Mahasiswa mampu menjelaskan dalam bentuk presentasi secara mandiri dari artikel yang

telah disediakan pada section referensi.

METODE PENGERJAAN TUGAS
1. Tersedia artikel pada section referensi dengan nama S&A - 1 - 10;
2. Mendownload artikel sesuai dengan nomor absen pada section Referensi;
2. Menyusun presentasi dalam power point secara individual dengan minimal 10 slide;
3. Mempresentasikan PPT secara individual yang telah dibuat dari bahan artikel yang telah
dipelajari;
Kumpulkan presentasi yang telah di buat paling lambat tgl 11 Januari 2020, Pukul 11.00 A.M

1. PENDAHULUAN
2. RANCANG BANGUN / DESAIN (SKEMA)
3. CARA KERJA
 SKEMA OPERASIONAL
 ESTIMASI TINGKAT KEKAKUAN
4. KARAKTERISASI MATERIAL
5. KESIMPULAN

Page 1 of 11
 ABSTRAK
Motor cacing mikromachin yang baru telah dirancang, dibuat dan dikarakterisasi untuk
aplikasi microassembly. Untuk menerapkan gerakan inchworm, sepasang aktuator
termoelastik dirancang untuk memiliki mekanisme lima-linkage untuk gerakan dua dimensi
diarah tangensial dan normal. Aktuator termoelastik terdiri dari dua batang amplifikasi dan
dua batang kopling dengan empat pegas engsel. Tip bercabang yang terletak di puncak tautan
digunakan untuk menyesuaikan gigi massa antar-jemput untuk terjemahan
tangensialnya. Ekspansi termal dari batang aktif menghasilkan perpindahan aktuator, yang
kemudian diubah menjadi penekuk engsel aktif yang akhirnya diperkuat oleh bilah
amplifikasi. Aktuator inchworm melakukan operasi pada gerakan langkah 50 μm dengan
penguncian oleh pemasangan gigi dan kekuatan pendorong 50 μN untuk toleransi 0,2 μm.

1. PENDAHULUAN
Pada aplikasi pemasangan mesin mikro sebuah aktuator harus bisa menerjemahkan benda
kerja kecil sesuai kekuatan tanpa menjatuhkan benda kerja selama beroperasi. Microchuck
membutuhkan kekuatan yang lebih besar dari beberapa puluhan μN untuk menggenggam
benda kerja dan satu pukulan lebih lama dari 50 μm. Disarankan bahwa driver sisir
elektrostatik dan motor cacing inci yang dapat bertindak sebagai aktuator untuk
menerjemahkan ketelitian tinggi dan panjang stroke sistem. Kekuatan penggerak elektrostatik
umumnya kecil sehingga tidak bisa menggunakan tegangan yang tinggi untuk melakukan
perpindahan yang besar. Baru-baru ini, sebuah mesin mikro linear yang menggunakan aktuasi
elektrotermal berbengkok, menunjukkan jarak mengemudi yang cukup tetapi pada sepasang
penggerak balok berbengkok hanya dalam satu arah. Pada akhirnya, sebuah mesin mikro
motor cacing telah dirancang, dibuat kemudian dikarakterisasikan untuk aplikasi pemasangan
mikro yang berfokus pada kekuatan besar, panjang stroke, dan kondisi pergerakan dua arah.

2. PERANCANGAN SEBUAH MESIN CACING

2.1 Tautan aktuator untuk gerakan inchworm
Untuk menerapkan gerakan inchworm, sepasang aktuator termoelastik dicarang untuk
memiliki gerakan dua dimensi dalam arah normal dan bersinggungan. Desain yang
diusulkan dari motor inchworm terdiri dari satu massa antar jemput,yang ditangguhkan
oleh empat pegas daun dan sepasang aktuator lima tautan.

Page 2 of 11
 Motor inchworm menyediakan mekanisme tautan dengan gerakan kebebasan dua derajat
yang menggunakan dua engsel aktif, dua engsel bahu, dan satu engsel leher. Engsel leher
tambahan dan tip garpu digunakan untuk pegangan massa shuttle.

Ketika tegangan input dipasang ke sebuah aktuator, maka aliran arus listrik yang
diinduksikan meningkat, sehingga suhu dua batang dan dua engsel menjadi aktif.
Perluasan termal pada batang aktif ini akan menghasilkan perpindahan yang akhirnya
memunculkan rotasi bilah amplifikasi.

Gambar 1. Skema motor cacing inch yang diusulkan dengan termoelastik aktuator: (a)
tampilan keseluruhan motor inchworm; (B) lima-linkage mekanisme aktuasi dua dimensi; (c)
struktur engsel dengan offset antara bar aktif untuk gerakan rotasi.

2.2 Skema gerakan unit step

Sepasang aktuator tautan harus memiliki dua derajat gerakan kebebasan dari arah
tangensial dan normal, yang memungkinkan untuk terus menggerakkan antar-jemput
massa dengan pengulangan selama 5 kali seperti yang ditunjukkan oleh gambar 2 (a)
sampai (e). Jika dua batang amplifikasi berputar dalam fase, ujung bercabang akan
bergerak ke kiri tanpa massa antar jemput atau ke kanan dengan massa antar jemput (ke
posisi semula) seperti yang ditunjukkan pada gambar. 2 (b), (d), dan (f). Sebaliknya, jika
dua batang amplifikasi berputar keluar fase maka ujung yang bercabang akan bergerak
kedalam dan keluar untuk melepaskan massa pesawat ulang-alik seperti yang ditunjukan
pada gambar 2 (c) dan (e).
Sepasang aktuator mampu melakukan 4 jenis gerakan seperti memasang ujung tip
bercabang, mengemudi garis lurus dari massa pesawat ulang alik, melepaskan massa
pesawat ulang alik, dan kembali ke posisi semula.

Page 3 of 11
Gambar 3. Skema aktuasi cacing kremi dengan keadaan tip bercabang ; (B) pemasangan
ujung bercabang ke massa shuttle oleh aktuator A; (c) mengemudi ke kanan oleh
aktuator A; (D) pas oleh aktuator B; (e) mengekstraksi dan kembali ke keadaan awal
dengan aktuator A, dan mengemudi ke kanan oleh aktuator B.

Dengan cara yang ditunjukkan oleh gambar diatas, maka dalam satu siklus akan
menghasilkan panjang stroke yang lebih besar dan mengumpulkan banyak gerakan.
Sementara itu, aktuator dapat bergerak mundur ketika urutan sinyal yang diterapkan
dibalik. Untuk mengamankan aktuasi tanpa tergelincir, maka struktur pada roda gigi
dipasang pada antarmuka antara massa pesawat ulang alik dan pada ujung yang
bercabang seperti yang ditunjukkan pada gambar 4(a). Selain itu, gigi dapat mengurangu
konsumsi daya dengan kait gerak setelah selesainya aktuasi. Gigi juga bisa dirancan
Dengan cara yang ditunjukkan oleh gambar diatas, maka dalam satu siklus akan
menghasilkan panjang stroke yang lebih besar dan mengumpulkan banyak gerakan.
Sementara itu, aktuator dapat bergerak mundur ketika urutan sinyal yang diterapkan
dibalik. Untuk mengamankan aktuasi tanpa tergelincir, maka struktur pada roda gigi
dipasang pada antarmuka antara massa pesawat ulang alik dan pada ujung yang
bercabang seperti yang ditunjukkan pada gambar 4(a). Selain itu, gigi dapat mengurangu
konsumsi daya dengan kait gerak setelah selesainya aktuasi. Gigi juga bisa dirancang
untuk memiliki bentuk “T” untuk kait yang lebih aman, seperti yang ditunjukkan pada
gambar 4 (b).
g untuk memiliki bentuk “T” untuk kait yang lebih aman, seperti yang ditunjukkan pada
gambar 4 (b).

Page 4 of 11
 Gambar 4. Microphotograph dari tip bercabang yang dibuat untuk mencengkeram shuttle
shuttle: (a) gigi lurus; (B) `` T '' - gigi berbentuk untuk latch-up aman

3. DASAR TEORI
3.1 Skema Operasi
Penggunaan aktuator termoelastik yang diusulkan untuk motor inchworm lintasan yang
diperlukan dihitung untuk satu siklus operasi seperti yang ditunjukkan pada gambar 5.

Gambar 5. Diperkirakan lintasan siklik dari aktuator lima tautan untuk aktuasi inchworm
berdasarkan FEA. Nilai dalam tanda kurung diperlukan tegangan ke elektroda untuk lintasan
Lintasan terdiri dari 4 unit, seperti: (1) extrusion untuk pemasangan; (2) forward untuk
transportasi; (3) retraction untuk pemasangan; dan (4) backward movement untuk lokasi
awal.

Page 5 of 11
Pada gambar 5. menunjukkan tautan aktuator kanan dan kiri untuk melakukan gerakan
inchworm sesuai urutan siklik. Panjang stroke yang diperlukan sekitar 5 µm arah tangensial
dan 2 µm arah normal.

3.2 Estimasi tingkat kekakuan

Kekakuan aktuator secara teoritis diasumsikan bahwa deformasi disebabkan oleh rotasi
engsel yang aktif seperti yang ditunjukkan pada gambar 6 (a) dan (b). Kekakuan dibagian
atas pada ujung bercabang digunakan untuk memperkirakan kekuatan maksimum yang
digunakan oleh aktuator termoelastik masa pesawat ulang alik. Deformasi aktuator dapat
terjadi hanya menggunakan setengah dari aktuator karena struktur aktuator simetrike sumbu
vertikal. Gambar 6 (b) menunjukan kinematik rotasional dari engsel yang aktif.

Gambar. 6. Diagram benda bebas dari aktuator tautan menggunakan setengah model: (a)
bentuk awal (garis putus-putus); bentuk cacat (garis padat) oleh yang diterapkan kekuatan
eksternal; (B) tampilan gerak rotasi diperbesar sekitar aktif bergantung pada (a)

Jika gaya eksternal setengah oleh simetri (F/2) diterapkan ke bagian atas ujung bercabang,
maka titik O pada Gambar 6 (b) akan menjadi pusat rotasi sesaat yang dapat dihitung dengan
persamaan 1.

Page 6 of 11
Kemudian kekakuan yang dihasilkan dari aktuator dalam arah tangensial dapat dijelaskan
pada persamaan (2). Nilai kekakuakn (k) dihitung menjadi 284 N/m dengan karakteristik
persamaan yang diberikan pada Table 1.

Keterangan:
F: gaya yang diterapkan
l: ketinggian ujung bercabangdari titik O,
l 2 panjang bar aktif,
l 3 y-jarak terarah antara titik O dan engsel aktif,
l 4 jarak x-directional antara titik O dan aktif engsel,
E modulus Young dari bahan aktuator,
t: ketebalan engsel aktif,
h lebar aktif engsel,
R: jari-jari engsel aktif.
Nilai kekakuan yang dihitung menggunakan elemen-elemen hingga lisis (FEA) adalah 286
N/m, seperti yang ditunjukkan pada Gambar. 7 . Perhatikan bahwa kami asumsi untuk
kinematika mekanika lima-linkage. Itu aktuator disesuaikan untuk menghasilkan kekuatan
pendorong 57 μN dengan toleransi penempatan 0,2 μm ketikakekakuan total dihitung
digunakan untuk estimasi kekakuan.

Page 7 of 11
4. PEMBUATAN DAN KARAKTERISASI
Aktuator termoelastik yang diusulkan menggunakan wafer silicon-on-insulator (SOI) oleh
permukaan konvensional teknik micromachining. Ukuran fitur minimum dalam desain motor
cacing adalah 2 μm, yang sesuai sponds dengan lebar satu gigi. Lapisan perangkat 40 μm in
ketebalan micromachine dengan etsa ion reaktif dalam (DRIE) memproses dan diolah dengan
fosfor untuk menurunkannya hambatan listrik. Lapisan oksida korban telah dihapus
menggunakan proses etsa fase gas (GPE) HF tanpa virtual stiksi struktur mikro seperti yang
ditunjukkan pada gambar disamping.

Aktuator lima-linkage fabrikasi dan motor inchworm secara eksperimental dikarakterisasi

dan dievaluasi. Langkah respon dari aktuator lima-linkage dalam tangensial dan arah normal
ditunjukkan pada Gambar. 9 (a) dan (b), masing-masing secara aktif. Waktu respons
ditemukan sekitar 4 ms oleh 90% dari kriteria waktu meningkat dari langkah respon.
Gambar. 9 (c) dan (d) menunjukkan frekuensi ± respon amplitudo untuk aktuator
termoelastik buatan. Potongan eksperimental frekuensi tidak aktif adalah 250 Hz 50% dari
kriteria amplitudo terlepas dari amplitudo perpindahan. Dari di atas frekuensi cutoff,
kecepatan mengemudi maksimum adalah diperkirakan 400 μm / s dalam hal gerakan iteratif
dari sepasang aktuator lima-link yang diusulkan. Untuk frekuensi mengemudi yang rendah
baik pada Gambar. 9 (c) dan (d), itu perpindahan aktuator termoelastik diharapkan sebanding
dengan kuadrat dari tegangan V yang diterapkan, yang bisa disimpulkan berdasarkan generasi
panas (GV 2 ) di bar aktif, konduksi panas (Gtemperature T) ke substrat, dan perpindahan
karena ekspansi termal Si [9]. Sebenarnya Percobaan, bagaimanapun, mengungkapkan
perpindahan itu meningkat lebih cepat dari kuadrat tegangan yang diberikan. Fenomena ini
tampaknya disebabkan oleh alasan tersebut. Koefisien ekspansi termal menjadi lebih besar
dan genap, koefisien konduksi menjadi lebih kecil sehubungan kenaikan suhu.

Page 8 of 11
Gambar 9. Langkah input sinyal dan respon frekuensi yang dibuat aktuator hubungan
termoelastik: (a) perpindahan ke arah tangensial; (B) perpindahan ke arah normal; (c) respons
frekuensi dalam arah tangensial; (D) respons frekuensi dalam arah normal

Page 9 of 11
Gambar 10. Gambar video gerakan cacing inchi: (a) langkah pertama demi atas aktuator; (B)
langkah kedua dengan aktuator bawah; (c) langkah ketiga dan latch-up oleh aktuator atas; (D)
akumulasi stroke dari tiga langkah. Perhatikan perbedaan antara lokasi efektor akhir di (a)
dan (c).

Karakteristik berkendara dari cacing kriket mikro Motor juga diselidiki secara eksperimental
untuk memvalidasi kinerja. Pertama, aktuator atas `A 'menggerakkan antar-jemput massa
dengan satu langkah, aktuator mitra `B 'drive oleh langkah lain, dan sekali lagi aktuator `A
'mendorong satu langkah lagi dan mengunci massa shuttle, seperti yang ditunjukkan
pada Gambar. 10 (a) ± (c).
Dengan tiga langkah gerakan cacing ini, akumulasi perpindahan adalah 15 μm seperti
ditunjukkan pada Gambar 10 (d). Perakitan mencengkeram benda kerja, misalnya sebagai
serat optik, sedang diselidiki menggunakan yang dibuat motor inchworm, seperti yang
ditunjukkan pada gambar 11.

Page 10 of 11
 Gambar 11. Skema penjepit benda kerja dengan sepasang motor inchworm

5. KESIMPULAN
Sebuah motor cacing termoelastik mikromachined adalah dibuat dan dikarakterisasi untuk
perpindahan besar dengan kekuatan tinggi. SOI wafer dengan lapisan struktural 40 μm
ketebalan digunakan untuk membuat cacing kremi yang diusulkan motor dan cacing kremi
secara eksperimental diselidiki oleh gerakan siklik. Mengemudi maksimal Kecepatan
diperkirakan memiliki sekitar 400 μm / s. Inchworm aktuator menunjukkan gerakan langkah
5 m dengan latched up karakteristik oleh pemasangan gigi dan kekuatan pendorong itu
ditemukan 50 μN untuk toleransi 0,2 μm. Yang dibuat motor inchworm dapat diterapkan
pada mikropresisi aktuator untuk perangkat microassembly atau switching yang
membutuhkan perpindahan besar dan kekuatan tinggi. Sebagai studi lebih lanjut,
mencengkeram benda kerja dengan motor cacing di bawah penyelidikan.

Page 11 of 11