ALAT INDUSTRI KIMIA

VALVE, POMPA, KOMPRESOR, EJEKTOR, DAN VAKUM

Disusun oleh :

1. Muhammad Shafal Jamil 16521032

2. Rini Indraswari 16521200
3. Primanita 16521226
4. Winda Anggraeni 16521235
5. Arinda Rahmandani 16521246

Kelas B

PROGRAM STUDI TEKNIK KIMIA

FAKULTAS TEKNOLOGI INDUSTRI

UNIVERSITAS ISLAM INDONESIA

2019
 JENIS-JENIS KRAN (VALVE)

1. Gate Valve

a. Fungsi
Untuk membuka dan menutup aliran (on-off) tetapi tidak untuk mengatur
besar dan kecil aliran (throttling).
b. Prinsip Kerja
Mengontrol aliran melalui badan valve yang berbentuk pipa, dengan sebuah
lempengan atau baji vertikal (lihat gambar dibawah ini) yang bisa bergeser
naik turun saat handel valve diputar. Valve ini didesain untuk posisi terbuka
penuh, atau tertutup penuh. Jika valve ini dalam keadaan setengah terbuka,
maka akan menyebabkan pengikisan pada badan valve, dan turbulensi aliran
zat bisa menyebabkan getaran pada baji valve sehingga menghasilkan suara
gemeretak.
c. Jenis – jenis
❖ Rising Stem Gate Valve, jika dioperasikan handwheel naik dan stem juga
naik.
❖ Non Rising Stem Gate Valve, jika di operasikan handwheel tetap dan
stem juga tetap.
❖ Outside Screw & Yoke Gate Valve, jika di operasikan handwheel tetap
tapi sItemnya naik.
d. Kelebihan
❖ Low pressure drop waktu buka penuh
❖ Amat ketat dan cukup bagus waktu penutupan penuh
❖ Bebas kontaminasi
❖ Sebagai Gerbang penutupan penuh, sehingga tidak ada tekanan lagi
❖ Cocok apabila akan melakukan service / perbaikan pada pipa
e. Kekurangan
❖ Tidak cocok di pakai untuk separuh buka, karena akan menimbulkan
turbulensi sehingga bisa mengakibatkan erosi dan perubahan posisi gate
pada dudukan.
❖ Untuk membuka dan menutup valve perlu waktu yang panjang dan
memerlukan torsi / torque yang tinggi
❖ Untuk ukuran 10 “ keatas tidak cocok dipakai untuk steam

2. Ball Valve

a. Fungsi
Untuk mengontorl flow control/pengendalian aliran, pressure
control/pengendali tekanan, shut off, cocok untuk high pressure dan
temperatures/tekanan dan suhu yang tinggi. Menggunakan ankle untuk
membuka atau menutup valve dengan sudut 90°.
b. Prinsip Kerja
Apabila bola tersebut diputar ke arah lubangnya, maka memungkinkan fluida
untuk mengalir. Apabila diputar sebaliknya maka akan menutup aliran fluida.
c. Jenis – jenis
❖ Reduced bore ball valve
❖ Full bore ball valve
d. Kelebihan
❖ A very low pressure drop/kehilangan tekanan sangat rendah
❖ Low leakage/cukup jarang bocor
❖ Small in size dan ball valve tidak begitu berat jika dibandingkan dengan
valve lain yang sejenis
❖ Mudah dibuka dan tidak mudah terkontaminasi.
e. Kekurangan
❖ Seat bisa rusak karena adanya gesekan antara ball dengan seat
❖ Pembukaan handle yang cepat bisa menimbulkan water hammer/palu air
pada system sehingga terjadi tekanan yang besar yang bisa merusak
system/sambungan dan dinding pipa.

3. Globe Valve

a. Fungsi
Untuk mengatur besar kecilnya laju aliran fluida dalam pipa (throttling).
b. Prinsip Kerja
Aliran atau Flow pada Pipa dapat diatur melalui tuas yang menutup pada ring
yang ada dibawahnya.
c. Jenis – jenis
❖ Globe Valve Z - Body
❖ Globe Valve Y - Body
❖ Angle – Body
d. Macam-macam bentuk Disc/plug dari Globe Valve
❖ Type Plug Disk ❖ Tipe soft seat disk
❖ Tipe Regulating disk ❖ Tipe guide disk
❖ Tipe flat disk
e. Kelebihan
❖ Kemampuan dalam menutup baik.
❖ Kemampuan throttling (mengatur laju aliran) Cukup baik.
f. Kekurangan
❖ Penurunan tekanan lebih tinggi dibandingkan dengan Gate Valve
❖ Valve ukuran besar membutuhkan daya yang cukup atau aktuator yang
lebih besar untuk beroperasi

4. Butterfly Valve

a. Fungsi
Untuk mengisolasi atau mengatur aliran. Digunakan pada Flow Cair atau Gas
dengan Pressure Rendah dan Volume yang besar.
b. Prinsip Kerja
Butterfly valve ini mempunyai disc yang berputar secara vertical di tengah
pipa dan hanya berputar sebanyak 90 derajat dari posisi fully open hingga
fully close dan butterfly valve ini juga bagus digunakan sebagai throttling
valve.
c. Kelebihan
❖ Harganya lebih murah di banding valve jenis lainnya.
❖ Desain valvenya lebih ringan dalam berat dibanding jenis-jenis valve yang
lain.
d. Kekurangan
❖ Tidak memiliki kekedapan yang bagus, dan harus digunakan pada situasi/
sistem yang memiliki tekanan rendah (low-pressure)

5. Check Valve

a. Fungsi
Sebagai pengaman terhadap aliran balik fluida yang dapat merusak motor
pompa, atau digunakan untuk keperluan proses lain, dimana aliran balik fluida
tidak diperbolehkan. Hanya bisa mengalirkan fluida dari satu arah saja, dan
apabila terdapat fluida yang mengalir berlawanan arah, secara mekanis valve
ini akan tertutup dan menghentikan fluida.
b. Prinsip Kerja
Valve akan terbuka jika ada tekanan atau pressure dari Main Stream. Akan
tetapi akan tetap tertutup jika ada Flow dari arah sebaliknya.
c. Jenis – jenis
❖ Swing Check Valve
 Usage : One way flow / pengaliran satu arah
Advantages : Klo sudah buka ringan, low pressure drop / kehilangan
tekanan sangat rendah, cost nya murah
Disadvantages : Kebocoran amat tinggi dan aliran rendah karena
terganggu dengan adanya hambatan.
❖ Lift Check Valve
Keuntungan menggunakan lift check valve adalah terletak pada
kesederhanaan desain dan membutuhkan sedikit pemeliharaan.
Kelemahannya adalah instalasi dari check valve jenis lift hanya cocok
untuk pipa horisontal dengan diameter yang besar.
❖ Backwater check valve
Banyak digunakan pada sistem pembuangan air bawah tanah yang
mencegah terjadinya aliran balik dari saluran pembuangan saat terjadi
banjir.

6. Solenoid Valve

a. Pengertian
Katup yang digerakan oleh energi listrik melalui solenoida, mempunyai
kumparan sebagai penggeraknya yang berfungsi untuk menggerakan
piston yang dapat digerakan oleh arus AC maupun DC, solenoid valve
pneumatic atau katup (valve) solenoida mempunyai lubang keluaran,
lubang masukan dan lubang exhaust.
b. Fungsi
❖ Digunakan untuk menggerakan tabung cylinder.
 ❖ Digunakan untuk menggerakan piston valve.
❖ Digunakan untuk menggerakan blow zet valve.
c. Prinsip Kerja
Katup listrik yang mempunyai koil sebagai penggeraknya dimana ketika
koil mendapat supply tegangan maka koil tersebut akan berubah menjadi
medan magnet sehingga menggerakan piston pada bagian dalamnya
ketika piston bertekanan yang berasal dari supply (service unit), pada
umumnya solenoid valve pneumatic ini mempunyai tegangan kerja
100/200 VAC namun ada juga yang mempunyai tegangan kerja DC.

7. Relief Valve / Safety Valve

a. Pengertian
Jenis valve yang mekanismenya secara otomatis melepaskan zat dari
boiler, bejana tekan, atau suatu sistem, ketika tekanan atau temperatur
melebihi batas yang telah ditetapkan.
b. Prinsip Kerja
Pressure savety valve mempunyai tiga bagian utama yaitu inlet, outlet dan
spring set. Fluida bertekanan berada pada inlet PSV. PSV posisi menutup
selama tekanan fluida lebih kecil dibandingkan tekanan spring pada
spring set. Sebaliknya jika tekanan fluida lebih tinggi dibandingkan
tekanan spring set maka springset akan bergerak naik dan membuka katup
 yang akan membuang tekanan melalui outlet sampai tekanan fluida
maksimal sama dengan tekanan spring set.
c. Kelebihan
❖ Sederhana
❖ Banyak digunakan untuk general service
❖ Murah terutama untuk ukuran kecil dan material yang digunakan
standar
d. Kekurangan
❖ Set pressure terbatas
❖ Biaya pemeliharaan tinggi
❖ Back pressure yang berubah-ubah akan menimbulkan masalah
❖ Kecenderungan mudah terjadi kebocoran pada tekanan tinggi

8. Diapgram Valve

a. Fungsi
Untuk mengatur aliran (trhottling) dan bisa juga digunakan sebagai on/off
valve.
b. Terbuat dari
Besi tuang, besi lunak, baja lunak, stainless steel, dan campuran bahan
tahan korosi.
c. Jenis - jenis
❖ Straight-throught (menembus lurus)
 ❖ Weir (bendungan)
d. Aplikasi utama
Valve Diafragma melibatkan operasi tekanan rendah dan slurry. Struktur
utama elemen Valve Diafragma adalah body, bonnet (tutup cerobong) dan
diafragma fleksibel.
e. Kelebihan
Memiliki aliran yang tenang dan fluida akan mengalir tanpa hambatan,
jenis ini sangat baik untuk flow control dan penutupan aliran yang sangat
rapat walaupun di dalam jalur pipa terkandung suspended solid.

9. Plug Valve

a. Fungsi
untuk menutup atau membuka aliran secara keseluruhan.
b. Jenis - jenis
❖ Three way plug valve
❖ Four way plug valve
c. Prinsip kerja
Saat handle diputar menuju open position maka plug akan berputar secara
rotasi terhadap seat dan bagian yang bercelah akan melewatkan aliran.
Namun pada saat handle diputar pada close position maka plug akan
berputar secara rotasi terhadap seat dan bagian yang tak bercelah akan
menahan aliran, sehingga aliran pun akan berhenti.
 JENIS JENIS POMPA

1. Pompa Dinamik

Cara kerja Dynamic pump atau pompa dinamik yaitu

dengan menghasilkan fluida tinggi serta mengonversi
kecepatan menjadi tekanan melalui perubahan
penampang aliran fluida. Terdapat 3 jenis pompa
dinamik yaitu pompa sentrifugal, pompa aksial, serta
pompa spesial efek. Pompa dinamik umumnya mempunyai efisiensi lebih
rendah dibandingkan tipe positive displacement pump. Namun biaya
perawatan pompa dinamik ini lebih rendah, pompa dinamik pun dapat
beroperasi dengan kecepatan serta debit aliran yang tinggi.

A. Pompa Sentrifugal

Prinsip kerja merubah energi kinetis (kecepatan air) menjadi energi

potensial. Pompa ini merupakan pompa yang sangat umum digunakan dalam
kebutuhan industri, hampir 70% pompa yang digunakan oleh industri adalah
pompa sentrifugal. Pompa ini terdiri dari kipas yang bisa berputar dalam
sebuah casing, casing tersebut kemudian dihubungkan dengan saluran tekan
 dan saluran isap. Hal ini memungkinkan daya tekan yang dimiliki pompa ini
sangat terfokus.

Kelebihan :

• Banyak digunakan dalam Kekurangan:

industri
• Cocok untuk cairan yang
• Konstruksinya sederhana
viskositasnya rendah
• Operasinya andal
• Tidak self priming, walaupun
• Harganya murah
dengan desain khusus dapat
• Kapasitasnya besar dan
dibuat menjadi self priming
efisiensinya bagus
• Tidak cocok untuk kapasitas
• Dapat digunakan untuk suhu
yang kecil
tinggi dan kecepatan tinggi
• Tekanan pada discharge pompa
seragam

B. Pompa Aksial (pompa propeler)

Cara kerja nya yaitu karena adanya perputaran dari blade yang
mempunyai kedudukan sudut tertentu sehingga tekanan dari sisi hisap blades
pada daerah suction menjadi lebih rendah, akibatnya fluida mengalir ke sisi
hisap, blades tersebut yang selanjutnya masuk ke sisi tekan blades, pada
daerah discharge yang bertekanan lebih tinggi, dan dari sini fluida bergerak
atau mengalir ke tempat yang bertekanan lebih rendah.
Kelebihan :
• Memiliki tingkat efisiensi Kekurangan :
maksimum • Sistem kontrol yang tidak baik
• Konstruksi yang kuat jika excess head tinggi
• Pengaplikasian sistem kontrol • Ada beban mekanik pada valve
yang dapat diatur dengan saat posisi throttling
mudah • Ada resiko menimbulkan suara
• Harga murah bising jika sedang posisi
• Baik digunakan pada kondisi throttling tinggi
sistem yang lebih sering beban • Efisiensi pompa menjadi
100% rendah jika sedang posisi
• Baik digunakan pada throttling
operasional dengan waktu yang • Tidak hemat energi jika
pendek-pendek sedang posisi throttling

C. Special-Effect Pump

Cara kerja pompa ini ialah konvergen dihubungkan dengan pipa yang
berfungsi sebagai penghisap cairan, kemudian fluida yang terisap oleh pompa
karena adanya daya penggerak dalam bentuk energi dialirkan ke dalam nozel
dan masuk ke dalam tabung dengan kecepatan tinggi sehingga mengakibatkan
kevakuman di dalam tabung pompa. Adapun Jenis Special- Gas lift, hydraulic
ram, dan electromagnetic.

➢ Gas Lift Pump

Kelebihan Gas Lift Pump:
1. Umur peralatan lebih lama.
2. Biaya operasi lebih kecil.
3. Gas Lift tidak dipengaruhi oleh
desain sumur.
➢ Pompa hydraulic ram
Kelebihan pompa Hydraulic Ram:
1. Bisa beropeasi tanpa bantuan
energi listrik atau BBM.
➢ Pompa elektromagnetik
Kekurangan Gas Lift Pump:
1. Gas harus tersedia
2. Sentralisasi kompresor sulit
untuk sumur-sumur dengan
jarak jauh.
3. Gas injeksi yang tersedia
sangat korosif, kecuali diolah
sebelum digunakan.
Kekurangan pompa Hydraulic Ram:
1. Klep pembuangan membuka
karena beban klep terlalu
ringan
2. Klep pembungan menutup
karena beban klep berlebihan.
Keuntungan pompa elektromagnetik: Kekurangan pompa elektromagnetik:

1. Tidak memiliki bagian yang 1. Membutuhkan persyaratan

bergerak, ventilasi, seal dan yang tinggi.
lainnya.
2. Tidak bersuara dan bergetar.
3. Kinerjanya tidak habis
dimakan waktu.
4. Menghasilkan output yang
besar dengan input yang kecil.

2. Pompa Vacuum
A. Pompa Positive Displacement (pompa desak)

Cara kerja nya yaitu dengan memberi gaya tertentu pada volume fluida
dari sisi inlet ke titik outlet pompa. Terdapat 2 jensi Pompa Positive
Displacement yaitu reciprocating dan Rotary. Kelebihan Pompa Positive
Displacement yaitu bisa menghasilkan Power density yang lebih besar serta
bisa memberikan perpindahan fluida yang stabil di setiap putarannya.

Contoh pompa desak gerak bolak balik : piston/plunger pumps, diaphragm

pumps.
 Contoh pompa rotary displacement pumps : rotary pump, eccentric spiral
pumps, gear pumps, vane pumps dan lain-lain.

➢ Pompa Reciprocating

Kelebihan : Kekurangan :

• Efisiensi lebih tinggi. • Konstruksi lebih rumit.

• Dapat digunakan langsung • Keadaan efisiensi yang tinggi
tanpa memerlukan pancingan. tidak akan didapat lagi bila
• Bila bekerja pada kecepatan pompa
konstan, pompa ininakan • beroperasi pada kondisi yang
mempunyai tidak sesuai.
• kapasitas dan tekanan yang
konstan pula.
• Pompa ini cocok untuk
penggunaan head yang tinggi
dan kapasitas rendah.

➢ Rotary Pump

Macam-macam pompa rotary yaitu :

Gear pumps (pompa roda gigi)

Penggunaan
• mengalirkan berbagai macam oli bahan bakar maupun pelumas
• mengukur jumlah aditif yang dicampurkan pada bahan kimia
• mencampur dan mengaduk bahan kimia
• sistem hidrolik pada industri dan mobil
• aplikasi untuk low volume transfer lainnya
Keuntungan Kerugian
• high speed • membutuhkan empat bushing
• high pressure yaitu pada ujung masing-
• tidak ada beban yang tinggi masing poros gear
pada bearing • no solid allowed
• tidak berisik jika semua bagian • fixed end clearance
dimanufaktur dengan baik
• desain tersedia dalam berbagai
macam material sesuai
kebutuhan

Screw pumps (pompa ulir)

Kelebihan Dari Screw Pump : • Mampu untuk mentransfer
• Efisiensinya totalnya tinggi cairan yang multiphase
(70 % – 80%) • Desain sederhana
• Kemampuan hisap tinggi • Pompa dapat beroperasi tanpa
• Self priming valve
• Aliran konstan dan lancar • Arah aliran dapat dibalik
• Stabilitas tekanan sangat bagus (suction-discharge dapat
• Mudah ditangani cairan yang ditukar, tergantung arah
viskos dan abrasive putaran pompa).

Kekurangan Screw Pump: • Desain dilengkapi dengan

sebuah screw pemaksa dan
• Relative lebih mahal karena
gurdi (bor)
desainnya perlu ketelitian dan
• Aplikasi utamanya untuk
kepresisian serta toleransi yang
mentransfer cairan yang kental,
tinggi
heterogen, sensitive terhadap
• Karakteristik perfotmance
gesekan serta mudah
sensitive terhadap perubahan
menibulkan busa dengan
viskositas
viskositas sampai dengan
• Untuk tekanan tinggi
1000000 cps.
memerlukan element pompa
• Dilengkapi dengan hopper
yang panjang.
dengan panjang hingga 3 m

B. Pompa Momentum Transfer

adalah pompa yang menggunakan sistem jet fluida kecepatan tinggi, atau
menggunakan sudu putar kecepatan tinggi untuk menghisap gas dari sebuah
ruangan tertutup. Sesuai dengan hukum fluida, molekul fluida yang berada pada
tekanan atmosfer akan saling mendorong dengan molekul fluida tetangganya
dan mencptakan aliran fluida. Fenomena ini yang menjadikan dasar
penggunaan pompa vacuum momentum transfer. Contoh penggunaan pompa
mementum transfer ini adalah pompa difusi dan pompa turbomolecular
 C. Pompa Entrapment (jebakan)
adalah pompa yang menggunakan suatu zat padat atau zat adsorber tertentu untuk mengikat
gas di dalam ruanngan tertutup. Pompa jenis ini menggunakan metode-metode kimia ataupun
fisi untuk mengikat fluida dengan tuhuan menghasilkan tekanan vacuum.

Ada berbagai macam jenis pompa vakum entrapment, yaitu:

• Cryopump: adalah pompa vakum dengan jalan mengikat uap air atau gas di
suatu ruangan menggunakan sebuah permukaan yang dingin.
• Pompa kimia: yang mengikat gas untuk
bereaksi dan membentuk padatan.
• Pompa ionisasi: mengionisasi gas dengan
menggunakan potensial bertegangan tinggi, sehingga gas
tersebut terakselerasi menuju elektrode pengumpul.
 JENIS – JENIS KOMPRESOR

1. Kompresor perpindahan positif

A. Kompresor piston/torak
(Reciprocating)
a) Fungsi utama
Untuk mendukung seluruh beban dan
berfungsi juga sebagai tempat
kedudukan bantalan, poros engkol,
silinder dan tempat penampungan
minyak pelumas.
b) Prinsip kerja
❖ Tenaga mekanik dari
penggerak mulai di transmisikan melalui poros engkol dalam bentuk gerak
rotasi dan diteruskan ke kepala silang (cross head) dengan perantaraan batang
penghubung (connection rod).
❖ Pada kepala silang gerakan rotasi diubah menjadi gerak translasi yang
diteruskan ke torak melalui batang torak (piston rod).
❖ Gerakan bolak balik dalam silinder mengakibatkan perubahan volume dan
tekanan sehingga terjadi proses pemasukan, kompresi dan pengeluaran.
c) Kelebihan
❖ Dari segi harga kompresor piston ini cukup terjangkau
❖ Perawatan dan maintence mudah
❖ Dapat di gunakan untuk Air Delivery dan Pressure yang tinggi
d) Kekurangan
❖ Memiliki tingkat kebisingan yang tinggi
❖ Udara dari pengeluaran nya memiliki suhu yang tinggi
❖ Udara yang keluar memiliki persentase kandungan minyak yang tinggi
e) Jenis – jenis
❖ Kompresor piston kerja tunggal adalah kompresor yang memanfaatkan
perpindahan piston, kompresor jenis ini menggunakan piston yang didorong
oleh poros engkol (crankshaft) untuk memampatkan udara atau gas. Udara
 akan masuk ke silinder
kompresi ketika piston
bergerak pada posisi awal
dan udara akan keluar saat
piston/torak bergerak pada
posisi akhir/depan.
❖ Kompresor piston kerja
ganda beroperasi sama
persis dengan kerja
tunggal, hanya saja yang
menjadi perbedaan adalah
pada kompresor kerja
ganda, silinder kompresi
memiliki port inlet dan outlet pada kedua sisinya. Sehingga meningkatkan
kinerja kompresor dan menghasilkan udara bertekanan yang lebih tinggi dari
pada kerja tunggal.
❖ Kompresor diafragma
adalah jenis klasik dari
kompresor piston, dan
mempunyai kesamaan
dengan kompresor piston,
hanya yang membedakan
adalah, jika pada kompresor
piston menggunakan piston
untuk memampatkan udara, pada
kompresor diafragma
menggunakan membran
fleksible atau difragma.

B. Kompresor putar (Rotary)

a) Kelebihan
❖ Dapat berputar pada putaran tinggi sehingga dimensinya relatif lebih kecil.
❖ Getaran mekanisnya lebih kecil.
❖ Perawatannya lebih sederhana karena jumlah bagiannya lebih sedikit.
 ❖ Dapat memberikan debit yang lebih
kontinyu dibandingkan dengan
kompresor repricoating.
b) Kelemahan
❖ Tidak dapat memberikan tekanan akhir
yang tinggi.
❖ Efisiensi volumetrisnya rendah bila
bagian-bagian nya kurang presisi

c) Jenis – jenis
❖ Kompresor screw (Rotary screw compressor) merupakan jenis kompresor
dengan mekanisme putar perpindahan positif, yang umumnya digunakan untuk
mengganti kompresor
piston, bila diperlukan
udara bertekanan tinggi
dengan volume yang lebih
besar.
❖ Lobe
❖ Vane
❖ Liquid Ring
❖ Scroll

2. Kompresor dinamis
A. Kompresor sentrifugal
a) Kompresor sentrifugal merupakan kompresor yang memanfaatkan gaya
sentrifugal yang dihasilkan oleh impeller untuk mempercepat aliran fluida
udara (gaya kinetik), yang kemudian diubah menjadi peningkatan potensi
tekanan (menjadi gaya tekan) dengan memperlambat aliran melalui diffuser.

b) Kelebihan
❖ Jangkauan operasional yang luas
 ❖ Keandalan yang tinggi
❖ Perawatan yang rendah
c) Kekurangan
❖ Ketidakstabilan di aliran berkurang
❖ Sensitif terhadap perubahan komposisi gas

B. Kompresor aksial
a) Kompresor aksial adalah kompresor yang berputar dinamis yang
menggunakan serangkaian kipas airfoil untuk semakin menekan aliran fluida.
Aliran udara yang masuk akan mengalir
keluar dengan cepat tanpa perlu
dilemparkan ke samping seperti yang
dilakukan kompresor sentrifugal.
Kompresor aksial secara luas digunakan
dalam turbin gas/udara seperti mesin jet,
mesin kapal kecepatan tinggi, dan
pembangkit listrik skala kecil.
b) Kelebihan
❖ Kapasitas tinggi untuk ukuran tertentu
❖ Efisiensi tinggi
❖ Tugas berat
❖ Perawatan yang rendah
c) Kekurangan
❖ Rasio kompresi rendah
❖ Penyiapan tempat terbatas

EJECTOR

Ejektor merupakan alat yang digunakan untuk memindahkan udara atau gas gas yang
tidak dapat dikondensasikan di tempat-tempat vakum. Ejektor dapat
digolongkan kedalam ejektor singel ataupun multiple, itu tergantung dari bagaimana
kompresi yang dilakukan dalam satu atau beberapa unit secara berurutan. Golongan sebagai
single atau multiple tergantung dari bagaimana satu atau lebih unit ejektor yang dipasangkan
secara paralel. Ejektor harus dirancang untuk batas minimum tekanan uap yang masuk ke
dalam nozzle. Jika tekanan uap terlalu rendah dari batas minimumnya, maka ejektor tidak
akan bekerja baik sehingga tidak tercapai vakum yang dikehendaki. Ejektor akan bekerja baik
untuk uap yang bertekanan lebih dari batas minmum. Bahan-bahan yang menyebabkan
tersumbat / terhalangnya nozzle mempunyai pengaruh yang sama seperti pengaruh kurangnya
tekanan uap masuk ke nozzle. Tekanan uap yang terlalu rendah tidak ekonomis tetapi
sebaliknya tekanan yang terlalu tinggi juga mengalami kesulitan karena kecilnya lubang
nozzle. Batasbatas tekanan yang baik adalah sekitar 5-20 kg/cm2 . 1kg/cm2 =14,223 Psi. .

Prinsip kerja Ejektor dipakai juga untuk memompa air atau cairan lain dengan jalan
mengadakan penurunan tekanan akibat pancaran uap yang tinggi.

• POMPA EJECTOR

Prinsip Sifat dari jets pump adalah sebagai pendorong untuk mengangkat cairan dari
tempat yang sangat dalam.Mampu merubah energi statis cairan menjadi energi kinetis atau
kebalikannya. Kondisi vacuum yang terjadi pada ruang inlet pompa jet diperlukan untuk
menarik cairan yang dipompa kedalam ruang inlet tersebut. Kevacuman dihasilkan oleh
aliran searah dari fluida penggerak (actuating fluid).

Cara Kerja Dalam pompa ejektor jet, cairan melewati nosel venturi dan
mengembangkan hisap yang menyebabkan aliran kedua fluida akan entrained. Perubahan
tekanan dari nozzle yang disebabkan oleh aliran media yang digunakan untuk membawa
cairan tersebut ke atas (prinsip ejector). Media yang digunakan dapat berupa cairan maupun
gas. Pompa ini tidak mempunyai bagian yang bergerak dan konstruksinya sangat sederhana.
Keefektifan dan efisiensi pompa ini sangat terbatas karena dibuat dengan bahan dan desain
konstruksi yang sangat sederhana.

✓ Keunggulan

1. Tidak ada bagian yang bergerak, sehingga pompa bisa berumur panjang.

2. Tidak menimbulkan suarua gaduh dan mudah dioperasikan.

3. Mampu memompa cairan yang mengan dung kotoran.

4. Sulit tersumbat.

5. Mampu bekerja pada saluran hisap yang kering.

6. Kapasitasnya uniform.

7. Ukurannya kecil dan ringan

✓ Kekurangan

1. Effisiensinya rendah.

• . STEAM JET EJECTOR

Steam jet ejector merupakan alat pembangkit vacuum dengan menggunakan steam
sebagai media pendorong. Suatu pancaran cairan, gas atau uap (steam) keluar dari nozzle
dengan kecepatan tinggi sehingga dihasilkan tekanan rendah di titik nozzle tersebut. Dengan
demikian, gas yang harus diangkut akan terhisap, terbawa dan mengalami percepatan. Steam
jet ejector berfungsi untuk mengeluarkan gas atau uap dari suatu ruangan dan
mempertahankan kevakuman yang tercapai. Steam jet ejector merupakan pompa yang tidak
mempunyai bagian-bagian yang bergerak. Oleh karena itu, pompa ini sangat sederhana dan
tidak memerlukan perawatan yang rumit. Dalam steam jet ejector, steam yang telah dipakai
dikondensasi dengan mencampurkannya dengan air Pada steam jet ejector yang bekerja pada
vacuum yang tinggi (diatas 5 mbar), maka diperlukan pemanasan jet ejector supaya tidak
terbentuk es akibat titik beku air dilewati selama operasi berlangsung. Pemanasan bisa
dilakukan dengan system coil yang mengelilingi body jet ejector yang biasa dikenal dengan
trace heater.

• . EJECTOR GLAND STEAM PLTP

Ejector Gland Steam menjaga adanya vakum pada saluran masuk uap preparat yang
masuk pada ruang turbin. Mengalirnya uap ke gland dan ke ejektor hanya dapat diatur secara
lokal membuka dan menutup katup yang di putar dengan tangan pada saluran pipa. Lampu
announciator di TCP atau UCD akan menyala bila gland steam tekanannya terlalu rendah
atau terlalu tinggi. Penggunaan steam ejector sebagai alat untuk mengeluarkan gas-gas yang
tidak mengembun di dalam kondensor pada PLTP, mempunyai kuntungan

✓ keuntungan:

1. Kehandalan tinggi.

2. Konstruksinya sederhana dan efisien.

3. Mudah pengoperasiannya.

4. Mudah pemeliharannya

✓ kerugian

adalah tidak cocok untuk di gunakan pada PLTP yang mempunyai kandungan gas-gas
yang besar, karena efisiensi steam ejektor menjadi rendah. Pada suatu pembangkit listrik
tenaga panas bumi tekanan kerja sumur semakin lama semakin menurun, sehingga energi
akan menjadi rendah pula, begitu pula tekanan di kondensor akan semakin rendah karena
melemahnya tekanan uap steam ejector. Dengan menurunkan steam ejector 1 tingkat maka
Mitshubisi berhasil membuat ejector dengan tekanan uap hanya 2-4 kg/cm2 dengan hasil
tekanan hampa di kondensor 100-200 mmHg abs.apabila dibutuhkan hampa yang lebih tinggi
dapat dgunakan untuk sistem ejektor tingkat II
 JENIS – JENIS VAKUM

Untuk memvakumkan suatu instalasi sistem vakum dibutuhkan pompa vakum yang
harus disesuaikan dengan kebutuhan berdasarkan pada geometri sistem yang divakumkan dan
tingkat kevakuman akhir yang diinginkan. Pompa vakum dapat dibedakan berdasarkan pada
proses pemvakumannya dan masing-masing mempunyai rentang tekanan operasi (daerah
operasi berdasarkan tekanan/kevakuman). Berdasarkan proses pemompaan dibedakan
menjadi 2 (dua) yaitu (1) pompa vakum pemindah gas (molekul/atom) dan (2) pompa vakum
penjebak (entrapment) gas (molekul/atom). Adapun klasifikasi pompa vakum berdasarkan
prinsip kerjanya ditunjukkan pada Gambar (1.1) berikut.

Gambar (1.1) Klasifikasi pompa vakum berdasarkan prinsip kerja

1. Pompa Vakum dengan Memindahkan Gas

pompa vakum dengan memindahkan gas secara garis besar dibagi menjadi 2
(dua) jenis yaitu (1) pompa vakum dengan langkah positip (positive displacement
 vacuum pump) dan (2) pompa vakum dengan energi kinetik (kinetic vacuum pump).
Dasar prinsip kerja dari kedua jenis pompa tersebut sangat berbeda. Prinsip kerja
pompa vakum dengan langkah positip adalah untuk memindahkan gas (molekul/atom)
dengan mengisap dari sistem yang divakumkan kemudian gas dimampatkan di dalam
pompa dan dilanjutkan dengan mengeluarkan dari pompa. Untuk pompa vakum
dengan energi kinetik adalah dengan memberikan atau menambahkan energi kinetik
molekul/atom dari gas yang dipompa sehingga dapat berpindah dari tekanan yang
rendah ke tekanan yang lebih tinggi. Penambahan energi kinetik dilakukan dengan
memindahkan momentum dari pompa ke molekul/atom gas sehingga gerakan
molekul/atom gas yang dipompa terarah ke sisi pengeluaran gas dari pompa.

➢ .Pompa vakum dengan langkah positip

Berdasarkan klasifikasi Gambar (1.1) di atas jenis-jenis pompa yang termasuk

dalam pompa vakum dengan langkah positip cukup banyak, namun yang akan dibahas
lebih rinci meliputi: pompa piston, pompa sudu putar, pompa diafragma dan pompa
Root. Pompa vakum ini mempunyai kemampuan untuk memvakumkan dari atmosfer
ke tingkat kevakuman rendah atau sedang yang tergantung dari jenis pompanya.
Untuk jenis pompa yang mempunyai kemampuan hingga ke tingkat kevakuman
rendah adalah pompa piston dan pompa diafragma. Adapun yang dapat mencapai ke
tingkat vakum rendah dan sedang adalah pompa sudu putar (pompa rotari).

a) Pompa piston

Pompa piston termasuk pompa yang banyak digunakan dan merupakan

golongan generasi pompa yang awal ditemukan, namun karena kinerja
pompa ini tidak dapat mencapai kevakuman yang tinggi maka jarang
digunakan untuk pompa vakum. Walaupun jarang digunakan untuk
pompa vakum namun sangat penting peranannya dalam penemuan-
penemuan jenis pompa vakum berikutnya yang saat ini banyak
digunakan. Peranan ini adalah digunakannya sebagai dasar perhitungan
untuk mencapai kevakuman akhir. dari suatu pompa.
Sebagai ilustrasi prinsip kerja pompa ini ditunjukkan pada Gambar 1.2.

Gambar 1.2. Pompa Piston

Cara Kerja. Untuk pompa-pompa dengan langkah positip, hal yang penting
adalah bagaimana mencapai kevakuman akhir yang tinggi dan dasar
perhitungan yang paling mudah dianalogikan dengan pompa piston. Pompa
piston (Gambar 1.2) secara garis besar terdiri dari 2 (dua) ruangan yaitu ruang
yang divakumkan (ruang A) dan ruang pompa (ruang B), 3 (tiga) katup dan
saluran yang menghubungkan ruang A dan ruang B. Katup 1 dan katup 2 pada
pompa disusun sedemikian rupa sehingga dapat memompa keluar gas di dalam
ruang. Jika piston bergerak dari bawah menuju ke atas, pada gerakan ini katup
1 tertutup dan katup 2 terbuka. Dengan demikian gas di dalam tangki A
diisap/diekspansikan ke ruang B. Selanjutnya piston bergerak ke bawah, pada
gerakan ini katup 1 terbuka dan katup 2 tertutup. Dengan demikian gas di
ruang pompa B dikeluarkan ke udara sekitar.

✓ Kelebihan:

Pompa piston jika pada pengoperasian tekanan tinggi memiliki

ketahanan yang jauh lebih lama jika dibandingkan jenis pompa
yang lain.

✓ Kekurangan:
- Tidak dapat beroperasi pada tekanan tinggi
- Memiliki umur simpan lebih pendek
- Memiliki kurva aliran kinerja yang sangat datar
 - Tidak cocok untuk mentransfer media yang beracun atau
ledakan

b) Pompa sudu putar

Pompa sudu putar (rotary vane pump) biasanya juga disebut pompa sudu
luncur atau pompa rotari, pompa ini mempunyai rotor dan stator berbentuk
silinder yang disusun secara eksentrik sehingga antara rotor dan stator terjadi
celah seperti ditunjukkan pada Gambar 1.3 dan detil komponen-komponennya
ditunnjukkan pada Gambar 1.4.

Gambar 1.3. Pompa sudu putar

 Gambar 1.4. Detil komponen-komponen pompa sudu putar

Cara kerja. Pada rotor terdapat 2 (dua) buah sudu putar yang
ditengahnya dipasang pegas sehingga pada saat rotor berputar di dalam
stator secara eksentrik sudu putar akan meluncur dan menempel pada
dinding stator. Sudu-sudu putar ini dapat bergerak bebas di celah pada
rotor dan dengan bantuan minyak pelumas maka baik antara rotor dan
sudu putar, sudu putar dengan stator, maupun rotor dan stator akan selalu
rapat. Dengan berputarnya rotor maka ruangan pada sisi masuk
diekspansikan dan ruangan pada sisi keluar dimampatkan, sehingga dapat
memindahkan gas dari sistem yang dihampakan ke udara sekitar.

Dengan analogi pompa piston, untuk pompa sudu putar/pompa

rotari secara teori kehampaan akhir juga ditentukan oleh adanya volume
mati. Volume mati pada pompa sudu putar adalah volume pada saat
posisi sudu tepat pada pintu keluarnya gas yang dipompa dan sumbu pada
saat rotor dan stator pada posisi rapat. Kehampaan yang dapat dicapai
dengan pompa rotari 2-tingkat adalah sekitar 10-3 Torr (berdasarkan
katalog dari pabrikan dapat mencapai sekitar 5 × 10-4 Torr).
 Jika di dalam sistem vakum terisi uap air, maka pada saat
dihampakan uap air akan ikut terpompa. Selanjutnya pada sisi keluaran dari
pompa, uap air tersebut akan termampatkan dan memungkinkan uap air
berkondensasi. Dengan kondensasinya uap air dapat memberikan
kontaminasi pada minyak pelumas dan ikut sirkulasi di dalam pompa dan
menurunkan fungsi minyak pelumas baik untuk pelumasan maupun perapat
(seals). Untuk mengatasi agar tidak terjadi kondensasi biasanya pompa sudu
putar (pompa rotari) dilengkapi dengan katup penyeimbang gas (gas ballast)
seperti ditunjukkan pada Gambar 4.5. Prinsip kerjanya menggunakan
penyeimbang gas (gas ballast) untuk menghindari terjadinya kondensasi
pada sisi keluarnya gas yang dipompa dengan memasukan sebagian udara
luar pada akhir langkah kompresi. Dengan menambahkan udara pada akhir
langkah kompresi akan menurunkan persentase kandungan uap air sehingga
dapat menurunkan tekanan parsial dan mencegah terjadinya kondensasi uap
air, sehingga kemungkinan terjadinya kontaminasi uap air pada minyak
pelumas dapat dihindari.

Gambar 4.5. Prinsip kerja pompa dengan gas ballast

 Kelebihan:

• Menghindari terjadinya kondensasi uap air di dalam pompa sehingga dapat

mencegah terjadinya kontaminasi antara air atau uap air dengan minyak pelumas.

Kekurangan:

• Mengurangi tingkat kehampaan akhir yang dapat dicapai (tekanan akhir

bertambah). Karena itu, penggunaan penyeimbang gas tidak mengutung-kan jika
tidak diperlukan. Biasanya penyeimbang gas hanya digunakan pada saat
pemompaan awal yaitu saat kelembaban udara yang divakumkan cukup tinggi

c) Pompa diafragma (diaphragm pump)

Cara Kerja. Perbedaan yang spesifik dengan pompa piston adalah untuk
pompa diafragma tidak menggunakan piston melainkan menggunakan membran
(diafragma) untuk mengisap dan memampatkan/mengkompresi serta
mengeluarkan gas yang divakumkan. Untuk memompa dengan memanfaatkan
ruang kompresi akibat gerakan membran (diafragma) yang terbuat dari bahan
yang lentur (misalnya: karet, viton). Pompa ini tidak menggunakan minyak
pelumas pada daerah membran sehingga bebas dari kontaminasi uap minyak
pelumas sehingga sangat cocok untuk keperluan di laboratorium kimia. Pompa ini
tidak cocok untuk penggunaan pada sistem dengan perbandingan kompresi yang
tinggi karena dibatasi oleh volume mati dan volume maksimum akibat gerakan
membran/diafragma saat pengisapan (pemompaan) dan pemampatan.
(pengeluaran gas). Untuk pompa diafragma 1 (satu) tingkat dapat mencapai
kevakuman akhir sekitar 80 mbar, sedangkan untuk 2 (dua) tingkat adalah sekitar
10 mbar. Pompa ini dapat dikonstruksi hingga mencapai 4 (empat) tingkat,
kevakuman akhir untuk tiga tingkat dapat mencapai sekitar sekitar 2 mbar,
sedangkan untuk 4 (empat) tingkat sekitar 5 × 10-1 mbar. Sesuai dengan
kemampuannya maka pompa ini juga dapat digunakan sebagai pompa depan dari
pompa turbomolekular . Jadi pompa ini mempunyai kemampuan memvakumkan
lebih rendah dibandingkan dengan pompa sudu putar yaitu sampai tingkat
 kevakuman orde 10-1 mbar untuk pompa diafragma dan orde 10-3 mbar untuk
pompa sudu putar. Tetapi mempunyai keunggulan yaitu lebih bersih dari pompa
sudu putar karena tidak ada kontaminasi dari uap minyak pelumas.

Bentuk dan prinsip kerja pompa diafragma ditunjukkan pada Gambar

1.6. Gambar 1.6a menunjukkan bentuk fisik dari pompa.

a. Bentuk fisik pompa b. Komponen utama

pompa
 c. Cara kerja pompa

Gambar 4.6. Pompa diafragma

sedangkan Gambar 1.6b menunjukkan komponen utama dari pompa

termasuk bentuk membran (diafragma) yang digunakan. Gambar 1.6c
menunjukkan cara kerja pompa diafragma. Pada pompa ini, membran
(diafragma) di samping berfungsi untuk gerakan langkah pengisapan
(langkah ke bawah) dan memampatkan/ mengeluarkan gas (langkah ke
atas) juga sekaligus sebagai perapat. Pada saat pengisapan, yaitu langkah ke
bawah, maka terjadi ekspansi ruangan dan katup saluran masuk terbuka
serta katup saluran keluar tertutup sehingga udara/gas yang dipompa masuk
ke ruang pompa. Selanjutnya langkah pemampatan yaitu langkah ke atas
maka udara/gas akan dimampatkan dan katup saluran keluar terbuka
sehingga udara/gas dikeluarkan dari ruang pompa. Proses ini berulang terus
hingga terjadi pemvakuman ruang yang divakumkan.

o Kelebihan:
- Pemeliharaan mudah dan murah
- Dapat memompakan fluida yang mengandung lumpur
- Apabila bekerja tanpa beban tidak akan terlalu meerusak
pompa
- Tidak memerlukan perapat mekanis ( mechanical seal ) .
o Kekurangan:
- Aliran fluida yang dihasilkan berdenyut
 - Besar kapasitas sangat bergantung pada ukuran besar
kecilnya pompa
- Kapasitas rendah ( bila dibandingkan dengan pompa
sentrifugal )
- Efesiensi rendah pada kapasitas tinggi .

d) Pompa Roots
Cara kerja. Prinsip pompa Roots yang juga disebut pompa Lobe, ditemukan
pada tahun 1848 oleh Isaiah Davies, dan 20 tahun kemudian diimplementasikan
oleh Americans Francis and Philander Higley Roots sebagai blower untuk motor
pembakaran dalam. Pengembangan selanjutnya digunakan untuk pompa vakum
pendorong sejak tahun 1954. Pompa ini mempunyai laju pemompaan yang sangat
tinggi hingga mencapai 100.000 m3/jam dan lebih efektip dibandingkan dengan
pompa uap injektor pada rentang tekanan operasi yang sama . Pompa uap injektor
adalah pompa yang prinsip kerjanya berdasarkan semburan/pancaran uap, prinsip
kerja pompa ini hampir sama dengan prinsip kerja pompa difusi. Perbedaannya,
untuk pompa injektor adalah kerapatan uap yang disemburkan/dipancarkan lebih
tinggi dan jarak pancar yaitu jarak nozzle ke dinding berpendingin lebih pendek
sehingga laju pemompaan lebih tinggi namun tingkat kevakuman lebih rendah.

a. Sudu 2 ujung b. Sudu 3 ujung

 Gambar 1.7. Prinsip kerja pompa Roots (Lobe).
Keterangan:
1) saluran masuk
2) sudu
3) rumah pompa
4) ruang pompa
5) saluran keluar

Perbandingan kompresi yang dapat dicapai antara 10 sampai 100 pada daerah rentang tekanan
operasi sekitar 1 mbar. Masing-masing sudu digerakkan dengan transmisi roda gigi dengan
putaran yang sesuai (synchronism) dan arah berlawanan, celah di antara sudu dengan sudu dan
sudu dengan rumah pompa sekitar 0,2 mm sehingga tidak ada gesekan baik di antara sudu
maupun dengan rumah pompa. Karena tidak ada gesekan maka dapat dioperasikan pada
putaran tinggi yaitu antara 3000 rpm sampai 3500 rpm. Permasalahan pada pompa Roots
adalah terjadinya pemanasan pada sudu yang disebabkan oleh karena kompresi gas serta
kesulitan dalam pendinginan. Untuk menghindari terjadinya pemanasan lebih maka dibuat
saluran pintas dengan katup otomatis. Katup ini akan terbuka secara otomatis jika tekanan gas
keluar pompa lebih besar dari yang dipersyaratkan. Oleh karena itu, pompa ini tidak
digunakan untuk menekan hingga mendekati tekanan atmosfer dan hanya digunakan pada
rentang tekanan antar 10 Torr sampai orde 10-4 Torr. Karena hal tersebut maka pompa Roots
digunakan sebagai pompa pendorong (booster) antara pompa rotari 1 tingkat dengan pompa
difusi atau pompa turbomolekular. Hal ini karena jika pompa rotari 1 tingkat digunakan
sebagai pompa depan dari pompa difusi atau pompa turbomolekular akan diperoleh laju
pemompaan yang tidak optimal, sehingga perlu dipasang pompa Root di antara pompa rotari
dan pompa difusi atau pompa turbomolekular sebagai pompa pendorong. Hal ini akan
diuraikan lebih rinci pada Subbab 1.3 tentang daerah tekanan operasi pompa dan laju
pemompaan. Bentuk dan prinsip kerja pompa Root atau pompa Lobe ditunjukkan pada
Gambar 1.7. Gambar 1.7a menunjukkan bentuk pompa dengan sudu 2 (dua) ujung, sedangkan
Gambar 1.7b menunjukkan bentuk pompa dengan sudu 3 (tiga) ujung. Kedua jenis pompa
(Gambar 1.7) tersebut mempunyai cara kerja yang sama yaitu dengan berputarnya sudu-sudu
maka akan menjebak dan mendorong gas dari sisi masuk ke sisi keluar. Jika sisi masuk
 dihubungkan dengan bejana yang divakumkan dan sisi keluar dihubungkan dengan pompa
depan maka terjadi pemvakuman bejana. Jika pompa ini digunakan sebagai pompa pendorong
(booster) maka sisi masuk dihubungkan dengan pompa difusi atau turbomolekular.
• Kelebihan:
- Ukuran keseluruhan lebih kecil sehingga lebih ringan
- Aliran zat cair yang dihasilkan uniformseragam
- Dapat bekerja dengan putaran tinggi sehingga dapat dihubungkan dengan tenaga
penggeraknya
- Tekanan yang dihasilkan cukup tinggi
- Dapat bekerja pada pengisapan kering
• Kekurangan:
- Membutuhkan waktu gigi
- Membutuhkan dua segel.
- Mengurangi angkat dengan cairan tipis
- Bekerja tidak maksimal apabila digunakan untuk cairan yang bercampur zat padat

➢ Pompa vakum energi kinetic

Berdasarkan klasifikasi (Gambar 1.1), jenis-jenis pompa yang termasuk dalam pompa
vakum dengan energi kinetik dibagi menjadi 2 (dua) jenis yaitu:
1) pompa drag
2) pompa semburan minyak.
Jenis pompa drag dalam penerapannya adalah pompa drag molekular atau biasa disebut pompa
turbomolekular. Untuk jenis-jenis pompa semburan minyak dibagi menjadi 3 (tiga) yaitu:
1) pompa injector
2) pompa difusi
3) pompa difusi injector
Dari jenis-jenis pompa vakum ini yang paling banyak digunakan adalah jenis pompa turbomolekular
dan pompa difusi, sehingga yang akan dibahas secara rinci adalah kedua pompa tersebut. Kedua jenis
pompa tersebut mempunyai kemampuan dari tingkat kevakuman sedang sampai ke tingkat kevakuman
tinggi atau sangat tinggi dan harus dilengkapi dengan pompa depan (fore pump) yaitu pompa sudu
putar. Untuk pompa turbomolekular di samping menggunakan pompa sudu putar sebagai pompa depan
juga dapat menggunakan pompa diafragma 4 (empat ) tingkat.
a. Pompa Turbomolekular
Ada 2 (dua) jenis pompa turbomolekular yaitu:
1) jenis horizontal
2) jenis vertical
Kedua jenis pompa ini mempunyai komponen-komponen dan prinsip kerja yang sama,
perbedaannya hanya pada konstruksi yaitu horisontal dan vertikal. Pompa turbomolekular
jenis horisontal adalah jenis pompa yang diprodu ksi sebelum ditemukannya pompa
turbomolekular jenis vertikal. Pada saat ini pompa turbomolekular jenis horisontal tidak
diproduksi karena mempunyai kerugian yaitu untuk kapasitas yang sama mempunyai ukuran
yang jauh lebih besar sehingga harganya jauh lebih mahal.
Cara Kerja. Pompa turbomolekular (Gambar 1.8 dan Gambar 1.9) karena mempunyai
prinsip kerja yang sama maka yang diuraikan prinsip kerjanya hanya pompa turbomolekular
jenis vertikal (Gambar 1.9). Pompa ini mempunyai prinsip kerja didasarkan pada arah
kecepatan yang diberikan pada molekul/atom gas yang dikenakan pada permukaan yang sedan
g bergerak sangat cepat. Pom pa ini terdiri atas celah-celah sudu bertingkat dalam arah aksial
yang berpu tar (rotor) dan sudu-sudu tetap pada cakram (stator). Susunan sudu pad a cakram
memotong celah penangkap moleku l/atom gas dalam celah-celah sudu yang bergerak.
Toleransi rongga antar c akram yang bergerak (rotor) da n cakram yang tetap (stator) berkisar
1 mm. Kecepatan putar pompa (roto r) untuk diameter rotor 17 cm antara 16.000 r pm sampai
42.000 rpm, biasanya kecepatan keliling rotor sekitar 80 m/detik, menurut acuan lain
disebutkan kecepatan putar pompa (rotor) adalah 14.000 rpm hingga 90.000 rpm. Pompa ini
mempunyai perbandingan kompresi tiap tingkatnya sekitar 5 dan biasanya pompa
turbomolekular terdiri dari beberapa tingkat yaitu sekitar 9 tingkat.
Gambar 1.8. Pompa turbomolekular (jenis horizontal)

Gambar 1.9. Pompa turbomolekular (jenis vertikal)

 Gambar 1.10. Pemindahan momentum pada sudu-sudu pompa turbomolekular

Gambar 1.11. Bagian-bagian pompa turbomolekular

Dengan jumlah tingkat ini maka mempunyai perbandingan kompresi 59 ≈ 2×106 pada kondisi
tidak ada aliran (zero flow). Pompa turbomolekular jenis vertikal juga disebut molekular drug
pump. Adapun pembagian daerah tingkat tekanan ditunjukkan pada Gambar 1.9 dan prinsip
perpindahan momentum ditunjukan pada Gambar 1.10, sedangkan komponen-komponen
utama secara lebih detil ditunjukkan pada Gambar 1.11. Pembagian daerah tingkat tekanan
dibedakan berdasarkan tingkat kelandaian/kemiringan sudu (blade). Makin landai sudut sudu
makin tinggi tekanannya (makin rendah tingkat kevakumannya). Prinsip kerja pompa ini
berbeda dengan pompa vakum langkah positip karena untuk memvakumkan dilakukan dengan
perpindahan momentum dari sudu-sudu ke molekul-molekul/atom-atom gas yang divakumkan
sehingga molekul-molekul/atom-atom gas tersebut mempunyai energi kinetik untuk berpindah
dari tekanan rendah ke tekanan yang lebih tinggi. Pada tiap-tiap daerah tingkat tekanan terjadi
perubahan tekanan yang menyebabkan terjadinya perubahan kerapatan molekul/atom seperti
ditunjukkan pada Gambar 1.12.

Gambar 1.12. Kerapatan molekul pada sudu-sudu pompa turbomolekular

• Kelebihan:
- gaya seragam rotor
- status gaya pemosisian bantalan yang baik
- masa pakai yang lama
- perawatan yang mudah
• Kekurangan:
- proses perakitan pompa yang agak rumit
b. Pompa Difusi
Cara Kerja. Pompa difusi merupakan jenis pompa dengan prinsip kerja berdasarkan
semburan/pancaran gas (uap minyak difusi) untuk mendorong molekul-molekul/atom-atom
yang dipompa. Agar kehampaan akhir yang dapat dicapai oleh pompa difusi lebih tinggi maka
biasanya dibuat bertingkat seperti ditunjukkan pada Gambar 1.13 dan Gambar 1.14. Pada
Gambar 1.13a ditunjukkan pompa difusi 1 tingkat dan pada Gambar 1.13b ditunjukkan pompa
difusi 3 tingkat. Gambar 1.13a menunjukkan adanya aliran uap minyak difusi dari bagian
bawah pompa ke atas melalui bagian tengah pompa dan selanjutnya keluar melalui nozzle
(celah sempit) yang diarahkan ke dinding pompa bagian bawah. Pada dinding pompa dipasang
selubung pendingin untuk mendinginkan uap minyak difusi sehingga terjadi kondensasi dan
mengalir ke bagian bawah pompa untuk dipanaskan kembali.

a. 1 tingkat b. 3 tingkat
Gambar 1.13. Pompa difusi.
 Gambar 1.14. Prinsip kerja pompa difusi
Keterangan:
1) Pemanas
2) Minyak difusi
3) Rumah pompa
4) Koil pendingin
5) Flens
6) Partikel gas
7) Uap minyak difusi
8) Backing vacuum port A-D. Nozzle
Gambar 1.13b menunjukkan pompa difusi 3 tingkat dengan daerah-daerah perubahan tekanan
yang terjadi (pada masing-masing tingkat), perubahan tekanan (P) berbanding terbalik dengan
laju pemompaan (S). Adapun prinsip kerjanya ditunjukkan pada Gambar 1.14. Pada pompa
difusi (Gambar 1.14), minyak difusi ditempatkan di bagian bawah (bejana didih) dan
selanjutnya dipanaskan sampai terjadi pendidihan. Akibat mendidihnya minyak difusi, maka
uap minyak difusi naik ke atas melalui tabung tengah dan dengan dipasangnya nozzle maka
uap minyak difusi akan menyembur/memancar dan menumbuk molekul-molekul/atom-atom
gas ke arah bawah menuju dinding pompa membentuk tabir uap. Pada dinding pompa difusi
dipasang suatu pendingin untuk mendinginkan uap minyak difusi yang disemburkan/
dipancarkan dari nozzle. Akibat pendinginan ini uap minyak difusi mengembun dan kembali
ke bejana didih, sedangkan akibat pancaran uap minyak difusi maka molekul-molekul/atom-
atom gas di sekitar nozzle terdorong ke bawah bersama uap minyak difusi. Pada kondisi ini,
terjadi perpindahan momentum molekul-molekul minyak difusi ke molekul-molekul/atom-
atom gas yang dipompa sehingga terjadi penambahan energi kinetik. Dengan tambahan energi
kinetik dari molekul-molekul minyak difusi maka molekul-molekul/atom-atom gas yang
dipompa mempunyai energi yang cukup untuk bergerak dari tekanan yang lebih rendah ke
tekanan yang lebih tinggi di dalam pompa difusi. Dengan demikian terjadi pemvakuman
ruangan di atas tabir serta ruangan sistem yang dihubungkan. Pompa difusi ini mempunyai
rentang daerah tekanan operasi antara 10-2 - 10-8 Torr, sehingga untuk pengoperasiannya
diperlukan pompa pra vakum misalnya pompa rotari agar dapat dicapai tekanan operasi
rentang daerah tekanan operasi tersebut.

Kebutuhan minyak difusi

Sesuai uraian prinsip kerja pompa difusi yaitu untuk memindahkan molekul-molekul/atom-
atom gas dengan menyemburkan uap minyak difusi. Selanjutnya molekul-molekul minyak
difusi bercampur dengan molekul-molekul/atom-atom gas yang dipompa sehingga sebagian
molekul-molekul minyak difusi ikut keluar bersama-sama molekul-molekul/atom-atom gas
yang dipompa. Hal ini akan terjadi walaupun pada sisi keluarnya gas dari pompa difusi sudah
dipasang perangkap-perangkap minyak difusi untuk menangkap/ menjebak minyak difusi
yang keluar dari pompa. Susunan perangkap minyak difusi ini ditunjukkan pada Gambar 1.15.
 Gambar 1.15. Tampang lintang pompa difusi

2. Pompa Vakum dengan Menjebak Gas

Berdasarkan klasifikasi (Gambar 1.1) jenis-jenis pompa yang termasuk dalam pompa vakum dengan
penjebak (entrapment) gas dibagi menjadi 4 (empat) jenis yaitu: (1) pompa serapan, (2) pompa ion
getter, (3) pompa ion sputter dan (4) pompa kriogenik. Untuk pompa serapan dari tekanan atmosfer
sampai menengah, sedangkan ketiga jenis pompa lainnya mempunyai kemampuan dari tingkat
kevakuman tinggi sampai sangat tinggi serta harus dilengkapi dengan pompa depan (fore pump) yaitu
pompa sudu putar dan bahkan dengan pompa difusi. Hal ini diperlukan karena rentang operasinya
antara 10-4 Torr hingga 10-14 Torr. Pada saat pompa dioperasikan (pompa ion getter, pompa ion
sputter dan pompa kriogenik) tidak memerlukan pompa depan dan dioperasikan setelah kevakuman
mencapai orde 10-4 Torr (Gambar 1.19). Perbedaan pompa ion getter dan pompa ion sputter adalah
pada pembentukan uap titanium untuk menjebak molekul-molekul/atom-atom gas yang diionisasikan
dan dideposisikan pada katode. Pembentukan uap ini dengan penguapan untuk pompa ion getter dan
dengan percikan (sputtering) untuk pompa ion sputter. Khusus untuk pompa kriogenik, pompa depan
akan dioperasikan jika proses regenerasi. Dari keempat pompa tersebut yang akan dibahas lebih rinci
yaitu pompa ion sputter dan kriogenik.
a. Pompa ion sputter
Cara Kerja. Daerah operasi pompa ion sputter adalah pada daerah vakum tinggi dan sangat
tinggi. Secara skematik pompa ini ditunjukkan pada Gambar 1.16. Untuk pengoperasian
pompa ion sputter maka bejana yang divakumkan harus divakumkan hingga mencapai orde
10-4 Torr dan akan bekerja secara optimal setelah mencapai tingkat kevakuman orde 10-6
Torr. Hal ini karena molekul-molekul/atom-atom gas yang dipompa tidak dikeluarkan dari
pompa melainkan dideposisikan/ditempelkan pada dinding pompa khususnya (katode). Pompa
ini mempunyai susunan katode-anode dan tegangan tinggi untuk mencatu katode-anode.
Prinsip kerja dari pompa ini adalah dengan mengionkan molekul-molekul/atom-atom gas yang
dipompa, selanjutnya ion-ion tersebut didorong dan dideposisikan ke katode sehingga ion-ion
tersebut menempel pada permukaan katode. Agar ion-ion tersebut tidak lepas dari permukaan
maka katode yang terbuat dari titanium dibombardir dengan ion. sehingga atom-atom titanium
terpercik (ter-sputter) dan menutupi (mengubur) ion-ion yang dipompa pada permukaan
katode. Karena molekul/atom yang dipompa tidak dikeluarkan dari pompa dan prosesnya
mengionkan molekul-molekul/atom-atom yang dipompa maka mempunyai sifat laju
pemompaan rendah dan umur pakai pompa dipengaruhi oleh jumlah molekul/atom yang
dipompa. Dengan demikian makin tinggi tingkat kevakuman makin sedikit jumlah
molekul/atom yang dipompa sehingga umur pompa akan lebih lama.

Gambar 1.16. Pompa ion

b. Pompa kriogenik
Cara Kerja. Daerah operasi pompa kriogenik adalah pada daerah vakum tinggi dan sangat
tinggi. Secara skematik pompa ini ditunjukkan pada Gambar 1.17 dan Gambar 1.18. Gambar
1.17a menunjukkan temperatur kondensasi molekul/ atom. Gambar tersebut menjelaskan
bahwa molekul/atom saat melewati perangkap pada temperatur rendah, pada temperatur
perangkap 60-80 K masih dapat menembus melewati perangkap. Untuk temperatur perangkat
10-20 K, molekul nitrogen (N2) dan atom argon (Ar) terperangkap dan terkondensasi. Pada
temperatur perangkap 4,2 K semua molekul maupun atom terperangkap dan kondensasi
kecuali atom helium (He). Prinsip kerja pompa kriogenik ditunjukkan pada Gambar 1.17a.
Untuk mencapai temperatur rendah digunakan sistem refrigerasi bertingkat yaitu (1) sistem
refrigerasi biasa seperti chiller dan (2) refrigerasi menggunakan gas helium (He) sebagai
bahan refrigeran. Dengan menggunakan bahan refrigeran helium (He)
maka pada pompa kriogenik dapat mencapai temperatur perangkap yang terbuat dari arang
sekitar 12 K. Pada pompa kriogenik (Gambar 1.17b) ditunjukkan bahwa ada 2 (dua)
perangkap yaitu yang dipasang pada sisi masuk gas yang dipompa dan yang dipasang di
dalam pompa.

a. Kondensasi molekul/atom
 b. Prinsip kerja pompa kriogenik
Gambar 1.17. Pompa kriogenik

Temperatur perangkap pertama (di sisi masuk pompa) adalah 65 K dan perangkap kedua
(pada bagian dalam pompa) yaitu pada perangkap inti 12 K. Dengan 2 (dua) perangkap ini,
molekul-molekul/atom-atom gas saat masuk ke pompa akan terkondensasi dan terperangkap
pada perangkap yang terbuat dari arang. Dengan demikian molekul-molekul/atom-atom gas
akan terpompa secara terus-menerus sehingga lama kelamaan akan terjadi kejenuhan dari
perangkap tersebut. Untuk mengatasi kejenuhan ini maka dilakukan regenerasi yaitu
mengeluarkan molekul-molekul/atom-atom yang dipompa dan terkondensasi di dalam
perangkap dengan cara memanaskan dan memvakumkan dengan pompa depan (pompa rotari)
seperti ditunjukkan pada Gambar 1.18
a. Kondisi saat proses regenerasi b. proses pengeluaran gas

Gambar 1.18. Proses regenerasi pompa kriogenik