ABSTRACT

The thin films of Barium Strontium Titanate (BST) material of Ba 0.1Sr0.9TiO3 fabricated using
sol-gel method and annealed at temperature 600°C, 650°C and 700°C in order to obtain its
crystalline structure. The thin films of BST were characterized using Field Emmision Scanning
Electron Microscopy (FESEM), X-Ray Diffraction (XRD) and Spectroscopi Impedance. The
results of characterization using FESEM at temperature of 600°C, 650°C and 700°C to obtained
of the thickness are 51.36 nm, 53.59 nm dan 87.09 nm. The results of characterization using
XRD with the temperature annealing. its angle 10.26° at temperature 600°C, 650°C and 700°C
to obtained the intensity are 244, 280 and 300. The characterization using Spectroscopi
Impedance to obtained the values complexs capacitance and dielectric constant are inversely
proportional to the frequency and while the loss of dielectric values to be propotional to the
frequency. At frequency 100 Hz with of the temperature 600°C, 650°C dan 700°C to obtained
the complexs capacitance of values are 5.59481 x 10-11 F, 7.73048 x 10-11 F and 9.38054 x 10-11
F. The dielectric constant values are 6.3215, 8.7350 and 10.5994. The loss of dielectric values
are 0.0234, 0.0069 and 0.0066. . The increasing temperature annealing the thickness value, the
complex capacitance, the dielectric constant and the dielectric loss are increasing.

Keywords: BST, FESEM, Sol-gel method, Spectroscopy Impedance, XRD

viii
 ABSTRAK

Film tipis dari bahan barium strontium titanate (BST) dengan komposisi Ba 0.1Sr0.9TiO3 dibuat
dengan menggunakan metode sol-gel dan di Annealing pada temperature 600°C, 650°C dan
700°C untuk mendapatkan struktur kristal kubik. Film tipis BST tersebut dikarakterisasi
menggunakan X-Ray Diffraction (XRD), Field Emmision Scanning Electron Microscopy
(FESEM) dan Spektroskopi Impedansi. Hasil Karakterisasi menggunakan XRD diperoleh
intensitas berbanding lurus dengan suhu annealing. Pada sudut 10,6° dengan temperature 600°C,
650°C dan 700°C memiliki intensitas sebesar 244, 280 dan 300. Hasil karakterisasi
menggunakan FESEM pada temperature 600°C, 650°C dan 700°C diperoleh ketebalan sebesar
51,36 nm, 53,59 nm dan 87,09 nm. Hasil karakterisasi menggunakan Spektroskopi Impedansi
diperoleh nilai kapasitansi kompleks, konstanta dielektrik yang berbanding terbalik terhadap
frekuensi dan kehilangan dielektrik berbanding lurus terhadap frekuensi. Frekuensi 1MHz pada
suhu 600°C, 650°C dan 700°C nilai kapasitansi kompleks nya yaitu 2,5744 x 10-11 F, 2,6023 x
10-11 F dan 2,6159 x 10-11 F. Frekuensi 100 Hz pada suhu 600°C, 650°C dan 700°C nilai
kapasitansi kompleks yaitu 5,59481 x 10-11 F, 7,73048 x 10-11 F dan 9,38054 x 10-11 F. Nilai
konstanta dielektrik yaitu 6,3215, 8,7350 dan 10,5994. Nilai kehilangan dielektrik yaitu 0,0234,
0,0069 dan 0,0066. Semakin meningkat suhu annealing nilai ketebalan, kapasitansi kompleks,
konstanta dielektrik dan kehilangan dielektrik semakin meningkat.

Kata kunci : BST, FESEM , Metode sol-gel, Spektroskopi Impedansi, XRD

ix