Nama : Lia Fitriani

Npm : 1840103014
Prodi : Teknologi Hasil Perikanan
TUGAS PBBDPHP
Uji ke 5 scanning electron microscopy (SEM) Atau pemindaian mikroskop
electron
Scanning Electron Microscope (SEM) adalah sebuah mikroskop elektron yang didesain
untuk mengamati permukaan objek solid secara langsung. SEM memiliki perbesaran
10 – 3.000.000 kali, depth of field 4 – 0.4 mm dan resolusi sebesar 1 – 10 nm.
Kombinasi dari perbesaran yang tinggi, depth of field yang besar, resolusi yang baik,
kemampuan untuk mengetahui komposisi dan informasi kristalografi membuat SEM
banyak digunakan untuk keperluan penelitian dan industri (Prasetyo, 2011).
Prinisip Kerja SEM Prinsip kerja dari SEM adalah sebagai berikut :
 Electron gun menghasilkan electron beam dari filamen. Pada umumnya
electron gun yang digunakan adalah tungsten hairpin gun dengan filamen
berupa lilitan tungsten yang berfungsi sebagai katoda. Tegangan yang diberikan
kepada lilitan mengakibatkan terjadinya 6 pemanasan. Anoda kemudian akan
membentuk gaya yang dapat menarik elektron melaju menuju ke anoda.
 Lensa magnetik memfokuskan elektron menuju suatu titik pada permukaan
sampel.
 Sinar elektron yang terfokus memindai (scan) keseluruhan sampel dengan
diarahkan oleh koil pemindai.
 Ketika elektron mengenai sampel, maka akan terjadi hamburan elektron, baik
Secondary Electron (SE) atau Back Scattered Electron (BSE) dari permukaan
sampel dan akan dideteksi oleh detektor dan dimunculkan dalam bentuk
gambar pada monitor CRT.
Seabelum menggunakan alat Scanning Electron Microscope
Memindai mikroskop elektron (SEM). Sampel gelatin dilumasi dalam wadah ± 10
mm. sampel non-konduktif, seperti sampel organic,polimer,dan lainnya, perlu dilapisi
menggunakan Au-Pd agar lebih konduktif. Sampel dimasukkan ke dalam ruang SEM
dan dipompa (Vakum tinggi atau vakum rendah) hingga benar-benar vakum, dan
peralatan SEM/EDX (Merk FEI, Type Inspect S50) siap digunakan.
Cara menyiapkan sampel dengan menggunkan alat SEM
Penyiapan Sampel SEM 1. Bersihkan sample 2. Keringkan; dg vakum kalau
mungkin (Sample harus bebas dari H2O) 3. Tempatkan sample pada sample holder 4.
Sputter dg Au atau Pt
  Mempersiapkan sampel ukuran sample holder: 12 mm atau 25 mm , Untuk
menempelkan sample diperlukan double-sided tape konduktif , Area yang
dipelajari sebaiknya diletakan pada 45 degree , Kontak area yang luas akan
menguntungkan sedangkan ntuk sample yang tidak bersifat konduktif, perlu
dilakukan pelapisan dg Au.
Cara Kerja Alat Sputering
Logam (Au) sebagai katoda, Sample ditempatkan pada anode, Gas Argon sebagai
atmosphere, Diterapkan beda potensial, Cathode mengionisasi atomatom Ar menjadi
kation dan electron, Ion Argon ions terakselearsi ke arah katoda (Au). Atom Au dan
elektron terhempas karena tumbukan, Atom Au bertumbukan dengan ion Ar dan
akhirnya melapisi sample dg ketebalan kira-kira 10-30 nm.
Advantage and Drawback
 Kelebihan Preparasi sample cepat dan sederhana Ukuran sample yang relatif
besar Rentang perbesaran yang luas: 3X - 150,000X.
 Kekurangan Dibanding TEM resolusinya lebih rendah Digunakan vakum
Hanya permukaan yang teramati Diperlukan coating dg Au.