Pengetahuan Dasar tentang SEM (Scanning Electron

Microscope) dan WLI (White Light Interferometer)

Oleh : Laila Roudhotul Karimah

125060301111023
SEM (Scanning Electron Microscope)
• SEM biasa digunakan untuk pengamatan pada
permukaan spesimen.
• Spesimen disinari dengan sinar elektron
(probe elektron),elektron sekunder akan
dipancarkan dari permukaan spesimen.
• Topografi permukaan dapat diamati oleh
scanning dua dimensi dari probe elektron di
atas permukaan dan ascquisition dari suatu
gambar dari elektron sekunder terdeteksi.
Konstruksi dasar SEM
 Electron gun :
Menghasilkan berkas electron
yang stabil dengan arus yang
tinggi, ukuran yang kecil, energi
yang sesuai dan dispersi energi
yang kecil.
 Condenser lens :
Mengumpulkan berkas elektron
yang menyimpang setelah
melewati plat anoda dari
sumber emisi dan menjadikan
aliran relative sejajar.
 Scanning Coil :
Membelokkan berkas electron
sehingga dapat dipindai pada
permukaan spesimen
disepanjang sumbu x atau
sumbu y.
 Objective lens :
Berguna untuk memfokuskan berkas electron ke dalam titik probe
permukaan specimen dan untuk menyuplai pembesaran ulang lebih lanjut.
 Secondary electron detector :
Kumpulan gambar dari electron sekunder merupakan tujuan utama
SEM. Electron sekunder memberikan energi terendah yang hanya datang dari
permukaan sempel dibawah berkas electron dan diharapkan dapat
memberikan beragam informasi tentang topografi dan kimia dari spesimen.
 Display unit :
Menampilkan hasil akhir dari pengolahan berkas spesimen.

Perbandingan hasil gambar menggunakan SEM dengan mikroskop jenis yang lain :
 WLI (White Light Interferometer)
• WLI merupakan alat yang sangat bagus untuk
pengukuran optik.
• Interferometer merupakan alat optik dasar
yang digunakan untuk mengukur panjang
gelombang secara tepat, jarak, indeks bias,
dan koherensi temporal berkas optik.
 White light interference fringes.
- Sebagian besar interferometri menggunakan
laser sebagai sumber cahaya.
- Koherensi sinar yang panjang
 Memudahkan mendapatkan
interference fringes.
 Lintasan panjang interferometer tidak
sepanjang saat menggunakan sinar
putih.
₋ interference fringes yang terlalu mudah, setiap
refleksi menyimpang akan memberikan pinggiran
interferensi palsu. Sehingga dapat mengakibatkan
pengukuran yang salah.
₋ Kontras interference fringers yang baik dapat
diperoleh hanya jika ketika lintasan interferensi
yang disesuaikan dapat membatu menghasilkan
daya kuat pada alat pengukuran
Skematik Optik Mikroskop Interferensi yang
digunakan untuk Pengukuran Struktur
Permukaan
 Prinsip Kerja
 Mirau Interferometer : Digunakan untuk pembesaran gambar sebesar 10
dan 50 kali.
 Magnification Selector : Diletakkan terpisaah antara mikroskop objektif dan
kamera CCD untuk menyediakan pembesaran gambar tambahan.
 Ligh source : Menggunkan lampu halogen.
 Reflaksi cahaya dari permukaan tes berinterferensi dengan reflaksi cahaya
dari referensi. Hasilnya pole interferensi digambarkan pada CCD array .
 Sekian dan Terimakasih
Daftar Pustaka :
Mosashino.2011.Basic Knowledge For Using
The SEM.Japan :Joel
Wyant, James C. 2002. White Light
Interferometry. Optical Sciences Center :
University of Arizona Tucson.