Piezoresistive Stretchable Strain Sensors with Human Machine Interface Demonstrations

(Sensor Regangan Merenggang Piezoresistif dengan Demonstrasi Antarmuka Mesin Manusia)

Abstrak:

Sensor regangan adalah elemen penting dalam fleksibel dan skin-mountable elektronik biasanya dibuat
menggunakan bahan semikonduktor dalam proses manufaktur berbasis Cleanroom. Karya ini
menunjukkan sensor strain piezoresistif dengan kedua strain dan tekanan penginderaan kemampuan
dengan proses hemat biaya dan serbaguna memanfaatkan pola laser , konversi grafit, dan proses
transfer polimerik. Sistem penginderaan yang dihasilkan menunjukkan faktor pengukur tinggi 37 dan
sensitivitas tekanan 0,088 kPa-1 dengan galur berkelanjutan tinggi hingga 70%. Penampilan luar biasa ini
dijelaskan dan diamati dengan mengubah sensor di bawah SEM di tempat untuk menunjukkan
karakteristik penyembuhan diri film di bawah deformasi besar. Sangat sensitif

Sensor regangan telah ditunjukkan dalam demonstrasi antarmuka manusia, seperti mengukur sinyal
fisiologis denyut manusia, tekanan jari dan lentur jari serta membantu lengan robot untuk
mencengkeram dan melepaskan operasi.

1. Introduction

Sensor regangan yang fleksibel dan dapat dideformasi merupakan komponen penting untuk aplikasi di
bidang antarmuka mesin manusia (HMI) 1-6. Dibandingkan dengan elemen penginderaan kaku
konvensional, sensor fleksibel dan elastis yang dapat dipasang dengan pas ke sistem HMI menarik untuk
berbagai bidang seperti entertainment7-9, medicine1010 dan consumer electronics1, 11-14. Misalnya,
sistem elektronik fleksibel, seperti sensor regangan, sensor termal, sensor kelembaban, robot lunak, dan
pemanen energi semuanya telah dilaporkan15-24. Di antaranya, regangan yang bisa meregang dan

sensor tekanan dapat menjadi vital dalam dua area aplikasi utama: (1) kulit elektronik untuk mendeteksi
kekuatan fisik dan / atau tekanan untuk meniru kulit manusia1, 11, 25; dan (2) bantuan dalam
manipulasi robotik untuk kontrol umpan balik2, 26. Beberapa pekerjaan sebelumnya telah
menggunakan efek piezoresistif untuk sensor regangan fleksibel dengan menyimpan bahan konduktif,
seperti kawat nano konduktif 27-28, carbonnanotubes3, 5, 29,… graphene atau graphene oxide29-32,
dan polimer nanofibers33-34 ke substrat polimer. Sensor strain piezoresistif ini memiliki faktor pengukur
mulai dari 2 hingga 600, sensitivitas tekanan 0,001kPa-1 hingga 10kPa-1 dan batas perpanjangan 0,015%
-15,5% 10-12, 25. Baru-baru ini, ada beberapa sensor strain resistif fleksibel dengan baik pertunjukan
dibuat dari metode fabrikasi sederhana20, 35-36. Pada tahun 2014, Lin dkk. melaporkan pendekatan
yang sederhana dan efektif untuk menghasilkan elektroda graphene berpori berpola menggunakan laser
CO2 untuk menyinari film polimer komersial37.Berdasarkan teknik laser induced graphite (LIG) ini,
beberapa perangkat fleksibel, termasuk superkapasitor38, UV39, dan sensor regangan9, 40-42 memiliki
telah dilaporkan. Dalam pekerjaan ini, kami memajukan teknologi sensor regangan fleksibel di

aspek-aspek berikut:

(1) proses produksi hasil tinggi berdasarkan LIG;

(2) sensitivitas tinggi (mengukur faktor 37 dan sensitivitas tekanan 0,088 kPa-1) perangkat menggunakan
desain elektroda serpentine dengan ketebalan tipis (200μm);

(3) respons dinamis yang tinggi untuk meniru kulit manusia dalam kisaran 5-400Hz1, 41-42;

dan

(4) attachment yang sesuai untuk demonstrasi HMI, termasuk sinyal pulsa biologis dan manipulasi
gripper robot. Dengan demikian, sensor strain kami dapat diintegrasikan dengan elektronik yang dapat
dipakai di masa depan seperti kulit buatan dan sistem robot.

2. Hasil dan Diskusi

Perangkat yang dipasang di kepala yang digunakan dalam aplikasi virtual reality (VR) populer untuk
permainan video, aplikasi militer, dan program pelatihan medis. Selain efek visual dan audio, tanggapan
umpan balik dari sensor strain dapat secara drastis meningkatkan sistem saat ini. Gambar 1a secara
konsep menggambarkan sensor sensor mountable kulit yang diusulkan bersama dengan sistem VR untuk
menyediakan berbagai fungsi, termasuk umpan balik sinyal biologis, seperti pengakuan gerakan jari,
penginderaan tekanan jari, dan pemantauan denyut biologis. Gambar 1b mengilustrasikan proses
fabrikasi sensor regangan. Pertama, pita Kapton 50μm tebal komersial (Nulink inc., 25μm perekat silikon
dan 25μm polimida) melekat pada substrat kaca. Struktur grafit berpori dipola oleh tulisan langsung
laser CO2 pada film polimida (PI). Untuk sensor strain dan sensor tekanan, kami menggunakan struktur
penginderaan serpentine sebagai jalur penginderaan seperti yang ditunjukkan pada Gambar S1a. Dalam
struktur berkelok-kelok, segmen garis terhubung secara seri, sehingga perubahan resistensi di setiap
segmen dapat berkontribusi secara akumulatif. Parameter geometrik utama, seperti periode struktur
serpentine, panjang, lebar setiap segmen telah dirancang seperti yang tercantum dalam Tabel S1. Untuk
sensor prototipe, struktur serpentine 3-siklus dipilih untuk sensor regangan untuk mengakomodasi
deformasi besar dan struktur serpentine 8-siklus digunakan untuk tekanan untuk sensitivitas yang baik.
Gambar S1b menunjukkan fleksibilitas yang baik dari sensor, termasuk memutar dan melipat secara
berulang-ulang. Proses karbonisasi film PI di bawah proses iradiasi laser telah dimodelkan oleh
mekanisme fototermal, karena panjang gelombang panjang (~ 10.6μm) dan pulsa relatif panjang (~
14μs) dari laser CO2 (Universal inc.) 37, 42 Film PI dapat menyerap energi laser insiden, mengubahnya
menjadi panas dan menginduksi pemanasan lokal untuk menyebabkan karbonisasi polimida39 dengan
memecah ikatan kimia (seperti C-O, C = O dan N-C) untuk membentuk pola jejak37 . Gambar S1c
menunjukkan gambar SEM yang menampilkan morfologi berpori grafit dalam pola yang diinduksi oleh
laser. Struktur karbonisasi dan berpori mengandung multilayer graphene flakes40 agar mudah terlepas
dari substrat PI karena kurangnya ikatan fisik dan kimia yang kuat. Gambar S2a-d menunjukkan
morfologi grafit yang diinduksi laser pada pita PI di bawah 36% hingga 18% dari daya laser penuh 60
watt. Di bawah kekuatan laser yang tinggi untuk lebih dari 26% dari skala penuh (Gambar S2ab), skala
mikro "rambut" dapat dibentuk, sementara di bawah daya laser rendah kurang dari 18% dari skala
penuh (Gambar S2d), struktur grafit tidak kontinu. . Kekuatan laser di antara kasus eksperimental tinggi
dan rendah dapat membuat konversi material yang baik (Gambar S2c) dengan pengaturan yang relatif
baik morfologi.

Setelah proses konversi laser, cairan polydimethylsiloxane (PDMS) atau larutan Ecoflex dituangkan
untuk menutupi struktur berpori LIG. Setelah itu, film PDMS atau Ecoflex dengan struktur grafit
terlampir disembuhkan dan dikupas dari substrat PI asli. Gambar S3 menunjukkan bahwa proses
transfer dapat meninggalkan beberapa sisa graphitic flakes pada substrat PI. SEM gambar (Gambar S1d)
dari grafit ditransfer pada film PDMS menunjukkan banyak bola kecil (sekitar ukuran yang sama lubang
pada Gambar S1c) sebagai solusi PDMS mengisi rongga dalam struktur LIG dan menduplikasi bentuknya
selama proses pengawetan dan pengalihan . Pandangan cross sectional pada FigureS1e menunjukkan
film yang ditransfer memiliki lapisan grafit dengan ketebalan 100μm. Angka S4a-d menunjukkan
pandangan atas komposit grafit-PDMS yang terbentuk pada tingkat daya laser yang berbeda dan Angka
S5a-d menunjukkan pandangan cross-sectional dari hasil yang sesuai dari Gambar S4-d. Polimer yang
sangat elastis membantu menjaga serpihan grafitik bersama-sama di bawah deformasi besar dan
menyediakan mekanisme penyembuhan diri untuk retakan mekanis yang dihasilkan di lapisan grafit.
Sebagai contoh, Gambar 1c dan 1d adalah film-film yang dipindahkan yang terbuat dari grafit PDMS dan
Ecoflex-grafit, masing-masing dan pulau-pulau dan retakan yang lebih besar lebih terlihat pada
permukaan Ecoflex-grafit karena kemungkinan terbentuk selama proses pengelupasan dan transfer
mekanis. Di bawah peregangan mekanis eksternal, pulau-pulau konduktif listrik pada film dapat terpisah
dan retak dapat dikeluarkan seperti yang ditunjukkan dalam Omni-probe (TED, Inc) di-situ SEM
percobaan (Gambar 1e) setelah lembut mendorong polimer-grafit komposit (Langkah I). Di bawah
gangguan eksternal kecil, kesenjangan diperpanjang terlihat (Langkah II). Dengan meningkatkan
kekuatan gangguan, celah tersebut semakin membesar dan retak baru terbentuk (Langkah III). ke posisi
awalnya, retakan yang baru dihasilkan sembuh sendiri (Langkah IV), sementara retakan lama
mengurangi ukuran mereka mendekati keadaan awal mereka. Karakteristik deformasi ini ditangkap
dalam video (Film S1) untuk menggambarkan secara visual pemulihan dan penyembuhan perubahan
resistensi pada grafit. Pembukaan retak signifikan menghasilkan perubahan resistansi besar dan
sensitivitas tinggi (faktor pengukur besar), sementara sifat penyembuhan diri dari retakan membantu
pemulihan sistem penginderaan. Gambar 2a membandingkan perubahan resistansi terhadap regangan
yang diterapkan untuk berbasis Ecoflex (simbol biru) dan perangkat berbasis-PDMS (simbol merah)
hingga sekitar 70-80% dari strain, masing-masing. Rentang ini lebih besar daripada sensor piezoresistif
lainnya yang terbuat dari graphene29 dan kawat nano konduktif 20. Jika regangan yang diterapkan lebih
ditingkatkan, resistensi pada kedua sensor meningkat secara drastis karena pulau grafit konduktif benar-
benar terisolasi. Hasil menunjukkan prototipe perangkat berbasis PDMS memiliki faktor pengukur yang
stabil (GF = (ΔR / Ro) / (ΔL / Lo)) sebesar 37, sedangkan perangkat berbasis Ecoflex memiliki faktor
pengukur 40 untuk perpanjangan kecil (0 ~ 30 %), 186 untuk mid range elongations (30% ~ 60%), dan
362 untuk perpanjangan besar (60% ~ 70%). Gambar 2b menunjukkan foto-foto optik dari perangkat
prototipe dengan masing-masing 0%, 30% dan 60% panjangnya. Struktur cetak 3D digunakan untuk
mengkarakterisasi perubahan hambatan di bawah berbagai jari-jari lentur (Gambar 2c) dengan
memasang sensor regangan pada permukaan struktur 3D dengan radius lentur berbeda dari 1,0, 2,0 dan
2,5 cm. Ketika radius lentur berubah dari tak terbatas (yaitu permukaan datar) menjadi 1,0 cm (i. E., Jari-
jari jempol atau jari), resistensi meningkat 400% untuk sensor berbasis-PDMS dan 2000% untuk sensor
berbasis Ecoflex. Seperti yang ditunjukkan pada Gambar S6, perubahan resistensi sensor regangan
diukur dengan memuat dan menurunkan dari elongasi 0, 20%, 30%, 40% dan 50%, masing-masing.
Histeresis dapat diamati ketika meregangkan sensor regangan. Itu histeresis terutama disebabkan oleh
sifat viskoelastis dari substrat polimer dan interaksi antara grafit dan polimer. Untuk mengevaluasi
pengulangan dan stabilitas sensor regangan, pengujian 1000 siklus regangan yang diterapkan 20%
dilakukan pada frekuensi 1Hz. Untuk sensor berbasis PDMS (Gambar 2d), perubahan resistansi puncak
menurun sekitar 10% setelah sepuluh siklus pertama dan stabil setelahnya. Perubahan resistansi total
(diukur pada keadaan dilepaskan) kurang dari 5% setelah 1000 siklus. Diamati bahwa perubahan
resistansi puncak dalam sensor berbasis Ecoflex tidak stabil seperti sensor berbasis PDMS (Gambar 2e).
Perbandingan kinerja dengan beberapa sensor strain resistif yang dilaporkan ditunjukkan pada Tabel
S23, 43-46.

Beberapa percobaan HMI dilakukan menggunakan sensor prototipe. Gambar 2f menunjukkan hasil
pengukuran sudut dari gerakan lentur jari manusia pada sambungan jari telunjuk menggunakan sensor
berbasis PDMS. Di bawah arus konstan 10μA dari potensiometer (Instrumen GAMRY), perubahan dalam
potensi dicatat oleh peningkatan 15 derajat, dari 0 hingga 90 derajat dan sensor menunjukkan
kemampuan pemulihan yang baik setelah melalui siklus pembengkokan 90 derajat penuh. Di sisi lain,
sensor berbasis Ecoflex digunakan untuk pengukuran tekanan manusia dan uji karakterisasi tekanan
statis ditunjukkan Gambar 3a dengan menerapkan beban tekan persegi panjang 0,01 N (tekanan
minimum yang dapat dideteksi) pada interval 1 dengan perubahan 12Ω dalam tahanan. Dengan
demikian, sensitivitas sensor tekanan diperkirakan sebagai 0,088 kPa-1, yang sebanding dengan laporan
sebelumnya11. Sensitivitas dari sensor tekanan resistif secara umum didefinisikan sebagai S = (ΔR / R) /
P, di mana P adalah diterapkan tekanan normal, dan ΔR / R menunjukkan perubahan relatif dalam
tahanan. Sensitivitas sensor tekanan dapat diperoleh sebagai lereng Gambar 3a, yang dicirikan oleh dua
daerah dengan nilai yang berbeda. Dalam rentang tekanan rendah di bawah 4kPa, sensitivitas 0,088 kPa-
1 diperoleh sementara pada rentang tekanan tinggi di atas 4kPa, sensitivitas menurun menjadi 0,033
kPa-1. Gambar 3a juga menunjukkan kurva histeresis untuk perubahan resistansi relatif di bawah
tekanan yang berbeda (baik loading dan unloading). Gambar S7 menunjukkan sangat tipis dan compliant
(~ 200μm dalam ketebalan total) prototipe sensor dipasang di ujung jari indeks, mengukur perubahan
tekanan hingga 12 kPa. Perbandingan kinerja dengan beberapa sensor tekanan resistif yang dilaporkan
ditunjukkan pada Tabel S347-50.

Selanjutnya, perubahan tegangan pada sensor yang dihasilkan dari pulsa manusia dicatat di bawah arus
konstan 10µA. Struktur serpentine ditempatkan pada arteri radial untuk mendeteksi denyutan denyut.
Gambar 3b menampilkan bentuk gelombang arteri arteri terukur dalam jangka waktu 8 detik (kiri)
dengan pandangan diperbesar dari siklus terakhir (kanan). Tiga puncak denyut nadi, yaitu sistolik (Ps),
infleksi (Pi) dan puncak dicrotic (Pd) dapat diidentifikasi secara jelas. Gelombang arteri mengandung
informasi fisiologis yang melimpah, dan dapat secara signifikan dipengaruhi oleh kondisi fisiologis sistem
kardiovaskular manusia.

Satu persyaratan penting untuk aplikasi HMI adalah rentang dinamis dari sensor. Sebuah aktuator
komersial (Novasentis Inc.) digunakan untuk menguji respons dinamis dari sensor seperti yang
ditunjukkan pada Gambar 3c. Aktuator dapat bergetar dari 1 hingga 400Hz, yang mencakup rentang
frekuensi penginderaan lengkap reseptor saraf manusia1. Diamati bahwa perubahan resistensi dari
prototipe sensor menurun seiring dengan meningkatnya frekuensi penggerak. Gambar 3d dan tambahan
Film S2 menunjukkan tanggapan (ditandai dengan jumlah resistensi) pada beberapa frekuensi yang
dipilih dan tanggapan resistensi hampir sama di bawah untuk frekuensi mengemudi rendah (1 ~ 5Hz)
tetapi secara bertahap menurun sebagai frekuensi penggerak meningkat. Ketika frekuensi mengemudi
tinggi (misalnya, 100 ~ 400Hz), respons resistan menurun secara signifikan (hanya 10% dari mereka yang
memiliki frekuensi rendah). Penjelasan yang mungkin adalah: (1) perpindahan aktuator menurun seiring
meningkatnya frekuensi mengemudi (diverifikasi dengan pengukuran Laser Doppler Vibrometer), dan (2)
retakan tidak dapat membuka / memulihkan cukup cepat pada frekuensi tinggi.
Tes HMI lain dilakukan dengan melampirkan sensor tekanan ke gripper tangan robot (OWI Robotic Inc.,
material: plastik) seperti yang ditunjukkan pada Gambar 4a. Ketika gripper meraih objek, ketegangan
yang disebabkan oleh gaya yang diterapkan dapat dimonitor melalui perubahan resistensi dari sensor.
Pengukuran ini kemudian diumpankan kembali dan dibandingkan dengan ambang yang telah ditentukan
sebelumnya (Gambar 4b). Jika gaya lebih rendah dari nilai yang ditetapkan sebelumnya, keterlibatan
fisik antara objek dan gripper robot dapat ditingkatkan. Ketika gaya lebih tinggi dari nilai yang
ditetapkan, genggaman dapat mengangkat objek dengan gaya gesekan yang cukup tinggi. Proses ini
dimonitor secara real time oleh sistem akuisisi data (DAQ) (NI USB 6342, National Instrument, USA).
Sistem ini kemudian menerapkan tegangan analog yang berbeda (berdasarkan pembacaan gaya yang
berbeda) ke sirkuit penggerak motor (L9110S H Bridge Motor Driver, Atomic Market). Di sini, lima tahap
dari keseluruhan proses manipulasi disajikan (Gambar 4c dan Tambahan Film S3), dengan garis biru yang
menunjukkan resistansi real-time yang diukur oleh sensor, dan garis putus-putus merah yang sesuai
dengan nilai gaya preset. Di tahap I, kedua jari tidak melakukan kontak dengan objek. Saat jari-jari
menerapkan gaya normal pada objek, resistensi meningkat (Tahap II). Ketika gaya normal melebihi nilai
preset, gaya dipertahankan pada tingkat yang sesuai (Tahap III). Ketika lengan robot mengangkat benda
ke atas pada titik 13 detik (Tahap IV), resistensi meningkat dan turun sebelum stabil karena sensor
mengalami gaya geser karena berat gravitasi objek. Penambahan gaya geser secara tiba-tiba
membentang sensor untuk menghasilkan peningkatan regangan dan sensor pulih setelahnya
(penyembuhan diri) dengan pembacaan resistensi yang menurun karena gaya geser ke arah gravitasi
dapat membantu penyembuhan bagian dari retakan pada sensor. . Pada Tahap V, resistansi dari sensor
kembali ke nilai awalnya dengan drift kecil setelah objek dilepas dari gripper. Dalam proses manipulasi
ini, sensor dapat mencegah benda pecah dengan mencegah gaya yang terlalu berlebihan diterapkan,
dengan pembacaan kekuatan waktu nyata untuk kontrol operasi robot.

3. Kesimpulan

Sebagai kesimpulan, sensor regangan yang dapat direnggangkan dan disesuaikan dengan sensitivitas
tinggi dilaporkan dengan demonstrasi interaksi antar muka manusia. Sensor piezoresistif ini dapat
difabrikasi dengan menggabungkan struktur grafit berbentuk-grafit yang diinduksi laser dengan substrat
elastomer (PDMS atau Ecoflex). Kami lebih lanjut mendemonstrasikan perubahan resistensi pada sensor
seperti hasil dari perluasan dan pembangkitan retakan di antara pulau-pulau konduktif dengan potensi
kemampuan penyembuhan diri yang baik. Faktor pengukur besar dan batas perpanjangan tinggi (untuk
sensor regangan) dan sensitivitas tekanan yang baik (untuk sensor tekanan) telah dicapai untuk aplikasi
potensial dalam sistem elektronik yang dapat meregangkan kulit untuk operasi antarmuka manusia.

Bagian percobaan

PDMS yang tidak diasah (Sylgard 184, rasio campuran 10: 1, rasio dapat disesuaikan untuk mendapatkan
film PDMS dengan modulasi Young yang berbeda) dituangkan ke sampel berpola dan udara dievakuasi
selama 5 menit dengan pompa vakum. Gelembung dapat dilihat selama evakuasi karena memungkinkan
PDMS untuk mengisi pori-pori dalam struktur grafit bermotif. Ketebalan film PDMS dikendalikan oleh
jumlah PDMS yang dituangkan dan kecepatan putaran spin-coater. Setelah pengawetan dalam oven
pada suhu 60oC selama 1 jam, lapisan PDMS yang diawetkan dikupas oleh penjepit dari pita PI komersial
dan lapisan grafit yang diinduksi oleh laser dipindahkan ke film PDMS. Kemudian, kabel konduktif terikat
pada bantalan sensor dengan pasta perak untuk sambungan listrik. Akhirnya, untuk melindungi pola
grafit serpentine dari kontaminasi ketika melakukan kontak dengan objek, sisi grafit disegel dengan
lapisan PDMS tipis lainnya dengan spin-coating. PDMS juga dapat diganti oleh Ecoflex 00-30 (Smooth-on
inc.) Yang dapat memberikan Modulus Young yang lebih rendah dan substrat yang lebih elastis untuk
pola serpentine.

Ucapan terima kasih

Ucapan terima kasih

Pekerjaan ini didukung sebagian oleh Sensor Berkeley dan Pusat Aktuator (BSAC), Pusat Kerjasama Riset
NSF / Industri / Universitas. Mr. Y. Wu didukung oleh beasiswa dari China Scholarship Council (CSC) dan
Tsinghua-Berkeley Shenzhen Institute (TBSI), Tsinghua University. Para penulis juga mengakui dukungan
dari Penelitian dan Rencana Pengembangan Teknologi Tinggi Nasional China (2015AA043505),
Fundamental Penelitian Funds Shenzhen (JCYJ20150831192244849), Penelitian Teknologi Shenzhen

Dana (JSGG20170414094227487), Fundamental Penelitian Funds Shenzhen

(JCYJ20150630170146829), dan Yayasan Ilmu Pengetahuan Alam Provinsi Guangdong

(2016A030313022).