa permukaan
3. Resolusi lebih rendah dari TEM
 4. Sampel harus bahan yang konduktif, jika tidak konduktor maka perlu dilapis logam seperti
emas.
BAB 111
PENUTUP

A. KESIMPULAN

Hampir sama dengan SEM hanya saja pada SEM EDX merupakan dua perangkat analisis
yang digabungkan menjadi satu panel analitis sehingga mempermudah proses analitis dan
lebih efisien. Pada dasarnya SEM EDX merupakan pengembangan SEM. Analisa SEM EDX
dilakukan untuk memproleh gambaran permukaan atau fitur material dengan resolusi yang
sangat tinggi hingga memperoleh suatu tampilan dari permukaan sampel yang kemudian di
komputasikan dengan software untuk menganalisis komponen materialnya baik dari
kuantitatif mau pun dari kualitalitatifnya.Daftar berikut ini merangkum fungsi yang
berkontribusi pada operabilitas luar biasa dari SEM-EDX.

1. Menu Fungsi ini digunakan untuk mengatur secara bersamaan, menyimpan, dan mengingat
parameter untuk analisis SEM dan EDX.
2. Kondisi pengukuran EDX dapat diatur dari Unit SEM (Spektral pengukuran, multi-titik
pengukuran, pemetaan, tampilan menganalisis elemen pada SEM monitor).
3. Image data yang diperoleh dengan SEM dapat digunakan sebagai data dasar untuk EDX.
4. Menetapkan kondisi untuk unit SEM secara otomatis dipindahkan ke unit EDX( Rahmat,
2010 ).
http://mandeleyev-rapuan.blogspot.com/2012/03/sem-scanning-electron-microscope.html