SENSOR DAN TRANSDUCER

“ JENIS – JENIS ACCELEROMETER“

Dosen Pengampu : Dr. Juniastel Rajagukguk, S.Si, M.Si.

Di Susun Oleh

Nama : Dina Alfariza Nst

Nim : 4181240002

JURUSAN FISIKA
FAKULTAS MATEMATIKA DAN ILMU PENGETAHUAN ALAM
UNIVERSITAS NEGERI MEDAN
2021
a. Akselerometer Kapasitif
Sensor akselerasi kapasitif pada dasarnya berisi setidaknya dua komponen; yang pertama
adalah pelat “stasioner” (yaitu, terhubung ke rumahan) dan yang lainnya adalah pelat yang
dipasang pada massa inersia yang bebas bergerak di dalam rumahan. Pelat ini membentuk
sebuah kapasitor yang nilainya merupakan fungsi dari jarak d antar pelat. Dikatakan bahwa nilai
kapasitor dimodulasi oleh percepatan. Perpindahan maksimum yang diukur dengan
akselerometer kapasitif jarang melebihi 20 µm. Oleh karena itu, perpindahan sekecil itu
membutuhkan kompensasi drift yang andal dan berbagai gangguan. Ini biasanya dilakukan
dengan menggunakan teknik diferensial, di mana kapasitor tambahan dibentuk dalam struktur
yang sama. Nilai kapasitor kedua harus mendekati nilai kapasitor pertama, dan harus mengalami
perubahan dengan pergeseran fasa 180◦. Kemudian, percepatan dapat diwakili oleh perbedaan
nilai antara kedua kapasitor.
Ketika massa bergerak menuju pelat atas dan menjauh dari alas, jarak d2 bertambah.
Nilai dari adalah sama dengan gaya mekanik Fm yang bekerja pada massa dibagi dengan
konstanta pegas k dari pegas silicon. Ketika akselerometer berfungsi sebagai kapasitor masukan
ke penguat penjumlah kapasitor yang diaktifkan, tegangan keluaran bergantung pada nilai
kapasitor. Akselerometer yang menerapkan penginderaan kapasitif menghasilkan tegangan yang
bergantung pada jarak antara dua permukaan atau plat. Salah satu atau kedua “pelat” tersebut
dialiri dengan arus listrik. Apabila terjadi Pergerakan atau getaran pada sensor, maka akan
menyebabkan perubahan posisi pada plat tersebut. Perubahan posisi atau jarak di antara dua plat
ini akan mengakibatkan perubahan nilai kapasitansinya dan dapat diukur sebagai Output
Tegangan. Akselerometer Kapasitif ini memiliki kelebihan seperti stabilitas yang tinggi dan
akurat serta tidak terlalu rentan terhadap Noise dan perubahan suhu.
b. Akselerometer Piezoresistif
Sebagai elemen penginderaan, akselerometer piezoresistif menggabungkan pengukur
regangan, yang mengukur regangan pada pegas pendukung massa. Regangan dapat langsung
dikorelasikan dengan besar dan laju perpindahan massa dan, selanjutnya, dengan percepatan.
Sensor mikro dibuat dari tiga lapisan silikon. Lapisan dalam, atau inti, terdiri dari massa inersia
dan engsel elastis. Massa digantung di dalam pinggiran terukir di engsel, yang memiliki alat
pengukur piezoresistif di kedua sisinya. Pengukur mendeteksi gerakan di sekitar engsel. Dua
lapisan luar, alas dan penutup, melindungi bagian yang bergerak dari kontaminasi eksternal.
Kedua bagian memiliki ceruk untuk memungkinkan massa inersia bergerak bebas. Beberapa fitur
penting dimasukkan ke dalam sensor. Salah satunya adalah sumbu sensitif terletak pada bidang
wafer silikon, berlawanan dengan banyak desain lain di mana sumbu tegak lurus dengan wafer.
Integritas mekanis dan andal dijamin oleh fabrikasi semua komponen sensor dari satu kristal
silikon. Saat akselerasi diterapkan di sepanjang sumbu sensitif, massa inersia berputar di sekitar
engsel. Pengukur di kedua sisi engsel memungkinkan rotasi massa untuk menciptakan tegangan
tekan pada satu pengukur dan tarik di sisi lain. Karena pengukur sangat pendek, bahkan
perpindahan kecil pun menghasilkan perubahan resistansi yang besar.
c. Akselerometer Piezoelectric
Efek piezoelektrik memiliki aplikasi alami dalam merasakan getaran dan akselerasi.
Efeknya adalah konversi langsung energi mekanik menjadi energi listrik dalam bahan kristal
yang tersusun dari dipol listrik. Sensor ini beroperasi dari frekuensi serendah 2 Hz dan hingga
sekitar 5 kHz; mereka memiliki penolakan kebisingan off-axis yang baik, linieritas tinggi, dan
rentang suhu operasi yang luas (hingga 120◦C). Meskipun kristal kuarsa kadang-kadang
digunakan sebagai elemen penginderaan, yang paling populer adalah bahan piezoelektrik
keramik, seperti barium titanate, timbal zirkonit titanat (PZT), dan metaniobita timbal. Sebuah
kristal terjepit di antara casing dan massa seismik yang memberikan gaya yang sebanding
dengan percepatan di atasnya. Dalam sensor miniatur, struktur silikon biasanya digunakan.
Karena silikon tidak memiliki sifat piezoelektrik, lapisan tipis timbal titanat dapat disimpan pada
kantilever silikon mesin mikro untuk membuat sensor miniatur integral. Untuk karakteristik
frekuensi yang baik, sinyal piezoelektrik diperkuat oleh konverter muatan-ke-tegangan atau arus-
ke-tegangan yang biasanya dibangun di dalam wadah yang sama dengan kristal piezoelektrik.

Akselerometer Piezoelektrik adalah jenis sensor Akselerometer yang mengunakan efek

Piezoelektrik untuk mengukur Akselerasi atau Percepatan. Sensor Akselerometer jenis ini terdiri
dari sebuah Kristal tunggal yang pada saat terjadi perubahan kecepatan ataupun orientasi akan
menghasilkan tegangan tertentu dari perubahan tersenbut. Gaya yang ditimbulkan oleh getaran
atau perubahan gerak (percepatan) menyebabkan massa “menekan” material piezoelektrik yang
kemudian menghasilkan muatan listrik (tegangan) yang sebanding dengan gaya yang diberikan
padanya. Karena muatannya yang sebanding dengan gaya dan massa adalah konstanta, maka
muatan listrik tersebut juga sebanding dengan percepatannya. Sensor Akselerometer ini memiliki
kelebihan di ukurannya yang relatif kecil dan ringan secara memiliki hasil keakuratan yang
tinggi.

d. Akselerometer Termal

Akselerometer termal mengukur perubahan internal dalam perpindahan panas yang

disebabkan oleh percepatan. Ini telah menjadi sensor paling andal yang digunakan untuk sistem
perlindungan jatuh hard disk drive (HDD) karena perangkat semacam ini mampu bertahan dari
guncangan tinggi. Akselerometer termal, seperti akselerometer lainnyater, berisi massa seismik
yang digantung oleh penopang tipis dan ditempatkan di dekatdekat dengan heat sink atau antara
dua heat sink. Massa dipanaskan oleh apermukaan atau pemanas tertanam ke suhu yang
ditentukan T 1 . Di bawah tanpa percepatankondisi kesetimbangan termal antara massa dan heat
sink:jumlah panas q 1 dan q 2 yang dialirkan ke heat sink melalui gas dari massaadalah fungsi
dari jarak M 1 dan M 2.
 Untuk mengukur suhu tersebut, sensor suhu dapat disimpan dibalok. Ini dapat dilakukan
dengan mengintegrasikan dioda silikon ke dalam balok, 4 atau dengan membentuk termokopel
yang terhubung secara serial (termopile) pada permukaan balok. Akhirnya, filesuhu berkas
terukur dalam bentuk sinyal listrik adalah ukuran percepatan-erasi. Sensitivitas akselerometer
termal (sekitar 1% perubahan output sinyal per g ) agak lebih kecil daripada jenis kapasitif atau
piezoelektrik;bagaimanapun, itu jauh lebih rentan terhadap gangguan seperti suhu lingkungan
atau gangguan elektromagnetik dan elektrostatis.

e. Akselerometer Pemanasan Gas

Akselerometer menarik lainnya menggunakan gas sebagai massa seismic. Prinsip

pengoperasian perangkat didasarkan pada perpindahan panas oleh konveksi paksa. Panas dapat
ditransfer melalui konduksi,konveksi, dan radiasi. Sensor berisi pelat mesin mikro yang
berdekatan dengan rongga tertutup yang diisidengan gas. Plat memiliki rongga tergores (parit).
Satu sumber panas, berpusatdalam chip silikon, digantung di parit. Jarak yang sama adalah
empatsensor suhu yang aluminium / polysilicon thermopiles (TP) (yaitu, serialtermokopel
terhubung). TP berada dalam jarak yang sama di keempat sisisumber panas (sumbu ganda).
Sebuah termopile sebagai gantinyadari termokopel digunakan untuk tujuan tunggal: untuk
meningkatkan sinyal keluaran listrik.Sepasang persimpangan lain digunakan untuk mengukur
gradien termal sepanjang sumbu y thermopile junctions (TPs) untuk merasakan gradien suhu
sepanjang sumbu tunggal. Gasdipanaskan sehingga paling panas di dekat pemanas dan
mendingin dengan cepat ke arah kiridan sensor suhu yang tepat (sambungan termopile). Ketika
tidak ada gaya yang bekerja pada gas, makasuhu memiliki distribusi mirip kerucut simetris di
sekitar pemanas, di mana suhuperatures T1 di TP kiri sama dengan suhu T2 TP kanan.
Akselerasi dalamarah manapun akan mengganggu profil suhu, karena perpindahan panas
konveksi,menyebabkannya menjadi asimetris.