3/25/2020 Apa perbedaan SEM dan TEM ?

Sign in Join now

Translated from Antonis Nanakoudis ; http://blog.phenom-world.com/sem-tem-difference

Apa perbedaan SEM dan TEM ?

Jevita Ginting Follow
Country Product Marketing at AS… 40 3 1

Mikroskop elektron telah muncul sebagai alat yang ampuh untuk karakterisasi berbagai bahan.
Fleksibilitas dan resolusi spasial yang sangat tinggi menjadikannya alat yang sangat berharga
untuk banyak aplikasi. Dua jenis utama mikroskop elektron adalah Transmission Electron
Microscope (TEM) dan Scanning Electron Microscope (SEM). Di blog ini kita secara singkat
menggambarkan kesamaan dan perbedaannya.
Prinsip Kerja Mikroskop Elektron Transmission dan Scanning
Mari kita mulai dengan kesamaan. Untuk kedua teknik tersebut, elektron digunakan untuk
mendapatkan gambar sampel. Komponen utama yang sama adalah :
Sumber elektron
Serangkaian lensa elektromagnetik dan elektrostatik untuk mengendalikan bentuk dan lintasan
berkas elektron
Elektron Apertur
Semua komponen ini berada di dalam ruang yang berada di bawah vakum yang tinggi.
Berlanjut dengan perbedaan dari kedua perangkat ini. SEM menggunakan satu set kumparan
tertentu untuk memindai sinar dalam pola seperti raster dan mengumpulkan elektron yang

https://www.linkedin.com/pulse/apa-perbedaan-sem-dan-tem-jevita-ginting 1/6
3/25/2020 Apa perbedaan SEM dan TEM ?

terserak.
Sign in Join now
Prinsip mikroskop elektron transmisi (TEM), seperti namanya, adalah menggunakan elektron
yang ditransmisikan; elektron yang melewati sampel sebelum dikumpulkan. Akibatnya, TEM
menawarkan informasi yang tak ternilai mengenai struktur yang berada didalam sampel, seperti
struktur kristal, morfologi dan informasi keadaan stres, sementara SEM memberikan informasi
tentang permukaan sampel dan komposisinya.
Selain itu, salah satu perbedaan yang paling menonjol antara kedua metode tersebut adalah
resolusi spasial optimal yang dapat mereka capai; Resolusi SEM terbatas pada ~ 0,5 nm,
sementara dengan perkembangan terkini pada kelainan yang dikoreksi TEM, gambar dengan
resolusi spasial kurang dari 50 pm telah dapat dilakukan.
Teknik mikroskopi apa yang cocok dengan analisa anda?
Ini semua tergantung pada jenis analisis yang ingin Anda lakukan. Misalnya, jika Anda ingin
mendapatkan informasi tentang permukaan sampel Anda, seperti deteksi kekasaran atau
kontaminasi, Anda harus memilih SEM. Di sisi lain, jika Anda ingin tahu struktur kristal sampel
Anda, atau jika Anda ingin mencari kemungkinan cacat struktural atau kotoran, maka TEM
adalah satu-satunya cara untuk melakukannya.
SEM memberikan gambar 3D pada permukaan sampel sedangkan gambar TEM adalah proyeksi
2D dari sampel, yang dalam beberapa kasus membuat interpretasi hasilnya lebih sulit bagi
operator.
Karena kebutuhan elektron yang ditransmisikan, sampel TEM harus sangat tipis, umumnya di
bawah 150 nm, dan dalam kasus yang membutuhkan pencitraan beresolusi tinggi, bahkan di
bawah 30 nm, sedangkan untuk pencitraan SEM tidak ada persyaratan khusus semacam itu.
Ini menunjukkan satu perbedaan besar antara kedua teknik tersebut; persiapan sampel Sampel
SEM memerlukan sedikit atau tidak usaha untuk preparasi sampel dan dapat langsung dicitrakan
dengan cara meletakkan sample diatas stub aluminium.
Sebaliknya, persiapan sampel TEM adalah prosedur yang cukup rumit dan membosankan
sehingga hanya pengguna yang terlatih dan berpengalaman dapat mengikuti dengan sukses.
Sampelnya harus sangat tipis, setipis mungkin, dan teknik preparasi tidak boleh menginduksi
setiap artefak (seperti presipitat atau amorfisasi) pada sampel. Banyak metode telah
dikembangkan, termasuk electropolishing, mechanical polishing dan focused ion beam milling.
Dedicated grid dan holder digunakan untuk me-mount sampel TEM.
Perbedaan pengoperasian SEM vs TEM
Dua sistem EM juga berbeda dalam cara pengoperasiannya. SEM biasanya menggunakan
tegangan akselerasi hingga 30 kV, sedangkan pengguna TEM dapat mengaturnya dalam kisaran
60 - 300kV.
Perbesaran yang ditawarkan TEM juga jauh lebih tinggi daripada SEM: Pengguna TEM dapat
memperbesar sampel mereka hingga lebih dari 50 juta kali, sedangkan untuk SEM ini dibatasi
hingga 1-2 juta kali.
Namun, Field View (FOV) maksimum yang dapat dicapai SEM jauh lebih besar daripada TEM,
yang pengguna hanya dapat gunakan untuk gambar bagian yang sangat kecil dari sampel
mereka. Demikian pula, depth of field SEM jauh lebih tinggi daripada sistem TEM.

https://www.linkedin.com/pulse/apa-perbedaan-sem-dan-tem-jevita-ginting 2/6
3/25/2020 Apa perbedaan SEM dan TEM ?

Sign in Join now

Gambar 1: Gambar mikroskop elektron dari silikon. a) Citra SEM dengan SED menawarkan
informasi tentang morfologi permukaan, sedangkan b) gambar TEM menunjukkan informasi
struktural tentang dalam sampel.
Selain itu, cara gambar diciptakan berbeda di kedua sistem. Pada SEM, sampel diposisikan di
bagian bawah kolom elektron dan elektron pada sampel terpencar (kembali terpencar atau
sekunder) ditangkap oleh detektor elektron. Photomultipliers kemudian digunakan untuk
mengubah sinyal ini menjadi sinyal voltase, yang diperkuat dan memunculkan gambar pada
layar PC.
Dalam mikroskop TEM, sampel terletak di tengah kolom. Elektron yang ditransmisikan
melewatinya, dan melalui serangkaian lensa di bawah sampel (lensa antara dan proyektor).
Gambar langsung ditampilkan di layar neon atau melalui kamera perangkat coupled charge
(CCD), ke layar PC.

Tabel I: Ringkasan perbedaan utama antara SEM dan TEM

https://www.linkedin.com/pulse/apa-perbedaan-sem-dan-tem-jevita-ginting 3/6
3/25/2020 Apa perbedaan SEM dan TEM ?

Umumnya, TEM lebih kompleks untuk dioperasikan. Pengguna TEM membutuhkan pelatihan
Sign in Join now
intensif sebelum bisa mengoperasikannya. Prosedur khusus perlu dilakukan sebelum setiap
penggunaan, dengan beberapa langkah yang disertakan memastikan bahwa berkas elektron
benar-benar selaras. Pada Tabel I, Anda dapat melihat ringkasan perbedaan utama antara SEM
dan TEM.
Penggabungan teknologi SEM dan TEM
Ada satu lagi teknik mikroskop elektron yang bisa disebutkan, yaitu kombinasi TEM dan SEM,
yaitu Scanning Transmission Electron Microscopy (STEM). Hal ini dapat diterapkan pada kedua
sistem, namun kemampuan penuhnya terungkap saat diterapkan pada alat TEM. Sebagian besar
TEM modern dapat beralih ke "mode STEM" dan pengguna hanya perlu mengubah prosedur
pelurusannya. Dalam mode STEM, balok difokuskan secara halus dan memindai area sampel
(seperti SEM), sedangkan gambar dihasilkan oleh elektron yang ditransmisikan (seperti di TEM).
Saat bekerja dalam mode STEM, pengguna dapat memanfaatkan kemampuan kedua teknik
tersebut; pengguna dapat melihat struktur dalam sampel dengan daya penyelesaian yang sangat
tinggi (bahkan lebih tinggi dari resolusi TEM), namun juga menggunakan sinyal lain seperti sinar-
X dan energi elektron yang hilang. Sinyal ini dapat digunakan dalam teknik spektroskopi; energi-
dispersi spektroskopi sinar-X (EDX) dan spektroskopi energi elektron yang hilang (EELS).
Tentu saja, EDX juga merupakan praktik umum dalam sistem SEM dan digunakan untuk
mengidentifikasi komposisi kimia sampel dengan mendeteksi karakteristik sinar-X yang
dipancarkan dari bahan saat dibombardir dengan elektron.
EELS hanya dapat direalisasikan dalam sistem TEM yang bekerja dalam mode STEM dan
memungkinkan penyelidikan komposisi atom dan kimia, sifat elektronik serta pengukuran
ketebalan lokal material.
Memilih antara SEM dan TEM
Dari semua yang telah kita sebutkan, jelas bahwa tidak ada teknik "lebih baik"; semua
tergantung dari jenis analisis yang anda butuhkan. TEM adalah pilihan ketika Anda ingin
mendapatkan informasi dari struktur dalam, sedangkan SEM lebih disukai bila informasi
permukaan diperlukan. Tentu saja, faktor keputusan utama adalah selisih harga yang besar
antara kedua sistem, sekaligus kemudahan penggunaan. TEM dapat memungkinkan lebih
banyak daya dan fleksibilitas untuk pengguna, namun harganya jauh lebih mahal dan lebih besar
daripada SEM dan memerlukan lebih banyak usaha untuk memperoleh dan menafsirkan hasil.
Untuk mengetahui lebih banyak tentang SEM dan melihat apakah sesuai dengan kebutuhan
penelitian Anda, Anda dapat melihat lembar perbandingan SEM desktop kami. Hal ini akan
memberi Anda gambaran singkat tentang kemampuan dan spesifikasi scanning electron
microscope.
Lihatlah lebih dekat Desktop SEM Phenom dan Anda akan menyadari terdapat banyak banyak
spesifikasi menarik yang perlu diselidiki, seperti pembesaran dan resolusi optik dan elektron,
resolusi, dan zoom digital.
Dapatkan lebih banyak wawasan tentang bagaimana SEM Phenom direkayasa dan bagaimana
mereka dapat memperbaiki dan mempercepat proses analisis Anda dengan lebih baik - unduh
lembar perbandingan SEM di https://www.phenom-world.com/
ranslated from Antonis Nanakoudis ; http://blog.phenom-world.com/sem-tem-difference

https://www.linkedin.com/pulse/apa-perbedaan-sem-dan-tem-jevita-ginting 4/6
3/25/2020 Apa perbedaan SEM dan TEM ?

Published By Sign in Join now

Jevita Ginting Follow

Country Product Marketing at ASUS

Know what you should have for your material analysis #SEM #TEM #STEM

3 comments

Sign in to leave your comment

Agus Gunawan 2y
MINING & AGRICULTURE ANALYTICAL SOLUTIONS

Nice,,,,
Like Reply

Yus Asmara 2y
Sales Engineer at PT. Dynatech International ( BRUKER XRF, XRD, NMR, MicroXRF, TXRF, Raman, FTIR
), Desktop SEM Thermo

Nice informartion. Thank You. Permit to share..

Like Reply 1 Like

2y
Islah Islah Makbul
Sales Manager Bruker Division (NMR, XRD, XRF, Micro CT, Micro XRF, TXRF, FTIR, FTNIR)
Makbul

Great article!
Like Reply 1 Like

More from Jevita Ginting 4 articles

Bagaimana penggunaan Bagaimana Mikroskop Elektron Sumber Elektro
Mikroskop Elektron dalam riset dipergunakan dalam Riset Biologi Mengapa CeB6 a
Ilmu Pangan (Food Science) yang tepat
Bagaimana Mikroskop
Bagaimana penggunaan Elektron dipergunakan… Sumber Elekt
Mikroskop Elektron… January 5, 2018 SEM - Menga
January 31, 2018 December 15, 2

https://www.linkedin.com/pulse/apa-perbedaan-sem-dan-tem-jevita-ginting 5/6
3/25/2020 Apa perbedaan SEM dan TEM ?

© 2019 About
Sign in Join now
User Agreement Privacy Policy

Cookie Policy Copyright Policy

Brand Policy Guest Controls

Community Guidelines Language

https://www.linkedin.com/pulse/apa-perbedaan-sem-dan-tem-jevita-ginting 6/6