Diterjemahkan dari bahasa Inggris ke bahasa Indonesia - www.onlinedoctranslator.

com

Harman, ST, MT

Canggih
permesinan
Proses
(Proses Termal)
 Isi

Bab 1. Proses Penghapusan Material 1

1.1 Pendahuluan 1
1.2 Sejarah Pemesinan 1
1.3 Pemesinan Tradisional 5
1.3.1 Pemesinan dengan cara pemotongan 5
1.3.2 Pemesinan dengan cara abrasi 6
1.4 Pemesinan Nontradisional 8
1.4.1 Pemesinan non-tradisional aksi tunggal 9
1.4.2 Pemesinan hibrida 10
Referensi 13

Bab 2. Proses Termal 14

2.1 Pemesinan Pelepasan Listrik 14
2.3.1 Pendahuluan 14
2.3.2 Mekanisme pemindahan material 14
2.3.3 Sistem pemesinan 14
2.3.4 Tingkat pemindahan material 24
2.3.5 Integritas permukaan 26
2.3.6 Zona yang terkena dampak panas 28
2.3.7 Aplikasi 29
2.3.8 Pengendalian proses 36
2.3.9 Otomatisasi EDM 37
2.3.10 Dampak lingkungan 39
2.2 Pemesinan Sinar Laser 39
2.3.1 Pendahuluan 39
2.3.2 Mekanisme pemindahan material 40
2.3.3 Aplikasi 43
2.3.4 Keuntungan dan keterbatasan 55
2.3 Pemesinan Berkas Elektron 56
2.3.1 Pendahuluan 56
2.3.2 Perlengkapan dasar dan mekanisme pelepasan 56
2.3.3 Aplikasi 62
2.3.4 Kelebihan dan kekurangan 65
2.4 Pemesinan Sinar Plasma 65
2.4.1 Pendahuluan 65
2.4.2 Sistem pemesinan 65
2.4.3 Tingkat pemindahan material 68
2.4.4 Akurasi dan kualitas permukaan 68
2.4.5 Aplikasi 70
2.4.6 Keuntungan dan kerugian 71
2.5 Pemesinan Berkas Ion 71
2.5.1 Pendahuluan 71
2.5.2 Tingkat pemindahan material 72
2.5.3 Akurasi dan efek permukaan 74
2.5.4 Aplikasi 75
Referensi 76
 1
bab

Proses Penghapusan Material

1.1 Pendahuluan
Suku cadang yang diproduksi dengan cara pengecoran, pembentukan, dan berbagai
proses pembentukan sering kali memerlukan pengoperasian lebih lanjut sebelum siap
digunakan atau dirakit. Dalam banyak aplikasi teknik, suku cadang harus dapat
dipertukarkan agar dapat berfungsi dengan baik dan andal selama masa pakai yang
diharapkan; oleh karena itu, pengendalian keakuratan dimensi dan penyelesaian
permukaan bagian-bagian diperlukan selama pembuatan. Pemesinan melibatkan
penghilangan beberapa material dari benda kerja (kelonggaran pemesinan) untuk
menghasilkan geometri tertentu dengan tingkat akurasi dan kualitas permukaan
tertentu.

1.2 Sejarah Pemesinan

Sejak dahulu metode pemotongan bahan telah diadopsi dengan menggunakan
perkakas tangan yang terbuat dari tulang, tongkat, atau batu. Belakangan, perkakas
tangan yang terbuat dari logam dasar seperti perunggu dan besi digunakan selama
hampir satu juta tahun. Memang benar hingga abad ketujuh belas, perkakas masih
dioperasikan dengan tangan atau digerakkan secara mekanis dengan metode yang
sangat dasar. Dengan metode seperti itu, gerobak, kapal, dan perabotan, serta
peralatan dasar untuk keperluan sehari-hari, diproduksi. Pengenalan air, uap, dan,
kemudian, listrik sebagai sumber energi yang berguna menyebabkan produksi
peralatan mesin yang digerakkan oleh tenaga yang dengan cepat menggantikan
peralatan yang digerakkan secara manual dalam banyak aplikasi.
Berdasarkan kemajuan tersebut dan seiring dengan perkembangan metalurgi
baja paduan sebagai bahan perkakas pemotong, industri perkakas mesin baru
mulai bermunculan pada abad kedelapan belas dan kesembilan belas. Kontribusi
awal yang besar terhadap industri baru ini datang dari John Wilkinson pada
tahun 1774. Dia membuat mesin presisi untuk mesin bor.

Hak Cipta © 2005 oleh The McGraw-Hill Companies, Inc. Klik di sini untuk ketentuan penggunaan.
2 Bab satu

silinder, sehingga mengatasi masalah yang terkait dengan peralatan mesin

pertama, yang digerakkan oleh uap. Dua puluh tiga tahun kemudian, Henry
Maudslay membuat kemajuan lebih lanjut dalam permesinan ketika ia
merancang mesin bubut pemotong ulir. James Nasmyth menemukan peralatan
mesin dasar kedua untuk membentuk dan merencanakan; teknik ini digunakan
untuk mengerjakan permukaan datar, alur, bahu, slot T, dan permukaan
bersudut menggunakan alat pemotong satu titik. Mesin bor yang familiar adalah
peralatan mesin kategori ketiga; itu memotong lubang dengan bor putar.
Whitney pada sekitar tahun 1818 memperkenalkan mesin penggilingan pertama
yang memotong alur, pas, dan slot-T serta permukaan datar. Mesin penggilingan
universal pertama, dibuat pada tahun 1862 oleh JR Brown, digunakan untuk
memotong seruling heliks pada bor putar. Pada akhir abad kesembilan belas, mesin
penggiling diperkenalkan. Bentuk lanjutan dari teknologi ini adalah proses lapping
yang digunakan untuk menghasilkan permukaan akhir berkualitas tinggi dan toleransi
yang sangat ketat, sekecil ±0,00005 milimeter (mm) dibandingkan dengan ±0,0025
mm yang dicapai selama penggilingan. Gergaji pita dan gergaji bundar digunakan
untuk memotong bentuk pelat logam, untuk membuat kontur luar dan dalam, dan
untuk membuat potongan bersudut.
Perkembangan penting termasuk mesin bubut menara yang dibuat pada
pertengahan abad kesembilan belas untuk produksi sekrup otomatis.
Kemajuan signifikan lainnya terjadi pada tahun 1896, ketika FW Fellows
membangun mesin yang dapat memproduksi segala jenis peralatan. Contoh
pentingnya pencapaian awal teknologi penggilingan datang dari upaya CN
Norton dalam mengurangi waktu yang dibutuhkan untuk menggiling poros
engkol mobil dari 5 jam (jam) menjadi 15 menit (menit). Mesin bubut vertikal
multi-stasiun, bor geng, penggilingan produksi, dan mesin tujuan khusus
(misalnya, untuk broaching, honing, dan bore) adalah contoh penting lainnya
dari kemajuan teknologi peralatan mesin (McGeough, 1988). Pada akhir abad
ke-19 dan abad ke-20, peralatan mesin semakin digerakkan oleh listrik
dibandingkan uap. Peralatan mesin dasar mengalami penyempurnaan lebih
lanjut; misalnya, pemotong multi-titik untuk mesin penggilingan
diperkenalkan. Meski dengan kemajuan tersebut, praktik perkakas mesin
konvensional masih berpegang pada prinsip bahwa perkakas harus dibuat
dari bahan yang lebih keras dari benda kerja yang akan dipotong.

Selama pemesinan dengan metode konvensional ini, operator diberikan

gambar bagian yang sudah jadi. Ia menentukan strategi pemesinan,
menyiapkan mesin, dan memilih perkakas, kecepatan, dan pengumpanan.
Operator memanipulasi kontrol mesin untuk memotong bagian yang lolos
inspeksi. Dalam keadaan seperti itu, keakuratan produk dan kualitas
permukaan tidak memuaskan. Perkembangan lebih lanjut untuk mesin
konvensional ini terjadi dengan diperkenalkannya teknik penyalinan,
kamera, dan mekanisme otomatis yang mengurangi tenaga kerja dan,
akibatnya, meningkatkan akurasi produk.
 Proses Penghapusan Material 3

Pengenalan teknologi kontrol numerik (NC) pada tahun 1953 membuka pintu
lebar bagi pusat permesinan kontrol numerik komputer (CNC) dan kontrol
numerik langsung (DNC) yang meningkatkan akurasi dan keseragaman produk.
Perkembangan dalam proses permesinan dan peralatan mesinnya terus
berlanjut selama 50 tahun terakhir karena kemajuan pesat dalam industri
elektronik dan komputer. Desain peralatan mesin konvensional yang cerdik telah
memungkinkan dihasilkannya bentuk-bentuk kompleks dengan akurasi ±1
mikrometer (mikroM). Seperti yang ditunjukkan pada Gambar 1.1,
perkembangan terkini dalam pemesinan konvensional mencakup penggerek jig
presisi, penggilingan jig, dan mesin superfinishing. Ini membuat tingkat akurasi
±1mikromungkin. Tingkat akurasi yang tinggi dapat diukur dengan
menggunakan instrumen pneumatik atau elektronik serta pembanding optik.
Tren masa depan mungkin juga mencakup mesin gerinda dan lapping presisi
serta mesin bubut berlian presisi.

Peralatan dan peralatan mesin

100
Mesin pembubutan dan penggilingan
(10−3di dalam)

Mesin penggiling
Pusat permesinan CNC
10
Akurasi pemesinan, µm

Normal
Memukul-mukul dan mengasah
permesinan
Jig membosankan dan menggiling

1
Mesin gerinda lensa optik
Gerinda presisi
Presisi Penyelesaian super
permesinan
Penggilingan dan pembubutan berlian
0,1
Pelurus masker presisi tinggi
Sangat presisi
permesinan Pembubutan berlian ultrapresisi
(10−6di dalam)
Mesin pembubutan dan penggilingan
0,01
Berkas elektron dan litografi
sinar-X lembut
Pemesinan berkas ion
0,001
(1nm)
Kisi atom Epitaksi berkas molekul
pemisahan Implantasi ion
0,3nm
Bahan yang disintesis
0,0001
(0,1nm) 1940 1960 1980 2000
Gambar 1.1 Akurasi pemesinan (Tanigushi, 1983).
4 Bab satu

Dalam praktik permesinan modern, sering digunakan material yang lebih

keras, lebih kuat, dan lebih keras sehingga lebih sulit untuk dipotong. Oleh
karena itu, lebih banyak perhatian diarahkan pada proses pemesinan dimana
sifat mekanik material benda kerja tidak memberikan batasan apa pun pada
proses pemindahan material. Dalam hal ini, teknik pemesinan nonkonvensional
mulai dipraktikkan sebagai alternatif yang memungkinkan terkait kemampuan
pemesinan, kompleksitas bentuk, integritas permukaan, dan persyaratan
miniaturisasi. Diperlukan teknik pemesinan yang inovatif atau modifikasi metode
yang sudah ada dengan menggabungkan proses pemesinan yang berbeda.
Pemesinan hibrid memanfaatkan keunggulan yang digabungkan atau saling
ditingkatkan dan menghindari dampak buruk dari proses penyusun yang
dihasilkan ketika diterapkan secara individual.
Untuk sementara, ada kecenderungan ke arah pengurangan ukuran dan
dimensi benda kerja setelah pengeboran lubang berdiameter sangat kecil (10–
100 cm) dapat dilakukan.mikrom) pada material keras menggunakan proses
pemesinan yang tersedia. Micromachining baru-baru ini menjadi isu penting
untuk pengurangan lebih lanjut ukuran dan dimensi benda kerja. Ini mengacu
pada teknologi dan praktik pembuatan bentuk, struktur, dan perangkat tiga
dimensi dengan dimensi dalam urutan mikrometer. Salah satu tujuan utama
pengembangan mesin mikro adalah untuk mengintegrasikan sirkuit
mikroelektronika ke dalam struktur mesin mikro dan menghasilkan sistem yang
sepenuhnya terintegrasi.
Aplikasi pemesinan mikro terkini meliputi pemesinan mikro silikon, laser
excimer, dan fotolitografi. Mesin seperti penggiling presisi mungkin mampu
menghasilkan tingkat akurasi ±0,01mikrom yang juga dapat diukur
menggunakan instrumen laser, dan serat optik. Tren masa depan dalam
pemesinan mikro meliputi litografi berkas laser dan elektron serta mesin
gerinda, lapping, dan pemoles dengan presisi super tinggi. Dalam kasus
seperti itu, instrumen pengukuran sinar laser presisi tinggi digunakan
seperti yang ditunjukkan oleh McGeough (2002).
Persyaratan pemesinan nano presisi tinggi yang diinginkan dapat
diperoleh dengan menghilangkan atom atau molekul, bukan chip seperti
dalam kasus pemesinan berkas ion. Mesin nano diperkenalkan oleh
Tanigushi (1983) untuk mencakup miniaturisasi komponen dan toleransi
dalam rentang dari tingkat submikron hingga atom atau molekul individu
antara 100 nanometer (nm) dan 0,1 nm. Kebutuhan akan skala kecil tersebut
muncul karena kinerja dan efisiensi tinggi yang dibutuhkan di banyak bidang
seperti mikroelektronik dan industri manufaktur mobil dan pesawat terbang.
Akurasi yang dapat dicapai dari pemesinan nano telah meningkat hampir
dua kali lipat dalam dekade terakhir. Proses pemesinan nano mencakup
pemesinan atom, molekul, atau berkas ion, dan deposisi atom atau molekul.
Teknik ini dapat mencapai toleransi ±1 nm yang dapat diukur menggunakan
mikroskop elektron pemindaian (SEM), mikroskop elektron transmisi,
penganalisis ion, atau peralatan difraksi elektron.
 Proses Penghapusan Material 5

1.3 Pemesinan Tradisional

Seperti disebutkan sebelumnya, pemesinan menghilangkan bagian tertentu dari

benda kerja untuk mengubahnya menjadi bagian akhir. Pemesinan tradisional,
disebut juga konvensional, memerlukan kehadiran pahat yang lebih keras
dibandingkan benda kerja yang akan dikerjakan. Alat ini harus ditembus pada
benda kerja sampai kedalaman tertentu. Selain itu, gerakan relatif antara pahat
dan benda kerja bertanggung jawab untuk membentuk atau menghasilkan
bentuk yang diperlukan. Tidak adanya salah satu elemen ini dalam proses
pemesinan seperti tidak adanya kontak pahat-benda kerja atau gerakan relatif,
menjadikan proses tersebut non-tradisional. Pemesinan tradisional dapat
diklasifikasikan menurut tindakan pemesinan pemotongan (C) dan abrasi
mekanis (MA) seperti yang ditunjukkan pada Gambar 1.2.

1.3.1 Pemesinan dengan cara pemotongan

Selama pemesinan dengan cara pemotongan, pahat ditembus ke dalam material kerja hingga
kedalaman pemotongan. Gerakan relatif (utama dan umpan) menentukan geometri benda kerja
yang diperlukan. Dalam hal ini, pembubutan menghasilkan bagian-bagian silinder, pembentukan
dan penggilingan menghasilkan permukaan datar, sedangkan pengeboran

Proses pemindahan material

Pemesinan tradisional Pemesinan non-tradisional

CH
M
ECM
Pemotongan (C) Abrasi mekanis (MA) EKG
EDM
LBM
AJM
Bundar Bermacam-macam Berikat Longgar WJM
bentuk bentuk abrasif abrasif PBM
USM
Berbelok Penggilingan Menggiling Pemolesan
Membosankan Perencanaan Mengasah Menggosok

Pengeboran Membentuk Bahan abrasif berlapis

memulai
Penggergajian

Pengajuan

Pembentukan roda gigi

Pembangkit roda gigi

Gambar 1.2 Proses pemindahan material.

6 Bab satu

menghasilkan lubang dengan diameter berbeda. Perkakas mempunyai sejumlah tepi

potong tertentu dengan geometri yang diketahui. Tindakan pemotongan
menghilangkan kelonggaran pemesinan dalam bentuk serpihan, yang terlihat dengan
mata telanjang. Selama pemesinan dengan pemotongan, bentuk benda kerja dapat
dihasilkan dengan membentuk ketika pahat pemotong memiliki kontur akhir benda
kerja. Gerakan relatif diperlukan untuk menghasilkan chip (gerakan utama) selain
pengumpanan pahat secara mendalam seperti yang ditunjukkan pada Gambar 1.3A.
Keakuratan profil permukaan sangat bergantung pada keakuratan alat pemotong
bentuk. Suatu permukaan juga dapat dihasilkan oleh beberapa gerakan yang
menyelesaikan proses pembentukan chip (gerakan utama) dan pergerakan titik
pengikatan di sepanjang permukaan (gerakan umpan). Gambar 1.3B memberikan
contoh khas pembentukan permukaan dengan pemotongan. Penggilingan slot,
ditunjukkan pada Gambar 1.3C, mengadopsi prinsip pemotongan bentuk dan
generasi gabungan.
Ketahanan material benda kerja terhadap pemesinan dengan cara
pemotongan bergantung pada suhu yang dihasilkan pada zona pemesinan.
Pemesinan panas berkecepatan tinggi kini dikenal sebagai salah satu teknik
manufaktur utama dengan produktivitas tinggi. Dengan meningkatnya suhu,
kekuatan menurun sedangkan keuletan meningkat. Cukup logis untuk berasumsi
bahwa suhu tinggi mengurangi gaya pemotongan dan konsumsi energi serta
meningkatkan kemampuan mesin dari material yang dipotong. Pemesinan panas
telah digunakan untuk meningkatkan kemampuan mesin kaca dan keramik
rekayasa. El-Kady dkk. (1998) menyatakan bahwa pemanasan benda kerja
dimaksudkan tidak hanya untuk mengurangi kekerasan material tetapi juga
untuk mengubah mekanisme pembentukan chip dari chip yang terputus-putus
menjadi yang kontinu, yang disertai dengan perbaikan permukaan akhir. Todd
dan Copley (1997) membangun prototipe berbantuan laser untuk meningkatkan
kemampuan mesin dari material yang sulit dipotong pada pusat pembubutan
dan penggilingan tradisional. Sinar laser difokuskan ke material benda kerja
tepat di atas zona pemesinan. Pembubutan dengan bantuan laser mengurangi
gaya pemotongan dan keausan pahat serta meningkatkan karakteristik
geometris bagian yang diputar.

1.3.2 Pemesinan dengan cara abrasi

Syaratpermesinan abrasibiasanya menggambarkan proses dimana kelonggaran

pemesinan dihilangkan oleh banyak partikel atau butiran abrasif yang keras dan
bersudut (juga disebut grit), yang mungkin terikat atau tidak untuk membentuk
alat dengan geometri tertentu. Berbeda dengan proses pemotongan logam,
selama pemesinan abrasif, masing-masing ujung tombak diorientasikan secara
acak dan kedalaman pengikatan (ketebalan chip yang tidak terdeformasi) kecil
dan tidak sama untuk semua butiran abrasif yang secara bersamaan
bersentuhan dengan benda kerja. Pinggiran tajam (abrasif) digunakan untuk
menghilangkan sedikit kelonggaran pemesinan melalui aksi MA
 Proses Penghapusan Material 7

Memberi makan

(a) pemotongan (pembentukan) orm

Kedalaman potongan

Daerah chip

Memberi makan

(b) Pemotongan pembangkitan (pembubutan)

Memberi makan

(c) pemotongan orm dan generasi (slot milling)

Gambar 1.3Proses pemotongan logam.

selama proses finishing. Materi tersebut dihilangkan dalam bentuk kepingan kecil,
yang dalam banyak kasus tidak terlihat (Kaczmarek, 1976). Tindakan MA diterapkan
selama proses penggilingan, pengasahan, dan penyelesaian akhir yang menggunakan
roda gerinda padat atau tongkat dalam bentuk bahan abrasif terikat (Gbr. 1.4A).
Selanjutnya, dalam lapping, polishing, dan buffing, bahan abrasif lepas digunakan
sebagai perkakas dalam media pemesinan cair seperti ditunjukkan pada Gambar 1.4B.
8 Bab satu

Tekanan rendah

Tongkat asah

Benda kerja Minyak

(a) Bahan abrasif berikat (superfinishing)

Roda kain pasta penggosok

Benda kerja

(b) bahan abrasif halus (penggosok)

Gambar 1.4Pemesinan abrasif.

1.4 Pemesinan Nontradisional

Sifat termal, kimia, dan mekanik yang jauh lebih baik dari material rekayasa baru
membuat material tersebut tidak mungkin dikerjakan menggunakan proses
pemesinan tradisional berupa pemotongan dan abrasi. Hal ini karena pemesinan
tradisional paling sering didasarkan pada penghilangan material menggunakan
perkakas yang lebih keras dari benda kerja. Misalnya, tingginya rasio volume
roda gerinda yang dipakai per satuan volume logam yang dihilangkan (50–200)
membuat penggilingan klasik hanya cocok sampai batas tertentu untuk produksi
perkakas profil berlian polikristalin (PCD).
Tingginya biaya pemesinan keramik dan komposit serta kerusakan yang
ditimbulkan selama pemesinan merupakan hambatan utama dalam penerapan
material ini. Selain material yang canggih, bentuk yang lebih kompleks, struktur
dengan kekakuan rendah, dan komponen mesin mikro dengan toleransi yang
ketat serta kualitas permukaan yang halus sering kali diperlukan. Metode
pemesinan tradisional seringkali tidak efektif dalam pemesinan bagian-bagian
ini. Untuk memenuhi tuntutan ini, proses baru dikembangkan.
Metode-metode ini memainkan peran penting dalam industri pesawat
terbang, mobil, perkakas, cetakan, dan pembuatan cetakan. Metode pemesinan
non-tradisional (Gbr. 1.5) diklasifikasikan menurut jumlah tindakan pemesinan
yang menyebabkan hilangnya material dari benda kerja.
 Proses Penghapusan Material 9

Pemesinan non-tradisional
proses

Bahan kimia &

Mekanis Panas
elektrokimia

USM EDM CHM

WJM EBM PCM
AWJM LBM ECM
IJM IBM
PBM
Gambar 1.5 Proses pemesinan non-tradisional.

1.4.1 Pemesinan non-tradisional aksi tunggal

Untuk proses ini hanya satu tindakan pemesinan yang digunakan untuk
menghilangkan material. Ini dapat diklasifikasikan menurut sumber energi yang
digunakan untuk menghasilkan tindakan pemesinan: mekanik, termal, kimia, dan
elektrokimia.

1.4.1.1 Permesinan mekanis.Pemesinan ultrasonik (USM) dan pemesinan jet air

(WJM) adalah contoh umum dari proses pemesinan aksi tunggal, mekanis, dan
non-tradisional. Pemesinan dilakukan oleh MA di USM sementara pemotongan
dilakukan menggunakan jet fluida dalam kasus WJM. Media permesinan adalah
butiran padat yang tersuspensi dalam bubur abrasif pada butiran sebelumnya,
sedangkan cairan digunakan dalam proses WJM. Pengenalan bahan abrasif ke
dalam jet fluida meningkatkan pemotongan dalam kasus pemesinan jet air
abrasif (AWJM) atau partikel es selama pemesinan jet es (IJM) (lihat Gambar 1.6).

1.4.1.2 Pemesinan termal.Pemesinan termal menghilangkan tunjangan pemesinan

dengan melelehkan atau menguapkan material benda kerja. Banyak fenomena
sekunder yang berkaitan dengan kualitas permukaan terjadi selama pemesinan
seperti microcracking, pembentukan zona yang terkena panas, dan striasi.
Sumber panas yang diperlukan untuk penghilangan material dapat berupa
plasma selama pemesinan pelepasan listrik (EDM) dan pemesinan berkas plasma
(PBM), foton selama pemesinan sinar laser (LBM), elektron dalam pemesinan
berkas elektron (EBM), atau ion untuk ion pemesinan balok (IBM). Untuk masing-
masing proses ini, media pemesinannya berbeda-beda.
10 Bab satu

Proses mekanis non-tradisional

USM WJM

Abrasi Pemotongan

(MA) (C)

Abrasive Jet

Bubur Cairan

Benda kerja Benda kerja

Gambar 1.6Proses pemesinan mekanis.

Sementara pelepasan muatan listrik terjadi dalam cairan dielektrik untuk EDM, ion dan sinar
laser dicapai dalam ruang hampa selama IBM dan LBM seperti yang ditunjukkan pada
Gambar 1.7.

1.4.1.3 Pemesinan kimia dan elektrokimia.Penggilingan kimia

(CHM) dan pemesinan fotokimia (PCM), juga disebut pengosongan kimia (PCB),
menggunakan tindakan pelarutan kimia (CD) untuk menghilangkan kelonggaran
pemesinan melalui ion-ion dalam etsa. Pemesinan elektrokimia (ECM)
menggunakan fase pelarutan elektrokimia (ECD) untuk menghilangkan
tunjangan pemesinan menggunakan transfer ion dalam sel elektrolitik (Gbr. 1.8).

1.4.2 Pemesinan hibrida

Peningkatan teknologi proses pemesinan dapat dicapai dengan menggabungkan
tindakan atau fase pemesinan berbeda yang akan digunakan pada material yang
dipindahkan. Proses pemotongan tunggal mekanis konvensional atau aksi MA
dapat dikombinasikan dengan masing-masing fase pemesinan pelepasan
muatan listrik (ED) dalam pemesinan pelepasan muatan listrik (EDM) atau ECD
dalam ECM. Alasan dilakukannya kombinasi dan pengembangan proses
pemesinan hibrid terutama adalah untuk memanfaatkan keuntungan gabungan
dan untuk menghindari atau mengurangi beberapa dampak buruk yang
dihasilkan oleh proses-proses penyusunnya ketika proses-proses tersebut
diterapkan secara individual. Karakteristik kinerja proses hibrid sangat berbeda
dengan proses fase tunggal dalam hal produktivitas, akurasi, dan kualitas
permukaan (www.unl.edu.nmrc/outline.htm).
 Proses Penghapusan Material 11

Pemesinan non-tradisional termal

proses

EDM EBM LBM

Elektron Laser
Pelepasan
balok balok

Plasma elektron Foton

Dielektrik Kekosongan Udara

Benda kerja Benda kerja Benda kerja

PBM IBM

Plasma Ion
balok balok

Plasma Ion

Gas Kekosongan

Benda kerja Benda kerja

Gambar 1.7Proses termal non-konvensional.

Tergantung pada fase pemesinan utama yang terlibat dalam

penghilangan material, pemesinan hibrid dapat diklasifikasikan menjadi
proses kimia dan elektrokimia hibrid serta pemesinan termal hibrid.

1.4.2.1 Proses kimia dan elektrokimia hibrid.Di keluarga ini

Dalam proses pemesinan hybrid, fase penghilangan material utama adalah
CD atau ECD. Tindakan pemesinan seperti itu dapat dikombinasikan dengan
bantuan termal melalui pemanasan lokal dalam kasus pemesinan
elektrokimia berbantuan laser (ECML). Dengan kata lain, pengenalan
tindakan abrasi mekanis membantu fase pemesinan ECD selama
penggilingan elektrokimia (ECG) dan penyelesaian super elektrokimia (ECS).
12 Bab satu

Proses kimia dan elektrokimia

CHM
ECM
PCM

PAUD CD

Ion Ion

Elektrolit Mengetsa

Benda kerja Benda kerja

Gambar 1.8Proses pemesinan elektrokimia dan kimia.

Pemesinan elektrokimia berbantuan ultrasonik (USMEC) menggunakan

komponen USM dengan ECM. Tindakan mekanis pancaran fluida
membantu proses pelarutan kimia dalam buffing elektrokimia (ECB).
Kozak dan Rajurkar (2000) melaporkan bahwa interaksi mekanis dengan
material benda kerja mengubah kondisi untuk proses pelarutan anodik yang
lebih baik melalui depassivasi mekanis pada permukaan. Dalam kondisi
seperti itu, menghilangkan lapisan tipis oksida dan senyawa lain dari
permukaan anoda membuat proses pelarutan dan penghalusan menjadi
lebih intensif. Efek signifikan dari tindakan pemesinan mekanis telah diamati
dengan gelombang ultrasonik. Kavitasi yang dihasilkan oleh getaran
tersebut meningkatkan ECM dengan meningkatkan pembilasan elektrolit
dan karenanya menghilangkan material dari permukaan mesin.

1.4.2.2 Pemesinan termal hibrida.Dalam hal ini mekanisme penghilangan

material utama adalah mekanisme termal. Kombinasi fase ini dengan fase ECD,
aksi MA, dan getaran ultrasonik (AS) menghasilkan serangkaian proses aksi
ganda. Pemesinan hibrida tripleks juga dapat dicapai dengan menggabungkan
fase erosi pelepasan muatan listrik (EDE), aksi ECD, dan MA dalam penggilingan
(G). Kombinasi seperti itu meningkatkan laju penghilangan material dan kualitas
permukaan dalam penggilingan pelepasan elektrokimia (ECDG) dan proses hibrid
lainnya yang ditunjukkan pada Gambar 1.9.
 Proses Penghapusan Material 13

USMEC USM EDMUS

ECDM

E E
D EDM
ECM C G
G G

ECDG

ECML LBM EDML

Gambar 1.9 Proses pemesinan hibrida.

Referensi
El-Kady, EY, Nassef, GA, dan El-Hofy, H. (1998). “Karakteristik Keausan Alat Selama
Pemesinan Panas,”Buletin Ilmiah, Universitas Ain Syams, 33 (4): 493–511. Kaczmarek, J.
(1976).Prinsip Pemesinan dengan Pemotongan, Abrasi, dan Erosi.
Stevenage, Inggris: Peter Peregrines, Ltd.
Kozak, J., dan Rajurkar, KP (2000). “Evaluasi Proses Pemesinan Hibrid dan
Pembangunan,” Makalah Utama,Konferensi Internasional Kedua tentang Pemesinan dan
Pengukuran Permukaan Patung, Krakow, hal.501–536.
McGeough, JA (1988). CanggihMetode Pemesinan.London, New York: Chapman
dan aula.
McGeough, JA (2002).Micromachining Bahan Teknik.New York: Marcel
Dekker, Inc.
Tanigushi, N. (1983). “Status Saat Ini dan Tren Pemesinan Ultra Presisi di Masa Depan
dan Pemrosesan Bahan Sangat Halus,”Sejarah CIRP, 32 (2): 573–582. Todd, JA, dan Copley,
SM (1997). “Pengembangan Prototipe Sistem Pemrosesan Laser
untuk Membentuk Bahan Keramik Tingkat Lanjut,” ASME,Jurnal Sains dan Teknik
Manufaktur, 119: 55–67. www.unl.edu.nmrc/outline.htm
 2
bab

Proses Termal

2.1 Pemesinan Pelepasan Listrik

2.1.1 Pendahuluan
Sejarah pemesinan pelepasan muatan listrik (EDM) dimulai pada masa Perang
Dunia I dan II ketika BR dan NI Lazarenko menemukan sirkuit relaksasi (RC).
Dengan menggunakan pengontrol servo sederhana, mereka mempertahankan
lebar celah antara pahat dan benda kerja, mengurangi busur api, dan membuat
EDM lebih menguntungkan. Sejak tahun 1940, die sinking oleh EDM telah
disempurnakan menggunakan generator pulsa, teknik gerak planet dan orbital,
kendali numerik komputer (CNC), dan sistem kendali adaptif.
Selama tahun 1960-an, penelitian ekstensif memimpin kemajuan EDM ketika banyak
masalah yang berkaitan dengan pemodelan matematika telah diatasi. Evolusi kawat EDM
pada tahun 1970an disebabkan oleh generator yang kuat, elektroda alat kawat baru,
kecerdasan mesin yang lebih baik, dan pembilasan yang lebih baik. Baru-baru ini, kecepatan
pemesinan telah meningkat sebesar 20 kali lipat, sehingga mengurangi biaya pemesinan
setidaknya sebesar 30 persen dan meningkatkan penyelesaian permukaan sebanyak 15 kali
lipat. EDM memiliki keunggulan sebagai berikut:

1. Rongga dengan dinding tipis dan fitur halus dapat dihasilkan.

2. Geometri yang sulit mungkin terjadi.

3. Penggunaan EDM tidak dipengaruhi oleh kekerasan material kerja.

4. Prosesnya bebas duri.

2.1.2 Mekanisme pemindahan material

Dalam EDM, penghilangan material didasarkan pada efek erosi pelepasan muatan
listrik (EDE) dari percikan listrik yang terjadi antara dua elektroda yang dipisahkan oleh
cairan dielektrik seperti yang ditunjukkan pada Gambar 2.1. Penghapusan logam

Hak Cipta © 2005 oleh The McGraw-Hill Companies, Inc. Klik di sini untuk ketentuan penggunaan. 14
 EDM

EDE
fase

Plasma

Alat
(−)

Dielektrik

Benda kerja (+) Gambar 2.1komponen EDM.

terjadi sebagai akibat dari timbulnya suhu yang sangat tinggi yang dihasilkan
oleh pelepasan intensitas tinggi yang melelehkan dan menguapkan kedua
elektroda. Serangkaian pulsa tegangan (Gbr. 2.2) dengan besaran sekitar 20
hingga 120 V dan frekuensi pada urutan 5 kHz diterapkan antara dua elektroda,
yang dipisahkan oleh celah kecil, biasanya 0,01 hingga 0,5 mm. Saat
menggunakan generator RC, pulsa tegangan, yang ditunjukkan pada Gambar
5.3, bertanggung jawab atas penghilangan material.
Menurut McGeough (1988), penerapan pulsa tegangan, seperti yang
ditunjukkan pada Gambar 2.4, menyebabkan gangguan listrik pada dielektrik
dalam saluran berjari-jari 10mikroM. Kerusakan timbul dari percepatan menuju
anoda kedua elektron yang dipancarkan dari katoda oleh

Waktu libur

Saat ini
Arus puncak

Rata-rata saat ini

Tepat waktu
Satu siklus Waktu

Gambar 2.2Kereta arus pulsa EDM khas untuk generator pulsa terkontrol.

15
 Tegangan pelepasan

Volt

Waktu
Satu siklus

Waktu pengisian Waktu pemakaian

Gambar 2.3Variasi tegangan terhadap waktu menggunakan generator RC.

medan terapan dan elektron liar yang ada di celah tersebut. Elektron ini
bertabrakan dengan atom netral dielektrik, sehingga menciptakan ion positif
dan elektron selanjutnya, yang selanjutnya dipercepat masing-masing
menuju katoda dan anoda.
Ketika elektron dan ion positif mencapai anoda dan katoda, mereka
melepaskan energi kinetiknya dalam bentuk panas. Suhu sekitar 8000
hingga 12.000°C dan fluks panas hingga 1017W/m2tercapai. Dengan durasi
percikan yang sangat singkat biasanya antara 0,1 hingga 2000mikros suhu
elektroda dapat dinaikkan secara lokal hingga lebih dari suhunya

Voltase kerusakan
Volt
Tegangan percikan

Ionisasi

Satu siklus
Waktu

Tepat waktu Waktu libur

Penundaan pengapian

Saat ini Arus puncak

Rata-rata saat ini

Percikan
energi

Waktu

Gambar 2.4Bentuk gelombang tegangan dan arus selama EDM.

16
 Keausan alat

Saluran plasma Aliran dielektrik

+ -
Uap air +−
- + Logam yang dipadatkan
+
Kawah -
Logam cair
Susun kembali lapisan Zona yang terkena dampak panas

Benda kerja (+)

Gambar 2.5Deskripsi percikan EDM.

titik didih normal. Karena penguapan dielektrik, tekanan pada saluran

plasma meningkat dengan cepat hingga mencapai 200 atmosfer.
Tekanan yang begitu besar mencegah penguapan logam super panas.

Di akhir denyut, tekanan turun secara tiba-tiba dan logam yang sangat panas
menguap secara eksplosif. Logam kemudian dikeluarkan dari elektroda seperti yang
ditunjukkan pada Gambar 2.5.
Cairan dielektrik segar mengalir masuk, membuang kotoran dan
mendinginkan permukaan benda kerja. Logam cair yang tidak dikeluarkan akan
mengeras membentuk apa yang disebut lapisan penyusunan kembali. Logam
yang dikeluarkan membeku menjadi bola-bola kecil yang tersebar dalam cairan
dielektrik bersama dengan potongan-potongan elektroda. Uap yang tersisa naik
ke permukaan. Tanpa waktu mati yang cukup, puing-puing akan terkumpul
sehingga percikan api menjadi tidak stabil. Keadaan ini menimbulkan busur listrik
yang merusak elektroda dan benda kerja. Hubungan antara jumlah material yang
dikeluarkan dari anoda dan katoda bergantung pada kontribusi masing-masing
elektron dan ion positif terhadap aliran arus total. Arus elektron mendominasi
pada tahap awal pelepasan. Karena ion positifnya kira-kira berjumlah 104
kali lebih besar dari elektron, mereka kurang mudah dimobilisasi
dibandingkan elektron. Konsekuensinya erosi benda kerja anoda harusnya
lebih besar dibandingkan erosi pada katoda. Pada akhir aksi EDM, lebar
saluran plasma bertambah, dan kerapatan arus melintasi celah
antarelektroda berkurang. Dengan berkurangnya fraksi arus akibat elektron,
kontribusi ion positif meningkat, dan secara proporsional lebih banyak
logam yang kemudian terkikis dari katoda. Pulsa tegangan berfrekuensi
tinggi yang disuplai, bersama dengan gerakan pahat yang dikontrol servo ke
depan, ke arah benda kerja, memungkinkan terjadinya percikan api di
sepanjang elektroda. Gambar 2.4 menunjukkan bentuk gelombang
tegangan dan arus selama EDM. Gambar 2.6 menunjukkan pelepasan
muatan periodik yang terjadi saat menggunakan generator RC di EDM.

17
 Volt

Saat ini 15 Waktu

Waktu pengisian

Waktu

Waktu erosi yang berguna Waktu pemakaian

Gambar 2.6Pelepasan berkala pada generator tipe RC.

Frekuensi pelepasan atau percikan api biasanya bervariasi antara 500

dan 500.000 percikan per detik. Dengan frekuensi percikan yang tinggi,
efek gabungan dari percikan individu menghasilkan tingkat
penghilangan material yang besar. Posisi elektroda pahat dikendalikan
oleh mekanisme servo, yang mempertahankan lebar celah konstan (200–
500mikrom) antara elektroda untuk meningkatkan efisiensi pemesinan
melalui pelepasan aktif.
Ukuran kinerja EDM seperti laju pelepasan material, keausan alat elektroda,
dan penyelesaian permukaan, untuk energi yang sama, bergantung pada bentuk
pulsa arus. Berdasarkan keadaan celah antarelektroda, dibedakan empat pulsa
listrik yang berbeda, yaitu pulsa rangkaian terbuka, bunga api, busur, dan
hubung singkat. Mereka biasanya ditentukan berdasarkan evolusi waktu dari
tegangan pelepasan dan/atau arus pelepasan. Pengaruhnya terhadap pelepasan
material dan keausan pahat berbeda secara signifikan. Tegangan celah terbuka
yang terjadi ketika jarak antara kedua elektroda terlalu besar jelas tidak
menyebabkan hilangnya material atau keausan alat elektroda. Ketika terjadi
kontak tiba-tiba antara pahat dan benda kerja, terjadi korsleting mikro, yang
tidak berkontribusi pada proses penghilangan material. Kisaran jarak elektroda
antara dua kasus ekstrim ini membentuk celah kerja praktis untuk pelepasan
aktual, yaitu percikan api dan busur api. Dalam hal ini, busur diyakini terjadi di
tempat yang sama pada permukaan elektroda dan oleh karena itu, dapat
menyebabkan kerusakan parah pada pahat dan benda kerja. Diasumsikan bahwa
busur terjadi ketika saluran plasma dari pulsa sebelumnya tidak sepenuhnya
terdeionisasi; arus selama pulsa berikutnya akan mengalir berdasarkan
preferensi sepanjang jalur arus yang sama. Dalam kasus seperti itu, tidak
diperlukan waktu untuk membentuk jalur arus gas baru yang memulai percikan
baru

18
 Servo-
dikendalikan
memberi makan
Percikan api
Tempat alat (−)

−+ Dielektrik
Saring

Pompa

Benda Kerja Perlengkapan (+)

generator pulsa DC

Gambar 2.7Skema EDM.

memulangkan. Dipercaya bahwa hanya “percikan api” yang benar-benar berkontribusi pada pemindahan
material dalam mode yang diinginkan.

2.1.3 Sistem pemesinan

Gambar 2.7 dan 2.8 menunjukkan komponen utama sistem EDM.
Komponen ini mencakup unit pengontrol servo umpan pahat, yang
menjaga celah pemesinan konstan yang memastikan terjadinya
pelepasan aktif antara dua elektroda. Catu daya bertugas untuk
menyuplai pulsa-pulsa pada tegangan, arus, tepat waktu,

Kesenjangan yang konstan

Mekanisme servis
Tegangan celah terbuka
M

Modus pembilasan
Bentuk gelombang

EDM
Dielektrik
Sumber Daya listrik
sistem permesinan
ruangan

Arus pulsa
Jenis

Pulsa tepat waktu

Sistem penahan benda kerja

Gambar 2.8Komponen sistem EDM.

19
dan waktu libur. Unit sirkulasi dielektrik mengalirkan cairan dielektrik ke
celah antarelektroda setelah disaring dari serpihan pemesinan.

2.1.3.1 Elektroda EDM

Bahan.Logam dengan titik leleh tinggi dan daya hantar listrik yang baik biasanya
dipilih sebagai bahan perkakas EDM. Grafit adalah bahan elektroda yang paling umum
karena memiliki karakteristik keausan yang wajar dan mudah dikerjakan serta lubang
siram kecil dapat dibor ke dalam elektroda grafit. Tembaga memiliki keausan EDM
yang baik dan konduktivitas yang lebih baik. Umumnya digunakan untuk hasil akhir
yang lebih baik pada kisaran 0,5mikroMRA. Tungsten tembaga dan tungsten perak
digunakan untuk membuat slot dalam dalam kondisi pembilasan yang buruk
terutama pada tungsten karbida. Ini menawarkan tingkat pemesinan yang tinggi serta
keausan elektroda yang rendah. Grafit tembaga baik untuk elektroda penampang. Ini
memiliki konduktivitas listrik yang lebih baik daripada grafit sementara keausan
sudutnya lebih tinggi. Kuningan memastikan kondisi percikan api yang stabil dan
biasanya digunakan untuk aplikasi khusus seperti pengeboran lubang kecil di mana
keausan elektroda yang tinggi dapat diterima (Buku Pegangan Logam, 1989).

Gerakan.Selain umpan yang dikontrol servo, elektroda pahat mungkin memiliki

gerakan memutar atau mengorbit tambahan. Rotasi elektroda membantu
mengatasi kesulitan pembilasan yang dihadapi saat mengerjakan lubang kecil
dengan EDM. Selain peningkatan kecepatan potong, kualitas lubang yang
dihasilkan lebih unggul dibandingkan dengan yang diperoleh dengan
menggunakan elektroda stasioner. Pengorbitan elektroda menghasilkan rongga
berbentuk elektroda. Ukuran elektroda dan jari-jari orbit (maksimum 2,54 mm)
menentukan ukuran rongga. Pengorbitan elektroda meningkatkan pembilasan
dengan menciptakan efek pemompaan cairan dielektrik melalui celah.

Polaritas.Polaritas elektroda bergantung pada benda kerja dan bahan

elektroda. Tabel 2.1 menunjukkan kemungkinan polaritas elektroda untuk
kombinasi benda kerja dan pahat yang berbeda.

TABEL 2.1 Polaritas Elektroda untuk Bahan Benda Kerja Berbeda

Bahan kerja

Elektroda Tungsten Basis Ni

bahan Baja karbit Tembaga Aluminium paduan

Grafit +,− - - + +,−

Tembaga + +,− - + +
Cu-W + +,− - + +
Baja +,− + - - -
Kuningan - - + -

SUMBER:Buku Pegangan Logam(1989).

20
 Elektroda alat

Bentuk akhir

Pakai sudut LC

Bentuk awal Keausan samping LS

Akhir pakai Le

Kedalaman mesin D
Benda kerja

Rasio keausan sudut = D/LC

Rasio keausan samping = D/LS
Rasio keausan akhir = D/Le
Rasio keausan volume = Vw/Ve
Vw = Volume benda kerja yang dikeluarkan Ve
= Volume elektroda yang dikonsumsi

Gambar 2.9 Jenis keausan elektroda dalam EDM (Metals Handbook, 1989).

Keausan elektroda.Titik leleh merupakan faktor terpenting dalam menentukan

keausan pahat. Rasio keausan elektroda dinyatakan sebagai keausan ujung, keausan
samping, keausan sudut, dan keausan volume seperti ditunjukkan pada Gambar 2.9.
Syarattidak memakai EDMterjadi ketika rasio keausan elektroda terhadap benda kerja
adalah 1 persen atau kurang. Keausan elektroda bergantung pada sejumlah faktor
yang terkait dengan EDM, seperti tegangan, arus, bahan elektroda, dan polaritas.
Perubahan bentuk elektroda pahat akibat keausan elektroda menyebabkan cacat pada
bentuk benda kerja. Keausan elektroda memiliki efek yang lebih nyata pada aplikasi
pemesinan mikro. Seperti dapat dilihat dari Gambar 2.10 rasio sudut tergantung pada
jenis elektroda. Titik leleh aluminium yang rendah dikaitkan dengan rasio keausan
tertinggi. Grafit menunjukkan kecenderungan keausan yang rendah dan memiliki
kemungkinan untuk dicetak atau dikerjakan menjadi bentuk elektroda yang rumit.
Tingkat keausan bahan alat elektrodaWTdan rasio keausanRw, dijelaskan oleh
Kalpakjian (1997), adalah
3 – 2.38
WT= (11×10)diaT
Rw=2.25T–2.3 R

Di manaWT=tingkat keausan pahat, mm3/mnt

Saya=Arus EDM, A
TT=titik leleh elektroda alat,°C
TR=rasio titik leleh benda kerja dan elektroda pahat

21
 800

700
600
Rasio keausan sudut %

500
400
300
200
100

0
Aluminium (+)

Kuningan (−)

Tembaga (−)
Seng-timah (−)

Tembaga-tungsten (+)

Perak-tungsten (−)
Baja (+)

Grafit (+)
Bahan elektroda

Gambar 2.10Rasio keausan sudut untuk bahan elektroda yang berbeda (El-Hofy, 1995).

2.1.3.2 Cairan dielektrik.Fungsi utama fluida dielektrik adalah untuk

1. Bersihkan partikel yang terkikis dari celah pemesinan

2. Berikan isolasi antara elektroda dan benda kerja
3. Dinginkan bagian yang dipanaskan dengan efek pengosongan

Persyaratan utama cairan dielektrik EDM adalah viskositas yang memadai, titik
nyala yang tinggi, stabilitas oksidasi yang baik, bau yang minimal, biaya rendah,
dan efisiensi pelepasan listrik yang baik (www.unl.edu/nmrc/). Untuk sebagian
besar operasi EDMo, minyak tanah digunakan dengan bahan tambahan tertentu
yang mencegah gelembung gas dan menghilangkan bau. Cairan silikon dan
campuran cairan ini dengan minyak bumi telah memberikan hasil yang sangat
baik. Cairan dielektrik lainnya dengan tingkat keberhasilan yang bervariasi
meliputi larutan etilenglikol dalam air, emulsi air, dan air suling.
Pembilasan dielektrik memainkan peran utama dalam pemeliharaan kestabilan
pemesinan dan pencapaian toleransi yang ketat serta kualitas permukaan yang tinggi.
Pembilasan yang tidak memadai dapat menghasilkan busur, penurunan masa pakai
elektroda, dan peningkatan waktu produksi. Empat metode memasukkan cairan
dielektrik ke celah pemesinan dipertimbangkan diwww.unl.edu/nmrc/.

Aliran biasa.Pada sebagian besar aplikasi EDM, fluida dielektrik

dimasukkan, di bawah tekanan, melalui satu atau lebih saluran pada alat
dan dipaksa mengalir melalui celah antara alat dan benda kerja.

22
 Stopkontak dielektrik
Saluran masuk dielektrik

Elektroda

Benda kerja

Aliran biasa Arus balik

Gambar 2.11Mode pembilasan dielektrik yang umum.

Lubang pembilasan umumnya ditempatkan di area yang potongannya paling dalam. Aliran
normal terkadang tidak diinginkan karena menghasilkan bukaan yang meruncing pada
benda kerja seperti yang ditunjukkan pada Gambar 2.11.

Arus balik.Metode ini sangat berguna dalam pemesinan cetakan rongga dalam,
dimana lancip yang dihasilkan menggunakan mode aliran normal dapat dikurangi.
Celah tersebut direndam dalam dielektrik yang disaring, dan alih-alih tekanan
diterapkan pada sumbernya, vakum digunakan. Dengan fluida bersih yang mengalir
antara benda kerja dan pahat, tidak ada percikan api samping dan, oleh karena itu,
tidak terjadi lancip seperti yang ditunjukkan pada Gambar 2.11.

Pembilasan jet.Dalam banyak kasus, pemesinan yang diinginkan dapat dicapai dengan
menggunakan semprotan atau pancaran cairan yang diarahkan pada celah pemesinan.
Waktu pemesinan selalu lebih lama dengan pembilasan jet dibandingkan dengan mode
aliran normal dan balik.

Pembilasan perendaman.Untuk banyak potongan dangkal atau perforasi pada

bagian tipis, cukup dengan merendam celah pelepasan. Penghapusan puing-
puing pendinginan dan pemesinan dapat ditingkatkan selama pemotongan
perendaman dengan memberikan gerakan relatif antara pahat dan benda kerja
(Zhixin, 1995). Gangguan getaran atau siklus terdiri dari bolak-balik berkala pahat
relatif terhadap benda kerja untuk mempengaruhi aksi pemompaan cairan
dielektrik. Pembilasan berdenyut yang tersinkronisasi juga tersedia pada
beberapa mesin. Dengan metode ini, pembilasan hanya terjadi selama waktu
non-pemesinan karena elektroda ditarik sedikit untuk memperbesar celah.
Peningkatan umur elektroda telah dilaporkan dengan sistem ini. Teknik inovatif
seperti getaran ultrasonik ditambah dengan EDM pulsa mekanis, pembilasan jet
dengan nozel penyapu, dan denyut elektroda diselidiki oleh Masuzawa (1990).
Untuk kondisi pembilasan yang tepat, berikut ini direkomendasikan olehBuku
Pegangan Logam(1989):

23
1. Pembilasan melalui alat lebih disukai daripada pembilasan samping.
2. Banyak lubang pembilasan kecil lebih baik daripada beberapa lubang pembilasan besar.

3. Aliran dielektrik yang stabil pada seluruh antarmuka benda kerja-elektroda

diinginkan.
4. Titik mati yang disebabkan oleh pembilasan bertekanan, dari sisi berlawanan
benda kerja, harus dihindari.
5. Lubang ventilasi harus disediakan untuk setiap bagian elektroda perkakas yang
cekung ke atas untuk mencegah akumulasi gas yang mudah meledak.
6. Kotak siram berguna jika terdapat lubang pada rongganya.

2.1.4 Tingkat pemindahan material

Dalam EDM, logam dihilangkan dari benda kerja dan elektroda pahat.
Seperti dapat dilihat dari Gambar 2.12, laju pelepasan material tidak hanya
bergantung pada material benda kerja tetapi juga pada material elektroda
pahat dan variabel pemesinan seperti kondisi pulsa, polaritas elektroda, dan
media pemesinan. Dalam hal ini bahan dengan titik leleh rendah mempunyai
laju penghilangan logam yang tinggi sehingga permukaannya lebih kasar.
Tingkat penghilangan tipikal berkisar antara 0,1 hingga 400 mm3/mnt.

Tingkat penghilangan material,

Kualitas permukaan,

Ketepatan

Detak
karakteristik

Benda kerja
Elektroda alat Volume kawah panas
properti

Bahan Titik lebur

Pergerakan Titik didih

Sifat dielektrik

Memakai Daya konduksi

Gambar 2.12Parameter yang mempengaruhi kinerja EDM.

24
 0,7 1
Tingkat penghapusan
0,6 Kekasaran permukaan
0,8

Kekasaran permukaan, Rz
Tingkat penghapusan, cm3/mnt

0,5

0,4 0,6

0,3 0,4
0,2
0,2
0,1

0 0
Aluminium Baja C-Cr Tembaga Karbit Grafit
15% CO
Bahan kerja

Gambar 2.13 Tingkat penghilangan EDM dan kekasaran untuk material berbeda (El-Hofy, 1995).

Hasil Gambar 2.13 mengutip laju pemesinan dan kekasaran permukaan untuk
material yang berbeda. Gambar 2.14 dan 2.15 menjelaskan pengaruh energi
pulsa (arus) dan durasi terhadap ukuran kawah dan laju penghilangan. Laju
pembuangan material, atau laju pembuangan volumetrik (VRR), dalam mm3/
menit, dijelaskan oleh Kalpakjian (1997):

VRR = (4×104)dia–1.23
w

Di manaSayaadalah arus EDM (A) danTwadalah titik leleh bahan benda

kerja (°C).

Alat

Percikan

Kawah

Benda kerja

10 A
5A

Waktu
259 mikrodetik 259 mikrodetik 259 mikrodetik

Gambar 2.14Pengaruh arus pulsa (energi) terhadap laju penghilangan dan kekasaran
permukaan.

25
 Alat

Percikan

Kawah

Benda kerja
Arus pulsa
15 A

Waktu
100 mikrodetik 200 mikrodetik 300 mikrodetik

Gambar 2.15 Pengaruh pulsa tepat waktu (energi) terhadap laju pembuangan dan sur-
kekasaran wajah.

2.1.5 Integritas permukaan

Permukaan mesin percikan terdiri dari banyak peti yang tumpang tindih
yang dibentuk oleh aksi pelepasan percikan berdurasi mikrodetik. Kawah ini
bergantung pada sifat fisik dan mekanik material dan komposisi media
pemesinan serta energi pelepasan dan durasi seperti yang ditunjukkan pada
Gambar. 2.14 dan 2.15. Efek integral dari ribuan pelepasan per detik
mengarah pada pembentukan profil benda kerja yang sesuai dengan akurasi
dan penyelesaian permukaan tertentu. Kedalaman kawah yang dihasilkan
biasanya mewakili kekasaran permukaan puncak hingga lembah
(maksimum).RT. Kedalaman maksimum lapisan yang rusak dapat diambil 2,5
kali kekasaran permukaan rata-rataRA. Menurut Delpreti (1977) dan Motoki
dan Lee (1968) ketinggian maksimum puncak hingga lembah,RT, dianggap
10 kaliRA.
Kekasaran rata-rata dapat dinyatakan dalam arus pulsaSayaP
(A) dan durasi pulsaTP(mikros) oleh
0,38
R=0,0225
A Saya0,29
P TP
Pengamatan serupa telah dilaporkan oleh Benhadad et al. (1991) dan Dauw dan
Brown (1990). Stavitskaya dan Stravinski (1979) juga mengklaim bahwa kekasaran
permukaan mesin, yang terbentuk akibat saling tumpang tindih kawah,
merupakan sepertiga dari kedalaman kawah. Karena itu,

2W0,33
R A = KH
12

Di manaKH=0,4 hingga 0,75mikroM/mikroJ0,33DanWadalah energi pulsa (mikroJ).

26
 Kekasaran permukaan meningkat secara linear dengan meningkatnya laju
penghilangan material. Jeswani (1978) melaporkan bahwa elektroda grafit
menghasilkan permukaan yang lebih kasar dibandingkan logam. Crookall dan Khor
(1974) menghubungkan volume kawah/penghilangan logam per pelepasan dengan
kekasaran permukaan Hrmssedangkan Jeswani (1977) mengungkapkan kekasaran
dalam hal frekuensi pulsaFPdan kekuasaanPRoleh

-P-0,258
H rms= 267- - R
-FP-

Jeswani juga menambahkan bahwa seiring dengan berkurangnya energi pulsa,

penyelesaian permukaan menjadi lebih baik dan akibatnya, kedalaman di mana
semua kawah yang terbentuk menghilang dari permukaan mesin (kedalaman
pemolesan bebas) berkurang. Kedalaman ini ditemukan terletak antara 3 sampai
6 kaliHrmsdan penting ketika memoles cetakan dan cetakan serta ketika tegangan
sisa ingin dihilangkan dari permukaan mesin. Masuzawa dan Saki (1978)
mengadopsi teknik penyelesaian elektrokimia cepat, menggunakan elektroda
pasangan. Dengan demikian, terjadi penurunan kekasaran permukaan dari 22 -m
Rmakshingga 8 -m telah dilaporkan bersamaan dengan penghilangan lapisan yang
terkena dampak panas. Sebaliknya, tampilan matte pada permukaan mesin
terbukti memuaskan dalam beberapa aplikasi tekstur pelepasan muatan listrik
(EDT).
Kuneida dan Furuoya (1991) mengklaim bahwa masuknya gas oksigen ke
dalam celah pelepasan memberikan daya ekstra melalui reaksi oksigen, yang
pada gilirannya meningkatkan pencairan benda kerja dan menciptakan gaya
ekspulsi yang lebih besar sehingga meningkatkan laju penghilangan logam dan
kekasaran permukaan. Ketika EDM digunakan untuk menghilangkan titik puncak,
bubuk silikon telah tersuspensi dalam fluida kerja, selama tahap penyelesaian
EDM. Akibatnya, Mohri dan Saito (1991) melaporkan perubahan kekasaran
permukaan dari 45 -m menjadi 10 -mRmaks. Pemilihan aliran dielektrik yang tepat,
pada celah, mempunyai pengaruh yang signifikan dalam mengurangi kekasaran
permukaan sebesar 50 persen, meningkatkan laju pemesinan, dan menurunkan
efek termal pada permukaan benda kerja.
ItuBuku Pegangan Data Pemesinan(1997) merekomendasikan dielektrik yang
memiliki viskositas rendah untuk EDM permukaan halus. Benhadad dkk. (1991)
menunjukkan bahwa untuk paduan Al-Li, kekuatan tarik bagian mesin berkurang
dengan meningkatnya kekasaran permukaan. Pengurangan ini ditingkatkan
dengan peningkatan arus pulsa. Lapisan yang terkena panas mencapai 200 -m
dibandingkan dengan 80 -m untuk baja karena perbedaan dalam konduktivitas
termalnya. Toleransi normal adalah sekitar -25 -m dengan -5 -m diperoleh melalui
pemilihan variabel proses yang tepat.

27
2.1.6Zona yang terkena dampak panas

Dengan suhu buangannya mencapai 8000 hingga 12.000°C, perubahan metalurgi

terjadi pada lapisan permukaan benda kerja. Selain itu lapisan perombakan tipis
1mikrom jam 5-mikroJ kekuatan menjadi 25mikrom pada kekuatan tinggi
terbentuk. Delpretti (1977) dan Levy dan Maggi (1990) menyatakan bahwa zona
terkena panas yang berdekatan dengan lapisan yang dipadatkan kembali
mencapai 25mikroM. Beberapa anil benda kerja dapat terjadi pada zona tepat di
bawah permukaan mesin. Selain itu, tidak semua material benda kerja yang
meleleh karena pelepasan dibuang ke dielektrik. Bahan sisa yang meleleh
dengan cepat didinginkan, terutama melalui konduksi panas ke sebagian besar
benda kerja, sehingga menghasilkan permukaan yang sangat keras. Kedalaman
lapisan anil sebanding dengan jumlah daya yang digunakan dalam operasi
pemesinan. Berkisar antara 50mikrom untuk menyelesaikan pemotongan hingga
sekitar 200mikrom untuk tingkat penghilangan logam yang tinggi. Jumlah anil
biasanya sekitar dua titik kekerasan di bawah logam induk untuk pemotongan
akhir. Pada pemotongan seadanya, efek anil kira-kira lima titik kekerasan di
bawah logam induk (Gbr. 2.16).
Pemilihan elektroda yang menghasilkan pemesinan lebih stabil dapat mengurangi
efek anil. Pemotongan akhir menghilangkan material anil yang ditinggalkan oleh
pengasaran berkecepatan tinggi sebelumnya. Perubahan lapisan permukaan, yang
dihasilkan selama EDM, secara signifikan menurunkan kekuatan lelah paduan. Lapisan
yang diubah terdiri dari lapisan perombakan dengan atau tanpa retakan mikro,
beberapa di antaranya mungkin meluas ke logam dasar, ditambah perubahan
metalurgi seperti lapisan yang dikeraskan ulang dan ditempa, zona yang terkena
dampak panas, dan endapan antar butir. Secara umum, pada proses roughing EDM,
lapisan yang mengalami perubahan mikrostruktur, termasuk lapisan yang meleleh
dan solidifikasi, kedalamannya kurang dari 0,127 mm, sedangkan pada finishing EDM,
kedalamannya kurang dari 0,075 mm. Pasca perawatan untuk mengembalikan
kekuatan lelah dianjurkan untuk mengikuti EDM pada permukaan kritis atau
bertekanan tinggi. Ada beberapa proses efektif yang mencapai pemulihan atau
bahkan peningkatan sifat kelelahan. Metode ini mencakup penghilangan lapisan yang
diubah dengan penggilingan bertekanan rendah, pemesinan kimia, dan penambahan
lapisan jenis metalurgi, perlakuan panas ulang, dan penerapan shot peening.

Susun kembali 1−40 µm

Mengeras 200 µm

Dianil 200 µm

Gambar 2.16Zona yang terkena dampak panas EDM.

28
2.1.7 Aplikasi
EDM telah menjadi proses yang sangat diperlukan dalam industri
manufaktur modern. Ini menghasilkan bentuk kompleks dengan tingkat
akurasi tinggi pada material yang sulit dikerjakan seperti paduan tahan
panas, paduan super, dan karbida. Penggabungan EDM dalam sistem
manufaktur terintegrasi komputer (CIM) mengurangi lamanya waktu yang
diperlukan untuk pengoperasian unit, tanpa penghentian untuk
pemeliharaan. Micromachining pada lubang, slot, dan cetakan; prosedur
pengendapan permukaan; modifikasi; tekstur; penggilingan; dan denyut
mekanis adalah aplikasi yang umum.

2.1.7.1 Pengeboran.Pengeboran EDM menggunakan elektroda alat berbentuk tabung di mana

dielektrik dialirkan ke lubang bagian dalam tabung untuk menghilangkan serpihan pemesinan.
Ketika batang padat digunakan; dielektrik diumpankan ke zona pemesinan melalui pengisapan
atau injeksi melalui lubang yang telah dibor sebelumnya. Lubang yang tidak beraturan,
meruncing, melengkung, maupun miring dapat dihasilkan oleh EDM. McGeough (1988)
melaporkan laju pengumpanan tipikal sebesar 0,1 mm/menit ketika pengeboran berdiameter 0,1
hingga 0,5 mm, meninggalkan potongan berlebih sebesar 0,01 hingga 0,05 mm. Membuat saluran
pendingin pada bilah turbin yang terbuat dari paduan keras adalah aplikasi khas pengeboran
EDM. Penggunaan sistem NC yang terkomputerisasi memungkinkan sejumlah besar lubang dapat
ditemukan lokasinya secara akurat.

2.1.7.2 Penggergajian.Penggergajian ED, ditunjukkan pada Gambar 2.17, adalah variasi EDM
yang menggunakan pita atau cakram baja khusus. Proses ini memotong bahan penghantar
listrik dengan kecepatan dua kali lipat dibandingkan metode penggergajian abrasif
konvensional. Potongan yang dihasilkan mempunyai garitan yang lebih kecil selain bebas
dari gerinda. Pemotongan billet dan batangan adalah aplikasi yang umum.

Pasokan dielektrik Memberi makan

Ketebalan cakram

Dideionisasi
air
Memberi makan

Benda kerja
Garitan

Pita baja

Penggergajian pita Penggergajian cakram

Gambar 2.17Skema penggergajian ED.

29
 Alat

Alat

Benda kerja

Gambar 2.18EDM putar.

Hasil akhir yang bagus 6,3 hingga 10mikrom, meninggalkan lapisan perombakan sedalam 0,025
hingga 0,130 mm, telah dilaporkan olehBuku Pegangan Data Pemesinan(1997).

2.1.7.3 Pemesinan bola.Shichun dan rekan kerja (1995) menggunakan elektroda

tubular sederhana dalam pemesinan EDM pada bola cembung dan cekung,
dengan akurasi dimensi sebesar±1mikrom dan kekasaran permukaan kurang
dari 0,1mikroM. Rotary EDM digunakan untuk pemesinan bentuk bola dalam
melakukan keramik menggunakan susunan pahat dan benda kerja yang
ditunjukkan pada Gambar 2.18.

2.1.7.4 Pemesinan cetakan dan cetakan.Penggilingan EDM menggunakan silinder standar

elektroda kering. Rongga yang kompleks dikerjakan dengan sapuan NC
berturut-turut pada elektroda hingga kedalaman yang diinginkan. Elektroda
berbentuk sederhana (Gbr. 2.19) diputar dengan kecepatan tinggi dan
mengikuti jalur tertentu pada benda kerja seperti end mill konvensional.
Teknik ini sangat berguna dan menjadikan EDM sangat serbaguna seperti
proses penggilingan mekanis. Proses ini memecahkan masalah pembuatan
elektroda yang akurat dan berbentuk kompleks untuk penenggelaman
cetakan rongga tiga dimensi yang ditunjukkan pada Gambar 2.20.
Penggilingan EDM meningkatkan pembilasan dielektrik karena rotasi
elektroda berkecepatan tinggi. Keausan elektroda dapat dioptimalkan
karena gerakan rotasi dan kontur elektroda. Keterbatasan utama dalam
penggilingan EDM adalah bentuknya yang rumit dan tajam

Elektroda

Jalur alat

Benda kerja Gambar 2.19 Penggilingan mati EDM.

30
 Elektroda

Benda kerja
Gambar 2.20 EDM mati tenggelam.

sudut tidak dapat dikerjakan karena elektroda alat berputar. Gambar 2.21 menunjukkan
flowchart proses die sinking. Langkah-langkah yang banyak dan memakan waktu ini dapat
dikurangi dengan menggunakan penggilingan EDM seperti yang ditunjukkan pada Gambar
2.22. Penggilingan EDM juga menggantikan pembuatan cetakan konvensional yang
memerlukan penggunaan berbagai mesin seperti mesin penggilingan, pemotongan kawat,
dan mesin die sinking EDM.

2.1.7.5 Kawat EDM.Wire EDM adalah bentuk khusus EDM yang menggunakan
elektroda kawat konduktif yang bergerak terus menerus. Penghilangan material
terjadi akibat erosi percikan saat elektroda kawat diumpankan, dari kumparan kawat
baru, melalui benda kerja. Dalam kebanyakan kasus, pergerakan horizontal meja
kerja, yang dikendalikan oleh CNC, menentukan jalur pemotongan, seperti
diilustrasikan pada Gambar 2.23. Aplikasi yang luar biasa mencakup permesinan

CAD mati

CAD elektroda alat

Pemrograman untuk elektroda alat

Pembuatan elektroda

Pemrograman untuk mati tenggelam

Gambar 2.21Diagram alur mati

tenggelam EDM.
Mati tenggelam

31
 CAD mati

Pemrograman untuk penggilingan EDM

Gambar 2.22Diagram alur penggilingan

mati EDM.
Penggilingan mati EDM

dari material superkeras seperti blanko berlian polikristalin (PCD) dan kubik
boron nitrida (CBN), serta komposit matriks lainnya. Meskipun komposit
serat karbon banyak digunakan, dalam industri dirgantara, nuklir, mobil, dan
kimia, pemesinan konvensionalnya sulit dilakukan, karena delaminasi,
pecah, pembentukan duri, dan umur perkakas yang pendek. Kozak dkk.
(1995) menggunakan kawat EDM untuk membentuk material ini secara
akurat, tanpa distorsi atau gerinda. Proses ini baru-baru ini digunakan untuk
pemesinan keramik isolasi oleh Tani dkk. (2004).

2.1.7.6 EDM keramik isolasi.Keramik isolasi adalah ED-

dikerjakan dengan peralatan yang ditunjukkan pada Gambar 2.24. Jaring lembaran
logam ditempatkan di atas bahan keramik. Pelepasan percikan api terjadi antara
elektroda alat negatif dan jaring logam. Percikan api ini disalurkan melalui keramik ke
antarmukanya dengan permukaan keramik, yang kemudian terkikis. Pot porselen
yang diproduksi dengan metode ini ditunjukkan pada Gambar 2.25.

Pemandu kawat (−)

Kawat segar

Pasokan dielektrik

Arus searah

gerakan CNC

Pasokan dielektrik

Kawat bekas

Gambar 2.23Skema kawat EDM.

32
 Elektroda (−)

Dielektrik
Jaring logam

Keramik

Gambar 2.24 EDM keramik isolasi (Fukuzawa et al., 1995).

2.1.7.7 Tekstur.Tekstur diterapkan pada lembaran baja selama tahap akhir

pengerolan dingin. Peledakan tembakan (SB) adalah metode pembuatan tekstur
konvensional yang murah di mana tembakan baja keras ditembakkan dengan
kecepatan tinggi, sehingga permukaannya menjadi kasar saat terkena benturan.
Keterbatasan SB mencakup kurangnya kontrol dan konsistensi tekstur, dan
perlunya perlindungan pada bagian lain dari peralatan yang menahan gulungan.
Ketika gulungan baja menjadi lebih keras, rentang kekasaran dan jumlah puncak
yang semakin terbatas muncul sebagai kelemahan lebih lanjut bagi SB seperti
yang ditunjukkan oleh Pawleski dkk. (1994) dan Ahmed dan Knight (1988). EDT,
merupakan variasi EDM dimana penghilangan material dan modifikasi
permukaan dan bawah permukaan rendah. EDT terbukti paling populer karena
kekerasan gulungan tidak menjadi batasan. Dengan menggunakan metode baru,
pembuatan tekstur dicapai dengan melewatkan percikan listrik berintensitas
tinggi dengan durasi singkat melintasi celah antara gulungan (benda kerja) dan
elektroda perkakas, yang melaluinya dielektrik cair (misalnya parafin) dibilas
(Aspinwal et al., 1991). Setiap percikan menciptakan kawah kecil dengan
pelepasan energinya dalam peleburan lokal dan penguapan material gulungan.
Dengan memilih variabel proses yang sesuai seperti arus pulsa, durasi dan waktu
jeda, polaritas elektroda dan material,

Gambar 2.25Pot Cina dikerjakan

oleh EDM. (Fukuzawa dkk., 1995).

33
 Tekstur kepala 1
• 6 kelompok × 6 alat
• Setiap kelompok dikontrol
secara servo

Gulungan

Tekstur kepala 2
• 6 kelompok × 6 alat
• Setiap kelompok dikontrol
secara servo

Gambar 2.26sistem pemesinan EDT.

jenis dielektrik, dan kecepatan putaran gulungan, dapat dihasilkan tekstur

permukaan dengan tingkat akurasi dan konsistensi yang tinggi. Peralatan EDT
ditunjukkan pada Gambar 2.26 di mana gulungan baja yang berputar dikenakan
kepala tekstur yang terdiri dari susunan elektroda berbentuk jari. Setiap jari
diisolasi secara elektrik dari tetangganya dan dihubungkan ke satu atau lebih
unit yang dikontrol servo yang dapat menggerakkan posisinya menuju, atau dari,
gulungan kerja. McGeough dan Rasmussen (1992) menggunakan catu daya
multisaluran untuk menghasilkan percikan api yang terkontrol, biasanya dengan
amplitudo arus 2 hingga 10 A dan durasi 10 hingga 100 A.mikroS. Keuntungan
EDT dibandingkan SB telah dilaporkan oleh Aspinwal et al. (1989) dimana kontrol
jumlah puncak tidak bergantung pada kekasaran permukaan.
Elektroda tipe segmental diadopsi oleh El-Menshawy dan Ahmed (1985)
menggunakan matriks jari grafit atau tembaga yang dibentuk untuk
mengakomodasi kelengkungan gulungan kerja. Selama EDT, material benda
kerja (gulungan baja) dipasang secara kaku untuk menghindari kemungkinan
getaran. Spindel berputar dengan kecepatan 10 hingga 40 rpm. Rotasi gulungan
disinkronkan dengan gerakan lintasan aksial kepala pemesinan. Amalnik dan
rekan kerja (1997) menyimpulkan bahwa peningkatan jumlah alat meningkatkan
biaya modal mesin, mengurangi waktu yang diperlukan untuk pembuatan
tekstur, dan menurunkan biaya pembuatan tekstur. Peningkatan arus pulsa yang
digunakan dalam celah percikan memungkinkan lebih banyak energi yang
dihamburkan dalam saluran plasma. Dalam kondisi seperti itu, terbentuk kawah
yang lebih besar dan tekstur permukaannya menjadi lebih kasar sehingga jumlah
puncak per satuan luas juga berkurang.

2.1.7.8 Mikro-EDM.McGeough dan De Silva (1996) menyatakan bahwa EDM dapat

menghasilkan lubang, biasanya dalam kisaran 0,1 hingga 1,0 mm pada rasio
kedalaman terhadap diameter 10:1, dan pada kecepatan pemesinan rendah 1,0 mm/
menit. Ada peningkatan permintaan akan presisi yang lebih tinggi dan pemesinan
yang lebih cepat. Untuk itu, Chen dan McGeough (1994) melaporkan EDM yang cepat

34
 A A

Benda kerja Panduan kawat

Kabel

Bagian AA

Gambar 2.27Prinsip WEDG.

teknik untuk mengebor lubang yang akurat, diameter 0,5 hingga 1,0 mm dan
kedalaman 100 mm dengan kecepatan 20 mm/menit. Fujino dkk. (1995) mengebor
lubang mikro dengan diameter 300mikrom melalui paduan tungsten karbida, dengan
elektroda tungsten tembaga 0,2 mm. Menggunakan dielektrik dengan viskositas
rendah, Allen dan Huang (1995) menjelaskan pengeboran lubang multielektroda
dengan diameter sekecil 5mikroM. Masuzawa dan rekan kerja (1994)
mengembangkan metode gabungan electroforming dan wire EDM untuk fabrikasi
micronozzle. Dalam karya selanjutnya oleh Allen dan Lecheheb (1996), lubang ink-jet,
75mikroberdiameter m, dikerjakan dalam foil baja tahan karat tipis menggunakan
tingkat energi yang kecil. Prinsip wire electrodischarge grinding (WEDG) diilustrasikan
pada Gambar 2.27. Mekanisme pembuangan materialnya sama seperti di EDM.
Elektroda perkakas adalah kawat logam, yang meluncur perlahan dengan kecepatan 5
hingga 10 mm/menit di sepanjang alur pada pemandu kawat. Pergerakan kawat ini
membuat proses terbebas dari masalah keausan pahat EDM. Dengan mengumpankan
benda kerja yang berputar ke arah bawah, sebuah mikropin (Gbr. 2.28) memiliki

100 mikron

Gambar 2.28Micropin diproduksi oleh

WEDG (Masuzawa dan Tonshof,
1997).
φ 5 mikron

35
 Gambar 2.29Microholes diproduksi
oleh EDM (Masuzawa dan Tonshof,
1997).

telah diproduksi oleh Masuzawa dan Tonshof (1997). Sebuah metode baru untuk
fabrikasi mikropin, menggunakan lubang mesin sebagai alat, telah dikembangkan
oleh Yamazaki et al. (2004). Mesin micro-EDM dengan fasilitas WEDG sudah ada di
pasaran, dan diameter lubang kecil 5mikrom tersedia (Gbr. 2.29). Dengan
menggunakan elektroda berbentuk, lubang dan rongga dengan berbagai bentuk juga
dapat dibuat. Gambar 2.30 menunjukkan rongga dengan sudut tajam, dikerjakan
menggunakan mesin 50-mikrom elektroda bagian persegi.

2.1.8 Pengendalian proses

Pemantauan dan pengendalian EDM telah berevolusi dari penelitian mendasar

menjadi pemodelan pelepasan tunggal, melalui model stokastik (sistem dinamis
yang bergantung pada data) menjadi sistem online yang lebih berorientasi pada
aplikasi seperti kontrol adaptif, sistem pakar, logika fuzzy, dan jaringan saraf
tiruan. Penghindaran pelepasan listrik abnormal pada EDM tetap menjadi
kesulitan utama dalam kemajuan proses ini, meskipun metode frekuensi radio
telah ditemukan yang dirancang oleh El-Menshawy dan rekan kerja (1985). Sistem
kontrol adaptif EDM awal pada dasarnya melibatkan pemeriksaan kondisi
tegangan “tanpa beban” dari bentuk gelombang tegangan celah pelepasan. Jika
pelepasan muatan listrik tanpa tegangan tanpa beban terjadi selama jangka
waktu tertentu, waktu mati pulsa ditingkatkan untuk menghindari pelepasan
muatan listrik abnormal yang tidak diinginkan; hanya ketika perbaikan dalam
pemesinan tercapai barulah waktu penghentian dapat dikurangi lagi. Bahkan
dengan kemajuan modern dalam pengendalian umpan balik, tetap konsisten

Gambar 2.30Sebuah rongga mikro

dengan sudut tajam oleh mikro-EDM
(Masuzawa dan Tonshof, 1997).

36
kualitas EDM masih sulit untuk dikuasai, setidaknya sampai konsep kontrol
adaptif fuzzy diperkenalkan oleh Lauwers dan Kruth (1995). Yang terakhir ini
pada dasarnya adalah sistem pakar, yang dilakukan oleh operator yang
terampil.
Singkatnya, kualitas pemesinan ditentukan dari aturan fuzzy yang diperoleh
dari pengetahuan eksperimental untuk mengenali ketidakstabilan dalam
pemesinan. Informasi yang diberikan oleh pemroses sinyal kemudian digunakan
untuk menentukan kondisi pemesinan listrik yang sesuai. Dauw dan Van
Coppenolle (1995) menjelaskan peralatan industri saat ini yang menggabungkan
pengontrol fuzzy. Jaringan saraf tiruan adalah alat baru dalam pengendalian
EDM, terutama bila dikombinasikan dengan logika fuzzy. Jaringan saraf sudah
digunakan dalam EDM untuk pemantauan dan perencanaan proses offline oleh
Lauwers dan Kruth (1995). Dalam aplikasi sederhana, durasi dan arus pulsa
digunakan sebagai masukan, dan pulsa normal dan abnormal (yang tidak
diinginkan) diklasifikasikan dalam tahap keluaran. Dalam jaringan saraf,
kedalaman, kekasaran, dan akurasi pemesinan dikorelasikan dengan kondisi
pemesinan pada tahap keluaran. Jaringan saraf versi industri kini tersedia.

2.1.9 Otomatisasi EDM

Pengenalan EDM ke dalam sistem manufaktur tingkat lanjut dengan
integrasi komputer tingkat tinggi dan penanganan material otomatis
mengalami kemajuan jauh lebih lambat dibandingkan integrasi proses
pemesinan konvensional seperti penggilingan dan pembubutan.
Perkembangan terkini dalam kontrol komunikasi dan sistem CAD/CAM untuk
EDM telah menciptakan potensi untuk menjadikan EDM sebagai arus utama
operasi pemesinan otomatis dalam sistem manufaktur modern. EDM cocok
untuk CIM karena berbagai alasan yang disebutkan oleh Dauw dan Van
Coppenolle (1995). Tingkat otomatisasi saat ini ada di unit EDM. Tingkat
produksi EDM yang relatif rendah dibandingkan dengan proses pemesinan
tradisional terkait dengan ketersediaan perangkat lunak canggih di bidang
CAD, perencanaan proses berbantuan komputer (CAPP), dan permesinan.
Ketiga teknik ini dapat dilakukan secara independen, namun harus
diintegrasikan agar keberhasilan CIM dapat terjamin. Saat ini terdapat
kekurangan operator EDM berketerampilan tinggi, yang memerlukan
pemahaman yang cukup baik tentang proses fisik. Integrasi CIM dapat
membebaskan EDM dari otomatisasinya, sehingga menghasilkan produksi
yang lebih efisien dan hemat biaya. Desain alat dilakukan dengan
pendekatan klasik menggunakan penggaris dan pita gambar atau melalui
sistem CAD.
Pembuatan elektroda perkakas kemudian dilakukan dengan menggunakan beberapa
proses produksi antara lain penggilingan dan pembubutan. Akhirnya, pahat tiba di mesin
EDM dalam wadah pencekamnya, mungkin dengan bantuan alat yang fleksibel dan sistem
pengangkutan benda kerja, yang pada gilirannya mungkin memiliki

37
menerima informasinya dari perencana proses yang dibantu komputer.
Dalam konsep CIM, pusat permesinan EDM terintegrasi di lantai pabrik
dengan pusat permesinan lainnya. Mesin produksi EDM diintegrasikan ke
dalam sistem CAD/CAM yang sudah ada di lantai toko pelanggan. Mesin
penggilingan, pembubutan, dan pengeboran EDM, NC berkomunikasi
dengan sistem CAD/CAM pusat melalui antarmuka multipengguna pada
jaringan area lokal (LAN) (Dauw dan Van Coppenolle, 1995).

2.1.10 Dampak lingkungan

Dampak lingkungan dari proses pemesinan menjadi semakin signifikan
seiring dengan diberlakukannya undang-undang baru pada tahun 1990an.
EDM memiliki beberapa potensi bahaya yang dijelaskan pada Gambar 2.31.
Suhu tinggi di celah kerja mengakibatkan timbulnya asap, uap, dan aerosol
yang berbahaya. Produk penguraian dan logam berat dapat terakumulasi
dalam dielektrik dan bubur erosi. Dielektrik hidrokarbon berdampak negatif
pada kulit. Partikel logam yang tajam dapat merusak kulit. Selain itu,
terdapat bahaya kebakaran yang signifikan. Ledakan dapat terjadi dalam
kondisi yang tidak menguntungkan.
Pengurangan konsumsi energi listrik jelas mempunyai manfaat ekonomi dan
lingkungan. Untuk itu, penelitian terus dilakukan untuk meningkatkan efisiensi
proses dengan memanfaatkan sistem kontrol yang canggih dan pembangkit
listrik jenis baru. Die sinking EDM menggunakan dielektrik berbahan dasar
minyak, sehingga menimbulkan masalah tambahan berupa asap hidrokarbon,
yang mungkin berbahaya bagi kesehatan manusia. Penelitian sedang dilakukan

Bahaya kebakaran

Eksplosif
komposisi

Bermata tajam
Aerosol partikel
Alat

Berbentuk gas oleh- Logam berat

produk dalam bubur

Benda kerja
Elektromagnetik Efek degreasing
radiasi

Gambar 2.31Potensi bahaya EDM.

38
dilakukan untuk meningkatkan fasilitas ekstraksi dan mengurangi emisi
dengan menggunakan dielektrik alternatif. Berbeda dengan die sinking,
pemotongan kawat menggunakan air deionisasi sebagai dielektrik.
Meskipun asapnya tidak terlalu beracun, dampak jangka panjang terhadap
lingkungan akibat emisi ozon dan klorin harus diingat. Selain itu, air limbah
menjadi semakin sulit untuk dibuang karena undang-undang lingkungan
hidup semakin diperketat. Regenerasi dielektrik yang ramah lingkungan dan
berkapasitas tinggi untuk EDM kawat telah dirancang oleh Levy (1993). Cara-
cara “teknologi bersih” EDM ditinjau oleh Tonshof dkk. (1996).

2.2 Pemesinan Sinar Laser

2.2.1 Pendahuluan
Metode pemesinan modern digunakan untuk membuat material yang sulit
dikerjakan seperti paduan tahan panas berkekuatan tinggi; berbagai macam
karbida, material komposit yang diperkuat serat, stellites, dan keramik.
Pemesinan konvensional pada material tersebut menghasilkan gaya potong yang
tinggi, yang dalam beberapa kasus tertentu, mungkin tidak dapat ditopang oleh
benda kerja. Pemesinan sinar laser (LBM) menawarkan solusi baik yang memang
lebih terkait dengan sifat material seperti konduktivitas termal dan panas spesifik
serta suhu leleh dan titik didih.
Laser adalah singkatan dari amplifikasi cahaya dengan emisi radiasi
terstimulasi. Berkas cahaya yang sangat terkolimasi, monokromatik, dan
koheren dihasilkan dan difokuskan ke titik kecil. Kepadatan daya tinggi (106
W/mm2) kemudian diperoleh. Berbagai macam laser tersedia di pasaran
termasuk jenis solid-state, ion, dan molekuler dalam mode operasi
gelombang kontinu (CW) atau mode berdenyut (PM) seperti yang
ditunjukkan pada Tabel 2.2. Laser banyak digunakan dalam banyak aplikasi
industri termasuk pelapisan, perlakuan panas, pelapisan, paduan,
pengelasan, dan permesinan. Sistem LBM ditunjukkan pada Gambar 2.32.

TABEL 2.2 Berbagai Jenis Laser

Jenis laser Panjang gelombang, nm Performa khas

Padat Rubi 694 Berdenyut, 5 W

Nd-YAG 1064 Berdenyut, CW, 1–800 W
Kaca Nd 1064 Berdenyut, CW, 2 mW
Semikonduktor GaA 800–900 Berdenyut, CW, 2–10 mW
Molekuler BERSAMA2 10.6mikroM Berdenyut, CW, <15 kW
Ion Ar+ 330–530 Berdenyut, CW, 1 W–5 kW
Excimer 200–500 Berdenyut

Gas netral He-Ne 633 CW, 20 mW

39
 Cermin pemantul total

Bahan penguat
Berbentuk bulat panjang
Lampu kilat
mencerminkan rongga

Cermin sebagian

Lensa

Kontrol CNC
Focal length

Tabel posisi
Benda kerja

Gambar 2.32Skema LBM.

2.2.2 Mekanisme pemindahan material

Seperti disajikan pada Gambar 2.33, cahaya yang tidak dipantulkan diserap,
sehingga memanaskan permukaan spesimen. Pada suhu yang cukup, benda
kerja mulai meleleh dan menguap. Fisika pemesinan laser sangat kompleks

Sinar laser Konduksi termal

(a) penyerapan dan pemanasan

Cairan

Sinar laser Antarmuka padat-cair

Padat

(b) elting

Materi dihapus

Sinar laser Benda kerja

Gambar 2.33Proses fisik yang
terjadi selama LBM.

(c) Penguapan

40
terutama disebabkan oleh kerugian hamburan dan refleksi pada permukaan
mesin. Selain itu, difusi panas ke dalam material curah menyebabkan perubahan
fasa, peleburan, dan/atau penguapan. Bergantung pada kepadatan daya dan
waktu interaksi berkas, mekanismenya berkembang dari penyerapan dan
konduksi panas ke peleburan dan kemudian penguapan. Sinar laser berintensitas
tinggi tidak direkomendasikan karena membentuk gumpalan plasma pada atau
dekat permukaan material yang mengakibatkan penurunan efisiensi proses
karena kehilangan penyerapan dan hamburan.
Pemesinan dengan laser terjadi ketika kerapatan daya berkas lebih
besar daripada yang hilang akibat konduksi, konveksi, dan radiasi, dan
terlebih lagi, radiasi harus menembus dan diserap ke dalam material.
Kepadatan daya sinar laser,PD, diberikan oleh

4LP
PD=
πF2akuα2∆T

Ukuran diameter titikDSadalah

DS=FakuA

Tingkat pemesinanF(mm/menit) dapat dijelaskan sebagai berikut:

CakuLP
=
EayABH
π
A= (Fα)2
B aku
4
4sel
akuP
=
πEay(Fakuα )2H

Laju penghilangan volumetrik (VRR) (mm3/mnt) dapat dihitung sebagai

berikut:

CakuLP
VRR =
EayH

Di manaPD=kepadatan daya, W/cm2

LP=kekuatan laser, W
Faku=panjang fokus lensa, cm
∆T=durasi pulsa laser, s
A=divergensi sinar, rad
Caku=konstan tergantung pada bahan dan efisiensi konversi Eay=
3
energi penguapan bahan, W/mm

41
 AB=luas sinar laser pada titik fokus, mm2
H=ketebalan bahan, mm
DS=diameter ukuran titik, mm

Dalam LBM material benda kerja dihilangkan melalui beberapa efek

antara lain pemantulan, penyerapan, dan konduksi cahaya yang diikuti
dengan peleburan dan penguapan. Perilaku material kerja terhadap
pengaruh-pengaruh ini menentukan laju pemindahan material.
Reflektivitas tergantung pada panjang gelombang, sifat material,
permukaan akhir, tingkat oksidasi dan suhu.
Pada panjang gelombang tertentu, semakin tinggi reflektifitas material, semakin
rendah laju penghilangannya, dan sebaliknya. Dalam hal ini sebagian besar logam
memantulkan sekitar 90 persen radiasi yang terjadi pada kepadatan daya rendah.
Tingkat reflektifitas dapat dikurangi secara substansial, dan kemampuan mesin
material ditingkatkan dengan memodifikasi kondisi permukaan. Cahaya yang tidak
dipantulkan kemudian diserap, yang pada logam menaikkan elektron ke tingkat
energi yang lebih tinggi. Energi yang diserap oleh elektron dengan cepat diteruskan
ke kisi. Pada suhu yang cukup, benda kerja mulai meleleh dan menguap. Energi laser
minimum yang diperlukan untuk menguapkan plastik lebih rendah dibandingkan
energi laser logam. Sifat termal material ini menunjukkan bahwa kemampuan mesin
ditingkatkan untuk material dengan konduktivitas termal, difusivitas, dan titik leleh
yang rendah. Kebanyakan nonlogam memiliki konduktivitas termal yang rendah dan
menyerap CO2laser 10,6-mikrom panjang gelombang. Oleh karena itu, bahan plastik
dapat dengan mudah dicairkan dengan CO berkekuatan rendah2laser.
Karena logam memiliki reflektifitas dan konduktivitas termal yang lebih tinggi, kecepatan mesin
nonlogam lebih tinggi dibandingkan logam (Gbr. 2.34). Selain itu, untuk mencapai kecepatan
pemesinan yang sama, laser dengan kepadatan daya yang lebih besar harusnya

Bahan kerja
Papan seni
Lembaran karet (sorbo)
Lembaran akrilik
Plastik ABS
Lembaran karet (padat)
Kulit
Fiberglass berikat resin
Film Melinex (mylar)
PTFE
Papan asbes (padat)
Kayu lapis
Kuarsa
titanium
Baja ringan
Baja perkakas yang dikeraskan

Besi tahan karat

0 200 400 600 800 1000 1200
Kecepatan potong, mm2/S

Gambar 2.34 Kecepatan potong dalam CO2LBM (El-Hofy, 1995).

42
 120
Peringkat kemampuan mesin, %

100
80
60
40
20
0
Emas

Kuningan
Aluminium
Tembaga

titanium
Perak

TD. Tidak. Kr
Hastelloy X

Rene 41
Haynes 188
Baja perkakas yang dikeraskan
TI.6Al.4V

Baja ringan
Besi tahan karat

Nikel
Ti.6Al.6V.2Sn

Kromium
Bahan kerja

Gambar 2.35Kemampuan mesin beberapa material di LBM (El-Hofy, 1995).

digunakan untuk bahan logam. Kedalaman lapisan yang diubah lebih kecil terkait dengan
kecepatan pemesinan yang tinggi merupakan keuntungan LBM.
Dalam laser yang dibantu gas, panas obor menyebabkan peleburan dan oksidasi
awal logam. Pemesinan dicapai dengan pelepasan panas dari proses oksidasi. Aliran
aliran gas juga berkontribusi dengan menghilangkan oksida dari area pemesinan.
Dengan menggunakan metode seperti itu, titanium dengan ketebalan 0,5 mm telah
dipotong dengan CO2laser 135 W pada kecepatan 15 m/mnt, sehingga meninggalkan
lapisan yang terkena panas sebesar 0,375 mm. Pelat dengan ketebalan 10 mm dari
bahan yang sama juga telah dipotong dengan kecepatan 2,4 m/menit, begitu pula
tembaga yang memiliki ketebalan 0,025 mm dengan klor sebagai gas reaktif. Perlu
diingat bahwa semakin kecil diameter nosel gas dan semakin sempit jaraknya dari
permukaan benda kerja, semakin baik kualitas potongannya. Tekanan gas juga
memainkan peranan penting dalam penentuan kualitas dan kecepatan pemesinan.
Gambar 2.35 menunjukkan indeks kemampuan mesin relatif untuk berbagai macam
material. Indeks 100 diambil untuk Ti.6Al.6V.2Sn, yang memotong pada kecepatan
tertinggi seperti yang ditunjukkan pada Gambar 2.36.

2.2.3 Aplikasi

2.2.3.1 Pengeboran.Bahan komposit dan beberapa paduan eksotik telah

banyak digunakan dalam fabrikasi anggota struktural dan nonstruktural
badan pesawat dan mesin pesawat terbang. Superalloy sering
digunakan untuk pembuatan komponen jalur gas mesin aero seperti
bilah, van pemandu, after-burner, dan coran dengan suhu 2000°C dapat
dijangkau.
Keramik canggih dan paduan titanium sedang dikembangkan dan digunakan.
Bahan-bahan tersebut memerlukan teknologi canggih dalam pembuatannya dan

43
 160

140 Daya laser: 250 W Panjang

fokus: 64 mm Diameter titik:
0,175 mm Gas pembantu:
120 Oksigen
Kesenjangan nosel: 0,51 ± 0,25 mm
Kecepatan pemotongan, mm2/S

100

80

60

40

20

Bahan kerja

Gambar 2.36Kecepatan pemesinan paduan dirgantara dalam LBM berbantuan gas (El-Hofy, 1995).

pengolahan. Pengeboran dan pelubangan konvensional ternyata tidak

mencukupi karena ketangguhan materialnya. Proses non-konvensional lainnya
seperti pemesinan elektrokimia (ECM), pengeboran elektrokimia (ECD), EDM,
pemesinan ultrasonik (USM), pemesinan pancaran air (WJM), dan pemesinan
pancaran air abrasif (AWJM) mengalami dampak dari tingginya biaya alat dan
waktu yang lama. waktu tunggu. Kemampuan LBM untuk menghasilkan lubang
halus pada kecepatan pemesinan tinggi dibandingkan dengan proses pemesinan
lainnya ditinjau oleh Snoeys dkk. (1986). Sejak tahun 1970an, pengeboran laser
telah terbukti menjadi alat pengeboran yang efisien dalam hal biaya, kualitas,
dan keandalan untuk aplikasi produksi skala besar. Pengeboran laser dilakukan
dengan tiga metode berikut:

A. Pengeboran langsung (perkusi).. Menghasilkan ukuran lubang yang

diperlukan dengan penerapan satu atau lebih pulsa laser terfokus. Ukuran
lubang ditentukan oleh daya input dan penyesuaian fokus. Meskipun sebagian
besar lubang dibor dengan satu pulsa laser berenergi tinggi, akan lebih efisien
jika mengebor lubang dalam dengan beberapa pulsa berenergi rendah. Dalam
keadaan seperti itu Yeo dkk. (1994) dan Tam dkk. (1990) menghasilkan lubang
yang lebih jelas.
B. Bor dan rim. Terdiri dari pengeboran lubang pilot dan kemudian mengubah
parameter laser, dengan meningkatkan ukuran titik untuk membuka lubang hingga
diameter yang diperlukan. Cara alternatif yang diperkenalkan oleh Allen dan

44
 Huang (1997), adalah dengan mengebor lubang pilot menggunakan sinar laser dan kemudian menerapkan

EDM untuk mendapatkan ukuran sebenarnya.

C. Trepanning. Digunakan untuk lubang besar dengan menggerakkan bagian atau

memutar sistem pengiriman sinar laser atau lensa. Karena rendahnya energi setiap
pulsa, pembentukan kembali lapisan dan keluarnya silinder berkurang. Namun
prosesnya memberikan kontrol yang lebih mudah terhadap ukuran lubang dengan
memutar diameter balok.

Karakteristik kualitas lubang.Diameter dan kedalaman. Menggunakan LBM,

efektif secara ekonomi untuk mengebor lubang dengan diameter hingga 1,5
mm. Untuk diameter besar, metode trepanning direkomendasikan.
Karakteristik geometris lubang yang dibor dengan laser dijelaskan dalam
rasio aspeknya (rasio kedalaman terhadap diameter di tengah lubang). Rasio
aspek bergantung pada karakteristik optik berkas dan sifat optik dan termal
material. Dalam pengeboran lubang dalam dengan diameter 0,25 hingga 1,0
mm, rasio aspek tipikal lebih dari 10:1 telah dilaporkan oleh Yeo dkk. (1994).
Rasio aspek 50:1 dan toleransi pengeboran±5 hingga 20 persen diameter
telah dilaporkan diBuku Pegangan Data Pemesinan (1997).

Lancip dan laras. Derajat lancip yang berkisar antara 5 hingga 20

persen diameter lubang berkurang seiring bertambahnya kedalaman
lubang. Lancipnya bergantung pada durasi dan energi pulsa, jumlah
pulsa, dan desain sistem optik. Secara umum, semakin pendek durasi
pulsa, semakin besar pula lancipnya. Menurut Yeo dkk. (1994) barel,
yang dibentuk oleh lontaran material dari lokasi lokal rongga, dapat
dikurangi dengan menurunkan tekanan gas pembantu.
Susun kembali lapisan dan microcracking. Memilih kepadatan daya rendah yang secara efektif
mengeluarkan material cair dan menguap dari zona pemesinan dapat mengurangi lapisan
perombakan. Menggunakan durasi pulsa yang pendek dan tingkat pengulangan yang rendah
untuk meminimalkan pemanasan pada material di sekitarnya dapat mengurangi retakan mikro.
Secara umum, kedalaman perubahan lapisan yang lebih kecil terkait dengan laju pemotongan
yang tinggi merupakan keuntungan LBM.

Sudut masuk. Sinar laser mampu mengebor lubang dengan sudut masuk
yang bervariasi dari 10°hingga angka kejadian normal pada angka 90°
dengan karakteristik lubang yang dapat diterima. Ketika sudut masuk
terhadap permukaan menjadi lebih kecil, kepadatan daya permukaan
efektif berkurang. Dalam keadaan seperti itu, perlu untuk meningkatkan
kekuatan laser atau meningkatkan kualitas sinarnya.
Waktu pengeboran. Pengeboran lubang dalam hingga 17 mm dapat dilakukan
dengan mengoperasikan sinar laser dalam mode pulsa cepat sehingga total
waktu sebanding dengan jumlah energi yang dikirimkan per pulsa. Yeo dkk.
(1994) menemukan bahwa lubang dengan rasio aspek serupa dapat dibor
dalam waktu pemesinan yang sama (rasio aspek 20:1 memerlukan 7 detik).

45
TABEL 2.3 Kemampuan Pengeboran Laser

Fitur lubang Jangkauan

Diameter 0,005–1,27 mm, lebih besar pada trepanning 1,7

Kedalaman mm
Sudut 15–90°
Lancip diameter lubang 5–20%.
Rasio kedalaman/diameter 50:1
Kedalaman pengeboran 6,4 mm
(trepanned) Toleransi ±5–20 % diameter
Sudut minimum radious 0,25 mm

Parameter yang mempengaruhi kualitas lubang.Tabel 2.3 mencantumkan sinar laser

kemampuan pengeboran, sedangkan Gambar 2.37 menyajikan berbagai faktor yang
mempengaruhi kualitas lubang yang dibor.

Energi pulsa. Disarankan agar daya puncak yang diperlukan diperoleh dengan
meningkatkan energi pulsa sambil menjaga durasi pulsa tetap konstan.
Pengeboran lubang dengan pulsa yang lebih panjang menyebabkan
pembesaran lubang masuk.

Bahan kerja Bantuan gas

• Jenis • Jenis
• Reflektivitas permukaan
Kualitas lubang • Tekanan
• Ketebalan • Desain nosel

Lingkungan Lensa fokus

• Kelembaban LBM • Focal length
• Suhu • Posisi fokus

Pulsa laser
• Bentuk pulsa
• Frekuensi
• Panjang gelombang

• Divergensi sinar
• Durasi
• Energi
• Mode melintang

Gambar 2.37Parameter yang mempengaruhi kualitas lubang yang dibor dengan laser.

46
 Durasi pulsa. Kisaran durasi pulsa yang cocok untuk pengeboran lubang
ditemukan antara 0,1 hingga 2,5 ms. Energi pulsa tinggi (20 J) dan durasi pulsa
pendek ditemukan cocok untuk pengeboran lubang dalam pada material luar
angkasa.
Membantu gas. Semburan gas biasanya diarahkan dengan sinar laser ke
wilayah interaksi untuk menghilangkan material cair dari wilayah pemesinan
dan mendapatkan potongan yang bersih. Gas pembantu juga melindungi
lensa dari material yang dikeluarkan dengan memasang penghalang
bertekanan tinggi pada bukaan nosel. Oksigen murni menyebabkan oksidasi
cepat dan reaksi eksotermik, sehingga menyebabkan efisiensi proses lebih
baik. Pemilihan udara, oksigen, atau gas inert bergantung pada bahan dan
ketebalan benda kerja. Gas inert seperti helium atau argon harus digunakan
jika diperlukan potongan dengan kualitas lebih baik. Perlu diingat bahwa
semakin kecil diameter nosel gas dan semakin sempit jaraknya dari
permukaan benda kerja, semakin baik kualitas potongannya. Tekanan gas juga
memainkan peranan penting dalam penentuan kualitas dan kecepatan
pemesinan.

Sifat material dan lingkungan. Ini termasuk karakteristik permukaan seperti

reflektifitas dan koefisien penyerapan material curah. Selain itu, konduktivitas
dan difusivitas termal, kepadatan, panas spesifik, dan panas laten juga
dipertimbangkan. Dalam hal ini, energi laser minimum yang dibutuhkan untuk
menguapkan plastik umumnya lebih rendah dibandingkan energi laser logam.
Tingkat penghilangan ditingkatkan untuk bahan dengan konduktivitas termal,
difusivitas, dan titik leleh rendah.

Gagilano dkk. (1969) menggunakan laser rubi berdenyut untuk membuat

lubang pada cetakan kawat berlian berdiameter 1,4 mm. Dua ratus lima puluh
pulsa energi 2 hingga 3 J, durasi 0,6 ms, dan 1 pulsa per detik digunakan untuk
melakukan pembukaan 0,46 mm pada cetakan. Dalam kasus pengeboran dengan
beberapa pulsa, rasio aspek 40:1 untuk lubang berdiameter 0,127 mm melalui
material setebal 12,5 mm telah dilaporkan oleh Bellows dan Kohls (1983). Mereka
juga menemukan bahwa kedalaman lubang yang dihasilkan awalnya meningkat
seiring dengan melebarnya diameter, hingga batas di mana kedalaman penetrasi
berkurang. Mereka menarik perhatian pada aplikasi pengeboran lubang kecil
seperti filter bahan bakar, nozel karburator, dan lubang pendingin bilah mesin
jet.
Laser yttrium-aluminium-garnet (Nd-YAG) yang didoping neodymium, dilengkapi dengan
CNC, pada lima sumbu independen untuk memposisikan komponen dengan berat hingga 1
kg, telah digunakan dalam industri mesin pesawat terbang oleh Corfe (1983). Oleh karena
itu, lubang pada komponen turbin gas dan van pemandu nosel, dengan panjang 8 mm dan
rasio aspek 10:1, dihasilkan, sehingga menghasilkan penghematan 20 hingga 30 persen
dibandingkan EDM. Gambar 2.38 menunjukkan lubang pendingin yang dibor dengan laser
pada baling-baling turbin.

47
Gambar 2.38Lubang pendingin pada baling-baling turbin (Corfe, 1983).

Boehme (1983) menunjukkan bahwa laser solid-state berdenyut menghasilkan

diameter lubang antara 0,1 dan 0,5 mm dengan kecepatan 0,1 hingga 10 lubang per
detik, rasio kedalaman terhadap diameter berada pada kisaran 1:1 hingga 10:1.
Selama pengeboran lubang laser, pemompaan optik muncul dari pantulan internal
sinar laser saat lubang semakin dalam. Oleh karena itu, kedalaman lubang maksimum
yang dapat dicapai berkurang karena energi yang hilang akibat pantulan dari dinding
lubang, dan juga dengan berkurangnya bukaan lubang. Efek merugikan lainnya pada
pemesinan laser adalah produksi uap bulu di dalam rongga yang menyerap energi
laser; sebagai hasilnya, lubang yang lebih dangkal dihasilkan. Dalam keadaan seperti
itu, pulsa berulang direkomendasikan oleh McGeough (1988) untuk mengatasi
keterbatasan proses tersebut.
Masalah kedalaman lubang maksimum yang terbatas, profil nonsilinder, dan
adanya material perombakan yang berlebihan, biasanya, terkait dengan laser
konvensional. Lau dkk. (1994) memperkenalkan teknik pemesinan laser
berbantuan ultrasonik tidak hanya untuk meningkatkan kedalaman lubang tetapi
juga untuk meningkatkan kualitas lubang yang dihasilkan pada komposit matriks
logam (MMC) berbasis aluminium. Dengan menggunakan metode seperti itu,
kedalaman lubang meningkat sebesar 20 persen dan juga mengurangi tingkat
lancip lubang.

2.2.3.2 Pemotongan dan pembuatan alur.Daya dalam kisaran 200 W hingga 1

kW direkomendasikan untuk memotong baja. Bantuan jet oksigen terbukti
cocok untuk sebagian besar logam, karena gas tersebut melepaskan energi
tambahan melalui reaksi kimia eksotermal yang terjadi di wilayah
pemesinan. Boehme (1983) menjelaskan penggunaan CO 500 W2laser
bersama dengan sistem CNC untuk memotong pelat baja dengan ketebalan
hingga 5 mm. Oleh karena itu, kecepatan potong diketahui menurun seiring
dengan bertambahnya ketebalan benda kerja. Pemotongan laser CNC juga
telah digunakan dalam produksi pakaian. Oleh karena itu sistem yang
menggabungkan 400-W

48
sinar laser, dipandu oleh cermin bergerak, digunakan untuk memotong kain bergerak
selebar 2 m dengan kecepatan 80 m/menit. Gaya yang diperlukan disimpan di bank memori
komputer. Pemotongan liter datar dengan ketebalan 5 hingga 100 mm juga telah dilakukan
dengan melintasi keluaran CO terus menerus 100 hingga 250 W2N2Lasernya terfokus pada
diameter 25 hingga 100mikrom melintasi materi. Selanjutnya, McGeough (1988) melaporkan
bahwa sinar laser 300 W dari jenis yang sama dapat digunakan untuk memotong pelat baja
setebal 3,1 mm dengan kecepatan 1,02 mm/menit, meninggalkan lapisan yang terpengaruh
panas dengan lebar 0,5 mm. Pemotongan laser pada lembaran listrik menawarkan metode
pemesinan alternatif yang menghindari tingginya keausan alat pemotong konvensional
yang terutama disebabkan oleh tingginya kandungan silika (1,4%) pada material.
Fleksibilitas tinggi dari stasiun kerja laser CNC yang dikombinasikan dengan sistem CAD/
CAM memberikan keuntungan dari prototipe dan produksi lembaran kosong jangka pendek
dengan geometri kompleks seperti blanko rotor dan stator. Dengan menggunakan metode
seperti itu, pemotongan laser pada lembaran listrik menjadi mungkin dilakukan dengan
kecepatan tinggi 8 m/menit saat menggunakan CO 500 W.2laser dan lembaran setebal 0,65
mm dengan kualitas potongan yang sangat baik. Ketinggian duri kurang dari 20mikrom di
bagian bawah potongan telah dilaporkan oleh Tonshof dan Dickmann (1989).

Komposit serat sensitif terhadap pemotongan dan pengeboran konvensional karena

sifatnya yang tidak homogen dan unisotropik. Delaminasi, serpihan, adanya gerinda, dan
umur alat yang pendek yang disebabkan oleh sifat abrasif serat merupakan masalah yang
umum terjadi. Dalam pemotongan laser pada komposit, efek anisotropi material seperti
susunan serat kurang penting. Lau dkk. (1990) menggunakan laser Nd-YAG untuk
memotong material komposit serat karbon dengan kecepatan lebih cepat dibandingkan
EDM dan permukaan potongannya kurang heterogen. Bantuan udara terkompresi
memberikan kedalaman pemotongan yang lebih besar dibandingkan argon; namun, argon
memberikan kerusakan termal yang lebih halus dan lebih sedikit pada potongan. Mereka
menambahkan, orientasi serat mempengaruhi kedalaman pemotongan selain lebar zona
yang terkena dampak panas. Pemotongan laser standar (koaksial) dengan bantuan oksigen
pada lembaran baja tahan karat tidak memberikan kinerja yang memuaskan. Sampah
oksida yang menempel pada tepi bawah potongan membentuk duri yang keras, sehingga
membatasi ketebalan yang akan dipotong sebesar 3 mm. Untuk pemesinan dengan
ketebalan yang lebih besar, kecepatan pemesinan diturunkan dan tepi akhir serupa dengan
pemotongan api oksiasetilen. Hambatan utama dalam pemesinan laser pada baja tahan
karat adalah rendahnya fluiditas lelehan dan sebagian tingginya titik leleh kromium oksida
(Cr2HAI3) yang juga menghambat difusi oksigen pada bagian depan pemotongan cair.

Untuk memecahkan masalah yang terkait dengan pemotongan laser pada baja tahan
karat, Hsu dan Molian (1995) mengembangkan teknik pemesinan laser yang menggunakan
pancaran gas ganda (ditunjukkan pada Gambar 2.39) untuk menghilangkan tahap kental
pada bagian depan pemotongan cair dan, dengan demikian, , memungkinkan baja tahan
karat dipotong lebih cepat, lebih bersih, dan lebih tebal. Untuk pemahaman yang lebih baik
tentang perilaku proses dan untuk mencapai serta mempertahankan proses pemesinan
berkualitas tinggi, pengembangan di bidang pemantauan, diagnosis, regulasi,

49
 Sudut yang menimpa
O di luar aksial2nozel

Koaksial O2nozel

HAI2
Ketebalan film

Gambar 2.39Pemotongan laser dengan bantuan gas off-aksial (Hsu dan Molian, 1995).

dan pemodelan menjadi penting. Dalam hal ini Yilbas (1996) mempelajari
pembentukan strias dengan memantau emisi tinggi, dari permukaan atas
benda kerja, selama pemotongan laser menggunakan kabel serat optik dan
detektor foto respons cepat.
Baru-baru ini Ueda dkk. (1997) dan Spur dkk. (1997) menyelidiki suhu benda
kerja yang diiradiasi dengan CO2laser berdenyut untuk menentukan kondisi yang
sesuai untuk pemotongan belahan bahan rapuh. Dalam upaya untuk mengontrol
konduksi panas pada material benda kerja selama laser grooving, Chryssolouris
et al. (1993) mengadopsi penggunaan pancaran air bersama-sama dengan sinar
laser sehingga mengurangi zona yang terkena dampak panas sebesar 70 persen.

2.2.3.3 Tekstur dan penataan.Strip baja dan aluminium bertekstur

atau lembaran banyak digunakan khususnya di kalangan produsen mobil. Tekstur
memfasilitasi pelumasan selama pembentukan logam dan mencegah menempelnya
lembaran selama anil. Proses ini diterapkan pada gulungan, dari mana lembaran baja
atau aluminium mengambil pola permukaannya selama tahap akhir pengerolan
dingin. LBM telah menggantikan metode SB konvensional. Oleh karena itu, perancang
produk dapat secara akurat menentukan tekstur dengan mengingat bahwa kekerasan
gulungan bukanlah batasan. Dalam pembuatan tekstur sinar laser (LBT), seberkas
cahaya dari laser gas berenergi tinggi secara mekanis dipotong menjadi pulsa
sebelum difokuskan ke permukaan gulungan kerja. Energi yang tinggi menyebabkan
peleburan gulungan secara lokal, yang dengan bantuan pancaran gas, menghasilkan
pembentukan kawah tersendiri. Gulungan diputar dan sinar laser digerakkan secara
aksial sepanjang gulungan dengan cara yang analog dengan pembubutan
konvensional. Kedalaman dan ukuran kawah dapat dikontrol oleh energi dan waktu
tinggal pancaran sinar. Simao dan rekan kerja (1994) menyimpulkan bahwa LBT dapat
menghasilkan pola yang teratur karena sifat prosesnya yang periodik. Gambar 2.40
menunjukkan contoh tipikal

50
 Acak Persegi panjang Dosis
(Pembuatan cetakan) (Permukaan bantalan) (Pencetakan
rol)
Gambar 2.40 Penataan permukaan dengan PM Nd-YAG
radiasi laser (Tonshof dan Sturmer, 1995).

permukaan bertekstur yang banyak digunakan dalam pembuatan cetakan,

bantalan, dan pembuatan gulungan printer, seperti dijelaskan oleh Tonshof dan
Sturmer (1995).

2.2.3.4 Pembalutan roda gerinda.Laser dapat menciptakan batas yang jelas

alur pada roda gerinda akibat penguapan dan kerusakan material komposit
roda. Pemilihan dressing feed yang sesuai akan menghasilkan dressing pada
seluruh permukaan roda sehingga mengubah topografinya. Pembalutan laser
menghasilkan tepi potongan mikro karena pembentukan kawah mikro pada
butiran yang sudah aus. Ketika kawah-kawah ini terbentuk pada ikatan, butiran
pasir akan mengendur dan selanjutnya dihilangkan karena volume ikatan yang
mengelilingi butiran tidak mencukupi. Beberapa retakan lebih lanjut yang
disebabkan secara termal selama pembalutan laser membantu menghilangkan
lapisan yang mengeras selama penggilingan, yang kemudian memperlihatkan
tepi tajam baru. Dimungkinkan juga untuk menyegarkan roda dengan hanya
menguapkan serpihan logam yang tersumbat pada roda dengan memfokuskan
sinar laser secara tepat; namun, pemilihan dan pengendalian sinar laser harus
dipertimbangkan secara hati-hati seperti yang disebutkan oleh Ramesh dkk.
(1989).

2.2.3.5 Penggilingan.Penggilingan laser menggunakan CO berdenyut2

laser telah diselidiki oleh Hsu dan Copley (1990) dalam grafit sebagai
bahan model. Dalam proses ini, material dihilangkan dengan memindai
sinar terfokus di seluruh permukaan benda kerja dan meninggalkan
serangkaian alur sempit, paralel, dan tumpang tindih. Untuk
menghilangkan lapisan yang tepinya dibatasi oleh dinding tegak lurus
terhadap bidang lapisan, sinar laser dimiringkan terhadap bidang
lapisan. Kemiringan benda kerja bergantung pada kekuatan datang,
kecepatan pancaran, arah alur, dan koefisien serapan optik material.
Todd dan Copley (1997) mengembangkan sistem pemrosesan laser
prototipe untuk membentuk material keramik tingkat lanjut.
51
 Peralatan Kantor Suku cadang mobil

Peralatan konstruksi

Gambar 2.41BERSAMA2sampel pemotongan laser.

Prototipe ini adalah sistem pembentukan laser yang sepenuhnya otomatis, lima sumbu, dan
dikontrol loop tertutup yang secara akurat dan hemat biaya menghasilkan bentuk kompleks
pada material yang disebutkan di atas.

2.2.3.6 Pemotongan dan pengeboran halus.Tabata dkk. (1996) melaporkan bahwa CW

CO2laser banyak digunakan untuk pemotongan halus pelat baja di industri otomotif,
listrik, dan elektronik; peralatan Kantor; peralatan Rumah Tangga; suku cadang mesin
industri; bagian peralatan konstruksi; dan bahan konstruksi. Pada pemotongan halus,
ketebalan pelat baja bervariasi dari 0,5 hingga 16 mm, sehingga kecepatan potong
bervariasi dari 6 hingga 1,0 m/menit. Seperti digambarkan pada Gambar 2.41,
potongan halus yang diperoleh memiliki lebar yang sempit dan permukaan
pemotongan bersih dan halus. Mereka juga menambahkan bahwa laser Nd-YAG
berkekuatan tinggi dengan kualitas sinar tinggi dapat digunakan untuk pemotongan
pelat baja sebagai pengganti CO.2laser. Laser Nd-YAG juga dapat mengolah logam
nonferrous seperti tembaga, kuningan, dan paduan aluminium dengan lebih efisien
dibandingkan CO.2laser karena laser Nd-YAG kurang memantulkan logam tersebut.
Pelat dengan ketebalan 0,2 hingga 2 mm dipotong halus dengan keluaran 200 W.
Kecepatan potong 5 m/s untuk pelat setebal 1 mm juga telah dilaporkan. Lebar celah
dan kebersihan permukaannya hampir mirip dengan CO2pemrosesan laser.

Cao dan Huang (1995) menemukan teknik baru untuk ukuran mikro (<
Pemesinan laser 0,07 mm), dengan permukaan dinding melengkung yang
bervariasi, cetakan kawat berlian menggunakan laser CW Nd-YAG. Frekuensi
pengulangan, daya laser, dan langkah pengumpanan kepala laser sepanjangz
sumbu adalah parameter paling kritis. Pengeboran lubang mikro, dalam pulsa
tunggal, menggunakan laser Nd-YAG lempengan pulsa telah dilaporkan oleh
Rohde dan Verboven (1995). Dengan demikian, lubang dengan diameter 35mikro
m dalam pelat baja 1,2 mm dan diameter 6mikrom dalam foil baja 0,03 mm telah
diperoleh (Gbr. 2.42).

52
 Lubang 35 µm dalam 1,2 mm 6 mikron dalam 0,03 mm

Gambar 2.42Pengeboran halus pada lubang pada baja.

Sinar laser pelat titik persegi panjang juga dapat membuat celah,
menggunakan satu pulsa. Aplikasi industri untuk industri makanan adalah
saringan dengan celah 0,06 mm×Baja tahan karat 2 mm dengan ketebalan 0,5
mm dengan kecepatan 100 celah per detik. Beberapa pulsa digunakan untuk
membuat lubang dalam mode pengeboran perkusi. Sebuah 60-mikrolubang
berdiameter m telah diperoleh dalam 100 MnCrV4pelat baja setebal 4 mm
dengan aspek rasio 65:1 menggunakan empat hingga lima pulsa. Lubang mikro
buta 30-mikrodiameter m dengan rasio aspek maksimum 12:1 hingga 800mikro
m dengan rasio aspek 4:1 juga telah dilaporkan oleh Rohde dan Verboven (1995).
Oleh karena itu disarankan untuk menyesuaikan durasi dan frekuensi pulsa
untuk mengevakuasi material cair dari jalur sinar laser.
Teknik trepan mengebor lubang dengan diameter lebih besar dari diameter sinar laser
dan menawarkan kerucut yang lebih kecil dan pengulangan diameter lubang yang lebih
tinggi. Dengan menggunakan metode seperti itu, lubang-lubang yang condong ke
permukaan ke dalam nozel injeksi bahan bakar menjadi mungkin. Pemotongan mikro pelat
baja setebal 1 mm menyisakan garitan 85mikrom di sisi pintu masuk dan 60mikrom di sisi
keluar dan meninggalkan penurunan sebesar 1,25 persen telah dilaporkan.

2.2.3.7 Penandaan keyboard komputer.Ricciardi dkk. (1996) berkembang

teknik berbasis laser excimer untuk menandai keyboard komputer dengan
kecepatan tinggi dan fleksibilitas jalur produksi yang menghindari
penggunaan larutan beracun dalam proses penandaan. Penandaan laser
tidak melibatkan masuknya benda asing atau memberikan tekanan mekanis
apa pun pada benda kerja. Keuntungan praktis laser excimer dalam proses
penandaan adalah karena panjang gelombang laser yang pendek dan durasi
pulsa. Energi foton yang tinggi menginduksi reaksi fotokimia pada material,
menghasilkan perubahan warna dengan efek samping yang dapat
diabaikan. Sel penandaan laser mampu memenuhi persyaratan dengan
throughput nominal satu keyboard setiap 15 detik.

2.2.3.8 Pemangkasan komponen elektronik.Laser dengan kepadatan daya tinggi,

ukuran titik kecil, dan panjang pulsa pendek merupakan perangkat yang berguna untuk
modifikasi komponen elektronik, seringkali dengan penguapan selektif. Dengan tepat

53
pemantauan, perangkat dapat dipangkas atau disesuaikan dengan jumlah yang
diperlukan. Pemangkasan resistor yang terdiri dari kromium-silikon oksida, yang
diendapkan pada permukaan chip silikon, telah dilakukan dengan menggunakan laser
argonion yang dioperasikan pada kepadatan daya 0,8 MW/cm2dengan lebar pulsa
kurang dari 10mikroS. Energi dari laser digunakan untuk memanaskan film resistor
hingga sekitar 1000°C sehingga mengubah nilai resistansinya(McGough, 1988).

2.2.3.9 Rekahan terkendali.Energi laser juga dapat digunakan untuk mematahkan atau
menghancurkan, dengan cara yang terkendali, benda-benda halus seperti sirkuit atau
komponen elektronik. Penyerapan sinar, yang terfokus pada area kecil di permukaan,
menciptakan gradien termal yang pada gilirannya menyebabkan pembentukan
tekanan mekanis yang cukup untuk menyebabkan geseran material pada area yang
sangat kecil sehingga retakan tidak merambat dalam radius tertentu. cara yang tidak
terkendali. Dengan menggunakan teknik seperti itu, keramik alumina tinggi, setebal
0,46 mm, telah dipecah dengan cara ini dengan CW CO 100 W.2N2Dia laser.

2.2.3.10 Penyeimbangan dinamis komponen gyro.Pemangkasan laser bisa

mencapai keseimbangan yang sangat akurat; dengan penghilangan material dengan
kecepatan miligram per pulsa, lubang dangkal akan dihasilkan. Penyeimbangan
dinamis disederhanakan dengan pemanfaatan sinyal dari titik-titik
ketidakseimbangan untuk memicu pulsa laser.

2.2.3.11 Menulis.Bahan rapuh seperti silikon, kaca, dan keramik dapat dipisahkan
atau dibentuk secara efektif dengan pemotongan laser. Dengan teknik ini,
material dihilangkan dengan laser sepanjang jalur tertentu pada permukaan
benda kerja. Ketika material mendapat tekanan yang cukup, retakan terjadi di
sepanjang jalur yang telah dijelaskan. Wafer transistor silikon telah berhasil
dibuat dengan laser Nd-YAG Q-switched berulang dengan daya puncak 300 W,
berdenyut, dengan kecepatan 400 pulsa per detik dan durasi 300 ns. Kecepatan
mencoret-coret yang dilaporkan oleh McGeough (1988) adalah 1,5 m/menit.

2.2.3.12 Pemesinan mikro.Tonshof dkk. (1993) menyelidiki penerapan radiasi laser

excimer pada unit mikromesin CNC multisumbu dengan desain modular. Unit ini
digunakan untuk menghasilkan struktur mikro pada permukaan keramik dan polimer.
Dengan menggunakan pengaturan seperti itu, dimungkinkan untuk memproduksi
bagian mikromekanis dari bahan-bahan ini dalam plastik yang diperkuat serat.

2.2.3.13 EDM berbantuan laser.Allen dan Huang (1997) mengembangkan kombinasi

baru proses pemesinan untuk membuat lubang kecil. Sebelum lubang mikro-EDM,
radiasi laser uap tembaga digunakan untuk mendapatkan serangkaian lubang kecil
terlebih dahulu. Lubang-lubang ini kemudian diselesaikan dengan mikro-EDM.
Metode mereka menunjukkan bahwa kecepatan pemesinan mikro-EDM telah
meningkat dan keausan alat elektroda berkurang secara nyata, sementara kualitas
permukaan tetap tidak berubah.

54
TABEL 2.4 Panduan Pemilihan Sinar Laser

Aplikasi Jenis laser

Pengeboran Lubang kecil, Lubang Ruby, Nd-Kaca, Nd-YAG

besar 0,25 mm, Lubang Ruby, Nd-Kaca, Nd-YAG
besar 1,52 mm, ditrepan Nd-YAG, CO2
Pengeboran, perkusi Ruby, Nd-YAG
Pemotongan Pemotongan tebal BERSAMA2+ bantuan gas
Menggorok tipis, logam Nd-YAG
Menggorok tipis, plastik BERSAMA2

Plastik BERSAMA2

Bahan Logam Ruby, Nd-Kaca, Nd-YAG

Organik dan bukan logam CO berdenyut2
Keramik CO berdenyut2, Nd-YAG

Secara umum, LBM menawarkan beragam aplikasi pemesinan dan

dapat menangani berbagai material teknik. Oleh karena itu, pilihan jenis
laser bergantung pada aplikasi yang diperlukan selain material yang
dikerjakan. Tabel 2.4 memberikan panduan pemilihan sinar laser.

2.2.4 Keuntungan dan keterbatasan

Keuntungan

■ Keausan dan kerusakan alat tidak ditemui.

■ Lubang dapat ditemukan secara akurat dengan menggunakan sistem laser optik untuk
penyelarasan.

■ Lubang yang sangat kecil dengan rasio aspek besar dapat dihasilkan.
■ Berbagai macam material yang keras dan sulit dikerjakan dengan mesin dapat
ditangani.
■ Pemesinan sangat cepat dan waktu penyetelannya ekonomis.
■ Lubang dapat dibor pada sudut masuk yang sulit (10°ke permukaan).
■ Karena fleksibilitasnya, prosesnya dapat diotomatisasi dengan mudah seperti
pengoperasian on-the-fly untuk material pengukur tipis, yang memerlukan satu
tembakan untuk menghasilkan lubang.
■ Biaya operasionalnya rendah.

Keterbatasan

■ Biaya peralatan tinggi.

■ Kemiringan biasanya ditemui dalam pengeboran lubang secara langsung.
■ Lubang buta dengan kedalaman yang tepat sulit dicapai dengan laser.

55
■ Ketebalan material yang dapat dibor dengan laser dibatasi hingga 50
mm.
■ Bahan-bahan yang melekat, yang biasanya terdapat pada lubang keluar,
perlu dihilangkan.

2.3 Pemesinan Berkas Elektron

2.3.1 Pendahuluan
Pekerjaan paling awal dalam menghilangkan material dengan menggunakan berkas
elektron dilakukan oleh Steigerwald yang merancang mesin prototipe pada tahun
1947. Pemesinan berkas elektron (EBM) telah digunakan di industri sejak tahun 1960-
an, awalnya dalam aplikasi pengelasan nuklir dan ruang angkasa. Pengeboran lubang
kecil, pemotongan, pengukiran, dan perlakuan panas adalah serangkaian aplikasi
modern yang digunakan dalam manufaktur semikonduktor serta area pemesinan
mikro.

2.3.2 Perlengkapan dasar dan mekanisme pelepasan

Komponen utama instalasi EBM, ditunjukkan pada Gambar 2.43

ditempatkan di ruang vakum, dievakuasi ke sekitar 10–4torr. Katoda
filamen tungsten dipanaskan hingga sekitar 2500 hingga 3000°C untuk
memancarkan elektron. Ukuran pengaruh ini adalah arus emisi, yang
besarnya bervariasi antara 20 dan 100 mA. Kepadatan arus yang sesuai
terletak antara 5 dan 15 A/cm2. Arus emisi tergantung pada bahan
katoda, suhu, dan tegangan tinggi yang biasanya sekitar 150 kV.
Tegangan tinggi tersebut mempercepat aliran elektron ke arah benda
kerja. Setelah percepatan, elektron, yang difokuskan oleh medan,
bergerak melalui lubang di anoda. Berkas elektron adalah

Ruang vakum Pistol elektron

1 × 10−4torr
Katoda (−), elektron
Cangkir kotak
memancarkan filamen

Anoda (+)
Aliran elektron
Lensa magnetik Pemanasan lokal, sekering,

Melihat pelabuhan
dan menguap
Benda kerja
Pompa vakum tinggi

Gambar 2.43Komponen sistem EBM.

56
kemudian difokus kembali dengan sistem lensa magnetik atau elektronik
sehingga sinarnya diarahkan dengan terkendali ke arah benda kerja.
Elektron mempertahankan kecepatan (228×103km/s) yang diberikan oleh
tegangan percepatan hingga membentur benda kerja, pada area tertentu,
biasanya berdiameter 0,25 mm.
Energi kinetik elektron kemudian dengan cepat dipindahkan menjadi
panas, menyebabkan peningkatan cepat suhu benda kerja, hingga jauh di
atas titik didihnya, sehingga menyebabkan penghilangan material melalui
penguapan. Dengan kepadatan daya sebesar 1,55 MW/mm2terlibat dalam
EBM, hampir semua material teknik dapat dikerjakan dengan teknik
pemesinan ini. Manipulasi benda kerja yang akurat ditambah dengan kontrol
balok yang presisi dilaporkan oleh McGeough (1988) untuk menghasilkan
proses pemesinan yang dapat sepenuhnya otomatis.
Cara sinar terfokus menembus benda kerja tidak sepenuhnya dipahami,
karena kompleksitas mekanisme yang terlibat. Namun, diyakini bahwa
permukaan benda kerja meleleh karena kombinasi tekanan elektron dan
tegangan permukaan. Cairan yang meleleh dengan cepat dikeluarkan dan
diuapkan, sehingga menyebabkan laju penghilangan material sekitar 10 mm
3/mnt. Berkas elektron berdenyut pada 104Hz mengurangi suhu benda kerja

di luar wilayah yang sedang dikerjakan. Daya tarik awal EBM adalah rasio
kedalaman terhadap lebar yang relatif besar (100:1) sehingga penerapan
dalam pengeboran lubang halus menjadi layak dilakukan. Tidak adanya
kontak mekanis dan kesesuaian untuk kontrol otomatis meningkatkan
kemampuan proses, namun kebutuhan untuk bekerja dalam ruang hampa
memperpanjang waktu siklus lantai-ke-lantai.
Jumlah pulsa yang diperlukan untuk menghilangkan kedalaman lubangGdapat
dijelaskan oleh

G
Ne=G
e

Waktu pemesinanTMdapat diberikan oleh

N
TM=e F
P

1
FP=
TP+TSaya

Oleh karena itu, laju pengeboran Ψ (mm/mnt) dapat dihitung dengan

pacar P
=
Ne

57
Menurut Kaczmarek (1976), jumlah pulsaNesecara sederhana dapat
digambarkan sebagai fungsi tegangan percepatanVAdan arus emisiSAYA
eoleh

1
Ne=
KIeVA
Oleh karena itu, laju pengeboran Ψ (mm/mnt) dan laju pelepasan volumetrik
(VRR) menjadi

=KgfBSAYAeVA
π 2
VRR = Kd pacar IV

4 B bea

Dalam hal menempatkan kedalamanGdan panjangL, waktu penempatanTMadalah

η
TM=e⋅L F⋅D
B B

Tingkat penempatanH(mm/menit) menjadi

=KdBFPSAYAeVA

VRR (mm3/mnt) dapat dihitung dengan

VRR =Kd2 pacarPSAYAeVA

B

Di manaGe=kedalaman lubang yang dihilangkan per pulsa, mm

G=kedalaman lubang atau slot yang
dibutuhkan, mm FP=frekuensi pulsa, s–1
TP=waktu pulsa,mikroS TSaya=
interval pulsa,mikroS
DB=diameter balok yang bersentuhan dengan benda kerja (lebar slot),
mm
VA=tegangan percepatan berkas, kV
SAYAe=arus emisi sinar, mA K=
konstan
L=panjang slot, mm

Kedalaman penetrasi tergantung pada diameter berkas, kepadatan

daya, dan tegangan percepatan. Selain itu, kedalaman erosi material per
pulsa bergantung pada kepadatan material benda kerja serta diameter
balok. Praktisnya, jumlah pulsa yang dihasilkan pada kedalaman lubang
tertentu biasanya berkurang dengan meningkatnya tegangan
percepatan. Untuk sekumpulan kondisi proses yang tetap, nomornya

58
pulsa yang dibutuhkan meningkat secara hiperbolik seiring dengan
bertambahnya kedalaman lubang. Secara praktis, kesimpulan ini berarti bahwa
ketika kedalaman tertentu telah tercapai, EBM lebih lanjut untuk memperdalam
lubang akan memerlukan peningkatan jumlah pulsa yang sangat besar. Waktu
pemesinan, dalam EBM, yang diperlukan untuk mengebor lubang bergantung
pada jumlah pulsa yang diperlukan untuk mengikis kedalaman dan frekuensi
pulsa tertentu. Untuk pembuatan slot dengan EBM, waktu pemesinan
dipengaruhi oleh panjang slot, diameter berkas, durasi pulsa, dan jumlah pulsa
yang diperlukan untuk menghilangkan kedalaman tertentu. Laju EBM biasanya
dievaluasi berdasarkan jumlah pulsa yang diperlukan untuk menguapkan
sejumlah material tertentu. Penggunaan penghitung elektron, yang mencatat
jumlah pulsa, memungkinkan penyesuaian waktu pemesinan untuk
menghasilkan kedalaman pemotongan yang diperlukan. Sifat material benda
kerja seperti titik didih dan konduktivitas termal memainkan peran penting
dalam menentukan seberapa mudah benda tersebut dapat dikerjakan. Sifat
termal lainnya seperti konduktivitas listrik dianggap sebagai faktor tambahan.
Gambar 2.44 merangkum faktor-faktor yang mempengaruhi kinerja EBM.
Gambar 2.45 menunjukkan jumlah pulsa versus indeks machinability relatif. Dalam
hal ini, kadmium dianggap sebagai material terbaik yang dapat dikerjakan karena
memerlukan jumlah pulsa minimum. Indeks selanjutnya menggunakan daya relatif
yang diperlukan untuk menghilangkan berbagai logam dengan volume yang sama
dalam waktu pemesinan yang sama berdasarkan aluminium ditunjukkan pada
Gambar 2.46. Bahan yang mempunyai konsumsi daya lebih rendah memanfaatkan a

Tingkat penghapusan

Kualitas permukaan
Bahan kerja Ketepatan pulsa EBM
• Panas • Durasi
properti • Energi
• Ketebalan • Frekuensi
• Keramik • Percepatan
• paduan super tegangan

Arus emisi Waktu

• Tegangan EBM • Penghapusan/denyut nadi

• Katoda • Frekuensi

Kepadatan daya
• Saat ini
• Tegangan
• Penampang balok

Gambar 2.44Parameter yang mempengaruhi kinerja EBM.

59
 10.000

×
W
1000
Nev

× Ta Cu ×
×
Ti × Ni
10
Fe×
× Zn
× CD
1
0 1 2 3 4 5
NM
Gambar 2.45 Jumlah pulsa yang diperlukan (vertikal) versus relatif
indeks kemampuan mesin (Kaczmarek, 1976).

jumlah pulsa yang lebih kecil untuk menghilangkan volume yang sama, sehingga
kemampuan mesinnya ditingkatkan. Kemampuan mesin dipengaruhi secara bersama-
sama oleh sifat termal material serta kepadatan dan konduktivitas listrik. Penelitian
telah menunjukkan bahwa meningkatkan tegangan percepatan di atas 120 kV tidaklah
efektif. Jumlah pulsa, yang diambil sebagai indeks machinability, bergantung pada
kedalaman lubang. Menambah durasi pulsa akan mengurangi jumlah pulsa yang
dibutuhkan karena semakin tinggi energi yang tersedia dalam kasus ini. Diameter
lubang atau rongga yang diperoleh sebagai hasil pulsa bergantung pada material
yang dikerjakan serta energi pulsa. Lebar alur maksimum meningkat secara linier
dengan muatan pulsa. Untuk muatan pulsa tertentu, Ag memiliki lebar alur terbesar
yang menghasilkan volume pelepasan yang besar dan karenanya memiliki
kemampuan mesin tertinggi.

2.5

2
Konsumsi daya relatif

1.5

0,5

0
Aluminium titanium Besi Molibdenum Tungsten
Bahan benda kerja

Gambar 2.46 Konsumsi daya relatif untuk material yang berbeda (El-Hofy, 1995).

60
Praktisnya, diameter rongga berkisar antara 35 hingga 40mikrom dapat diperoleh
dengan kebulatan dari 3 hingga 6mikrom di lebih dari 50 persen kasus. Diameter
lapisan yang diubah sebanding dengan diameter lubang yang dilaporkan 40 hingga
75mikrom untuk lubang 20 hingga 55mikroM. Kondisi yang menyebabkan tingkat
pelepasan yang lebih besar dan kemampuan mesin yang tinggi dilaporkan disertai
dengan ketebalan lapisan yang lebih besar dan, terlebih lagi, kekasaran permukaan
yang lebih besar.
Pengaruh jumlah pulsa pada percepatan tegangan menunjukkan bahwa
peningkatan kedalaman lubang memerlukan peningkatan jumlah pulsa yang
jauh lebih besar pada tegangan rendah, terutama disebabkan oleh peningkatan
relatif dalam kehilangan panas akibat konduksi dan peleburan lapisan logam
yang berdekatan. Untuk sejumlah pulsa tertentu, hanya sedikit peningkatan pada
laju penghilangan material yang diperoleh dengan meningkatkan tegangan
percepatan di atas 120 kV. Peningkatan durasi pulsa meningkatkan energi pulsa
yang tersedia, yang pada gilirannya mengurangi jumlah pulsa yang diperlukan
untuk memperoleh hasil pemesinan yang diperlukan. Kaczmarek (1976)
mengutip jarak kerja optimal yang memerlukan jumlah pulsa minimum. Dia
menunjukkan bahwa titik fokus tepat di bawah permukaan atas benda kerja
terkadang paling efektif. Laju pengeboran EBM (dalam lubang per detik)
menurun seiring dengan bertambahnya ketebalan benda kerja serta diameter
lubang yang akan diproduksi.
Kualitas permukaan yang dihasilkan EBM tergantung pada jenis materialnya. Dalam
hal ini, kekasaran permukaan meningkat seiring dengan peningkatan muatan pulsa
untuk nikel, karbon, emas, dan tungsten. Perkiraan kekasaran permukaan untuk
lubang dan potongan kecil mendekati 1mikroMRA. Lapisan permukaan material yang
diberi EBM dipengaruhi oleh suhu sinar terfokus, diilustrasikan oleh cincin lapisan
putih yang mengelilingi lubang, ditunjukkan pada Gambar 2.47. Diameter lapisan yang
rusak meningkat seiring dengan durasi pulsa dan diameter lubang. Zona yang terkena
dampak panas pada EBM bisa mencapai 0,25 mm, yang dapat merusak integritas
struktural komponen yang mengalami tegangan tinggi dan, untuk komponen
tersebut, harus dihilangkan.

Diameter lapisan yang rusak

Rongga

0,01 mm

Gambar 2.47Penampang rongga dengan pulsa EBM tunggal

pada baja kromium molibdenum (Kaczmarek, 1976).

61
2.3.3 Aplikasi

2.3.3.1 Pengeboran.Steigerwald dan Mayer (1967) menganggap bahwa agar aplikasi

berhasil, diperlukan peningkatan reprodusibilitas, kecepatan kerja yang lebih besar,
dan lubang yang lebih dalam dengan bentuk yang dikontrol secara akurat. Boehme
(1983) membahas aplikasi pengeboran dengan mesin berkas elektron yang dilengkapi
dengan sistem untuk mengontrol daya pancaran secara numerik, fokus dan durasi
pulsa, serta gerakan mekanis. Lubang berbentuk silinder, kerucut, dan tong dengan
berbagai diameter dapat dibor dengan akurasi yang konsisten dengan kecepatan
beberapa ribu lubang per detik. Lubang dengan sudut kemiringan sekitar 15°juga
mungkin. Boehme (1983) menyatakan bahwa diameter dan kedalaman lubang
terbesar yang dapat dibor secara akurat dengan EBM masing-masing adalah 1,5 mm
dan 10 mm dan rasio aspek kedalaman terhadap diameter biasanya berkisar antara
1:1 hingga 1 :15. Untuk lubang yang lebih dalam, dalam kisaran 2,5 hingga 7,5 mm,
Steigerwald dan Mayer (1967) menekankan perlunya pasokan listrik yang stabil yang
dapat memancarkan kelompok pulsa yang diperlukan dan, untuk pancaran sinar yang
terkontrol dengan baik dengan diameter yang ditentukan secara ketat, maka Sudut
bukaan mempunyai pengaruh yang kuat terhadap bentuk lubang yang dihasilkan.
Lubang sekitar 19 mm dihasilkan. Drew (1976) menunjukkan lubang yang dibor EB
pada bilah turbin superalloy pada sudut 60°hingga 90°.

2.3.3.2 Perforasi lembaran tipis.Agar perforasi oleh EBM menjadi ramah lingkungan
dapat diterima secara nominal, 104sampai 105lubang per detik harus dihasilkan.
Oleh karena itu diperlukan pulsa tunggal yang berlangsung hanya beberapa
mikrodetik. Dalam beberapa aplikasi, lembaran atau foil diregangkan pada drum
yang berputar, yang secara bersamaan digeser ke arah porosnya. Barisan
perforasi mengikuti garis heliks dengan demikian dihasilkan. Manipulator yang
mampu melakukan gerakan linier dan berputar dalam empat sumbu digunakan
untuk perforasi EBM pada komponen mesin jet. Foil yang terbuat dari bahan
sintetis telah dilubangi dengan 620 lubang per milimeter persegi untuk aplikasi
filter dengan kecepatan satu lubang setiap 10mikroS. Perforasi EBM dapat
diterapkan pada produksi filter dan masker tabung televisi berwarna. Aplikasi
lain untuk perforasi terletak pada pembuatan saringan, untuk insulasi suara dan
produksi serat kaca.

2.3.3.3 Slot.Slot persegi panjang berukuran 0,2 kali 6,35 mm pada pelat baja tahan karat
setebal 1,57 mm diproduksi dalam 5 menit menggunakan 140 kV, 120mikroA, lebar pulsa 80
mikros, dan frekuensi 50 Hz. Kecepatan slotting tergantung pada ketebalan benda kerja.
Dalam hal ini baja tahan karat setebal 0,05 mm dipotong dengan kecepatan 100 m/menit,
sedangkan baja tahan karat setebal 0,18 mm dipotong dengan kecepatan 50 m/menit
menggunakan kondisi pemesinan serupa.

2.3.3.4 Fabrikasi sirkuit terpadu.Birnie dan Champney (1967) menggambar

perhatian pada penggunaan teknologi berkas elektron dalam pembuatan sirkuit film tipis

62
untuk industri elektronik. Penjelasan rinci untuk pembuatan sirkuit
terpadu telah disajikan oleh Yew et al. (1994). Sinar diposisikan secara
akurat melalui kumparan defleksi di lokasi di mana pola akan ditulis,
dengan memaparkan film penahan elektron yang dilapisi pada blanko
topeng krom atau wafer, untuk menghasilkan definisi litograf yang
diperlukan. Berkas elektron dengan energi sekitar 10 hingga 20 kV dapat
memutus ikatan antar molekul polimer atau menyebabkan ikatan silang
pada polimer.
Dengan timbulnya salah satu dari kondisi ini, kelarutan berubah ketika
film resistan direndam dalam pengembang, biasanya pelarut untuk resist.
Karena perbedaan kelarutan antara polimer tahan asli dan terbuka, terjadi
penghilangan material yang berbeda. Dengan demikian diperoleh pola
polimer yang halus, yang digunakan sebagai masker aktif untuk
menghindari pengetsaan yang tidak diinginkan pada masker sirkuit terpadu.
Pembuatan pola dapat dilakukan dengan pemindaian vektor. Oleh karena
itu, berkas elektron dibelokkan hanya ke lokasi di mana hambatan elektron
akan disingkapkan. Segera setelah sistem defleksi menyelesaikan
penempatan berkas di tempat yang diperlukan, aksi berkas elektron dimulai.
Dengan metode pemindaian raster, yang dijelaskan oleh McGeough (1988),
pola chip dibagi menjadi beberapa subbidang. Berkas elektron dalam raster,
seperti yang digunakan pada televisi, memindai setiap subbidang. Berkas
elektron dihidupkan dan dimatikan sepanjang setiap garis raster sesuai
kebutuhan. Pola yang diperlukan sepenuhnya terbentuk oleh efek gabungan
dari paparan berkas elektron dan pengembangan resistensi selanjutnya.
Gambar 2.48 menunjukkan aplikasi tipikal di mana EBM digunakan untuk
pengukiran sirkuit hybrid elektronik miniatur dengan 40-mikrojejak selebar
m. Pemrosesan wafer langsung oleh EBM diperlukan untuk ukuran fitur di
bawah satu atau dua mikron. Lebar garis sekecil seperseratus angstrom juga
dapat ditulis dengan teknik berkas elektron pada kecepatan setinggi 20 MHz.
Sistem berkas elektron pemrosesan wafer langsung mampu menghasilkan
22 wafer per jam.

Gambar 2.48Sirkuit hibrid diukir dengan jejak 40 µm

pada kecepatan > 5 m/s.

63
TABEL 2.5 Parameter dan Kemampuan Proses EBM

parameter EBM Tingkat

Tegangan akselerasi 50–60 meter persegi

Arus pancaran 100–100mikroA

Kekuatan sinar 0,5-50kW
Waktu pulsa 4-64.000mikroS
Frekuensi pulsa 0,1-16.000Hz
Kekosongan 0,01-0,0001 mm merkuri
Ukuran titik 0,013-0,025 mm
Kisaran defleksi 6,4 mm2
Intensitas sinar 1.55×105–1.55×109L/cm2
Kedalaman potongan Hingga 6,4 mm
Potongan paling sempit 0,025 mm dalam logam dengan ketebalan 0,025 mm
Kisaran lubang 0,025 mm dalam logam dengan ketebalan 0,02 mm 1,0
mm dalam logam dengan ketebalan 5 mm

Lubang lancip 1°–2°tipikal

Sudut lubang ke permukaan 20°–90°
Kecepatan pelepasan 40 mm3/S
Tingkat penetrasi 0,25 mm/detik
Tingkat perforasi Hingga 5000 lubang/dtk ±
Toleransi kedalaman potong 10%.
Kekasaran permukaan 1mikroMRA

Berkas elektron juga dapat digunakan untuk mengukir lapisan logam

keramik dan uap pada substrat. EBM, parameter proses dan
kemampuan umum ditunjukkan pada Tabel 2.5.

2.3.4 Kelebihan dan kekurangan

Keuntungan

■ Pengeboran dapat dilakukan dengan kecepatan tinggi (hingga 4000 lubang per detik).

■ Tidak ada kesulitan yang ditemui dengan sudut lancip.

■ Parameter pengeboran dapat dengan mudah diubah selama pemesinan.
■ Tidak ada batasan yang ditentukan oleh kekerasan, keuletan, dan reflektifitas
permukaan benda kerja.
■ Tidak ada distorsi mekanis yang terjadi pada benda kerja karena tidak ada kontak.

■ Proses tersebut mampu mencapai akurasi dan pengulangan yang tinggi

sebesar 0,1 mm untuk posisi lubang dan 5 persen untuk diameter lubang.
■ Proses tersebut menghasilkan penyelesaian permukaan terbaik dibandingkan dengan proses
lainnya.
■ Biayanya relatif kecil dibandingkan proses lain yang digunakan untuk menghasilkan
lubang yang sangat kecil.

64
 Kekurangan

■ Biaya peralatan modal yang tinggi

■ Waktu produksi yang lama disebabkan karena lamanya waktu yang dibutuhkan untuk menghasilkan ruang hampa

■ Adanya lapisan perombakan yang tipis

■ Kebutuhan akan bahan pendukung tambahan

2.4 Pemesinan Sinar Plasma

2.4.1 Pendahuluan
Ketika suhu suatu gas dinaikkan menjadi sekitar 2000°C, mol gas-
inti menjadi terdisosiasi menjadi atom-atom terpisah. Pada suhu yang lebih
tinggi, 30.000°C, atom-atom ini menjadi terionisasi. Gas pada tahap ini disebut
plasma. Pemesinan dengan plasma diadopsi pada awal tahun 1950an sebagai metode
alternatif untuk pemotongan api oksi-gas pada baja tahan karat, aluminium, dan
logam nonferrous lainnya. Selama waktu itu, keterbatasan proses terkait kecepatan
pemotongan yang rendah, kualitas pemesinan yang buruk, dan peralatan yang tidak
dapat diandalkan menjadi jelas. Baru-baru ini pemesinan material logam dan
nonkonduktif menjadi jauh lebih menarik. Fitur penting dari pemesinan berkas plasma
(PBM), adalah bahwa ini adalah satu-satunya metode fabrikasi yang bekerja lebih
cepat pada baja tahan karat dibandingkan pada baja ringan.

2.4.2 Sistem pemesinan

Dalam pemesinan plasma, busur kontinu dihasilkan antara katoda
tungsten panas dan anoda tembaga berpendingin air. Gas dimasukkan
di sekitar katoda dan mengalir melalui anoda. Suhu, dalam
lubang sempit di sekitar katoda, mencapai 28.000°C, yaitu
cukup untuk menghasilkan busur plasma suhu tinggi. Dalam kondisi ini, logam yang
sedang dikerjakan akan meleleh dan menguap dengan sangat cepat. Aliran gas
terionisasi membersihkan serpihan pemesinan sebagai semprotan halus yang
menciptakan garis aliran pada permukaan pemesinan. Karakteristik umum PBM
ditunjukkan pada Tabel 2.6. Tingkat penghapusan dengan metode ini adalah

TABEL 2.6 Karakteristik PBM

Parameter Tingkat

Kecepatan laju pelepasan 500 m/s

material pancaran plasma 150 cm3/mnt
Energi spesifik 100 W/(cm3⋅mnt)
Rentang daya 2–200 kW
Tegangan 30–250V
Saat ini Hingga 600 A
Kecepatan pemesinan 0,1–7,5 m/mnt
Ketebalan pelat maksimum 200mm

65
 Gas plasma
kumparan HF

Elektroda
+
nosel
Sumber Daya listrik

Sirkuit busur

Benda kerja

Gambar 2.49Sistem busur plasma yang ditransfer.

jauh lebih tinggi dibandingkan dengan operasi pembubutan satu titik

konvensional. Sistem pemesinan plasma dibagi menjadi busur plasma, jet
plasma, plasma terlindung, dan plasma udara.

2.4.2.1 Busur plasma.Seperti yang ditunjukkan pada Gambar 2.49, busur listrik
dipukul dari elektroda belakang obor plasma ke benda kerja konduktif yang
menyebabkan suhu setinggi 33.300°C. Efek busur ganda antara nosel dan
benda kerja merusak elektroda dan benda kerja. Laju perpindahan panas
yang tinggi ditemukan terjadi selama busur plasma karena perpindahan
seluruh panas anoda ke benda kerja. Karena efisiensi yang lebih besar dari
sistem busur plasma, sistem ini sering digunakan untuk pemesinan logam.
Busur plasma tidak bergantung pada reaksi kimia antara gas dan logam
kerja. Karena suhunya tinggi, proses ini cocok untuk bahan konduktif listrik
apa pun termasuk bahan yang tahan terhadap pemotongan gas oxy-fuel.

2.4.2.2 Semburan plasma.Dalam sistem ini, ditunjukkan pada Gambar 2.50, busur yang tidak
ditransfer dioperasikan di dalam obor itu sendiri. Hanya gas terionisasi (plasma) yang
dipancarkan dalam bentuk pancaran yang menyebabkan suhu setinggi 16.600°C.Sejak

Gas plasma
kumparan HF

Elektroda
+
nosel
Sumber Daya listrik

Benda kerja

Gambar 2.50Sistem jet plasma yang tidak ditransfer.

66
obor itu sendiri adalah anoda, sebagian besar panas anoda diekstraksi oleh air
pendingin dan tidak digunakan secara efektif dalam proses penghilangan
material. Bahan nonkonduktif yang sulit untuk dikerjakan dengan mesin, dengan
metode konvensional, seringkali berhasil diatasi dengan sistem jet plasma.

2.4.2.3 Plasma terlindung

Plasma terlindung gas.Saat mengerjakan material yang berbeda seperti aluminium,
baja tahan karat, dan baja ringan, gas pembantu mungkin harus digunakan untuk
menghasilkan potongan dengan kualitas yang dapat diterima. Dalam kasus seperti itu,
pelindung gas bagian luar ditambahkan di sekitar nosel untuk mengurangi efek
atmosfer pada gas pemesinan (nitrogen atau argon). Gas pelindung tergantung pada
logam yang dikerjakan. Untuk baja tahan karat, aluminium dan logam nonferrous
lainnya, hidrogen sering digunakan sebagai gas pelindung. Karbon dioksida populer
untuk logam besi dan nonferrous. Untuk baja ringan, udara atau oksigen juga dapat
digunakan.

Plasma terlindung air.Seperti ditunjukkan pada Gambar 2.51, nitrogen digunakan

untuk pemesinan sedangkan gas pelindung digantikan oleh air. Air membentuk jaket
radial di sekitar obor plasma. Efek pendinginan air dilaporkan mengurangi lebar zona
pemotongan dan meningkatkan kualitas pemotongan. Namun, tidak ada perbaikan
baik dalam tingkat pemotongan maupun ketepatan pemotongan yang dilaporkan
oleh McGeough (1988).

2.4.2.4 Plasma udara.Udara terkompresi digunakan sebagai gas pemesinan,

bukan nitrogen atau argon (Gbr. 2.52). Ketika udara terkena busur listrik bersuhu
tinggi, udara terurai menjadi gas-gas penyusunnya. Karena oksigen, dalam
plasma yang dihasilkan, sangat reaktif terutama dengan logam besi, kecepatan
pemesinan meningkat sebesar 25 persen. Kelemahan utama dari metode ini
adalah permukaannya yang sangat teroksidasi, yang sering diperoleh pada baja
tahan karat dan aluminium. Karena tungsten reaktif dengan oksigen, paduan
tembaga hafnium (Hf–Cu) atau hafniumzirkonium (Hf–Zr) juga menggantikan
elektroda tungsten. Namun, itu

Gas plasma

Persediaan air Persediaan air

Plasma Tirai air

Sisi memo Sisi bekas Gambar 2.51Plasma terlindung air.

Benda kerja anoda

67
 Udara (gas plasma)

Tembaga hafnium
elektroda

nosel

Plasma

Benda kerja

Gambar 2.52Plasma udara.

umur elektroda ini menjadi lebih pendek. Bahan konduktif listrik seperti baja paduan
nikel tahan karat dan krom, aluminium, dan tembaga dapat dikerjakan dengan plasma
udara. Karena udara digunakan untuk tujuan pemesinan dan pelindung, biaya
pemesinan adalah sekitar setengah dari biaya pemesinan plasma berpelindung gas
atau air. Bila campuran gas yang terdiri dari 80% nitrogen dan 20% oksigen
digunakan, laju pemesinan baja ringan meningkat sekitar 25 persen.

2.4.3 Tingkat pemindahan material

Selama PBM menyerap energi panas dari pancaran plasma yang diarahkan ke benda
kerja mengaktifkan penghilangan logam. Obor plasma meniupkan logam cair dan
menguap sebagai semprotan atau uap halus. Laju pemotongan yang dihasilkan dan
kemampuan mesin bergantung pada benda kerja yang dikerjakan serta jenis gas
pemotongan dan pelindung yang menentukan laju perpindahan suhu maksimum.
Kecepatan pemesinan maksimum, sebagai indeks kemampuan mesin untuk plasma
gas ganda dari baja karbon, baja tahan karat, dan aluminium, ditunjukkan pada
Gambar 2.53. Gambar 2.54 menunjukkan faktor konsumsi daya yang diperlukan
dalam pembubutan kasar balok plasma pada beberapa paduan. Faktor yang rendah
menunjukkan rendahnya kebutuhan energi atau tingkat penghilangan yang tinggi.
Kecepatan pemesinan ternyata menurun seiring bertambahnya ketebalan logam atau
lebar potongan jika terjadi kemiringan. Ketika daya ditingkatkan, penghilangan logam
leleh secara efisien memerlukan peningkatan laju aliran gas. Selama pemesinan
plasma pelat baja setebal 12 mm yang menggunakan daya 220 kW, kecepatan
pemesinan adalah 2500 mm/menit, yaitu 5 kali lebih besar dibandingkan kecepatan
pemesinan untuk pemotongan gas oksi.

2.4.4 Akurasi dan kualitas permukaan

Tepi benda kerja yang dipotong dengan PBM sering kali dibuat miring.
McGeough (1988) melaporkan bahwa sisi kanan busur plasma relatif terhadap

68
 4
N2gas pada 70 cfh, 30 psi Gas
kedua CO2, 210 cfh, 40 psi
3
Kecepatan maksimum, m/mnt

Baja karbon
1
Besi tahan karat
Aluminium

0
0 10 20 30 40
Ketebalan benda kerja, mm

Gambar 2.53Kemampuan mesin dari material yang berbeda dalam plasma terlindung gas
(El-Hofy, 1995).

arah pemotongan menghasilkan tepi persegi ke dalam±3°.Tepi kiri miring sekitar

15°karena putaran gas pemesinan searah jarum jam. Karena tingginya laju
perpindahan panas, kedalaman logam yang menyatu mencapai sekitar 0,18 mm
di bawah permukaan potongan. Kecepatan pemesinan yang tinggi tidak
memungkinkan panas menembus lebih dari beberapa mikron

0,5

0,4
Konsumsi daya, kw/(cm3.menit)

0,3

0,2

0,1

0
tidak konel Rene 41 Besi tahan karat Hastalloy C
Bahan benda kerja

Gambar 2.54 Konsumsi daya dalam putaran kasar sinar plasma

(El-Hofy, 1995).

69
tepi potongan yang menghasilkan sedikit atau tidak ada distorsi pada benda kerja
yang dipotong. Bagian tepi potongan material cenderung lebih keras dibandingkan
material dasar. Zona yang terkena dampak panas (HAZ) lebih lanjut dengan ketebalan
0,25 hingga 1,12 mm telah dilaporkan. Selain itu karena pendinginan yang cepat,
retakan dapat timbul di luar zona yang terkena panas hingga 1,6 mm. Permukaan
yang bersih dan halus dihasilkan oleh PBM. Toleransi besar±1,6 mm dapat dicapai.
Oleh karena itu, pemotongan akhir diperlukan ketika toleransi sempit diperlukan.

2.4.5 Aplikasi

1. PAM adalah metode pembubutan yang menarik untuk material yang sulit
dikerjakan dengan metode konvensional. Dalam hal ini, kecepatan potong 2 m/
menit dan laju pengumpanan 5 mm per putaran menghasilkan penyelesaian
permukaan 0,5 mm.RT. Kedalaman pemotongan dapat dikontrol melalui daya
pemesinan atau kecepatan permukaan (Gbr. 2.55).
2. PBM yang dikontrol secara numerik oleh komputer digunakan untuk
pemotongan profil logam yang sulit ditangani dengan teknik gas oksiasetilen
seperti baja tahan karat dan aluminium. Sejumlah besar komponen juga
dapat diproduksi dari satu lembaran besar sehingga menghilangkan operasi
pemotongan.
3. PBM dapat memotong alur sedalam 1,5 mm dan lebar 12,5 mm pada baja tahan
karat pada ukuran 80 mm3/mnt, menggunakan 50 kW sebagai daya potong.
Kecepatan pemesinan yang begitu tinggi adalah 10 kali lipat kecepatan metode
penggilingan dan chipping. Kecepatan pemesinan yang lebih rendah dapat
diperoleh bila alur ini dipotong pada bahan nonkonduktif. Namun dimensi alur
bergantung pada kecepatan lintasan, kekuatan busur, dan sudut serta tinggi busur
plasma.

4. Proses ini direkomendasikan untuk bagian yang memiliki operasi pengelasan

selanjutnya.

Rotasi benda kerja

30°

Kedalaman dihilangkan

Umpan obor

Gambar 2.55Pembalikan busur plasma.

70
5. Busur plasma dapat memotong tabung dengan ketebalan dinding hingga 50 mm. Dalam
hal ini tidak diperlukan deburring sebelum pengelasan tabung (Buku Pegangan
Pemesinan, 1989).

6. Pemotongan plasma NC bawah air dapat mencapai akurasi pemesinan ±0,2 mm

dalam 9 m pada kecepatan potong rendah.

2.4.6 Kelebihan dan kekurangan

Keuntungan.Banyak keunggulan teknologi plasma telah disebutkan di

www.advancedplasma.com/, termasuk
■ Tidak memerlukan analisis atau pemeliharaan kimia yang rumit
■ Tidak menggunakan fluorokarbon terklorinasi, pelarut, atau bahan kimia pembersih asam yang
berbahaya

■ Beroperasi dengan bersih, sering kali menghilangkan kebutuhan akan penghilangan lemak,
penyeka pelarut, pembersihan ultrasonik, dan peledakan pasir

■ Tidak memerlukan paparan pekerja terhadap bahan kimia berbahaya

■ Membutuhkan lebih sedikit energi untuk beroperasi

Kekurangan

■ Pasokan listrik besar yang dibutuhkan (220 kW) diperlukan untuk memotong pelat baja ringan
setebal 12 mm dengan kecepatan 2,5 m/menit.

■ Proses tersebut juga menghasilkan panas yang dapat merusak benda kerja dan menghasilkan
asap beracun.

2.5 Pemesinan Berkas Ion

2.5.1 Pendahuluan
Pemesinan berkas ion (IBM) dilakukan dalam ruang vakum menggunakan ion
bermuatan yang ditembakkan dari sumber ion menuju benda kerja melalui
tegangan percepatan. Mekanisme penghapusan material di IBM berbeda dengan
mekanisme di EBM. Hal ini berkaitan erat dengan pengusiran atom, dari
permukaan, oleh atom (ion) terionisasi lainnya yang membombardir bahan kerja.
Oleh karena itu, prosesnya disebut etsa ion, penggilingan ion, atau pemolesan
ion. Sistem pemesinan, ditunjukkan pada Gambar 2.56, memiliki sumber ion yang
menghasilkan sinar yang cukup kuat, dengan penyebaran energi yang dapat
diterima untuk menghilangkan atom dari permukaan benda kerja melalui
pelampiasan ion. Filamen tungsten yang dipanaskan bertindak sebagai katoda,
dari mana elektron dipercepat melalui tegangan tinggi (1 kV) menuju anoda.
Selama perjalanan elektron ini dari katoda menuju

71
 Katoda
Elektroda perantara

Bukaan anoda
Elektroda pengontrol
Anoda ekstraktor
berkas ion

Ruang kerja
Lensa elektrostatis

Elektron tersingkir
Benda kerja
Meja Untuk menyedot debu

Gambar 2.56Komponen sistem IBM.

anoda, mereka berinteraksi dengan atom argon dalam sumber plasma, untuk
menghasilkan ion argon.

Ar + e-→Ar++2e

Medan magnet dihasilkan antara katoda dan anoda yang membuat

elektron berputar. Oleh karena itu, panjang jalur elektron melalui gas
argon meningkat, yang selanjutnya meningkatkan proses ionisasi. Ion-
ion yang dihasilkan kemudian diekstraksi dari plasma menuju benda
kerja, yang dipasang di atas meja berpendingin air yang memiliki sudut
kemiringan 0.°ke 80°.Variabel pemesinan seperti tegangan percepatan,
fluks, dan sudut datang dikontrol secara independen.

2.5.2 Tingkat pemindahan material

Seperti ditunjukkan pada Gambar 2.57, jika ion-ion menumbuk permukaan mesin
secara miring, kemungkinan besar akan terjadi pelepasan atom dari tumbukan
primer. Dalam kondisi seperti itu vektor momentum kejadian dilaporkan
mempunyai pengaruh paling besar terhadap proses ejeksi (McGeough, 1988).
Hasil sputtering, yaitu jumlah atom yang dihasilkan per ion yang terjadi, mungkin
satu tingkat lebih besar untuk pemotongan miring dibandingkan kejadian
normal. Oleh karena itu, material tersebut dihilangkan melalui transfer
momentum dari ion-ion yang datang ke atom-atom pada permukaan material.
Atom yang dikeluarkan dari permukaan juga dibelokkan menjauhi material.
Energi yang lebih besar dari energi ikat 5 hingga 10 eV diperlukan untuk
menghilangkan atom. Pada energi yang lebih tinggi, momentum mungkin cukup

72
 Riam
atom

Ion yang ditanamkan

(A) (B)
Gambar 2.57Mekanisme pemindahan material pada (A) rendah dan (B) tingkat energi yang
tinggi (McGeough, 1988).

menyebabkan hilangnya beberapa atom dari permukaan (efek tipe

kaskade). Lebih jauh lagi, ion yang datang akan masuk lebih dalam ke
dalam material, merusaknya, dengan perpindahan atom. Di IBM,
material dihilangkan melalui transfer momentum dari ion yang datang
ke atom, di permukaan material. Akibatnya atom menjauh dari
permukaan, sedangkan ion dibelokkan menjauhi material. Jumlah hasil
dan laju pemesinan bergantung pada bahan yang sedang dikerjakan,
jenis ion dan energinya, sudut datang dan, dalam beberapa kasus,
tekanan gas seperti yang dijelaskan oleh McGeough (1988) sebagai

(9.6×10 N
25)S(θ)karena(θ) N
V(θ) =

Di manaV(Q) = laju etsa, atom per menit/(mA⋅cm−2)

N=kepadatan bahan target, atom per cm3
S(Q) = hasil, atom per ion
Karena(Q) istilah memperhitungkan berkurangnya kepadatan arus pada
sudut yang jauh dari kejadian normal. Hasil dan laju pemesinan bergantung
pada energi pengikatan atom dalam material yang dikerjakan. Jumlah hasil
bervariasi dengan masuknya gas, yang bereaksi dengan permukaan
material, mengubah energi pengikatannya dan juga laju penghilangan
material. Jumlah hasil dan kecepatan pemesinan memberikan indeks
kemampuan mesin yang sesuai di IBM. Gambar 2.58 dan 2.59 menyusun
beberapa material dalam urutan menurun sehubungan dengan indeks
kemampuan mesinnya. Material logam tampaknya memiliki kemampuan
mesin yang lebih tinggi dibandingkan material nonlogam.

73
 20
Tekanan: 0,0003 torr
Tegangan: 1 kV
15 Arus: 0,85 mA/cm2
Kecepatan penghilangan, µm/jam

Diameter balok: 5 cm

10

0 Emas

Silikon
Keramik
Ga Sebagai
Perak

Ktfrphotoresist
Bahan benda kerja

Gambar 2.58Tingkat penghapusan untuk bahan yang berbeda (El-Hofy, 1995).

2.5.3 Akurasi dan efek permukaan

Dimensi kecil seperti 10 hingga 100 nm dimungkinkan menggunakan IBM.
Kemiringan dinding samping permukaan mesin dan permukaan akhir ditentukan
oleh sudut datang berkas ion. Tingkat akurasi±1,0 persen, dengan keterulangan
sebesar±1 persen telah dilaporkan oleh McGeough (1988). Tekstur permukaan
menghasilkan konfigurasi seperti kerucut dan punggungan pada urutan 1mikro
berukuran m. Namun, penghalusan hingga permukaan akhir kurang dari 1mikro
m dapat diperoleh.

3
Kecepatan penghapusan, nm/s

2.5 Kepadatan arus: 1 mA/cm2

2
1.5
1
0,5
0
Emas
Perak

SSayaHAI2

Silikon

Karbon
Aluminium

SiC
Fe2HAI3
Kromium
mangan

Bahan kerja

Gambar 2.59Tingkat penghilangan variasi dengan materi kerja di IBM (El-Hofy, 1995).

74
2.5.4 Aplikasi

1. IBM digunakan untuk menghaluskan cermin laser serta mengurangi

ketebalan film tipis tanpa mempengaruhi permukaan akhir. Dalam hal ini
sampel silikon ditipiskan hingga ketebalan 10 hingga 15mikrom telah
dilaporkan menggunakan ion argon yang mengenai kejadian normal oleh
McGeough (1988).
2. Dengan menggunakan dua sinar yang berlawanan, daerah melingkar tipis pada sampel yang
berputar dapat menghasilkan sampel untuk mikroskop elektron transmisi.

3. Pemolesan dan pembentukan permukaan optik dengan sputtering langsung

pada kaca, silika, dan berlian dilakukan dengan menggunakan masker pola.

4. Proses ini dapat menghasilkan kerucut bertekstur rapat dalam berbagai bahan
termasuk tembaga, nikel, baja tahan karat, perak, dan emas (Gbr. 2.60). Etsa
sputter juga dapat menciptakan tekstur permukaan mikroskopis
menggunakan deposisi sputter dari material dengan hasil lebih rendah di
permukaan.
5. Permukaan yang bersih secara atom dapat diproduksi oleh IBM yang digunakan
dalam adhesi film emas ke substrat silikon dan aluminium oksida. Energi ion yang
lebih tinggi dapat digunakan untuk menghilangkan lapisan oksida permukaan.

6. IBM dapat melakukan milling dengan lebar garis 0,2mikrom, yang digunakan dalam
pembuatan perangkat memori gelembung dengan rasio kedalaman-ke-lebar 2:1
(McGeough, 1988). Masalah yang terkait dengan metode etsa kimia alternatif
seperti kurangnya undercutting dapat dihindari karena masking hanya diperlukan
untuk membayangi sinar.

7. Aplikasi lebih lanjut mengenai kisi difraksi dasar polimer dua dimensi
oleh IBM dapat dilihat di websitewww.blkbox.com/ sedangkan
deposisi berkas ion (IBD) di websitewww.skion.com/.

10 mikron

(a) Nikel (b) Tembaga

Gambar 2.60 Memindai fotomikrograf elektron (McGeough, 1988).

75
Referensi
Ahmed, MS, dan Knight, JA (1988). “Roll texturing dengan EDT.”Pekerjaan Mekanik dan
Konferensi Pemrosesan Baja. Proses., hal.405–413.
Allen, D., dan Lecheheb, A. (1996). “Pemesinan Pelepasan Listrik Mikro pada Nosel Jet Tinta,
Pemilihan Parameter Material dan Permesinan yang Optimal,”Jurnal Teknologi
Pengolahan Bahan, 58:53–66.
Allen, D., dan Huang, SX (1995). “Investigasi EDM Multi-elektroda Mikro
lubang,”ISEM-11, hal.389–392.
Allen, D., dan Huang, SX (1997). “Pengurangan Keausan Alat dan Waktu Pemesinan untuk
Micro-EDM Lubang Mikro dengan Menggunakan Mesin Laser Uap Tembaga sebagai
Proses Penggilingan Kasar,”Jurnal Internasional Permesinan Listrik(IJEM), Tokyo, 2:9–11.
Amalnik, M., McGeough, J., dan El-Hofy, H. (1997). “Berbasis Pengetahuan yang Cerdas
Sistem Evaluasi Kemampuan Manufaktur Desain untuk EDT,”Konferensi MATADOR ke-32.,
Manchester, hal.418–424.
Aspinwal, DK, Wise, MLH, Stout, KJ, Goh, THA, Zhao, FL, dan El-Menshawy,
MF (1991). “Tekstur Pelepasan Listrik,”Int. J. Peralatan Mesin dan Manufaktur, 32:183–191.

Aspinwal, DK, Zhao, FL, El-Menshawy, MF (1989). “Tekstur Pelepasan Listrik

(EDT) dari Gulungan Baja,”Topografi Permukaan, 2:123–141.
Bellows, G., dan Kohls, JB (1983). “Pengeboran tanpa Bor,”Mekanis Amerika, Spesial
Laporan 743, hlm. 183–185.
Benhadad, MA, McGeough, JA, dan Barker, MB (1991). “Pemesinan Pelepasan Listrik
Paduan Al-Li dan Pengaruhnya terhadap Kekasaran Permukaan, Kekerasan dan Kekuatan Tarik,”
Pemrosesan Material Tingkat Lanjut, VI(314):123–123.
Birnie, J., dan Champney, M. (1967). “Kontribusi Berkas Elektron pada Pemesinan
dan Pembentukan dalam Metode Pemesinan dan Pembentukan Listrik,”Konferensi IEE., Publikasi.
No.36, hal.210–221.
Boehme, D. (1983). “Pengelasan Perforasi dan Perawatan Permukaan dengan Elektron dan Laser
Balok,"ISEM-7, hal.190–199.
Chen, XK, dan McGeough, J. (1994). “Pengeboran Cepat Lubang Dalam Kecil dengan EDM,”Kesepuluh
Int. Konf. tentang Teknik Produksi Berbantuan Komputer(CAPE-10), Palermo, hlm.188–
195. Chryssolouris, G., Sheng, P., dan Anastasia, N. (1993) “Laser Grooving pada Komposit
Bahan dengan Bantuan Jet Air,”Trans. ASME, Jurnal Teknik Industri, 115:62–72.

Corfe, A. (1983). “Mengapa Laser Lebih Baik Daripada EDM untuk Pengeboran,”Insinyur Produksi,
62(110):13–14.
Crookall, JR, dan Khor, BC (1974). “Permukaan Mesin Pelepasan Elektro,”MTDR ke-15
Konf., hal.373–334.
Dauw, DF, dan Van Coppenolle, B. (1995). “Tentang Evolusi Penelitian EDM,”ISEM-11.
Lausanne Swiss, hlm.117–142.
Dauw, DF, dan Brown, CA (1990). “Investigasi Topografi Permukaan dengan Fraktal
Analisis Keramik Konduktif Listrik yang Terkikis Percikan,”Sejarah CIRP, 39(1):161–165.

Delpreti, PAK (1977). “Karakteristik Fisika dan Kimia Lapisan Wajah Super,”
Proses. dari ISEM-5, hal.209–212.
Devries, M., Duffie, N., Kruth, J., Dauw, D., dan Shumacher, B. (1990). “Integrasi
EDM dalam Lingkungan CIM,”Sejarah CIRP, 39(2):1–8.
Menarik, J. (1976). “Berkas Elektron Mengatasi Pekerjaan Pemesinan yang Sulit,”Desain Mesin, 26:94–98. El-
Hofy, H. (1995). “Indeks Kemampuan Mesin untuk Beberapa Pemesinan Non-konvensional
Proses,”Jurnal Teknik Alexandria(AEJ), 34(3):231–245.
El-Hofy, H., De Silva, A., dan McGeough, JA (1997). “Kemajuan Teknologi dalam EDM,”
Konferensi PEDAC-6., Aleksandria, hal.941–954.
El-Menshawy, MF, dan Ahmed, MS (1985). “Pemantauan dan Pengendalian Pelepasan Elektro
Proses Tekstur untuk Gulungan Pekerjaan Pabrik Dingin Baja,”NAMRIK-13, Berkeley, AS,
hlm.470–475. Fengguo, C., dan Jianyu, H. (1995). “Teknik Pemesinan Laser Presisi untuk Berlian
Gambar Kawat Mati, ”Konferensi ISEM-11., hal.629–637.
Fujino, M, Okamoto, N., dan Masuzawa, T. (1995). “Pengembangan Mikro Serbaguna
Mesin Pengolah,”ISEM-11, hal.613–620.

76
Fukuzawa, Y., Tani, T., Ito, Y., Ichinose, Y., dan Mohri, N. (1995). “EDM Isolator
Keramik dengan Lembaran Jaring Logam,”ISEM-11, hal.173–179.
Gagilano, FP, dkk. (1969). “Laser di Industri,”IEEE, 57(2):114–147.
Hsu, MJ, dan Molian, PA (1995). “Pemotongan Laser Berbantuan Jet Gas Off-aksial sebesar 6,35 mm
Baja Tahan Karat Tebal,” ASME,Jurnal Teknik untuk Industri, 117:272–276. Hsu, RK, dan
Copley, SM (1990). “Memproduksi Bentuk Tiga Dimensi dengan Laser
Penggilingan,"Trans. ASME, Jurnal Teknik Industri, 112:375–379. Jeswani, ML (1977). “Studi
Permukaan Akhir di EDM,”Jurnal SAYA, 57:329–333. Jeswani, ML (1978). “Karakteristik
Kekasaran dan Keausan pada Permukaan yang Terkikis Percikan,”
Memakai, 51:227–236.
Kaczmarek, J. (1976).Prinsip Pemesinan dengan Pemotongan, Abrasi dan Erosi.
Stevenage, Inggris: Peter Pergrenius Ltd.
Kalpakjian, S. (1997).Proses Manufaktur untuk Bahan Teknik, edisi ke-3. Membaca,
MA: Addison Wesley.
Kuneida, M., dan Furuoya, S. (1991). “Peningkatan Efisiensi EDM dengan Memasok
Gas Oksigen ke dalam Celah,”Sejarah CIRP, 40(1):215–218.
Kozak, J., Dabrowski, L., Rozenek, M., dan Cepiak, J. (1995). “Kabel EDM Multi Layer
Struktur Komposit dan Laminasi Matriks Logam,”ISEM-11, hal.427–436.
Lau, WS, Lee, WP, dan Pans, SQ (1990). “Pulsed Nd: Pemotongan Karbon Laser YAG
Bahan Komposit Serat,”Sejarah CIRP, 39(1):179–182.
Lau, WS, Yue, TM, dan Wang, M. (1994). “Pengeboran Laser Berbantuan Komputer pada Aluminium-
Komposit Matriks Logam Berbasis,”Sejarah CIRP, 43(1):177–180.
Lauwers, B., dan Kruth, J. (1995). “Sistem Perencanaan Proses Berbantuan Komputer untuk
Pemesinan Pelepasan Listrik,”ISEM-11, Lausanne, Swiss, hal. 261–278 (JSEM/CIRP).

Retribusi, GN (1993). “Regenerasi Dielektrik Ramah Lingkungan dan Berkapasitas Tinggi

untuk Kawat EDM,”Sejarah CIRP, 42(1):227–230.
Levy, GN, dan Maggi, F. (1990). “Perbandingan Kemampuan Mesin WED dari Baja yang Berbeda
Nilai,”Sejarah CIRP, 39(1):183–186.
Buku Pegangan Data Pemesinan. (1997). edisi ke-3. Cincinnati, OH: Pusat Data Kemampuan Mesin,
Institut Manufaktur Lanjutan.
Masuzawa, T., dan Saki, S. (1978). “Penyelesaian Cepat Produk WEDM Menggunakan Mate-
elektroda,"Sejarah CIRP, 36(1):123–326.
Masuzawa, T., Kuo, CL, dan Fujino, M. (1994). “Pemesinan Listrik Gabungan
Proses Fabrikasi Micro Nozzle,”Sejarah CIRP, 43(1):189–192. Masuzawa, T. (1990).
“Peningkatan Jet Flushing untuk EDM,”Sejarah CIRP, 41(1):197–199. Masuzawa, T., dan
Tonshof, H. (1997). “Pemesinan Mikro Tiga Dimensi dengan Alat m/c,
Sejarah CIRP, 46(2):621–628.
McGeough, JA, dan De Silva, A. (1996). “Arah Penelitian dan Penerapan
Pemesinan Inkonvensional,”Proses. Proses, Sistem & Teknologi Manufaktur Tingkat
Lanjut(AMPST), hal.3–15.
McGeough, JA (1988).Metode Pemesinan Tingkat Lanjut, London, New York: Chapman
dan aula.
McGeough, JA (2002).Micromachining Bahan Teknik, New York: Marcel
dekker.
McGeough, JA, dan Rasmussen, H. (1992). “Model Tekstur Permukaan Baja
Gulungan dengan Pemesinan Pelepasan Elektro,”Konferensi NAMRIC., hal.155–164.
Buku Pegangan Logam. (1989). Jil. 16,permesinan, Meterials Park, OH: ASM Internasional. Mohri,
N., dan Saito, M. (1991). “Proses Pemesinan Akhir Baru pada Permukaan Bebas oleh
Metode EDM,”Sejarah CIRP, 40(1):207–230.
Morita, A., Imai, Y., Maruyama, H., dan Kobyashi, K. (1997). “Pengontrol Fuzzy di EDM,”
Konferensi ISEM-9. (JESM/CIRP), Nagoya, Jepang, hlm.236–240.
Motoki, M., dan Lee, C. (1968). “Pemesinan Percikan Elektro Menggunakan Tenaga Trapesium
Memasok,"Elektrokimia Eng. di Jepang, 8(3):12–20.
Pawleski, O., Rasp, W., Zwick., W., Nettelbeck, HJ, dan Steinhoff, K. (1994). "Itu
Pengaruh Sistem Tekstur Gulungan Kerja yang Berbeda Terhadap Perkembangan Struktur
Permukaan pada Proses Temper Rolling Lembaran Baja yang Digunakan dalam Industri
Otomotif,” Jurnal Teknologi Pengolahan Material, 45:215–222.

77
Ramesh Babu, N., Radhakrishnan, V., dan Murti, YV (1989). “Investigasi Laser
Pembalutan Roda Gerinda—Studi Pendahuluan,” ASME,Jurnal Teknik untuk Industri,
111:244–252.
Ricciardi, G., Gantello, M., dan Savant-Aira, G. (1996). “Penandaan Keyboard Komputer
melalui Laser Excimer,”Sejarah CIRP, 45(1):191–196.
Rohde, H., dan Verboven, P. (1995). “Pemotongan dan Pengeboran Presisi dengan Laser Nd:
Laser Lempengan YAG,”Konferensi ISEM-11. Proses., hal.777–784.
Shichun, D., dkk. (1995). “Teknologi Baru untuk Machining Sphere oleh Rotary, EDM,”
ISEM-11, hal.921–827.
Simao, J., El-Menshawy, F., Aspinwal, D., Wise, M., dan Kockoll, L. (1994). “Simulasi
Pembuatan Tekstur Laser Menggunakan Pengaturan Pelepasan Listrik yang Dimodifikasi,”
Proses. Int Ketujuh. Konf. Produksi/Rekayasa Presisi (ICPE)DanKeempat Int. Konf. tentang
Teknologi Tinggi(JSPE) Chiba, Jepang, hal.558–563.
Snoeys, R., Staelens, F., dan Dekeyser, W. (1986). “Tren Saat Ini di Non-konvensional
Proses Penghapusan Material,”Sejarah CIRP, 35(2):467–480.
Spur, G., Appel, S., dan Liebelt, S. (1997). “Pemodelan dan Simulasi Laser Non-linier
Pemotongan dan Pembuatan Grooving pada Plastik Termo yang Diperkuat Serat.”Konferensi MATADOR ke-32.,
Manchester, hal.381–386.
Stavitskaya, NB, dan Stravinsky, BL (1979). “Fitur Dasar Presisi
Percikan Mesin,”listrik. Obrab. Materi., 4:5–15.
Steigerwald, K., dan Meyer, E. (1967). “Perkembangan Baru dalam Pemesinan Berkas Elektron
Metode.”Metode Pemesinan dan Pembentukan Listrik. YAITU, Konf. Publikasi. No.38, hal.252–
258.
Tabata, N., Yagi, S., dan Hishu, M. (1996). “Laser Saat Ini dan Masa Depan untuk Pemotongan Halus
dari Pelat Logam, ”Jurnal Teknologi Pengolahan Material, 62:309–314.
Tam, SC, Williams, R., Yang, LJ, Jana, S., Lim, LE, dan Lau, MW (1990). "Laser
Pengolahan Komponen Pesawat Udara,”Jurnal Teknologi Pengolahan Bahan, 32:177–194.

Tani, T., Fukuzawa, Y., dan Mohri, N. (2004). “Fenomena Pemesinan di WEDM
Keramik Isolasi,” ISEM-XIVKonferensi di Tempat. Proses.Edinburgh, Inggris (Jurnal
Teknologi Pengolahan Bahan).
Todd, JA, dan Copley, SM (1997). “Pengembangan Pemrosesan Laser Prototipe
Sistem untuk Membentuk Bahan Keramik Tingkat Lanjut.” SEPERTI SAYA,Jurnal Sains dan
Teknik Manufaktur, 119:55–67.
Tonshof, HK, dan Dickmann, K. (1989). “Pengaruh Kerusakan Permukaan/Bawah Permukaan
Sifat Magnetik Lembaran Baja Listrik yang Dipotong Laser,”Sejarah CIRP, 38(2):695–699.

Tonshof, HK, dan Sturmer, M. (1995). “Pemesinan Menggunakan Radiasi Energi Tinggi,”ISEM-XI
Konf. Swiss, hal. 49–60.
Tonshof, HK, Hesse, D., Mommsen, J. (1993). “Pemesinan Mikro Menggunakan Laser Excimer,”
Sejarah CIRP, 42(1):247–251.
Tonshof, K., Egger, R., dan Kloclco, F. (1996).“Aspek Lingkungan dan Keamanan
Proses Elektrofisika dan Elektrokimia,”Sejarah CIRP, 45(2):553–567. Ueda, T., Yamada, K.,
dan Nakayama, K. (1997). “Suhu Bahan Benda Kerja
Diiradiasi dengan CO2Laser,"Sejarah CIRP, 46(1):117–122.
Yamazaki, M., Suzuki, T., Mori, N., dan Kunieda, M. (2004). “EDMing Microrods sendiri
Lubang yang Dibor, ”Konferensi di Tempat ISEM-XIV. Proses., Edinburgh, Inggris (Jurnal
Teknologi Pengolahan Bahan).
Yeo, C., Tam, S., Jana, S., dan Lau, M. (1994). “Tinjauan Teknis Pengeboran Laser
Bahan Luar Angkasa,”Jurnal Teknologi Pengolahan Bahan, 42:15–49. Yilbas, BS (1996).
“Investigasi Eksperimental Pada CO2Parameter Pemotongan Laser,”
Jurnal Teknologi Pengolahan Bahan, 58:323–330.
www.advancedplasma.com/ www.blkbox.com/~chase/
polymer/ www, skion.com/html/technology.htm
www.unl.edu/nmrc/outline.htm

Zhixin, J. (1995). “Studi tentang EDM Pulsa Mekanik,”Jurnal Teknik Presisi,

117(2):89–93.

78