STANDARD OPERASIONAL PROSEDUR

SEM – EDX
1. Buka Gas denganmemutar Kran Besi berlawanan arah jarum jam

2. PasangSteker UPS dan On kan UPS

3. Nyalakan SEM dengan memu tartuas power yang berada pada depan body SEM

4. Nyalakan PC SEM, Control Box EDX (SCU Unit) dan PC (Computer) EDS

5. Setelah Komputer Menyala, Tunggu sekitar 3-5 menit (pada window 10, tunggu program
auto run selesai), Klik VEGA TC lalu pilih supervisor dan isi password : supervisor

6. Klik Vent untukmembuka chamber SEM, lalumasukkansampeldanKlik Pump (Tunggusampai

Vacuum Ready / berwarnahijau).

7. a. Klik HV (pada HV dan Heating akan muncul warna kuning).

b. Klik auto Brightnes Contrast, Jika Gambar masih gelap atur brightnes contrast secara manual
dengan control panel.
c. Pilih Detector yang ingin di pakai SE atau BSE. Jikaingin memakai BSE putar tuas detector yang
terletak di belakang chamber SEM.
d. Turunkan magnification – fokuskan gambar – atur WD ke15 MM – Beam Intesity (Bi) 10 -
naikkan magnification sesuai kebutuhan – fokuskan gambar dengan memutar WD pada control
panel.
Cat : WD maksimal untuk SE : 7mm
WD maksimal untukBSE : 10 mm
(Sebelum WD di rubah wajib gambar harus focus dahulu)
e. Setelah mendapatkan gambar yang di inginkan - klik Speed dan naikkan Speed untuk scan
gambar lebih halus – Klik Acquire untuk Ambil Foto – Save gambar di folder yang di inginkan.
Setting SEM keEDS (untukan alisis unsure pada sampel) :
1. fokuskangambar – atur WD ke 15 MM – Beam Intesity (Bi) 15 – gambar dengan memutar
WD pada control panel,
2. Klik Esprit pada PC Bruker
3. Analisis EDS ada4 metode :
- Spectra :Analisis Unsur satu area gambarpada SEM.
- Objects :Analisis Unsur pada spot spotter tentu sesuai dengan kebutuhan user + gambar
sampel yang di transfer dari SEM.
- Line scan :Analisis unsure sesuai dengan arah garis yang di tentukanpada area sampel.
- Mapping : analisis sebaran unsure pada satu area sampel di inginkan dengan penambahan
warna pada tiap unsur agar tampak sebaran unsurnya.

4. Metode Object Analisis :

Klik Object – Klik Capture (untuk transfer gambardari SEM ke EDS) –Pilih Spot yang akan di
analisadenganpilihgambartitik, kotak ,lingkarandantempatkanpadagambarsampel - Klik
Acquire (analisaunsursecaraotomatisdanharaptunggusampaiselesai) – KlikQuantify
(untukmelihathasilunsur yang di dapatdarisampel).
5. Metode Line Scan Analisis :
Klik Line Scan – Klik Capture (untuk transfer gambardari SEM ke EDS) –
AturGarispadagambarsampelpada area yang ingin di analisa–KlikAcquire
(analisaunsursecaraotomatisdanharaptunggusampaiselesai) –Klik Quantify
(untukmelihathasilunsur yang di dapatdarisampel).
6. Metode Mapping Analisis :
Klik Mapping – Klik Capture (untuk transfer gambardari SEM ke EDS) –
AturKotakpadagambarsampeluntuktentukan area yang ingin di analisa – Klik Acquire
(analisaunsursecaraotomatisdanharaptunggusampaiselesai) – Klik Quantify
(untukmelihathasilunsur yang di dapatdarisampel).

Save Report dan Project hasilAnalisaEDS :

1. Report : Klik icon padasebelahgambar , pilih add to report – Klik icon yang
terletak di sebelahkananatas spectrum unsur , pilih add to report – Klik Quantify
yang terletas di sebelahkiriatasakankeluar table nilaiunsurlaluklik icon di
sebelahkanan , pilih add to report, laluklik OK – Klik icon tandapanah
laluatur report dan save dalam JPEG atau PDF pada folder yang ditentukan

2. Project : Klik icon padasebelahgambar , pilih add to project – Klik icon

yang terletak di sebelahkananatas spectrum unsur , pilih add to project – Klik
Quantify yang terletas di sebelahkiriatasakankeluar table nilaiunsurlaluklik icon
 di sebelahkanan , pilih add to Project, laluklik OK – Klik save as projectpada folder
yang ditentukan

Catatan :

SetelahPenggunaan SEM EDS :

- Pada Software SEM klik home agar stage holder turunkembalikeposisiawal – klikvent
,keluarkansampel, tutup chamber SEM – klik pump, tunggusampai vacuum warnahijau – tutup
software SEM, padasaattutup software SEM , pilih switch off and exit – shutdown PC SEM –
Shutdown PC EDS – Off kan SCU denganmenekantombol power SCU – Off kan SEM padatuas di
Body SEM – Off Kan UPS – TutupKran Gas.