PENDAHULUAN
Ozon adalah salah satu bentuk alotrop dari oksigen. Molekul ozon mengandung
tiga atom oksigen (O3) dan relative tidak stabil dari O2 (Pauly et al., 2006). Pada
konsentrasi rendah, ozon dapat menyebabpkan iritasi dan beracun. Itu terjadi secara
alami dalam sejumlah kecil di permukaan bumi dan di udara pada atmosfer rendah.
Ozon juga merupakan agen oksidasi paling kuat. Ozon dapat mengoksidasi banyak
komponen organik dan digunakan secara komersial sebagai pemutih pada lilin,
minyak, tekstil dan juga untuk sterilisasi udara dan air minum. Ozon sangat tidak
stabil dan reaktif, pembuatan ozon murni sangat sulit dan penuh resiko
(Shakhashiri, 2007).
Ozon yang merugikan manusia berada pada lapisan troposfer sedangkan yang
menguntungkan manusia berada pada lapisan statosfer (McElroy, 1997). Ozon pada
lapisan troposfer merupakan udara kotor yang dibentuk melalui reaksi fotokimia
dari polutan terutama antropogenik yang menyertakan Nitrogen Oxides (NOx) dan
Volatile Organic Compounds (VOCs). Keberadaan ozon pada lapisan ini lebih
yang tinggi berpengaruh pada kesehatan manusia yang mencakup gangguan fungsi
paru-paru, kelahiran prematur dan penurunan hasil panen (Jia, Zhang, & Chen,
2016). Oleh karena itu diperlukan pengembangan metode atau sejenis perangkat
guna mendeteksi keberadaan ozon di udara berupa sensor gas. Sensor dapat
1
berinteraksi dengan gas tertentu (Elhaes, Fakhry, & Ibrahim, 2016). Metode yang
lempengan yttria-doped zirconia dengan sekatan elektroda. Sensor jenis ini sangat
handal tetapi hanya bisa digunakan untuk mengontrol aliran zat buang pada mesin
pada temperatur tinggi. Sensor optik merupakan metode sensor yang menggunakan
optik seperti daya pantul dan absorpsi cahaya. Metode ini sangat menjanjikan
sistem sensor yang lebih akurat tetapi pengembangannya sulit dan instrument yang
mahal. Sedangkan metode sensor oksida logam atau yang sering disebut sensor
dioperasikan pada tempat yang kecil dan bisa mendeteksi gas CO, NOx, dan O3
(Gunawan, 2010). Oleh karena itu pada penelitian ini digunakan sensor
tersebut dalam mendeteksi zat yang ingin dideteksi. Kemampuan dalam mendeteksi
zat meliputi sensitivitas, selektivitas, waktu respon dan waktu recoveri, stabilitas
dan daya tahan (Gunawan, 2010). Selain itu karakteristik sensor yang ideal meliputi
operasional yang sederhana, kebisingan rendah dan aspek yang paling penting
adalah biaya produksi yang murah (Elhaes et al., 2016). Bahan-bahan yang
digunakan sebagai sensor gas juga bervariasi seperti bahan anorganik dan bahan
organik. Bahan-bahan anorganik dapat menjadi sensor gas yang efisien apabila
bahan organik dapat dideposisi pada suhu yang lebih rendah. Salah satu material
organik dengan karakter yang dapat mendeteksi gas dan dapat dibuat menjadi
2
lapisan tipis adalah ftalosianin (Pc). Ftalosianin merupakan senyawa organik yang
mempunyai stabilitas thermal yang bagus dan dapat didepositkan sebagai lapis tipis
dengan kualitas tinggi oleh evaporasi thermal tanpa dissosiasi (El-Nahass, Soliman,
Khalifa, & Soliman, 2015). Sifat konduktif terutama dari material Pc adalah Metal
Phthalocyanine (MPc) yang akhir-akhir ini menjadi perhatian umum, karena sifat
elektrik, optik dan struktur yang bisa diaplikasikan sebagai sensor gas dan solar sel.
8PXPQ\DSROLPRUIGDUL03FDGDODKIDVHPHWDVWDELOĮGDQGDQIDVHVWDELOȕGDQ
perbedaan utama antara kedua polimorf adalah kemiringan sudut dari molekul
dalam kolom dan saling bersusun dalam kolom. Kelebihan MPc dibandingkan
dengan senyawa anorganik yakni dapat dioperasikan pada temperatur yang lebih
menjadi lapisan tipis dengan metode spin coating. Lapisan yang dihasilkan tidak
homogen atau masih terdapat agregat-agregat karena ZnPc tidak larut sempurna
lapisan ZnPcSn, ketebalan dan jarak elektroda pada pengukuran nilai resistansi
paparan ozon. Seperti yang dilakukan oleh Ratnawati, lapisan tipis ZnPc terlebih
menggunakan metode evaporasi vakum dan hasil yang diperoleh lebih homogen.
Sedangkan yang dilakukan oleh Nur (2015), yakni pembuatan sensor gas untuk
mendeteksi gas ozon menggunakan ZnPc yang dideposisi di atas PCB. Proses
3
pembuatan lapis tipis tidak didahului dengan proses modifikasi. Bubuk ZnPc
lapisan yang homogen dan dalam mendeteksi gas ozon, lapisan ZnPc memberikan
hasil yang maksimal yang ditandai dengan penurunan nilai resistansi. Substrat
yang digunakan oleh peneliti-peneliti tersebut yakni PCB. Akan tetapi yang
menjadi kekurangan dari PCB adalah bahannya cepat berkarat sehingga tidak
mungkin disimpan dalam waktu yang lama. Oleh karena itu peneliti mencoba
permukaannya.
Pada penelitian ini digunakan evaporasi vakum untuk menumbuhkan lapis tipis.
Hal ini disebabkan dibutuhkan lapis tipis dengan homogenitas tinggi karena
menjadi faktor penting pada proses penyerapan gas. Media yang digunakan untuk
penumbuhan lapis tipis yakni kaca berlapis timah. Kaca dipilih karena
pada tahun 2010 melakukan penelitian pada gas NO2, O3 menggunakan MPc CuPc
pada substrat kaca yang terlebih dahulu dilapisi emas. Pemanfaatan kaca berlapis
timah sebagai substrat dalam mendeteksi keberadaan ozon sudah banyak diteliti.
Akan tetapi belum ada laporan pemanfaatan timah sebagai elektroda dalam
menumbuhkan lapis tipis ZnPc untuk mendeteksi ozon. Pada penelitian ini lapisan
tipis yang dideposit, dipanaskan sehingga menguap dan membentuk lapisan pada
permukaan substrat yang sudah diletakkan di bagian atas. Proses ini menggunakan
panas untuk menguapkan material sehingga atom atau molekul yang diuapkan
dapat menempel pada permukaan kaca, juga membutuhkan kondisi yang vakum.
Ini bertujuan agar molekul dari target tidak bertumbukan dengan partikel dari udara.
4
Partikel udara dalam ruangan vakum dapat menghambat proses material menuju
substrat sehingga terbentuknya lapisan yang tidak homogen. Faktor lain yang
Semakin tinggi suhu pemanas, maka semakin cepat proses penguapan material dan
penumbuhan lapisan pada permukaan substrat. Lapis tipis yang dihasilkan diuji
sifat listriknya terhadap gas ozon. Gas ozon diharapkan dapat terdifusi ke dalam
lapisan yang dibuat, sehingga morfologi permukaan lapisan menjadi faktor utama
Mahmud, 2015).
NH4F, (Leem & Yu, 2011) mengkonduktifkan kaca menggunakan SnO2 dengan
dopan Sb. Penggunaan dopan yang berbeda menghasilkan resistansi yang berbeda.
Resistansi terkecil dihasilkan dari SnO2 yang didopan menggunakan Sb. Pada
penelitian ini, tdak menggunakan Sb sebagai dopan karena bahan yang sulit
Pemilihan teknik deposisi tergantung pada berbagai aspek antara lain alat yang
5
Penelitian ini bertujuan untuk mengkonduktifkan kaca menggunakan larutan
lapis tipis. Senyawa Timah yang digunakan untuk mengkonduktifkan kaca yakni
ZnPc dengan variasi lama waktu 25 dan 45 menit untuk memperoleh ketebalan
yang berbeda. Kaca yang terdeposisi lapis tipis dipaparkan dengan gas ozon. Listrik
Semakin lama dipaparkan dengan gas ozon, resistansi yang diharapkan yakni
ozon
6
3. Mempelajari pengaruh ketebalan lapisan ZnPc terhadap resistansi paparan
ozon
evaporator vakum
4. Sifat listrik dari lapisan tipis ZnPc dilihat dari nilai resistansi yang diperoleh