Anda di halaman 1dari 31

Teknologi Biomedis Hal 1 dari 62 Teknologi Biomedis Hal 2 dari 62

Sensor pasif adalah sensor yang tidak


memerlukan power supply pada saat bekerja.
Prinsip Sensor Outputnya timbul akibat rangsangan luar
Contoh: Termocouple, Piezoelectric sensors,
Pe n d a h u l u a n microphone
Ada tiga tipe devais yang dapat mentransformasi energi b. Aktif
dari satu bentuk ke bentuk lain, yaitu: transduser,
aktuator dan sensor. Sensor aktif adalah sensor yang memerlukan
power supply dari luar agar sensor tersebut
Transduser adalah suatu devais yang digunakan untuk dapat berfungsi. Signal output dapat timbul kalau
mengubah besaran dari suatu bentuk energi ke bentuk ada power supply yang diberikan pada sensor itu.
energi lainnya.
Contoh: Termistors, Chemo-resistors
Aktuator adalah suatu devais yang mengubah sinyal
listrik menjadi output besaran fisis 2. Sifat dasar dari sinyal outputnya
Sensor adalah suatu devais yang mengkonversi suatu a. Sensor Analog
parameter fisis menjadi besaran listrik, terjadi akibat Sensor analog adalah sensor yang outputnya
reaksi suatu rangsangan. berupa sinyal kontinu dari rangsangan yang
Rangsangan itu dapat berupa besaran: mekanik, panas, diberikan pada sensor tsb.
magnetik, listrik, optik, kimiawi, dll. b. Sensor Digital
Sensor diklasifikasi berdasarkan: Sensor digital adalah sensor yang outputnya
1. Keperluan power-supplynya bersifat diskrit.
a. Pasif atau menghasilkan power supply sendiri Contoh: Shaft encoder, contact switch

Sastra Kusuma Wijaya FISIKA FMPA UI Sastra Kusuma Wijaya FISIKA FMIPA UI
Teknologi Biomedis Hal 3 dari 62 Teknologi Biomedis Hal 4 dari 62

Signal digital lebih mudah, lebih baik untuk b. Percepatan


ditransmisikan dibandingkan dengan sinyal analog
c. Gaya
3. Modus Operasinya
Pe n g u k u r a n Pe r g e s e r a n
a. Modus Deflesi
Ukuran, bentuk, posisi dari organ dalam suatu jaringan
Sensor modus defleksi adalah sensor yang
tubuh sangat penting untuk dapat dibedakan apakah
bekerja berdasarkan deviasi dari kondisi awal
fungsi organ tersebut normal atau abnormal.
sensor tersebut. Penyimpangan yang terjadi
sebanding dengan rangsangan yang terjadi pada Sensor pergeseran dapat digunakan baik secara
sensor tsb. langsung maupun secara tak langsung dalam suatu
sistem pengukuran.
Contoh: Neraca pegas
Pengukuran langsung pada sensor pergeseran misalnya
b. Modus Null
digunakan untuk menentukan perubahan diameter
Sensor modus null adalah sensor yang pembuluh darah dan perubahan volume, atau bentuk
menggunakan alat pembanding dari sesuatu dari ruang / bilik jantung, atau lainnya.
besaran yang akan diukur.
Pengukuran tak langsung pada sensor pergeseran
Contoh: Neraca emas misalnya digunakan untuk megukur bergeraknya cairan
sampai ke klep jantung. Contoh: pergerakan diafragma
4. Sifat Mekanik dari benda yang diukur
mikrofon yang digunakan untuk mendeteksi pergerakan
a. Pergeseran jantung secara non-invasif.
i. Resistif sensor Beberapa tipe sensor pergeseran diantaranya adalah
ii. Kapasitif sensor sensor resistif, induktif, kapasitif, dan piezoelektrik.
iii. Induktif sensor

Sastra Kusuma Wijaya FISIKA FMIPA UI Sastra Kusuma Wijaya FISIKA FMIPA UI
Teknologi Biomedis Hal 5 dari 62 Teknologi Biomedis Hal 6 dari 62

S e n s o r Re s i s t i f Sedangkan untuk mengamati perubahan hambatan


biasanya menggunakan rangkaian jembatan
Sensor resistif mengkonversi besaran fisis yang terukur
Wheatstone.
menjadi sinyal listrik dengan cara menentukan
perubahan nilai hambatannya.
1. Potensiometer
Cara umum yang dilakukan untuk mengubah hambatan
Ada tiga tipe potensiometer yang dipakai untuk
adalah dengan melakukan deformasi material sensor
mengukur pergeseran, seperti ditunjukkan pada gambar
resistif tadi, contohnya Elastic resistive transducer,
berikut.
Strain gauge.
Resistansi beberapa sensor resistif yang populer
ditunjukkan pada tabel berikut ini.
Tipe Rentang hambatan
Strain gauge 120 Ω, 350 Ω, 3500 Ω
Load cells 350 Ω – 3500 Ω
Sensor tekanan 350 Ω – 3500 Ω • Gambar 1 Beberapa tipe potensiometer

Sensor kelembaban relatif 100 kΩ – 10 MΩ Potensiometer linear (gambar a) digunakan mengukur


RTD (resistance temperature 100 Ω, 1000 Ω pergeseran translasi dari 2 sampai 500mm.
devices) Potensiometer putar (gambar b) digunakan untuk
Thermistor 100 Ω – 10 MΩ mengukur pergeseran rotasi dengan range dari sekitar
100 hingga sekitar 500.

Sastra Kusuma Wijaya FISIKA FMIPA UI Sastra Kusuma Wijaya FISIKA FMIPA UI
Teknologi Biomedis Hal 7 dari 62 Teknologi Biomedis Hal 8 dari 62

Potensiometer dibuat dari campuran kawat terbuka, 2. Strain gauges


karbon-film, plastik-konduktan, atau material keramik.
Strain gauge adalah devais yang hambatannya berubah
Potensiometer dapat dieksitasi oleh tegangan DC atau
sebanding dengan strain-nya.
AC.
Strain gauge tersusun atas kawat atau foil halus dalam
Potensio ini menghasilkan output yang linear (pada
pola grid, ketika kawat tipis (misalnya: 25 μm)
0,001% dari skala penuh) sebagai fungsi dari
diregangkan dalam batas elastisitasnya, resistansi kawat
pergeseran.
itu berubah karena perubahan diameter, panjang, dan
Contoh: resistivitasnya.
Perubahan tegangan output dari potensiometer Grid ini diikat dengan lapisan tipis (dikenal sebagai
linear, jika transduser potensiometer itu mengalami carrier) yang dihubungkan langsung dengan specimen
pergeseran sebesar 20%. yang hendak diukur. Sehingga strain yang dialami oleh
specimen ditransfer langsung ke strain gauge.
Dengan menganggap arus yang mengalir pada
Hambatan nominal strain gauge yang tersedia di
potensiometer itu konstan, berdasarkan hukum
pasaran umumnya adalah 30 hingga 3000 Ω.
Ohm:
ΔV = I × ΔR
Perubahan hambatan ( ΔR ) sebanding dengan
perubahan pergeseran, sehingga perubahan
tegangan juga sebesar 20%.

Strain gages adalah suatu devais yang resistansinya


sebanding dengan perubahan strain. Strain gauge dapat

Sastra Kusuma Wijaya FISIKA FMIPA UI Sastra Kusuma Wijaya FISIKA FMIPA UI
Teknologi Biomedis Hal 9 dari 62 Teknologi Biomedis Hal 10 dari 62

digunakan untuk mengukur displacement yang sangat Δd ΔL


= −μ .
kecil, dalam orde nanometer. d L
Strain adalah perubahan kecil ( ΔL L) pada dimensi dari ΔR
Maka rasio perubahan hambatan dapat dinyatakan
objek akibat dari stress yang diberikan. R
ρL sebagai:
Perhitungan R dari sebuah kawat adalah: R =
ΔR ΔL Δρ
A = (1 + 2 μ ) +
Perubahan R terjadi akibat perubahan ρ (piezoresistive), R 
L ρ
N
dimensional effect piezoresistive effect
dan perubahan dimensi (L atau A) dapat dihitung
dengan mendifferensialkan hambatan R tsb, sehingga: Dari persamaan ini, suatu material dapat dinyatakan
ρ ρL L dari besaran faktor Gage-nya, G yaitu:
dR = dL − dA + dρ
A2 ΔR / R Δρ / ρ
A A G= = (1 + 2 μ ) +
dR dL dA d ρ ΔL / L ΔL / L
Artinya = − + atau jika variasi cukup
R L A ρ Faktor Gage dari berbagai material ditunjukkan pada
besar, dapat dinyatakan sebagai rasio perubahan tabel berikut.
hambatan, yaitu:
ΔR ΔL ΔA Δρ
= − +
R L A ρ
Dengan memperkenalkan besaran Poisson rasio µ, yaitu
hubungan antara perubahan diameter Δd dengan
perubahan panjang,

Sastra Kusuma Wijaya FISIKA FMIPA UI Sastra Kusuma Wijaya FISIKA FMIPA UI
Teknologi Biomedis Hal 11 dari 62 Teknologi Biomedis Hal 12 dari 62

Terlihat bahwa Gauge factor material semikonduktor


sekitar 50 sampai 70 kali lebih besar dibandingkan
dengan metal. Namun demikian pada semikonduktor
perlu diperhatikan kompensasi suhu.
Unbounded strain gage
• Gambar 2 Resistive strain gage (tipe unbonded) digunakan sebagai
Strain gages dapat diklasifikasikan sebagai unbonded transduser tekanan darah

dan bonded. Strain gage Unbonded adalah strain gage


yang bekerjanya tidak memerlukan tempat/wadah, Kawat-kawat ini dipasang dibawah tekanan antara
seperti ditunjukkan pada gambar berikut: frame dan armature yang bergerak. Jika tekanan
external lebih besar dari pada tekanan internalnya maka

Sastra Kusuma Wijaya FISIKA FMIPA UI Sastra Kusuma Wijaya FISIKA FMIPA UI
Teknologi Biomedis Hal 13 dari 62 Teknologi Biomedis Hal 14 dari 62

akan terjadi pergeseran pada diafragma sehingga strain • Gambar 3 Bonded strain-gage
gage tertarik dan hambatannya berubah.
Pada bounded strain-gage dikemas dengan kemasan
Sensor serkngkali digunakan untuk mengkonversi yang kokoh, namun murah dan bermassa kecil sehingga
tekanan darah dengan mengamati pergerakan diafragma dapat di-konfigurasi-kan dengan ukuran yang
kemudian didapatkan perubahan resistansi dan akhirnya bervariasi.
didapatkan signal listrik.
Bounded strain gage

Bonded strain-gage terbuat dari kawat metalik, etched


foil, vacuum-deposited film atau semikonduktor yang
di-semen-kan pada permukaan strain, seperti
ditunjukkan pada gambar berikut.

• Gambar 4 Terminologi pada bounded strain gage

Seringkali digunakan empat buah strain gage


dihubungkan dengan cara hubungan jembatan
wheatstone, dengan tujuan memperbaiki kualitas output
dibandingkan dengan hanya menggunakan satu buah
strain gage.

Sastra Kusuma Wijaya FISIKA FMIPA UI Sastra Kusuma Wijaya FISIKA FMIPA UI
Teknologi Biomedis Hal 15 dari 62 Teknologi Biomedis Hal 16 dari 62

Jembatan W heatstone ⎛ R3 ⎞ ⎛ R4 ⎞
Va = Vi ⎜ ⎟ dan V = V ⎜R +R ⎟
⎝ R2 + R3 ⎠
b i
Jembatan Wheatstone merupakan rangkaian paling ⎝ 1 4 ⎠
ideal untuk mengukur perubahan kecil dari hambatan.
Sehingga beda potensial antara kedua terminal a dan b
Rangkaiannya ditunjukkan pada gambar berikut.
adalah:
⎛ R3 R4 ⎞
Vo = Va − Vb = Vi ⎜ − ⎟
⎝ R2 + R3 R1 + R4 ⎠
atau:
Vo Va − Vb ⎛ R3 R4 ⎞
= =⎜ − ⎟
Vi Vi ⎝ R2 + R3 R1 + R4 ⎠
• Gambar 5 Rangkaian Jembatan Wheatstone atau:
R3 R4
R R −
Keadaan seimbang terjadi jika 1 = 4 , artinya beda Vo R2 R1
R2 R3 =
potensial yang terukur adalah Δvo = 0 V Vi ⎛ R3 ⎞⎛ R4 ⎞
⎜⎜1 + ⎟⎟⎜⎜1 + ⎟⎟
⎝ R2 ⎠⎝ R1 ⎠
Satu atau lebih hambatan pada jembatan Wheatstone
dapat digantikan dngan sensor resistif. Rangkaian Jembatan
Dari rangkaian Wheatstone tsb, tegangan di terminal a Seringkali banyak aplikasi rangkaian jembatan
dan b, masing masing adalah: menggunakan dua atau bahkan empat elemen hambatan

Sastra Kusuma Wijaya FISIKA FMIPA UI Sastra Kusuma Wijaya FISIKA FMIPA UI
Teknologi Biomedis Hal 17 dari 62 Teknologi Biomedis Hal 18 dari 62

yang bervariasi, seperti ditunjukkan pada gambar Metoda pendeteksian


berikut.
Variasi dari hambatan dapat dideteksi dengan dua
metode, yaitu:
a. metode null-balance
b. metoda deflection-balance.
Metode null-balance dilakukan dengan cara mengubah
keadaan tak seimbang menjadi keadaan setimbang,
yaitu dengan menggunakan variable resistor Rx sebagai
pengatur keseimbangan. Dengan mengetahui keadaan
awal dan akhir dari variable resistor itu dapat digunakan
untuk menentukan perubahan hambatan.
Metode deflection balance, pertama buat bridge dalam
Pada gambar ini, hambatan yang tetap (bukan sensor)
keadaan seimbang dengan memasang hambatan yang
dipilih bernilai sama dengan hambatan yang berubah
persis sama pada semua lengan bridge (termasuk
(sensor).
sensornya).
Sensitivitas jembatan adalah rasio perubahan tegangan
Jika ada perubahan hambatan pada sensor maka output
maksimum yang diharapkan terhadap tegangan
bridge tidak nol lagi, melainkan tegangan yang nilainya
eksitasinya. Misalnya tegangan eksitasi VB = 10 V, dan
sesuai dengan perubahan hambatan.
tegangan output maksimum dari rangkaian jembatan Vo
= 10 mV, maka sensitivitas-nya adalah 1 mV/V. Contoh penggunaan strain gauge ditunjukkan pada
plethysmography yang digunakan untuk mengukur

Sastra Kusuma Wijaya FISIKA FMIPA UI Sastra Kusuma Wijaya FISIKA FMIPA UI
Teknologi Biomedis Hal 19 dari 62 Teknologi Biomedis Hal 20 dari 62

aliran darah seperti ditunjukkan pada Gambar 6(a)


berikut ini.

SCXI 1520 8-channel universal


strain gauge input and SCXI 1314
terminal blocks

• Gambar 7 Contoh amplifier strain-gauge universal dari National Instruments

Sensor Induktif
Gambar 6 Strain gage elastic

Induktansi (L) dapat digunakan untuk mengukur
pergeseran, karena induktansi bergantung pada tiga
Contoh amplifier Strain-gauge universal dari National
parameter coil yaitu:
Instruments ditunjukkan pada gambar berikut.
L = n 2G μ

dengan n : jumlah gulungan


G : faktor bentuk geometri
µ : permeabilitas magnetik dari media

Sastra Kusuma Wijaya FISIKA FMIPA UI Sastra Kusuma Wijaya FISIKA FMIPA UI
Teknologi Biomedis Hal 21 dari 62 Teknologi Biomedis Hal 22 dari 62

Masing masing parameter ini bergantung pada Prinsipnya menggunakan perubahan induktansi
perubahan mekanik. ditimbulkan oleh perubahan faktor bentuk geometri dan
pergerakan inti besi didalam coil. Demikian pula pada
Kelebihan utama dari sensor induktif adalah tidak
sensor induktansi bersama yang menggunakan dua
terpengaruh oleh sifat dielektrik lingkungan. Namun
gulungan terpisah (gambar (b)).
tetap saja dipengaruhi oleh medan magnet luar yang
ditimbulkan oleh bahan yang bersifat magnet. Linier variable differential transformer (LVDT) secara
luas dipakai dalam penelitian physiologi dan klinik
Beberapa contoh induktif sensor ditunjukkan pada
yang digunakan untuk mengukur tekanan, pergeseran,
gambar berikut.
dan gaya.
Seperti pada gambar (c ), LVDT terdiri dari gulungan
utama (a-b) dan dua gulungan sekunder (c-e dan d-e)
yang dihubung secara seri. Coupling antara kedua
gulungan ini berubah karena gerakan inti yang memiliki
permeabilitas tinggi. Bentuk konstruksi LVDT
ditunjukkan pada gambar berikut.
• Gambar 8 Beberapa sensor induktif, (a) induktansi diri, (b) induktansi bersama,
(c) transformer differensial

Terlihat bahwa sistem induktansi bersama (b) dapat


menjadi sistem induktansi diri dengan cara terminal b-c
dihubungkan.
Metode variable-inductance menggunakan inti yang
begerak seperti terlihat pada gambar (a).

Sastra Kusuma Wijaya FISIKA FMIPA UI Sastra Kusuma Wijaya FISIKA FMIPA UI
Teknologi Biomedis Hal 23 dari 62 Teknologi Biomedis Hal 24 dari 62

Karakteristik linear dari LVDT memiliki daerah


cukupan yang besar. Perubahan sudut fasa sebesar 1800
ketika inti besi melewati seluruh posisi tengah
gulungan, dan saturasi pada bagian akhir.
Hubungan antara pergeseran inti dengan tegangan
outputnya ditunjukkan pada gambar berikut.

• Gambar 9 Konstruksi LVDT

Sedangkan penampang lintang LVDT ditunjukkan pada


gambar berikut.

Sastra Kusuma Wijaya FISIKA FMIPA UI Sastra Kusuma Wijaya FISIKA FMIPA UI
Teknologi Biomedis Hal 25 dari 62 Teknologi Biomedis Hal 26 dari 62

• Gambar 10 Karakteristik LVDT b. Resolusinya tak hingga


LVDT menggunakan gerakan core di dalam sensor Karena strukturnya bebas friksi, maka LVDT dapat
transformer differensial untuk mengukur perpindahan. mengukur sampai perubahan posisi yang sangat kecil.
Pada saaat posisi 0 ◊ tegangannya 0, pada saat bergerak Sifat ini dibatasi oleh pengkodisi sinyal dan peraga
kebawah output negatif sebaliknya ke atas outputnya outputnya
positif. c. Tahan lama
Terlihat pada gambar (a) bahwa pada saat x melewati Karena tak ada kontak antara inti dan kerangkanya,
titik nol akan terjadi perubahan fasa sebesar 180o maka tidak ada bagian yang membuat aus.
dengan tegangan output vo sebanding dengan
pergeseran/perpindahan core (x). Pada spesifikasi komersil LVDT memiliki sensitivitas
dengan orde antara 0.5-2 mV untuk pergeseran
Pengaturan koneksi lilitan sekunder dapat digunakan 0.001mm/V dari tegangan primer, dengan skala
untuk menghindari beda fasa ini setelah lewat titik pergeseran penuh dari 0.1-250mm, dan kelinearan
setimban, seperti ditunjukkan pada gambar (b) beda, 0.25%.
yaitu beda fasanya nol. Sehingga diperlukan
demodulator yang sensitif terhadap beda fasa Sensitivitas LVDT jauh lebih besar daripada sensitivitas
(demodulator penyearah biasa tak dapat digunakan). strain gage. Kelemahan dari LVDT adalah memerlukan
alat proses yang lebih kompleks.
Keuntungan menggunakan LVDT
a. Beroperasi tanpa gesekan Sensor Kapasitif

Untuk kondisi normal, tak ada kontak mekanik antara Kapasitif sensor adalah sensor yang bekerja
inti LVDT dengan gulungan kawat dan juga berdasarkan perubahan kapasitansi benda. Untuk
tempatnya. kapasitor plat sejajar, kapasitansinya adalah:

Sastra Kusuma Wijaya FISIKA FMIPA UI Sastra Kusuma Wijaya FISIKA FMIPA UI
Teknologi Biomedis Hal 27 dari 62 Teknologi Biomedis Hal 28 dari 62

A c. stabilitas cukup selang yang lama (<0.1 nm / 3 jam)


C = ε oε r
x d. dapat beroperasi dengan bandwidth hingga 3 kHz
Dengan ε o dan ε r adalah konstanta dielektrik vacuum
dan konstanta dielektrik benda pengisi kedua plat tsb. Sensor Piezoelektrik
Sedangkan A dan x adalah luas penampang dan jarak Efek piezoelektrik pertama kali ditemukan oleh Pierre
antar plat. and Jacques Curie pada tahun 1880. Sensor
Sensor kapasitif ini dapat memonitor pergeseran dengan Piezoelectric digunakan untuk mengukur pergerseran
mengamati perubahan dari tiga parameter tsb, yaitu fisiologi dan merekam suara jantung.
ε r (ada bahan yang melewati kedua plat kapasitor), A Bahan piezoelectric (Kuarsa, PZT/Plumbum zirconate
(ada pergeseran relatif dari plat kapasitor) dan x (ada Titanate, Barium Titanate, Garam Rochelle) akan
pergeseran jarak antar plat). menghasilkan potensial listrik ketika bahan itu diberi
Sensitivitas sensor kapasitif K dapat dicari dengan cara: gaya mekanik, dan sebaliknya tegangan listrik dapat
membuat perubahan formasi pada bahan tsb. PZT dapat
ΔC A di-mold dengan sembarang bentuk dan dapat di-
K= = −ε oε r 2
Δx x polarisasi-kan dengan medan listrik yang besar selama
proses curing.
Dari persamaan ini terlihat bahwa sensitivitas akan naik
apabila jarak antara plat berkurang.
Karakteristik sensor kapasitif:
a. resolusi tinggi ( < 0.1 nm)
b. rentang dinamiknya hingga 300 µm (akurasinya
berkurang pada pergeseran yang besar)

Sastra Kusuma Wijaya FISIKA FMIPA UI Sastra Kusuma Wijaya FISIKA FMIPA UI
Teknologi Biomedis Hal 29 dari 62 Teknologi Biomedis Hal 30 dari 62

• Gambar 11 Proses polarisasi pada kristal PZT Penggunaan bahan piezoelektrik:


Mula-mula asumsikan hambatan bocoran adalah tanpa a. pengukuran pergeseran
batas. Kemudian, total muatan induksi q berbanding b. pengukuran gelombang bunyi (misalnya
lurus dengan gaya, F yang diberikan pada benda tsb, phonocardiography, suara Korotkoff),
yaitu:
q = kF

dengan k adalah konstanta piezoelectric dalam C/N.


Untuk sistem dengan kapasitor plat sejajar, perubahan
tegangan didapat adalah muatan, q dibagi dengan
kapasitansi, C. Sehingga diperoleh:
kF kFx
Vo = =
C ε oε r A
Nilai k = 2.3 pC/N untuk kuarsa dan
k = 140 pC/N untuk Barium Titanat (BaTiO3)
Untuk bahan piezoelectrik dengan luas, A = 1 cm2 dan • Gambar 12 Beberapa metoda pengukuran pada piezoelektrik
ketebalan, d = 1 mm yang diaplikasikan gaya hingga 10
gf (0.98 N), akan menghasilkan tegangan sebesar 0.23 Dengan menganggap kristal piezoelektrik sebagai
mV dan 14 mV masing-masing untuk kuarsa kristal dan generator muatan yang dinyatakan sebagai:
barium titanat.
q = Kx

Sastra Kusuma Wijaya FISIKA FMIPA UI Sastra Kusuma Wijaya FISIKA FMIPA UI
Teknologi Biomedis Hal 31 dari 62 Teknologi Biomedis Hal 32 dari 62

dengan K : konstanta pembanding yang bergantung


pada bahan, Current

x : defleksi.

• Gambar 14 Pemodelan sederhana dari piezoelektrik

Dari pemodelan ini terlihat bahwa is = iC + iR , sehingga


1
Ra tegangan outputnya menjadi Vo = VC = ∫ iC dt atau:
C
⎛ dV ⎞ dx V
• Gambar 13 Pemodelan pada piezoelektrik jika ada defleksi sebesar x iC = is − iR = C ⎜ o ⎟ = K − o
⎝ dt ⎠ dt R
Bahan piezoelektrik itu diganti dengan sumber arus, Fungsi transfer (output/input) dari piezoelektrik adalah:
dq dx
yaitu dari persamaan q = Kx , menjadi is = =K . Vo ( jω ) K s jωτ
dt dt =
Sehingga pemodelan itu dapat diganti menjadi: X ( jω ) jωτ + 1
dengan C = Cs + Cc + Ca dengan K s = K C , sensitivitas dinyatakan dalam V/m

R=
Ra Rs
≈ Ra τ = RC , konstanta waktu
Ra + Rs
Responsenya terhadap step input ditunjukkan pada
gambar berikut:

Sastra Kusuma Wijaya FISIKA FMIPA UI Sastra Kusuma Wijaya FISIKA FMIPA UI
Teknologi Biomedis Hal 33 dari 62 Teknologi Biomedis Hal 34 dari 62

• Gambar 16 Dua metal tak sejenis jika dipanaskan akan timbul tegangan Seebeck
• Gambar 15 Response piezoelektrik terhadap pergeseran step
Untuk beda suhu yang kecil, beda potensial Seebeck
Sensor Suhu memiliki sebenarnya tidak linear, namun jika
digunakan pendekatan linear, maka dapat dinyatakan
Ter mocouple sebagai: ΔeAB = αΔT
Termocouple didasari adanya beda potensial (GGL) Bentuk umumnya, tegangan Seebeck sebagai fungsi
yang timbul pada dua kawat yang berbeda. Ada dua dari suhu dinyatakan secara empiris sebagai polinomial
efek yang terjadi di termocouple, yaitu: dari suhu:
a. Efek Seebeck E = aT + 12 bT 2 + "
b. Gradien suhu diantara kedua kawat Jika tegangan Seebeck di-differensialkan akan
Efek Seebeck tejadi jika dua kawat tak sejenis diperoleh besaran α , Koefisien Seebeck atau
dipanaskan akan timbul GGL sebagai fungsi dari suhu Sensitivitas termoelektrik:
dan sifat-sifat bahan dari kedua metal tadi. dE
α= = a + bT + "
dT

Sastra Kusuma Wijaya FISIKA FMIPA UI Sastra Kusuma Wijaya FISIKA FMIPA UI
Teknologi Biomedis Hal 35 dari 62 Teknologi Biomedis Hal 36 dari 62

Secara umum rentang dari α adalah 6,5 – 80 μV o C . (d) menunjukkan hukum suhu antara
Rangkaian termocouple ditunjukkan pada gambar Untuk menggunakan termocouple perlu diperhatikan
berikut. konektor alat ukurnya, hal ini karena

• Gambar 17 Rangkaian Termocouple (A,B dan C adalah metal yang berbeda)

Gambar (a) menunjukkan tegangan Peltier


• Gambar 18 Cara pengkabelan Termocouple dengan alat ukur
(b) menunjukkan hukum rangkaian homogen
(c) menunjukkan hukum metal antara Penggunaan suhu acuan pada termocouple tipe-T
(intermediate) (tembaga-konstantan) ditunjukkan pada gambar berikut
ini.

Sastra Kusuma Wijaya FISIKA FMIPA UI Sastra Kusuma Wijaya FISIKA FMIPA UI
Teknologi Biomedis Hal 37 dari 62 Teknologi Biomedis Hal 38 dari 62

• Gambar 20 Koreksi tegangan pada terminal voltmeter

• Gambar 19 Penggunaan kompensasi dengan suhu acuan (0 C)

Namun untuk termocouple yang menggunakan bahan


yang berbeda dengan bahan konektor voltmeter,
misalnya termocouple besi-konstantan (tipe - J ), perlu
menggunakan blok isotermal, untuk mengkoreksi
tegangan yang timbul di antara kedua terminal • Gambar 21 Contoh Koreksi termocouple
voltmeter seperti ditunjukkan pada gambar berikut.
Suhu acuan juga bisa dilakukan dengan menggunakan
suhu tertentu yang bukan 0 oC, melainkan suhu
sebarang seperti ditunjukkan pada gmbar berikut.

Sastra Kusuma Wijaya FISIKA FMIPA UI Sastra Kusuma Wijaya FISIKA FMIPA UI
Teknologi Biomedis Hal 39 dari 62 Teknologi Biomedis Hal 40 dari 62

Beberapa tipe termocouple yang biasa digunakan


ditunjukkan pada tabel berikut.
• Tabel 1 Contoh termocouple umum

Thermocouple Conductors – Positive Conductors – Negative


Type
B Platinum-30% rhodium Platinum-6% rhodium
E Nickel-chromium alloy Copper-nickel alloy
• Gambar 22 Suhu acuan tanpa wadah es
J Iron Copper-nickel alloy
K Nickel-chromium alloy Nickel-aluminum alloy
Keuntungan dan kerugian penggunaan termokopel
N Nickel-chromium-silicon Nickel-silicon-magnesium
sebagai sensor suhu. alloy alloy
R Platinum-13% rhodium Platinum
Keuntungan Kerugian S Platinum-10% rhodium Platinum
Tidak perlu sumber tegangan output rendah T Copper Copper-nickel alloy

(perubahannya juga Untuk mempertinggi sensitivitas dapat dilakukan


rendah) dengan memasangnya beberapa buah termocouple
Murah Perlu sensor suhu lainnya secara seri, sehingga:
Rentangnya lebar Tidak stabil Etotal = ∑ Ei
i
Punya banyak bentuk dan Akurasi bergantung
ukuran (form factor) berbeda-beda, bergantung Contoh pengkondisi sinyal termocouple yang dibuat
pada besaran lain. oleh National Instruments

Sastra Kusuma Wijaya FISIKA FMIPA UI Sastra Kusuma Wijaya FISIKA FMIPA UI
Teknologi Biomedis Hal 41 dari 62 Teknologi Biomedis Hal 42 dari 62

Untuk mengukur suhu RTD itu disusun dengan


konfigurasi jembatan Wheatstone, seperti ditunjukkan
pada gambar berikut.

SCXI 1102 32-channel universal

TD
R
strain gauge input and SCXI 1300
terminal blocks

• Gambar 24 Cara pemasangan RTD


• Gambar 23 Contoh beberapa pengkondisi sinyal termocouple

RTD lebih linear dibandingkan dengan termocouple,


namun masih perlu curve-fitting mengikuti persamaan
Callendar-Van Dusen sebagai:
Resistance Temperature Detector (RTD)
⎡ ⎛ T ⎞⎛ T ⎞ ⎛ T ⎞ ⎛ T ⎞⎤
3
Seperti diketahui bahwa resistivitas dari metal RT = Ro + Roα ⎢T − δ ⎜ − 1⎟⎜ ⎟−β ⎜ − 1⎟ ⎜ ⎟⎥
bergantung pada suhu, sehingga dapat digunakan ⎣ ⎝ 100 ⎠⎝ 100 ⎠ ⎝ 100 ⎠ ⎝ 100 ⎠ ⎦
sebagai resistansi metal dapat digunakan sebagai
detektor suhu.
dengan RT : hambatan pada suhu T
Bahan umum yang digunakan adalah platina, dengan
hambatan normalnya pada suhu 0 oC adalah sekitar 100 Ro : hambatan pada suhu 0 oC
– 1000 Ω . Seringkali detektor ini dikenal sebagai Pt- α : koefisien suhu pada T = 0 oC
100, atau Pt-1000.
δ : konstanta

Sastra Kusuma Wijaya FISIKA FMIPA UI Sastra Kusuma Wijaya FISIKA FMIPA UI
Teknologi Biomedis Hal 43 dari 62 Teknologi Biomedis Hal 44 dari 62

β : konstanta, β =0 untuk T > 0 oC, dan Termocouple dapat digunakan untuk berbagai
β =0,11 untuk T < 0 C (Pt)
o
keperluan karena rentangnya sangat besar, sedangkan
RTD sangat stabil namun termistor sangat sensitif.
Sumber kesalahan pada RTD

a. Self-heating
Terjadi pada saat disipasi daya masuk ke lingkungan
lebih kecil dibandingkan dengan daya yang
dihasilkan oleh RTD
b. Thermal-shunting
Perubahan hasil pengukuran suhu akibat
memasukkan transduser ke dalam sistem (RTD relatif
besar dibandingkan dengan sistem yang hendak
diukur suhunya). Kurva karakteristik termistor mirip dengan persamaan
c. Thermal EMF Steinhart-Hart yaitu:
1
= A + B ln R + C ( ln R )
3
Koneksi Pt-Cu yang terbuat pada RTD dan alat ukur
mengakibatkan offset tegangan termal T
dengan A, B dan C masing-masing adalah konstanta
Ter mistor curve-fitting. Sedangkan T dan R masing-masing
Termistor adalah hambatan yang sensitif terhadap adalah suhu dalam kelvin dan hambatan dalam ohm.
variasi suhu, terbuat dari bahan semikonduktor. Keuntungan dan kerugian penggunaan termokopel
sebagai sensor suhu.

Sastra Kusuma Wijaya FISIKA FMIPA UI Sastra Kusuma Wijaya FISIKA FMIPA UI
Teknologi Biomedis Hal 45 dari 62 Teknologi Biomedis Hal 46 dari 62

Keuntungan Kerugian Sebagai ringkasan, karakteristik dari berbagai sensor


suhu adalah sbb:
Sangat akurat (0.01 OC) Relatif baru, standar
bergantung pada vendor
Stabil Opsi pengepakan tidak
banyak (ada epoxy bead)
Sensitivitasnya bagus Perlu sumber arus
Low thermal mass Æ Self heating
responnya cepat.

Sensor IC (LM35, DS ....) 12μm dia.

Sensor IC terbuat dari bahan semikonduktor, beroperasi


berdasarkan karakteristik hubungan PN pada dioda/
transistor. Umumnya sudah terintegrasi dengan
fragile
rangkaian linearisasi pada chip sensor IC tsb, sehingga
karakteristiknya sangat linear. Relatif dengan ketelitian • Gambar 25 Beberapa sifat dari sensor suhu
yang memadai (0.5 oC) dan mudah di-interface-kan
dengan rangkaian mikrokontroller. Ter morece ptor

Namun rentangnya terbatas, perlu power-supply, dan Termoreceptor adalah sel yang peka terhadap
self heating. rangsangan panas dan bereaksi jika ada rangsangan
energi panas.

Sastra Kusuma Wijaya FISIKA FMIPA UI Sastra Kusuma Wijaya FISIKA FMIPA UI
Teknologi Biomedis Hal 47 dari 62 Teknologi Biomedis Hal 48 dari 62

Pengelompokan selanjutnya adalah sebagian dari Sensor Optis


steady-state receptor dijadikan sebagai detektor panas
Metoda optik merupakan metode yang paling tua dan
(hot detector) yang tugasnya beraksi terhadap
merupakan teknik terbaik untuk analisa biokimia.
temperatur tinggi, dan sebagian lagi dijadikan sebagai
Instrumentasi untuk pengukuran optis umumnya berisi
detektor dingin (cold detector) yang bereaksi terhadap
sumber cahaya yang dipakai untuk mengarahkan
temperatur rendah.
cahaya ini pada beberapa modulating agen, dan
Densitas detector dingin didalam kulit biasanya lebih photodetektor untuk prosesing signal optik.
tinggi daripada densitas detektor panas.
Bagian utama dari sensor optis adalah komponen
Experiment steady-state detektor pada binatang modulasi yang berinteraksi dengan analit dengan radiasi
menunjukkan bahwa detektor relatif non aktif pada optik agar memperoleh informasi biokimia.
temperatur normal kulit dan mereka mulai membakar
Sensor optik biasanya didasari pada fiber optik atau
impuls syaraf ketika temperatur dinaikkan pada suhu
pandu-gelombang (waveguide) planar. Umumnya,
tertentu.
terdapat tiga perbedaan metode untuk kuantisasi sensor
optik pada permukaan:
Pe n g u k u r a n O p t i s
a. Analit yang langsung mempengaruhi sifat optis
Sistem optik dipakai secara luas pada diagnosa medis,
pandu-gelombang.
yang paling umum digunakan dalam lab kimia-klinik,
teknisi menganalisa sampel darah dan jaringan lain b. Fiber optik digunakan sebagai tranduser untuk
tubuh. Instrument optik juga digunakan pada memandu cahaya menuju remote sample dan
catheterisasi cardiac untuk mengukur kejenuhan oxigen kemudian cahaya akan kembali lagi dari sample
didalam hemoglobin dan mengukur cardiac output kepada sistem pendeteksi.
c. Indikator atau bahan kimia ditempatkan di dalam,
atau di atas, bahan polimerik di dekat ujung dari

Sastra Kusuma Wijaya FISIKA FMIPA UI Sastra Kusuma Wijaya FISIKA FMIPA UI
Teknologi Biomedis Hal 49 dari 62 Teknologi Biomedis Hal 50 dari 62

fiber optik digunakan sebagai mediator untuk dalam tingkat energi elektron,m secara kolektif dikenal
menghasilkan signal tampak. sebagai sumber luminescent
Energi foton, E berbanding terbalik dengan panjang
Tr a n s d u s e r E l e k t r o m a g n e t i c
gelombang, sebagai:
Transduse EM ini mengubah energi EM menjadi energi
hc
besaran listrik, seperti arus atau tegangan listrik. E= = hf
λ
Beberapa tipe detektor EM
dengan h, c dan λ masing-masing adalah konstanta
a. photo detektor Planck, kecepatan cahaya dan panjang gelombang
b. photocell Sumber termal dapat didekati secara ideal oleh radiator
c. photodioda benda hitam.
d. phototransistor Radiator benda hitam adalah sebuah benda yang dapat
menyerap semua radiasi datang dan dapat
e. CCD (Charge – Couple Device) memancarkan radiasi sebesar mungkin.
f. Tabung Photomultiplifier Dalam skala laboratorium, radioator benda hitam dapat
Sumber radiasi EM dibuat dari kotak yang di-cat hitam bagian dalamnya,
ada lobang kecil di salah satu kotak tsb. Kotak itu
Semua sumber radiasi EM yang berasal dari dipanaskan dan dari lubang itu dapat dianggap sebagai
muatan yang dipercepat, misalnya osilasi atau dari sumber radiasi benda hitam.
partikel bermuatan
Daya yang dipancarkan oleh radiasi benda hitam
Muatan yang dipercepat itu dapat terjadi dari energi mengikuti hukum radiasi hukum Stefan-Blotzmann:
termal (misalnya sumber incandescent) atau muatan

Sastra Kusuma Wijaya FISIKA FMIPA UI Sastra Kusuma Wijaya FISIKA FMIPA UI
Teknologi Biomedis Hal 51 dari 62 Teknologi Biomedis Hal 52 dari 62

Pr = eσ AT 4 Radiasi yang dipancarkan akan maksimum pada suatu


panjang gelombang tertentu, λm
dengan e : emisitas bahan, nilainya antara 0 – 1
2898
σ : konstanta Stefan = 5.6703 ×10-8 (W/m 2 )K 4 λm = ( μm)
T
A : luas penampang Panjang gelombang maksimum bergeser untuk
T : suhu benda berbagai suhu, dikenal sebagai hukum pergeseran
Wien.
Pr : daya yang diradiasikan, dalam watt
Blackbody Radiators

Karena benda itu berada dalam lingkungan, maka daya 1.2E-31

netto yang dipancarkan suatu benda adalah:


1E-31

Pnet = eσ A(T − To ) 4 4

Spectral Radiant Exitance (W m-2 m-1)


8E-32

dengan To : suhu lingkungan (dalam kelvin)


Melambda, 2500
6E-32
Melambda, 3000

Daya yang dipancarkan untuk satu panjang gelombang Melambda, 4000


Melambda, 5000

tertentu adalah: 4E-32 Melambda, 6000

ε C1 2E-32

Wλ =
λ 5 ⎛⎜ e − 1⎞⎟
C2
λT 0
0 500 1000 1500 2000 2500 3000

⎝ ⎠
-2E-32

4 2
dengan C1 = 3.74x104 (W μm /cm )
Wavelength (nm)

C2 = 1.44x104 (μm K)

Sastra Kusuma Wijaya FISIKA FMIPA UI Sastra Kusuma Wijaya FISIKA FMIPA UI
Teknologi Biomedis Hal 53 dari 62 Teknologi Biomedis Hal 54 dari 62

Untuk temperatur yang tinggi, λm, panjang gelombang • Gambar 26 Spektrum radiasi dari berbagai sumber cahaya
maksimum dari kurva radiant, bergeser ke panjang
b. Light-Emitting Dioda (LED)
gelombang yang lebih pendek.
LED adalah sebuah sambungan antara semikonduktor
Sumber Cahaya Real tipe n dan semikonduktor tipe p. Penggabungan ulang
a. Lampu Tungsten pasangan hole dan elektron yang diinjeksikan
menyebabkan radiasi memancar. Karena silikon
Cahaya dari lampu tungsten adalah yang paling umum memiliki energi gap sebesar 1,1 eV. Sedangkan GaAs
digunakan sebagai sumber radiasi. Untuk λ < 1 µm, memiliki energi gap yang sedikit lebih tinggi.
tungsten memiliki emisivitas sekitar 0.4.
GaP memiliki band gap 2,26 eV, memerlukan tegangan
Filamen biasanya digulung untuk menambah emisivitas bias-maju yang lebih besar daripada dioda silikon. LED
dan effesiensinya. Untuk penggunaan dalam alat GaAs dibuat menggunakan fosfor khusus yang
instrument, gulungan pendek lurus mungkin disusun menyerap dua foton pada satu panjang gelombang dan
secara kompak, hampir mirip bujur sangkar dalam satu memancarkan foton tunggal pada panjang gelombang
wadah. yang lebih pendek.
Spektrum radiasi output relatif dari berbagai sumber
radiasi cahaya diperlihatkan pada gambar berikut.

Sastra Kusuma Wijaya FISIKA FMIPA UI Sastra Kusuma Wijaya FISIKA FMIPA UI
Teknologi Biomedis Hal 55 dari 62 Teknologi Biomedis Hal 56 dari 62

densitas arus sekitar 103A/ cm2 atau lebih, kemudian


juga mengharuskan operasi pulsa (10-100 ns) dan
bukannya kontinu.
Laser yang paling umum digunakan adalah laser He-Ne
dengan panjang gelombang 633 nm pada daerah cahaya
merah. Laser dioperasikan oleh tekanan rendah serupa
arc neon sign dan memancarkan daya sampai 100 mW.
Cermin pemantul parsial pada masing-masing akhir
• Gambar 27 Karakteristik dioda p-n menyediakan rongga resonan optis.

c. Laser Argon laser dapat memberikan daya kontinu yang


paling besar (1-15 W) pada bagian cahaya tampak pada
Laser (Light Amplification by stimulated Emission of 515 nm. Output sebesar ini memmungkinkan
Radiation) dapat terjadi pada GaAs. Pada permukaan fotokoagulan (pembekuan oleh cahaya) dari pembuluh
terakhir yang tegak lurus terhadap p-n junction darah dalam mata pasien yang menderita diabetes
dihaluskan untuk dijadikan cermin parsial, dengan retinopathy.
begitu akan membentuk rongga resonansi optik. Arus
maju memompa populasi besar dari molekul untuk Sedangkan laser CO2 dapat menghasilkan daya sebesar
menghasilkan tingkatan energi. 50-500 W output power gelombang pulsa. Dan
digunakan untuk memotong plastik, karet, dan logam
Peristiwa radiasi pada molekul menyebabkan tambahan sampai dengan ketebalan 1 cm.
produksi radiasi yang sifatnya serupa. Output laser
bersifat monochromatik tinggi, dan koheren. Namun, Penggunaan laser dalam bidang medical yang paling
laser p-n junction tidak digunakan secara luas karena penting adalah laser yang memiliki tujuan untuk
beroperasi pada daerah inframerah dan membutuhkan memperbaiki air mata (tear) didalam retina. Ciri khas
photocoagulator menggunakan laser pulsa merah (ruby

Sastra Kusuma Wijaya FISIKA FMIPA UI Sastra Kusuma Wijaya FISIKA FMIPA UI
Teknologi Biomedis Hal 57 dari 62 Teknologi Biomedis Hal 58 dari 62

laser) dengan output yang dapat dikontrol. Sinar laser kenaikan temperatur yang berubah dipolarisasi dari
ini difokuskan di dalam retina. Panas didisipasikan oleh kristal, yang menghasilkan arus yang proporsional
pulsa dari pembakaran, yang mana akan dengan perubahan temperatur.
menyembuhkan, mengembangkan jaringan untuk
memperbaiki fokus cornea mata. Sensor Kuantum

Sensor kuantum menyerap energi dari individual foton


Sensor Radiasi
dan menggunakannya untuk melepaskan elektron dari
Sensor radiasi dapat diklasifikasikan menjadi dua material sensor. Contoh sensor kuantum adalah mata,
kategori umum yaitu Thermal sensor dan kuantum phototube, photodioda, dan emulsi photographic.
sensor.
Sensor itu hanya sensitif pada panjang gelombang
tertentu saja.
Sensor Ter mal

Termal sensor menyerap radiasi dan mengubahnya Sensor Photoemisi


menjadi panas. Dengan demikian akan menyebabkan
Photoemissive sensor contohnya adalah phototube yang
kenaikan temperatur didalam sensor. Ciri khas dari
memiliki photocatode dilapisi dengan metal alkali. Jika
thermal sensor adalah biasanya menggunakan
energi foton dari energi yang datang cukup untuk
thermistor dan thermocouple.
mengalahkan fungsi kerja dari photocathode, kemudian
Sensitivitas dari sensor tidak berubah dengan panjang energi ikat electron pada photocathoda dapat
gelombang, dan sensor memiliki respon yang lambat. dikalahkan, akan memancarkan elektron.
Perubahan pada keluarannya hanya dipengaruhi oleh
Elektron akan berpindah kepada kutub yang labih
temperatur lingkungan sekelilingnya.
positif dan arus dapat diukur oleh sirkuit luar. Energi
Pyrometer sensor menyerap radiasi dan foton dibawah 1 eV tidak cukup untuk mengalahkan
mengkonversinya kedalam bentuk panas. Penjumlahan

Sastra Kusuma Wijaya FISIKA FMIPA UI Sastra Kusuma Wijaya FISIKA FMIPA UI
Teknologi Biomedis Hal 59 dari 62 Teknologi Biomedis Hal 60 dari 62

fungsi kerja, sehingga panjang gelombang lebih dari Photomultiplier adalah photodetektor yang paling
1200 nm tidak dapat terdeteksi. sensitif. Ketika mereka dalam keadaan dingin mereka
dapat menghitung foton individu. Mata hampir sama
sensitifnya; pada kondisi yang sangat baik, dapat
mendeteksi sembilan foton yang datang dalam area
kecil sampai dengan 100 ms.

Sel Photokonduktif

Photoresistor adalah bentuk simpel dari photoelectric


sensor. Material dari photosensitive cristal adalah
seperti CdS atau PbS yang disisipkan pada subtrat
keramik, dan elektroda ohmic dipasangkan.
Jika foton dari radiasi yang datang memiliki energi
Gambar 2.21 yang cukup untuk melompati pita kosong (band gap),
pasangan hole-elektron akan terbentuk karena elektron
Photomultiplier yang ditunjukkan pada gambar adalah diangkat dari pita valensi menuju pita konduksi.
phototube yang dikombinasikan dengan elektron
multiplier. Photo junction Sensor

Masing-masing electron yang dipercepat memukul Photo junction sensor terbentuk dari bentuk p-n
dinode pertama dengan energi yang cukup untuk junction dan biasanya terbuat dari silikon. Jika foton
membebaskan beberapa elektron oleh emisi yang mendapat energi yang cukup untuk melompati band
kedua. gap, pasangan hole-elektron yang dihasilkan merubah
karakteritistik junction. seperti terlihat pada gambar.

Sastra Kusuma Wijaya FISIKA FMIPA UI Sastra Kusuma Wijaya FISIKA FMIPA UI
Teknologi Biomedis Hal 61 dari 62 Teknologi Biomedis Hal 62 dari 62

Jika junction dibias mundur, arus reverse photo akan


mengalir dari katoda menuju anoda dengan kenaikan
yang linear terhadap kenaikan radiasi.
Respon atau tanggapan dari photodiode adalah sekitar 1
µs. pada phototransistor, ujungnya tidak disambung,
dan jumlah arus dari radiasi yang dihasilkan dikalikan
oleh penguatan arus (beta) dari transistor untuk
menghasilkan arus yang besar dari colektor ke emitor.
Karakteristik arus radiasi yang dihasilkan tidak linear
sebesar 2% karena variasi dari beta dengan arus
kolektor. Respon timenya adalah sekitar 10 µs.
Silikon p-n junction biasanya dibuat atas transistor Photovoltaic Sensor
photo darlington, Photo FETs, transistor Photo
Unijunction, dan Photo SCR. Silikon p-n junction yang sama dapat digunakan pada
model Photovoltaic. Gambar di atas mempelihatkan
sirkuit terbuka ketika junction menerima radiasi.
Kenaikan tegangan adalah logaritmik dari 100 sampai
500 mV saat input radiasi naik dengan faktor 104. ini
adalah prinsip yang digunakan oleh solar sel yang
digunakan untuk mengkonversi langsung radiasi
matahari menjadi daya listrik.

Sastra Kusuma Wijaya FISIKA FMIPA UI Sastra Kusuma Wijaya FISIKA FMIPA UI

Anda mungkin juga menyukai