Terlepas dari kemajuan yang diucapkan dalam karakteristik, misalnya resolusi

spasial, fitur beberapa penting kemunduran. Mereka mengandung cukup

banyak kontak dan banyak koneksi listrik di antara mereka; masing – masing
disajikan dalam [4-7] solusi mikrosporor vektor maju membutuhkan
setidaknya 8 elektroda. Ini serius mempersulit fabrikasi teknologi,
menghambat resolusi spasial tinggi dan menghalangi pencapaian yang
diperlukan gelar miniaturisasi. Salah satu cara yang menjanjikan untuk
mengatasi masalah-masalah penting ini adalah fungsional pendekatan
multisensor [1]. Sebuah perangkat vektor medan magnet silikon diusulkan
mengukur selanjutnya Bx, Oleh, dan komponen Bz [1, 8, 9]. Namun,
ketidaksempurnaannya mengurangi akurasi karena offset awal yang besar
dalam keluaran saluran individual, dimensi magnetometer yang diperbesar
karena konstruksi khusus, yang membutuhkan relatif banyak kontak. Jadi,
resolusinya terbatas. Juga, yang disajikan dalam [8, 9] membutuhkan
magnetometer sirkuit pengekstraksi sinyal yang rumit, berisi generator pulsa,
penghitung, multiplekser analog multi-channel, sirkuit sampel & tahan, dll.
Dalam makalah ini, sebuah alat penginderaan chip tunggal baru untuk
pengukuran dua komponen medan magnet ortogonal menggunakan satu dan
zona transduser yang sama, konstruksi sederhana, resolusi tinggi dan
antarmuka elektronik fleksibel disajikan.

2. Desain sensor dan prinsip operasi

Novel 2-D magnetometer terdiri dari substrat silikon n-jenis persegi

panjang dengan empat n+ ohmic planar kontak C1, C2, C3, dan C4. Dua dari
mereka – C1 dan C2, memanjang dan berfungsi sebagai catu daya. Dua kontak
lainnya – C3 dan C4, berbentuk persegi dan berfungsi sebagai output saja.
Mereka diposisikan di tengah-tengah wilayah antara yang panjang dan dekat
ke tepi, Gbr. 1 (a, b). P-ring yang melingkupi sekitar n+ -hubungan untuk
pembatasan arus permukaan adalah terbentuk juga. Vektor multisensor
beroperasi dengan cara berikut. Perangkat melalui kontak C1 memanjang dan
C2 diberi makan dengan arus suplai konstan, Apakah Is ≡ I C1, 2 , karena resistor

beban R, Gambar. 1 (a, b). Sebuah lintasan IC1,2 saat ini di sebagian besar
substrat n-Si, antara kontak planar C1 dan C2, lengkung dan menembus pada
kedalaman 30 - 40 μm, Gambar. 1 (a).

Gambar 1. (a) Desain Sensor dan Prinsip Operasi; (b) Sirkuit Antarmuka Sensor.

Dalam medan magnet Bz, tegak lurus ke permukaan atas, gaya Lorentz
yang terkenal FL (Bz) muncul, di mana ± FL (Bz) = ± q vy x Bz , Gambar. 1 (a)
[1-3]. Gaya FL (Bz) membelokkan garis arus ke depan atau belakang sisi
struktur, tergantung pada arah dari arus suplai I C1, 2 dan lapangan Bz. (Kedua

sisi depan dan belakang struktur tegak lurus dengan tepi pendek, Gambar. 1
(a). Dengan cara ini, konsentrasi muatan saat ini di sekitar kontak C3
meningkat atau menurun, dan masing-masing konsentrasi muatan di sekitar
kontak C4 menurun atau meningkat. Jadi, antara terminal C3 dan C4, tegangan
Hall VH (Bz) muncul. Kekuatan Lorentz FL (Bx) juga muncul, ketika bidang Bx
sejajar dengan bidang substrat, di mana ± FL (Bx) = ± q vy x Bx, Gambar. 1