TINJAUAN PUSTAKA
2.1
Bahan dasar yang digunakan untuk film tipis adalah ZnO, dari
hasil penelitiannya, film tipis berbasisi ZnO memiliki kemampuan
tinggi dalam mobilitas konduksi electron, Stabil terhadap
perlakuan kimia dan perlakuan panas, Resistivity semikonduktor
dan tidak mengandung racun dan dan film tipis berbasisi ZnO
tersebut dapat dipalikasikan untuk sensor gas ethanol.
2.1.1
Sensor Gas
Dalam dunia teknologi, sensor yang dapat mendeteksi bau atau aroma
Gambar 2.1
Alat untuk mengukur sensitivitas Sensor Gas
Ada berbagai macam sensor gas yang dibuat dari film tipis dan banyak
dimanfaatkan dalam dunia industi. Atau lebih dikenal dengan nama TGS ( Thin
Gas Sensor ).
terdifusi dan terikat di dalam material oksida. Artinya, di dalam sensor gas,
membutuhkan butiran-butiran kristal yang kecil.
Hubungan antara hambatan sensor dengan gas yang terdeteksi oleh sensor
dapat dituliskan dalam persamaan berikut.
R= A
.. (1)
adalah sensitivitas.
Gambar 2.2 Sensitivitas untuk bermacam-macam gas yang dideteksi oleh sensor gas TGS
2610
10
Gambar 2.3 Hubungan sensitivitas SnO2 terhadap suhu untuk beberapa gas. Puncak
Gambar 2.4 Hubungan sensitivitas bahan (ZnO) terhadap suhu untuk gas aceton 200 ppm.
(Abhijith. 2006)
11
12
resistivity
(rho,
yunani)
biasanya
digunakan
untuk
13
..(2)
Berikut tabel yang menunjukkan beberapa nilai resistivitas bahanbahan konduktor, semikonduktor dan isolator.
Tabel 2.2 Nilai resistivitas jenis bahan
Jenis
Bahan
Resistivitas
Konduktor
Tembaga
10-6 - cm
Silikon
50 X 10-3 - cm
Germanium
50 - cm
Mika
1012 - cm
Semikonduktor
Isolator
bahan
semikonduktor
dapat
dibedakan
menjadi
bahan
untuk mengurangi
impuritas
(pengotoran oleh atom lain). Sehingga hantaran listrik yang terjadi pada
bahan tersebut adalah elektron dan lubang (hole). Sedangkan bahan
semikonduktor ekstrinsik adalah bahan semikonduktor yang telah dikenakan
14
15
16
2.2
Struktur Kristal
17
2.3
Struktur Mikro
Struktur mikro merupakan struktur yang terdiri dari butir dan fasa
tertentu. Mikrostruktur adalah penataan geometri dari butir-butir dan fasa-fasa
dalam suatu material. Variabel-variabel dari fitur-fitur struktur ini mencakup
jumlah, ukuran, bentuk dan distribusi. Dimensi mikrostruktur cukup kecil
sehingga diperlukan mikroskop optik ( pembesaran hingga 2000 x ) bahkan
mikroskop elektron ( pembesaran hingga 50.000 X ) untuk mengamatinya. Dapat
memperkirakan jumlah setiap fasa dengan bantuan diagram fasa. Ukuran
ditentukan oleh waktu, suhu dan pertimbangan pertimbangan kinetik yang lain.
Bentuk dan distribusi lebih rumit lagi, tetapi dioptimalkan melalui perlakuan
panas yang tepat. Berbagai jenis material memiliki fasa tunggal dan sebagian fasa
tunggal adalah polikristalin dan memiliki mikrostruktur ( Van Vlack, 2001 ).
2.4
18
19
2.5
Substrat Kaca
Substrat yang digunakan untuk pembuatan film tipis Fe2O3 adalah
20
21
beberapa
metode
yang
dapat
dilakukan
untuk
membuat
kaca
[http://en.wikipedia.org/wiki/Glass], yaitu:
Dipandang dari segi fisika kaca merupakan zat cair yang sangat
dingin. karena struktur partikel-partikel penyusunnya yang saling berjauhan
seperti dalam zat cair. namun berwujud padat. Ini terjadi akibat proses
pendinginan (cooling) yang sangat cepat. Dari segi kimia, kaca adalah gabungan
dari berbagai oksida anorganik yang tidak mudah menguap, yang dihasilkan dari
dekomposisi dan peleburan senyawa alkali dan alkali tanah, pasir serta berbagai
penyusun lainnya. Kaca memiliki sifat-sifat yang khas dibanding dengan
golongan keramik lainnya. Kekhasan sifat-sifat kaca ini terutama dipengaruhi oleh
keunikan silika(SiO2).
Beberapa sifat-sifat kaca secara umum adalah:
Padatan amorf
22
2.6
ketersediaannya.
Dan
pemanfaatan
yang
terus
dikembangkan
untuk
mengahasilkan teknologi di berbagai bidang. Besi adalah logam yang berasal dari
bijih besi (tambang). Besi merupakan logam yang melimpah nomor dua (2)
setelah logam aluminium. Dengan penambahan oksigen pada besi, sehingga
terbentuk senyawa oksida dengan rumus kimia Fe2O3 (Besi oksida ). Fe2O3
merupakan senyawa anorganik yang berbentuk oksida yang dapat diaplikasikan
sebagai divais semikonduktor. Adapun sifat-sifat logam besi adalah
[Unsur-
23
24
2.7
Sintering
a.
Tahapan awal
terjadinya
gerakan-gerakan
partikel
tersebut
untuk
membentuk kondisi yang lebih padat. Proses densifikasi berjalan sangat cepat
sehingga densitas bahan mencapai 60 %.
b.
Tahapan Medium
Partikel-partikel kecil akan larut dalam cairan dan mengendap kembali pada
partikel-partikel lebih besar. Sehingga tercipta perbedaan ukuran partikel
yang semakin besar yang kemudian menyebabkan terjadinya potensial kimia
25
partikel besar dan kecil. Perbedaan potensial kimia inilah yang menjadi
penggerak.
Dengan fasa cair, proses difusi berjalan sangat cepat dan memungkinkan
tumbuhnya butiran-butiran baru. Celah-celah pori yang kontinyu akan
terhambat oleh butiran-butiran tersebut. Dan terbentuklah pori-pori yang
berbentuk diskrit. Pada proses ini densitasnya mencapai 92%-95%.
c.
Tahapan Akhir
Pada tahapan akhir, proses densifikasi telah berakhir. Proses yang terjadi
hanyalah perpaduan antara partikel-partikel yang tumbuh selama sintering
untuk membentuk partikel-partikel yang lebih besar. Dalam proses ini pula,
pori-pori sudah tertutup.
2.7.2
a.
Bahan Aditif
Pada saat sintering, bahan aditif ini akan membentuk cairan. Sehingga akan
meningkatkan
menghambat pertumbuhan kristal yang lebih besar. Contohnya bahanbahannya adalak oksida-oksida Mg, Ca, Ti, Ni
b. Ukuran Butir
26
d.
Tekanan
Metode penekanan yang efektif adalah dengan hot pressing. Sehingga dapat
menghasilkan kepadatan produk yang tinggi.
e.
Atmosfir
27