Scanning Electronic Microscope (SEM)

Komponen utama pada SEM yaitu :

a. Electron beam generation
b. Specimen chamber
c. Vacum pump
d. Monitor
e. Control panel

Salah satu type SEM yaitu Energy Dipersive X-ray Spectroscopy (EDX/EDS) yang
dilengkapi dengan analyzer, analyzer ini berfungsi untuk mengetahui kandungan unsur kimia
pada specimen.
Pada SEM type konvensional tidak dilengkapi dengan EDX/EDS, sehingga hanya
dapat melihat gambar tanpa bisa mengetahui kandungan unsur kimia yang ada didalam
specimen.
Salah satu komponen pada SEM yaitu Electron Gun Chamber, didalamnya terdapat
filament yang terbuat dari tungsten.

SEM dapat memberikan beberapa informasi karakteristik yaitu :

a. Topography
Tampilan topography dari specimen.
b. Morphology (SEI)
Ukuran dan bentuk partikel, butiran, batas butir dan pori-pori.
c. Komposisi ( SEM dengan EDX/EDS)
Dapat mengetahui komposisi

Kemampuan SEM

a. Energy Dipersive X-ray Spectroscopy (EDX/EDS)

Dapat mengetahui komposis, mapping dan linescans.
b. Scondary Electron Imaging
Dapat mengetahui Topography, Morphology, partikel dan ukuran.
c. Electron Backscattered Electron Difraction (ESED)
Dapat mengetahui crystallography.
d. Backscattered Imaging (BSI)
Dapat mengetahui compositional contrast
e. Transmitted Electron Imaging (TEI)
Dapat mengetahui internal ultrastructure.

kita menggunakan electron microscope apabila kita ingin mengetahui hal-hal yang lebih
detail, sampai scala micro ataupun nano dari specimen.

Perbedaan Optical Microscope dengan Electron Microscope

Salah satu perbedaannya yaitu ukuran resolusi. Resolusi pada Optical Microscope yaitu 0.2
mm, pada TEM ukuran resolusinya 0.2 nm dan pada SEM yaitu 1.5 nm. Perbedaan ukuran
resolusi ini akan mempengaruhi ketelitian, detail struktur micro dari specimen.