TRANSMISSION ELECTRON MICROSCOPY (TEM)

Transmission electron microscopy (TEM) merupakan teknik mikroskopi

dimana suatu sorotan elektron ditransmisikan melalui sampel yang sangat tipis,
beinteraksi dengan sampel sewaktu sorotan melewatinya. Sebuah citra terbentuk
ketika interaksi elektron tertransmisi melalui sampel; citra itu dibesarkan dan
difokuskan ke dalam alat pencitraan, seperti layar pijar, di atas film fotografik, atau
dideteksi oleh sensor. Alatnya dinamakan TEM juga dengan kepanjangan
transmission electron microscope.

SEJARAH SINGKAT
Louis de Broglie (1925) pertama kali menteorikan bahwa elektron
mempunyai sifat seperti gelombang, dengan panjang gelombang yang cukup sedikit
disbanding cahaya yang terlihat. Kemudian Davidson dan Germer (1927) dan
Thompson dan Reid (1927) secara independen melakukan eksperimen klasik
mereka tentang difraksi elektron yang mendemonstrasikan sifat gelombang
elektron. Tidak lama sampai ide mengenai mikroskop elektron diusulkan, dan
istilahnya pertama kali digunakan di dalam paper Knoll dan Ruska (1932). Di dalam
paper ini mereka mengembangkan ide mengenai lensa elektron ke dalam realita
praktisnya, dan mendemonstrasikan citra elektron yang diambil pada instrument
seperti pada Gb.1. Ketika itu merupakan langkah yang paling krusial dimana Ruska
mendapatkan Nobel, di akhir 1986. Saat ini TEM diargumentasikan merupakan alat
yang paling efisien dan serbaguna untuk pengkarakterisasian material.

Gb. 1 Mikroskop elektron yang dibuat oleh Ruska dan Knoll di

Berlin di awal tahun 1930an
GAMBARAN UMUM TEM
Dalam dunia riset, TEM (Transmission Electron Microscopy) merupakan
salah satu mikroskop yang penting. Dalam bidang material, mikroskop ini
digunakan untuk mengetahui struktur material terutama bentuk kristal penyusun
material yang tidak dapat dilihat dengan mikroskop biasa.
Pertama kali dirancang, prinsip awal TEM dilakukan dengan membatasi
pencitraan gelombang cahaya terhadap objek yang akan dilihat. TEM sederhana
tersebut hanya mampu melihat spesimen material hingga 16 kali pembesaran.
Perkembangan berikutnya menggunakan sinar ultraviolet, namun hal ini tidak dapat
menghasilkan apa-apa karena terkendala oleh panjang gelombang. Dikembangkan
desain CRO yaitu desain defleksi ’sinar katoda’ yang kemudian berhasil
menggerakkan gambar yang diperbesar dari grid mesh yang diletakkan di atas
aperture anoda. Alat ini menggunakan dua lensa magnetik untuk mencapai
perbesaran yang lebih tinggi, dan alat inilah yang disebut mikroskop elektron
pertama (TEM).

Gb. 2 TEM Pertama, aslinya terinstalasi di IG

Farben-Werke dan sekarang ditampilkan di
Museum Deutsches di Munchen, Jerman
TIPE ALAT
Alat dasar TEM dibedakan menjadi diantaranya:
1. HRTEM
Merupakan singkatan dari high-resolution transmission electron microscope,
dimana pada alat ini, mode pencitraan TEM memungkinkan untuk melihat
langsung struktur atomic dari suatu sampel.

Gb. 3 HRTEM

2. HVEM
Merupakan singkatan dari high-voltage electron microscope, adalah tipe
mikroskop electron yang dibangun untuk pengoperasian pada tegangan
yang melonjak antara 200 – 300 Kv, dan bahkan 1500 Kv, sehingga
mempunyai kelebihan tersendiri diantaranya: daya resolve secara teoris
pada instrument meningkat seiring dengan naiknya tegangan, sampel yang
tebal lebih mudah terpenetrasi, dan berkurangnya bahaya irradiasi dan juga
pemanasan pada sampel organik. Ada juga jenis IVEM yang menggunakan
daya lebih rendah dari alat HVEM ini.

Gb. 4 HVEM
3. STEM
Singkatan dari scanning transmission
electron microscope, merupakan jenis
mikroskop electron dimana sorotan
elektronnya difokuskan ke titik yang sangat
kecil yang kemudian discan terhadap
sampel di dalam raster.

Gb. 5 STEM

4. AEM
Singkatan dari analytical electron microscope, adalah jenis mikroskop
electron yang memanfaatkan energi penciri dari electron Auger yang keluar
dari sampel, atau electron primer, yang sudah kehilangan sejumlah energi.
DASAR KERJA ALAT
Prinsip kerja TEM dimulai dari
sumber emisi (pistol elektron) yaitu
tungsten filament dan sumber
lanthanum hexaboride (LaB6). Dengan
menghubungkan pistol ini dengan
sumber tegangan tinggi (biasanya ~ 100-
300 kV) pistol akan mulai memancarkan
elektron baik dengan termionik maupun
emisi medan elektron ke sistem vakum.
ekstraksi ini biasanya dibantu dengan
menggunakan silinder Wehnelt.
Interaksi elektron dengan medan magnet
akan menyebabkan elektron bergerak
sesuai dengan aturan tangan kanan,
sehingga memungkinkan elektromagnet
Gb. 6 Layout Komponen Optik pada TEM Standar untuk memanipulasi berkas elektron.
Penggunaan medan magnet akan
membentuk sebuah lensa magnetik dengan kekuatan fokus variabel yang baik.
Selain itu, medan elektrostatik dapat menyebabkan elektron didefleksikan melalui
sudut yang konstan. Dua pasang defleksi yang berlawanan arah dengan
intermediete gap akan membentuk arah elektron yang menuju lensa.
Berbeda dengan mikroskop optik yang lensanya bisa langsung difungsikan,
optik TEM bisa cepat berubah, TEM memiliki kekuatan lensa yang berubah-ubah.
Lensa TEM memungkinkan adanya konvergensi, dengan sudut konvergensi yang
sesuai variabel parameter, TEM berkemampuan untuk mengubah perbesaran
dengan cara memodifikasi jumlah arus yang mengalir melalui kumparan, lensa
quadrupole atau lensa hexapole.
Biasanya TEM terdiri dari tiga tahap lensing. Tiga tahapan itu adalah lensa
kondensor, lensa objektif, dan lensa proyektor. Lensa kondensor bertanggung
jawab untuk pembentukan balok primer, sedangkan fokus lensa objektif datang
melalui sampel itu sendiri (dalam STEM mode pemindaian, ada juga lensa objektif
atas sampel untuk membuat konvergen insiden berkas elektron). Lensa proyektor
digunakan untuk memperluas sinar ke layar fosfor atau perangkat pencitraan lain,
seperti film. Pembesaran TEM berasal dari rasio jarak antara spesimen dan lensa
objektif. Selain itu, lensa Quad dan hexapole digunakan untuk koreksi distorsi balok
asimetris, yang dikenal sebagai astigmatisme. Perlu dicatat bahwa konfigurasi TEM
optik sangat berbeda dengan kenyataannya.

Berikut beberapa penjelasan dasar kerja dari masing-masing bagian:

1. Ruang Vakum
Ruang vakum merupakan tempat dimana interaksi elektron terjadi, TEM
standar mempunyai tekanan rendah, yaitu sekitar 10-4 Pa. Hal ini dimaksudkan
untuk mengurangi perbedaan tegangan antara katoda dan ground, dan juga untuk
mengurangi frekuensi tumbukan elektron dengan atom gas. TEM membutuhkan
film yang harus diganti secara teratur tiap ada objek sehingga TEM dilengkapi
dengan sistem pemompaan ganda dan airlocks.

2. Spesimen stages
Spesimen stages merupakan
bagian yang fungsinya seperti meja
preparat di mikroskop, yaitu
berfungsi untuk meletakkan objek /
preparat. Di dalam TEM spesimen
stages ini berupa jaring-jaring yang
bisa kita sebut dengan ’grid’. Ukuran
grid TEM standar ditunjukkan
seperti cincin berdiameter 3,05 mm,
dengan ukuran ketebalannya mulai
dari 100 pM. Sampel diletakkan
pada grid dengan ukuran sekitar 2,5 mm. Grid biasanya terbuat dari tembaga,
molibdenum, emas atau platinum. Untuk spesimen Elektron transparan memiliki
ketebalan sekitar 100 nm, tetapi nilai ini tergantung pada tegangan percepatan.
 3. Electron gun
Electron gun
merupakan bagian dari TEM
yang sangat penting, electron
gun inilah yang menghasilkan
partikel-partikel elektron.
Electron gun memiliki beberapa
komponen penting yaitu
filament, sebuah biasing circuit,
sebuah Wehnelt cap, dan sebuah
extraction anode. Elektron dapat
di ekstraksi dengan
menghubungkan filamen ke komponen power supply negatif, elektron "dipompa"
dari pistol elektron ke lempeng anoda, dan kolom TEM. Pistol dirancang untuk
membuat berkas elektron keluar dari rangkaian dalam beberapa sudut tertentu, yang
dikenal sebagai semiangle perbedaan pistol, α. Dengan membentuk silinder
Wehnelt sedemikian rupasehingga memiliki muatan negatif lebih tinggi dari
filamen itu sendiri untuk membuat elektron keluar dari filamen dengan cara
diverging. Pada operasi yang tepat, pola elektron dipaksa untuk memusat dengan
diameter ukuran minimum crossover pistol.

4. Electron lens
Lensa elektron dirancang dengan
cara meniru lensa optik, dengan
memfokuskan sinar sejajar pada
beberapa constant focal length.
Lensa dapat beroperasi
elektrostatis atau magnetis.
Mayoritas lensa elektron untuk
TEM menggunakan kumparan
elektromagnetik untuk
menghasilkan lensa cembung.
Untuk lensa ini bidang yang dihasilkan harus radial simetris, deviasi dari simetri
radial lensa magnetik dapat menyebabkan aberasi seperti astigmatisme, spherical
and chromatic aberration. lensa elektron dibuat dari besi, komposit besi-kobalt atau
kobalt nikel.
Seluruh komponen termasuk ’yoke’, kumparan magnet, pole, polepiece, dan
sirkuit kontrol eksternal. polepiece harus diproduksi dengan cara yang sangat
simetris. Kumparan yang menghasilkan medan magnet berada di dalam yoke.
Biasanya kumparan dapat digunakan dengan tegangan tinggi, oleh karena itu
memerlukan isolator untuk mencegah hubungan arus pendek pada komponen lensa.
Thermal distributor digunakan sebagai peredam panas yang dihasilkan oleh energi
yang hilang dari gulungan coil.

5. Apertures
Apertures merupakan lingkaran pelat logam yang terdiri dari sebuah cakram
logam kecil yang cukup tebal. Apertures digunakan untuk mengarahkan elektron
agar dapat berjalan secara aksial. Hal ini dapat menyebabkan efek simultan, yaitu
apertures dapat mengurangi berkas intensitas dan menghilangkan elektron yang
tersebar di berbagai sudut tinggi, yang mungkin disebabkan oleh proses-proses
yang tidak diinginkan seperti aberration, atau karena difraksi dari interaksi dalam
sampel.
Dengan adanya aperture, elektron sentral dalam TEM menyebabkan dua efek
simultan: Pertama, aperture mengurangi intensitas berkas elektron yang disaring
dari balok, yang mungkin diinginkan dalam kasus sampel balok sensitif. Kedua,
penyaringan ini menghilangkan elektron yang tersebar pada sudut tinggi, yang
mungkin disebabkan oleh proses-proses yang tidak diinginkan seperti aberration
bola atau berwarna, atau karena difraksi dari interaksi dalam sampel.
PERAWATAN DAN PERMASALAHAN ALAT
A. Perawatan
Instrumen TEM memerlukan tindakan preventif dan maintenance untuk
menjaga performa alat. Secara umum ada 3 prosedur perawatan:
1. Servis electron-optical column: membersihkan komponen beam-path,
mengganti atau membersihkan aperture, menginstalasi katoda W/laB6,
mengecek kelurusan optic, dan mengecek sudut specimen stage.
2. Servis elektronik: kalibrasi pembesaran, kalibrasi atau cek output daya,
kalibrasi kompresi Kv, pengujian fitur/fungsi, dan pengecekan operasi
mekanisme kontrol.
3. Servis komponen vakum: pengecekan valve operation, pengecekan
keamanan sambungan, dan pengecekan kalibrasi gauge vakum.

B. Permasalahan Alat
Beragam masalah pada alat ini terjadi, baik Karena pemakaian ataupun
kondisi sekitar alat. Diantaranya:
1. Kontaminasi
Baik kontaminasi silang dari operator atau dari efek penyorotan electron
yang memanaskan komponen mikroskop.
2. Penguapan material di dalam mikroskop
Karena efek yang sama.
3. Terkumpulnya partikel debu.
4. Pengembunan pada ruang vakum.
KALIBRASI DAN KEUNGGULAN ALAT
A. Kalibrasi
a. Kalibrasi Pembesaran
50x sampai 1500x: grid dengan mesh 1500
1500x sampai 100.000x: replika grating difraksi
> 100.000x: penting untuk menentukan rasio jarak antara dua partikel (titik)
pada 2 foto yang diambil pada 2 settingan pembesaran yang berbeda,
b. Kalibrasi panjang-kamera
LAD: Grid dengan mesh 1500, lihat spot lattice pada grid itu sendiri.
D: Replika grating difraksi dengan gold islands atau standar difraksi (seperti
alumunium polikristalin).
c. Kalibrasi sudut rotasi difraksi citra
Dilakukan dengan cara penggunaan exposure dan juga pola difraksi. Sampel
yang baik untuk digunakan pada kalibrasi ini adalah kristal molybdenum
trioxide pada film karbon.

B. Keunggulan Alat
a. Resolusinya superior 0.1~0.2 nm, lebih besar dari SEM (1~3 nm).
b. Mampu mendapatkan informasi komposisi dan kristalografi dari bahan uji
dengan resolusi tinggi.
c. Memungkinkan untuk mendapatkan berbagai signal dari satu lokasi yang
sama.
METODE KERJA ALAT
Fixasi
Fixasi jaringan dimulai dengan cara menyuil sampel ke dalam potongan 2-3
mm dan rendam dalam larutan Karnovsky selama 30 menit, dikecilkan lagi sampai
ukurannya 0.5 – 1 mm pada sisinya dan lanjutkan fixasi selama 2-5 jam. Spesimen
kemudian dilakukan 3 kali pencucian selama 30 menit di dalam cacodylate buffer
0.1 M dingin, dengan paling tidak terendam selama semalam. Jaringannya
kemudian di post-fixasi selama 2 jam di dalam osmium tetroxide 1.33% dengan
cacodylate buffer 0.1M. Jaringannya kemudian direndam lagi dalam larutan buffer
selama3 pencucian 15 menit dengan pembilasan akhir berlangsung selama 12 jam.
Dehidrasi
Pencucian dengan alcohol pada temperatur ruangan, dengan rincian alcohol
50% 15 menit, 75% 15 menit, 95% 15 menit, 100% 30 menit 3 kali, propylene
oxide 30 menit 2 kali.
Infiltrasi
Pengeksposan jaringan terhadap satu atau lebih campuran propylene oksida
dan medium.
Embedding
Pengovenan 45 degree selama 8-20 jam dilanjtkan dengan 24 jam pada suhu
60 degree oven.
Trimming
Specimen kemudian dipotong-potong.
Sectioning
Menggunakan Ultratome.
Staining
Penodaan, dan lihat citra di TEM.
TAHAPAN LANGKAH KERJA
Untuk semua analisa, semua tahapan dirasa hampir sama, hanya masalah
protokol dan juga kewenanangan terhadap alat, diantaranya:
1. Memasukkan spesimen
2. Pilih dana tur tegangan
3. Menyalakan gun dan filamen
4. Pastikan sistem iluminasi lurus dan beroperasi seperti yang dibutuhkan
5. Masukkan aperture sesuai kebutuhan
6. Atur ketinggian sampel terhadap posisi eusentris
7. Pilih ukuran spot yang benar
8. Pilih ukuran aperture yang benar dan sesuai kebutuhan
9. Geser sampel ke area of interest dan lihat
10. Fokus dan benarkan astigmatismenya
11. Pilih pembesaran yang dibutuhkan
12. Foto atau koleksikan digital dengan perekaman citra
13. Tukar sampel atau jalankan prosedur penyudahan
STANDARISASI ALAT
1. ISO 29301:2010 untuk metode pembesaran citra dengan menggunakan
material referensi yang mempunyai struktur periodik.
2. ASTM D5755 - 09(2014)e1 untuk metode sampling mikrovakum dan
analisa tidak langsung terhadap debu dengan TEM pada loading permukaan
nomor struktur asbestos, dll.
 DAFTAR PUSTAKA

Williams, D.B. and Carter, C.B. unknown. Transmission Electron Microscopy –

Basics. New York: Plenum Publishing Corporation.
Egerton, R.F. 2005. Physical Principles of Electron Microscopy – An Introduction
to TEM, SEM, and AEM. New York: Springer Science+Business Media,
Inc.
Anonim. 2011. TEM (transmission electron microscopy), diakses di http://tri-w-b-
fst08.web.unair.ac.id/artikel_detail-39161-Umum-TEM%20
(transmission%20 electron %20microscopy).html, pada 30 Maret 2017
pukul 20.31 WIB
Anonim. unknown. Transmission electron microscopy, diakses di https://en.
wikipedia.org/wiki/Transmission _electron_microscopy, diakses pada 30
Maret 2017 pukul 20.34 WIB
Anonim. 2010. Transmission Electron Microscopy (TEM), diakses di https://
materialcerdas.wordpress.com/teori-dasar/transmission-electron-
microscopy-tem/, pada diakses pada 30 Maret 2017 pukul 20.35 WIB
Anonim. 2000. Calibration Procedures, diakses di http://cryoem.tamu.edu/tem_
help/tem/calib.htm, pada 30 Maret 2017 pukul 20.39 WIB