MEMS Beyond Sensor

Oleh: Dewi Nairanti (H021 18 1013)

PENDAHULUAN
MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) adalah struktur
peralatan elektro-mekanik terdiri dari sensor
mikro, aktuator mikro dan peraga pendukung lainnya di dalam
ukuran miniatur seukuran rangkaian keping terpadu (IC).
Sebagaimana halnya dengan rangkaian keping terpadu, bahan
substrat dasar yang digunakan untuk membuat MEMS komersial
umumnya adalah silikon.
Aktuator Mesin Mikro
Aktuator mesin mikro dari silikon dan bahan semikonduktor lainnya menggunakan

elektrostatik, elektrotermal, termopneumatik, elektromagnetik, elektroosmotik,

elektrohidrodinamik, paduan memori bentuk (SMA), polimer termoresponif, dan cara lain untuk

memberikan gerakan. Tabel 9.2 adalah perbandingan kemampuan beberapa aktuator [2], mulai dari

produk yang ada yang memberikan kinerja tak tertandingi dibandingkan dengan rekan-rekan skala

makro mereka hingga keingintahuan laboratorium yang menarik yang membutuhkan

pengembangan signifikan untuk menjadi praktis. Contoh silikon mikrovalve, mikromotor,

mikropump, mikrodinamometer, transmisi mikro, dan mesin mikrosteam, serta aktuator dalam

bahan alternatif, dibahas di bagian ini.

 Microvalves
Salah satu bidang aktuator MEMS yang telah mencapai status produksi adalah katup
mikro. Gambar 9.1 menunjukkan satu desain, mikrovalve fluistor ™ silikon (atau
transistor fluida) yang berukuran sekitar 5,5 mm kali 6,5 mm kali 2 mm [3] .1
Rongga mesin mikro massal di bagian atas diisi dengan cairan kontrol. Dalam
keadaan tidak aktif, gas dapat mengalir melalui katup. Tegangan yang diterapkan ke
elemen pemanas di diafragma menyebabkan pemuaian cairan yang cukup untuk
membelokkan diafragma, menutup dudukan katup, dan membatasi aliran. Katup
memiliki rentang dinamis 100.000 hingga 1, mengontrol aliran gas dari 4 mL per
menit hingga 4L per menit pada tekanan 20 psi.
Gambar 1. Konstruksi mikrovalve dan jalur aliran.
Gambar 2. Motor mikro elektrostatis.
Struktur Mesin Mikro Lainnya
 Saluran Pendingin
Pipa pemanas mikro yang dibuat oleh saluran mikro
paralel di bagian bawah IC berkinerja tinggi dapat
memberikan pendinginan untuk meminimalkan titik
panas, meningkatkan kinerja, dan meningkatkan
keandalan.
Gambar 3. Pipa pemanas mikro untuk mendinginkan
sirkuit terintegrasi.
Mikrooptik
Sejumlah perangkat mikrooptik telah diproduksi dengan teknik
mesin mikro, termasuk kisi-kisi, lensa, jembatan udara, interkoneksi
listrik, skrup serat optik, alat bantu penyelarasan, reflektor sudut, dan
pandu gelombang.

Gambar 4. Mikroskop optik poligon

berputar dibuat dengan pelapisan nikel
tanpa listrik.
Microgrippers
Beberapa peneliti telah mendemonstrasikan microgrippers atau
microtweezers. Satu tim peneliti telah mengembangkan mikromachined
polysilicon microgripper permukaan yang diaktifkan oleh comb-drive
elektrostatik
Jubah Mikro
Sebuah balok kantilever yang menyentuh dan memindai seluruh
permukaan sampel dapat mengukur topografi suatu permukaan. Instrumen
mikroskop gaya atom (AFM), membutuhkan struktur mekanis dengan
ujung tajam, konstanta pegas kecil, dan frekuensi resonansi tinggi.
Gambar 5. Skema microgripper dengan penggerak sisir
elektrostatis.