KELOMPOK 7

Nurakhma Yuniawati
(140332600586)
Qurrota Ayun
(140332600933)
Onky Damara
(140332605285)

Praktikum Analisis Instrumentasi

SEM-EDX
 Scanning Electron Mycroscopy (SEM) EDX
Merk FEI, Type: Inspect-S50

Instrumen yang
digunakan untuk
melihat morfologi
dan topografi serta
sifat kristalografi
dari sebuah bahan
organik maupun
anorganik
 Scanning Electron Mycroscopy (SEM) EDX
Merk FEI, Type: Inspect-S50
SEM (Scanning Electron Microscopy) adalah peralatan untuk menguji/
melihat struktur permukaan sampel dengan perbesaran sampai dengan
1.000.000 kali perbesaran.

Alat ini dilengkapi EDX menganalisis kandungan unsur pada sampel

yang dilihat struktur permukaannya.

2 Modus
Low Vacum High Vacum
Operasional

Kandungan unsur yang dapat diuji mulai dari Berilium

s/d Uranium. Sebaran unsur didalam bahan juga dapat
dideteksi berupa Surface area, line dan mapping.
 Prinsip Kerja Alat SEM-EDX
Sinar elektron yang dihasilkan dari
area gun dialirkan hingga mengenai
sampel.
Aliran sinar elektron ini selanjutnya
difokuskan menggunakan elektron
optic columb sebelum sinar elektron
tersebut membentuk/ mengenai
sampel.
Sinar elektron yang mengenai
sampel, akan mengalami beberapa
interaksi-interaksi yang terjadi.
Selanjutnya akan dideteksi dan
diubah dalam sebuah gambar oleh
analisis SEM dan juga dalam
bentuk grafik oleh analisis EDX.
Instrumentasi SEM-EDX
 Instrumentasi SEM
Tipe: FEI-Inspect S50
 Elektron Gun
Biasanya berupa filamen
yang terbuat dari unsur yang
mudah melepas elektron

Katoda memproduksi sinar

elektron dan dipercepat
dengan anoda.
 Lensa Magnetik
Lensa untuk elektron, berupa lensa magnetis
karena elektron yang bermuatan negatif
dapat dibelokkan oleh medan magnet

Memfokuskan elektron menuju ke sampel

Sinar elektron yang terfokus memindai (scan)

keseluruhan sampel dengan diarahkan oleh
scan coil dan menghasilkan elektron

Elektron yang dihasilkan oleh sampel akan

diterima oleh detektor dan dikirim ke monitor.
 Ruang Vakum

Jenis vacum chamber ada 2

yaitu Low Vacum (untuk sampel
non-konduktif) dan High Vacum
(untuk sampel konduktif).

Untuk menghilangkan gas

(udara) yang kemungkinan
menganggu analisis
Detektor
Preparasi Sampel
1. Membersihkan sampel (bersih dan
kering)
2. Menempatkan sampel pada holder
3. Sampel yang belum konduktif,
dilapisi dengan Au atau Pt
4. Sampel diletakkan di ruang vakum
5. Ukuran sample holder: 12 mm atau
25 mm
6. Sampel berupa padatan
7. Holder bisa dicuci dengan alkohol
 Operasional Instrumen
Dihidupkan SEM-EDX
Sampel yang telah dipreparasi di
masukkan dalam tempat sampel pada alat
Dijalankan software pada komputer yang
sudah terhubung dengan alat
Diatur kecerahan, ketajaman, perbesaran
dll pada panel operasi
Dilihat hasil pada layar komputer
 Aplikasi SEM-EDX
Topografi : Menganalisa permukaan dan tekstur
(kekerasan, reflektivitas dsb)

Morfologi : Menganalisa bentuk dan ukuran dari

benda sampel

Komposisi: Menganalisa komposisi dari

permukaan benda secara kuantitatif
dan kualitatif
Contoh Hasil Topografi Sampel Uji
Contoh Hasil Morfologi Sampel Uji
Contoh Hasil SEM-EDX
Kelebihan SEM
 Kelemahan SEM

Memerlukan Hanya
kondisi menganalisa
vakum permukaan
Terima Kasih
 Pertanyaan dan Jawaban Pertanyaan
1. Bagaimana jika tidak digunakan EDX? Dan bagaimana fungsi dari EDX?
Jika tidak digunakan EDX, maka hasil analisis yang didapat akan berupa
morfologi dan topografinya saja, Oleh sebab itu digunakan EDX supaya dapat
diketahui unsur-unsur yang terkandung dalam sampel tersebut.
Fungsi EDX = sinar yang digunakan yaitu sinar X-rays yang dapat
mengidentifikasi unsur-unsur didalam sampel.

2. Bagaimana jika sampel yang digunakan dalam bentuk serbuk?

Bisa, karena bentuk serbuk masih merupakan padatan sehingga masih dapat
diuji dengan SEM-EDX.

Bagaimana pengaruh konduktivitas terhadap hasil analisis?

Sampel harus bersifat konduktif, apabila sampel tidak bersifat konduktif maka
tidak dapat dianalisis secara langsung oleh SEM-EDX. Namun, sampel
tersebut harus dilapisi dengan logam yang bersifat konduktif dan inert,
contohnya yaitu logam emas atau platina.
 Bagaimana proses yang terjadi diruang vakum?
Proses yang dilakukan oleh alat instrumentasi SEM-EDX didalam ruang vakum
yaitu untuk menghilangkan gas-gas dan juga dapat mengeringkan sampel
yang masih basah sehingga tidak mengganggu proses analisisnya.

3. Apakah SEM-EDX dapat mengukur luas permukaan?

Tidak bisa, karena alat SEM-EDX hanya bisa mengetahui pori-pori/
permukaannya saja sehingga tidak dapat diketahui luas permukaan

Apakah ada batasan unsur logam yang akan dianalisis menggunakan

SEM-EDX?
Tidak ada batasan dalam mengidentifikasi unsur-unsur logam. Unsur logam
yang dapat dianalisis adalah mulai dari Berilium sampai dengan Uranium.

4. Apa kegunaan hasil dari analisis morfologi dan topografi dari alat SEM-
EDX?
Untuk mengetahui homogenesitas dari pori-porinya sehingga dapat diketahui
ukurannya. Dengan demikian dapat diketahui logam apa yang bisa diserap
oleh sampel tersebut. Misalnya sampel sebagai adsorben.