Rahmadiansyah Malau H1C112054

Erwin Ramadhan H1C113050

Robbian Nuur H1C113214
M. Rizali Rizki H1C113077
Hasbi H1C114084
Melita Sari H1C114039
Wahyu Arbaniansyah H1C114210
Rully Saputra H1C114208
 Berbicara tentang teknologi nano, maka tidak akan
bisa lepas dari mikroskop, yaitu alat pembesar untuk
melihat struktur benda kecil tersebut.
Untuk melihat benda berukuran di bawah 200
nanometer, diperlukan mikroskop dengan panjang
gelombang pendek. Dari ide inilah, di tahun 1932 lahir
mikroskop elektron. Sebagaimana namanya, mikroskop
elektron menggunakan sinar elektron yang panjang
gelombangnya lebih pendek dari cahaya. Karena itu,
mikroskop elektron mempunyai kemampuan pembesaran
obyek (resolusi) yang lebih tinggi dibanding mikroskop
optik.
 Sebuah mikroprosesor elektron (EMP), yang juga
dikenal sebagai alat analisis mikroba ( probe) probe
elektron (EPMA) atau alat analisa probe mikro, adalah
alat analisis yang digunakan untuk secara non-
destruktif menentukan komposisi kimia dari volume
kecil bahan padat, volume sampel kecil (biasanya 10-
90 mikron kubik atau kurang). EMPA adalah salah satu
dari beberapa teknik balok partikel.
Mikroskopi elektron transmisi (TEM), juga kadang-
kadang mikroskop elektron transmisi
konvensional atau (CTEM) adalah teknik mikroskop di
mana seberkas elektron ditransmisikan melalui
spesimen untuk membentuk gambar.
 Konsep awal yang melibatkan teori scanning mikroskop
elektron pertama kali diperkenalkan di Jerman (1935) oleh
M. Knoll. Konsep standar dari SEM modern dibangun oleh
von Ardenne pada tahun 1938 yang ditambahkan scan
kumparan ke mikroskop elektron transmisi. Desain SEM
dimodifikasi oleh Zworykin pada tahun 1942 ketika bekerja
untuk RCA Laboratories di Amerika Serikat. Desain kembali
direkayasa oleh CW pada tahun 1948 seorang profesor di
Universitas Cambridge. Sejak itu, semakin banyak
bermunculan kontribusi signifikan yang mengoptimalkan
perkembangan modern mikroskop elektron.
1. Sampel Padat: logam, bubuk kimia, kristal, polymers,
plastik, keramik, fosil, butiran, karbon, campuran partikel
logam, sampel Arkeologi.
2. Sampel Biologi: sel darah, produk bakteri, fungal,
ganggang, benalu dan cacing. Jaringan binatang,
manusia dan tumbuhan.
3. Sampel Padatan Biologi: contoh profesi dokter gigi,
tulang, fosil dan sampel arkeologi.
 Untuk Persiapan material yang akan dianalisa cukup
sederhana. Khususnya untuk bahan bahan yang
bersifat konduktor maka hanya perlu dilekatkan pada
sampel holder yang terbuat dari logam. Biasanya
pemegang sampel ini dapat dipakai untuk menempatkan
4 sampel berbeda sekaligus sehingga ketika
menganalisa tidak perlu setiap akan ganti sampel
membuka- tutup SEM. Biasanya sampel dilekatkan
dengan bantuan selotip karbon.
 Untuk sampel berupa serbuk. Setelah ditempel selotip karbon maka
serbuk ditebarkan pada permukaan selotip dan sisa serbuk yang
tidak dapat menempel harus dibersihkan sehingga tidak
menganggu alat vakum (dush off) dalam SEM ketika analisa.
Disamping ini adalah gambar dari sampel holder yang telah
ditempel selotip dan diberi serbuk yang akan dianalisa. SEM
mempunyai depth of field yang besar, yang dapat memfokus jumlah
sampel yang lebih banyak pada satu waktu dan menghasilkan
bayangan yang baik dari sampel tiga dimensi. SEM juga
menghasilkan bayangan dengan resolusi tinggi, yang berarti
mendekati bayangan yang dapat diuji dengan perbesaran tinggi.
Kombinasi perbesaran yang lebih tinggi, dark field, resolusi yang
lebih besar, dan komposisi serta informasi kristallografi membuat
SEM merupakan satu dari peralatan yang paling banyak digunakan
dalam penelitian.
 Scanning Electron Microscopy (SEM) merupakan alat yang
dapat membentuk bayangan permukaan. Struktur permukaan
suatu benda yang akan diuji dapat dipelajari dengan mikroskop
elektron pancaran karena jauh lebih mudah untuk mempelajari
struktur permukaan itu secara langsung. SEM memiliki
kemampuan untuk menganalisis sampel tertentu dengan
memanfaatkan salah satu metode yang disebutkan di atas.
Sayangnya, setiap jenis analisis dianggap merupakan aksesori
perangkat tambahan untuk SEM. Aksesori yang paling umum
dilengkapi dengan SEM adalah dispersif energi detektor x-ray
atau EDX.
 Untuk mengetahui morfologi senyawa padatan dan komposisi
unsur yang terdapat dalam suatu senyawa dapat digunakan alat
scanning electron microscope (SEM). Scanning Electron
Microscope adalah suatu tipe mikroskop electron yang
menggambarkan permukaan sampel melalui proses scanning
dengan menggunakan pancaran energi yang tinggi dari electron
dalam suatu pola scann raster. Electron berinteraksi dengan
atom atom yang membuat sampel menghasilkan sinyal yang
memberikan informasi mengenai permukaan topografi sampel,
komposisi dan sifat sifat lainnya seperti konduktivitas listrik.
Gambar Analisis
 Adapun fungsi utama dari SEM antara lain dapat
digunakan untuk mengetahui informasi-informasi mengenai:
1) Topografi
yaitu ciri-ciri permukaan dan teksturnya (kekerasan, sifat
memantulkan cahaya, dll).
2) Morfologi
yaitu bentuk dan ukuran dari partikel penyusun objek
(kekuatan, cacat pada Integrated Circuit (IC) dan chip, dll).
3) Komposisi
yaitu data kuantitatif unsur dan senyawa yang terkandung
di dalam objek (titik lebur, kereaktifan, kekerasan, dll).
4) Informasi kristalografi
yaitu informasi mengenai bagaimana susunan dari butir-
butir di dalam objek yang diamati (konduktifitas, sifat elektrik,
kekuatan, dll).
1.Pistol elektron
biasanya berupa filamen yang terbuat dari unsur yang
mudah melepas elektron misal tungsten.
2.Lensa untuk elektron
berupa lensa magnetis karena elektron yang bermuatan
negatif dapat dibelokkan oleh medan magnet.
3.Sistem vakum
karena elektron sangat kecil dan ringan maka jika ada molekul
udara yang lain elektron yang berjalan menuju sasaran akan
terpencar oleh tumbukan sebelum mengenai sasaran sehingga
menghilangkan molekul udara menjadi sangat penting.
1. Penembak elektron (electron gun)
Ada tiga jenis atau tipe dari electron gun yaitu :
a) Termal
Pada jenis ini, energi luar yang masuk ke bahan dalam
bentuk energi panas. Energi panas ini diubah menjadi energi
kinetik. Semakin besar panas yang diterima bahan maka
akan semakin besar pula kenaikan energi kinetik yang terjadi
pada electron. Dalam konteks tabung hampa (vacuum tube)
anoda lebih sering disebut sebagai plate. Dalam proses emisi
termal dikenal dua macam jenis katoda yaitu :
1) Katoda panas langsung (Direct Heated Cathode,
disingkat DHC)
2) Katoda panas tak langsung (Indirect Heated
Cathode, disingkat IHC)
b) Tungsten Filamen
Material ini adalah material yang pertama kali digunakan
orang untuk membuat katode. Tungsten memiliki dua kelebihan
untuk digunakan sebagai katoda yaitu memiliki ketahanan
mekanik dan juga titik lebur yang tinggi (sekitar 3400 oC).
c) Field emission
Pada emisi jenis ini yang menjadi penyebab lepasnya
elektron dari bahan ialah adanya gaya tarik medan listrik luar
yang diberikan pada bahan. Pada katoda yang digunakan pada
proses emisi ini dikenakan medan listrik yang cukup besar
sehingga tarikan yang terjadi dari medan listrik pada
elektron menyebabkan elektron memiliki energi yang cukup
untuk lompat keluar dari permukaan. Jenis katoda yang
digunakan diantaranya adalah :
- Cold Field Emission
- Schottky Field Emission Gun
2. Lensa Magnetik
Lensa magnetik yang digunakan yaitu dua buah condenser
lens. Condenser lens kedua (atau biasa disebut dengan
lensa objektif) memfokuskan electron dengan diameter yang
sangat kecil, yaitu sekitar 10-20 nm.
3. Detektor
SEM memiliki beberapa detektor yang berfungsi untuk
menangkap hamburan elektron dan memberikan informasi yang
berbeda-beda. Detektor-detektor tersebut antara lain:
- Backscatter detector, yang berfungsi untuk
menangkap informasi mengenai nomor atom dan topografi.
- Secondary detector, yang berfungsi untuk menangkap
informasi mengenai topografi.
4. Sample Holder
Untuk meletakkan sampel yang akan dianalisis dengan SEM.
5. Monitor CRT (Cathode Ray Tube)
Di layar CRT inilah gambar struktur obyek yang sudah
diperbesar dapat dilihat.
 Prinsip kerja dari SEM ini adalah dengan
menggambarkan permukaan benda atau
material dengan berkas electron yang
dipantulkan dengan energy tinggi. Permukaan
material yang disinari atau terkena berkas
electron akan memantulkan kembali berkas
electron atau dinamakan berkas electron
sekunder ke segala arah. Tetapi dari semua
berkas electron yang dipantulkan terdapat satu
berkas electron yang dipantulkan dengan
intensitas tertinggi. Detector yang terdapat di
dalam SEM akan mendeteksi berkas electron
berintensitas tertinggi yang dipantulkan oleh
benda atau material yang dianalisis. Selain itu
juga dapat menentukan lokasi berkas electron
yang berintensitas tertinggi itu.
 Ketika dilakukan pengamatan terhadap material, lokasi
permukaan benda yang ditembak dengan berkas
elektron yang ber intensitas tertinggi di scan keseluruh
permukaan material pengamatan. Karena luasnya
daerah pengamatan kita dapat membatasi lokasi
pengamatan yang kita lakukan dengan melakukan zoon
in atau zoon out. Dengan memanfaatkan berkas
pantulan dari benda tersebut maka informasi dapat di
ketahui dengan menggunakan program pengolahan citra
yang terdapat dalam computer.
1. Sebuah pistol elektron memproduksi sinar elektron dan dipercepat
dengan anoda.
2. Lensa magnetik memfokuskan elektron menuju ke sampel.
3. Sinar elektron yang terfokus memindai (scan) keseluruhan sampel
dengan diarahkan oleh koil pemindai.
4. Ketika elektron mengenai sampel maka sampel akan mengeluarkan
elektron baru yang akan diterima oleh detektor dan dikirim ke
monitor (CRT).
 SEM memiliki beberapa detektor yang berfungsi untuk
menangkap hamburan elektron dan memberikan
informasi yang berbeda-beda. Detektor-detektor tersebut
antara lain:
-Detektor EDX, yang berfungsi untuk menangkap
informasi mengenai komposisi sampel pada skala
mikro.
-Backscatter detector, yang berfungsi untuk
menangkap informasi mengenai nomor atom dan
topografi.
-Secondary detector, yang berfungsi untuk
menangkap informasi mengenai topografi.
 Pada SEM terdapat sistem vakum pada electron-optical
column dan sample chamber yang bertujuan antara lain:
a) Menghilangkan efek pergerakan elektron yang tidak beraturan
karena adanya molekul gas pada lingkungan tersebut, yang
dapat mengakibatkan penurunan intensitas dan stabilitas.
b) Meminimalisasi gas yang dapat bereaksi dengan sampel atau
mengendap pada sampel, baik gas yang berasal dari sampel
atau pun mikroskop. Karena apabila hal tersebut terjadi, maka
akan menurunkan kontras dan membuat gelap detail pada
gambar.
1. Daya pisah tinggi
Dapat Ditinjau dari jalannya berkas media, SEM dapat digolongkan
dengan optik metalurgi yang menggunakan prinsip refleksi, yang diarti
sebagai permukaan spesimen yang memantulkan berkas media.
2. Menampilkan data permukaan spesimen
Tenik SEM pada hakekatnya merupakan pemeriksaan dan analisis
permukaan. Data atau tampilan yang diperoleh adalah data dari permukaan
atau lapisan yang tebalnya sekitar 20 mikro meter dari permukaan. Sinyal
lain yang penting adalah back scattered elektron yang intensitasnya
bergantung pada nomor atom, yang unsurnya menyatakn permukaan
spesimen. Dengan cara ini diperoleh gambar yang menyatakan perbedaan
unsur kimia yang lebih tinggi pada nomor atomnya. Kemampuannya yang
beragam membuat SEM popular dan luas penggunaannya, tidak hanya
dibidang material melainkn juga dibidang biologi, pertanian, kedokteran,
elektronika, mikroelektronika dan lain-lain.
3. Kemudahan penyiapan sampel
Spesimen untuk SEM dapat berupa material yang cukup tebal, oleh karena
itu penyiapannya sangat mudah. Untuk pemeriksaan permukaan patahan
(fraktografi), permukaan diusahakan tetap seperti apa adanya, namun
bersih dari kotoran, misalnya debu dan minyak. Permukaan spesimen
harus bersifat konduktif. Oleh karena itu permukaan spesimen harus bersih
dari kotoran dan tidak terkontaminasi oleh keringat.
1. Memerlukan kondisi vakum.
2. Hanya menganalisa permukaan.
3. Resolusi lebih rendah dari TEM.
4. Sampel harus bahan yang konduktif, jika tidak konduktor maka perlu
dilapis logam seperti emas.