Nama : Avina Vidiati

NIM : 191431006
Mata Kuliah Pilihan
Spektrofotometri Massa
Spektrometer massa adalah alat atau instrumen yag digunakan untuk menentukan struktur kimia
dari molekul organik berdasarkan perhitungan massa dari molekul tersebut serta pola fragmentasinya.
Spektrofotometri massa tidak melibatkan interaksi antara radiasi elektromagnetik dan materi.
Prinsip dasar dalam spektrometri massa yaitu molukel sampel dalam fase uap di bombardir
dengan elektron berenergi tinggi sekitar 70 eV yang menyebabkan lepasnya satu elektron dari kulit
valensi molekul tersebut. Molekul yang kehilangan satu elektron akan menjadi suatu kation radikal.
(M) + e⁻  (M⁺) + 2e⁻
Ion molekul, ion fragmen dan ion radikal fragmen dipisahkan menggunakan medan magnet
sesuai dengan perbandingan massa/muatanya (m/z) dan menghasilkan arus listrik (arus ion) pada
kolektor/detektor yang sebanding dengan kelimpahan relatifnya. Fragmen dengan m/z yang besar akan
turun terleih dahulu diikuti fragmen dengan m/z yang lebih kecil.

Partikel netral (yang tidak bermuatan) yang dihasilkan dalam fragmentasi tidak terdeteksi secara
langsung dalam spektrometer massa. Kebanyakan kation yang dihasilkan dalam spektrometer massa
mempunyai muatan = 1 (z=1) sehingga m/z secara langsung menunjukkan massa dari kation tersebut.
Cara menjalankan instrumentasinya :

Sampel diuapkan dibawah vakum dan diionkan menggunakan berkas elektron. Kemudian ion sampel
dipercepat menggunakan medan listrik memasuki tabung penganalisis dan dilakukan dalam medan
magnet. Selanjutnya dalam kekuatan medan magnet yang diberikan, hanya ion-ion positif dan radikal
positif akan difokuskan ke detector, sedangkan ion-ion yang lain (radikal netral) akan dibelokkan ke
dinding tabung. Ion dengan m/z lebih besar akan mencapai detektor lebih dulu diikuti m/z yang lebih
kecil. Sehingga arus listrik yang diterima detektor akan diperkuat dan spektrum massa dari sampel akan
direkam.
Berdasarkan pola ionisasi spektrometri massa dibagi menjadi :
1. EI-MS  Elektron Impact-Mass Spectrometer (Hard ionization)
 Pola ionisasi sampel dengan berkas elektron berenergi tinggi (electron bombard). Karena
energinya tinggi, maka fragmentasi banyak dan kelimpahan M⁺ relatif kecil. Intensitas
puncak ion molekul kecil, bahkan sering tidak nampak, sehingga kadang menyulitkan
interpretasi spektra.

2. CI-MS  Chemical Ionization-Mass Spektro-meter (Hard ionization)

 Pola ionisasinya menggunakan gas (seperti metan, isobutan atau ammonia) yang diionkan.
Energi ionisasi lebih kecil dibanding EI-MS sehingga fragmentasinya lebih kecil dan
kelimpahan relatif M⁺ tinggi. Dalam spectra CI, informasi mengenai BM molekul sampel
diperoleh dari protonasi molekul sampel, dan harga m/z yang diperoleh adalah satu unit lebih
besar dibanding BM yang sesungguhnya.

3. FAB-MS  Fast Atom Bombardment-Mass Spectrometer (Hard ionization)

 Pola ionisasinya menggunakan ‘fast atoms’ seperti He, Ne, Ar dan biasanya sampel
dilarutkan dulu dalam suatu matrix, misalnya gliserol kemudian dibombardment dengan fast
atom seperti Ne.

4. FD-MS  Field Desorption-Mass Spectro-meter (Soft ionization)

 Pola ionisasinya menggunakan medan magnet. Yang mana sampel diletakkan pada filament
dan dipanaskan secara gradual menggunakan medan listrik (electric field).

Spektrum Massa
Spektrum massa adalah suatu plot antara kelimpahan relatif vs m/z. Kelimpahan fragmen
tergantung pada kesetimbangan antara kecepatan pembentukkan dan dekomposisinya. Fragmen yang
paling melimpah dinyatakan mempunyai kelimpahan relatif (relative abundance = RA) 100% dan
disebut dengan base peak.
Kelimpahan Isotop

Dalam spektrum massa, ion bermuatan tunggal yang mengandung atom karbon akan juga
memberikan puncak pada satu mass unit lebih tinggi (M+1). Untuk ion yang mengandung n atom
karbon, kelimpahan puncak isotop ini adalah nx1,1 %.
Meskipun I dan F adalah monoisotopic, namun terdapat dua isotop Cl, yaitu 35Cl dan 37Cl
dengan rasio kurang lebih 3:1 dan dua isotop Br, yaitu 79Br dan 81Br dengan rasio kurang lebih 1:1.
Dengan demikian suatu ion molekul atau ion fragmen dengan satu atom Cl atau Br juga akan
memberikan puncak pada 2 mass unit lebih besar (M+2) dengan kelimpahan berturut-turut kurang lebih
30% dan 100% dari puncak (M+).
 The Effects of Sn Infiltration on Dry Reforming of Biogas at Solid Oxide Fuel Cell Operating
Conditions Over Ni-YSZ Catalysts
(IOP Conf. Series: Materials Science and Engineering (2019) 012064)
Katalis Ni diatas dukungan YSZ biasanya digunakan sebagai bahan anoda sel bahan bakar oksida
padat (SOFC) untuk mengkatalisis bahan bakar, biasanya hidrogen, dalam reaksi oksidasi elektrokimia
untuk menghasilkan listrik. Tujuannya adalah untuk menemukan bahan katalis anoda SOFC yang sesuai
untuk SOFC beroperasi pada biogas sebagai bahan bakar terbarukan dan berbiaya rendah.
Ada tantangan ketika biogas digunakan sebagai bahan bakar; biogas kering reformasi lambat dan
deposisi karbon merusak tidak dapat dihindari.
Proses ini menyimpulkan bahwa katalis Ni-YSZ yang didoping Sn telah meningkatkan reformasi
kering biogas pada suhu operasi SOFC dan menjanjikan keberhasilan operasi SOFC menggunakan
biogas, sumber bahan bakar terbarukan, untuk menghasilkan listrik berkelanjutan dengan efisiensi tinggi.
Sel bahan bakar merupakan alternatif yang menarik untuk metode pembangkit energi
konvensional. Tantangan pengoperasian SOFC dengan bahan bakar biogas langsung adalah rendahnya
daya yang dihasilkan yang berasal dari nilai kalor biogas yang lebih rendah dibandingkan dengan gas
alam dan tingginya kemungkinan deposisi karbon pada permukaan katalis anoda yang selalu menyertai
reformasi hidrokarbon dan dapat menyebabkan penurunan kinerja SOFC yang cepat.
Reaksi berlangsung di atas 400oC dan dapat diwakili oleh reaksi keseluruhan (1): CH4 + CO2
 2CO + 2H2 Kp800'C=300 Reaksi lain yang mungkin terjadi pada anoda SOFC dengan bahan bakar
hidrokarbon adalah reaksi water gas shift (WGS) (reaksi 6).

Untuk SEM, untuk karakterisasi mikrostruktur sel. Mikrogaf rinci, anoda berpori, elektrolit
padat dan katoda berpori. Permukaan anoda bagian yang kaya Zr membentuk bagian yang lebih
kontinu dibandingkan dengan Ni. Pori pori anoda diameter < 1 m. Untuk EDX, Sn terdistribusi dengan
baik di daerah Ni dan sedikit di Zr. Untuk XPS dan XRF, pada XRF muncul rhodium karena detector
mengandung Rh walaupun tidak ada di daftar komponen. XPS menunjukkan nilai tinggi 59,72 % berat
Sn/Ni ini menunjukkan bahwa kandungan Sn tertinggi pada permukaan anoda.
 .

1. Efek suhu operasi

Keduanya menunjukkan penurunan 50°C mengakibatkan penurunan H 2dan CO yang

dihasilkan sekitar 50%. Semakin rendah suhu semakin sedikit CO dan H2 diproduksi. Pada 650
°C sangat sedikit, maka aktivitas katalis NiYSZ ini pada 650 ° C sangat rendah. Hasil dry
reforming pada NiYSZ terinfiltrasi Sn menunjukkan H2 dan CO dua kali atau lebih tinggi.
Infiltrasi Sn meningkatkan dry reforming dari CH4 dan meningkatkan H2 dan produksi CO.
 Keduanya menunjukkan dry reforming CH4 sangat dipengaruhi oleh suhu; peningkatan suhu dari
750 ° C ke 800 ° C menghasilkan dua kali lipat konversi CO2dan CH4 dan dua kali jumlah CO
dan H2.

2. Efek komposisi pakan yang berbeda

Dari ketiga gambar menunjukkan bahwa katalis terinfiltrasi Sn mampu mengkatalis metana dry
reforming pada 650-800 °C dengan konversi pada 750 °C menghasilkan CO dan H2 dalam
jumlah yang cukup untuk oksidasi elektrokimia.
Keberhasilan penggunaan Sn sebagai dopan untuk katalis berbasis Ni dalam mengurangi deposisi
karbon selama operasi steam reforming. Dan sebagai dasar untuk evaluasi operasi SOFC dengan umpan
biogas langsung, hasil reformasi kering pada potongan anoda SOFC ini menunjukkan bahwa inflitrasi
anoda SOFC dengan dopan Sn meningkatkan hasil produk reformasi kering.
 Uji XRD dan XRF pada Bahan Mineral (batuan& pasir) Sebagai Sumber Material
(Jurnal Penelitian Fisika dan Aplikasinya)
ISSN : 2087 - 9946
Tujuan dari penelitian ini adalah mencari atau mengidentifikasi kandungan unsur oksida didalam
bahan alam jenis batuan atau pasir kuarsa dengan kemurnian tinggi (> 50%), khususnya sebagai sumber
oksida SiO2 (silica) dan CaCO3 (calsite). Bahan-bahan akan diproses dengan milling proses serbuk
untuk peningkatan kemurnian tinggi dan pengecilan ukuran pada orde nanometer. Dilakukan uji XRD
dan XRF pada sampel batuan yang diambil dari daerah Tulungagung, onik dari pulau Bawean-Gresik,
dan pasir dari Tuban dan Sumenep.
X-Ray Diffraction
Tiga metode untuk memastikan bahwa kedudukan bidang tertentu daripada hablur /
material yang dikaji memenuhi syarat-syarat Bragg pengukuran penyinaran, difraksi. Ketiga
metode ini adalah: (1) Metode difraksi Laue; (2) Metode hablur bergerak; dan (3) Metode
difraktometeri serbuk. Metode difraktometeri serbuk ialah untuk mencatat difraksi sampel
polikristal. Pada analisis struktur material berbasis bahan alam ini, digunakan alat difraktometer:

Peralatan yang digunakan adalah XRD (merk Philips). Hasil difraksi sinar-x dicetakkan
pada kertas dengan sumber pancaran radiasi Cu Ka dan dengan filter nikel. Data difraksi sinar-X
daripada sampel kemudian dibandingkan dengan kartu JCPDS (Joint Committee Powder
Diffraction Standard). Dari nilai difraksi sinar-X yang menghasilkan intensitas dan sudut difraksi,
dianalisis untuk menentukan jenis struktur kristalnya dengan mencocokan pada data ICSD
(Inorganic Crystal Structure Database) untuk semua sampel yang diuji.
X- Ray Fluorescence
Analisis menggunakan XRF dilakukan berdasarkan identifikasi dan pencacahan
karakteristik sinar-X yang terjadi dari peristiwa efek fotolistrik. Efek fotolistrik terjadi karena
elektron dalam atom target (sampel) terkena berkas berenergi tinggi (radiasi gamma, sinar-X). Bila
energi sinar tersebut lebih tinggi dari pada energi ikat elektron dalam orbit K, L, atau M atom
target, maka elektron atom target akan keluar dari orbitnya. Dengan demikian atom target akan
mengalami kekosongan elektron. Kekosongan elektron ini akan diisi oleh elektron dari orbital yang
lebih luar diikuti pelepasan energi yang berupa sinar-X. Skematik proses identifikasi dengan XRF
tampak pada gambar dibawah ini.
 Metode Penelitian
1. Pemilihan bahan alam
Bahan yang digunakan: batuan dan pasir dari daerah Tulung Agung, Tuban dan Sumenep.
Kemudian dilakukan pemilihan dan penghalusan hingga menjadi serbuk yang siap diuji
dengan XRD dan XRF.
2. Persiapan sampel uji
Sampel disiapkan dari bahan alam, kemudian dipilih dan diambil sebagian kecil diproses
ke bentuk serbuk selanjutnya diayak, kemudian siap untuk dilakukan uji XRD dan XRF.
Hasil uji difraksi sinar-X tersebut kemudian dianalisis kualitatif dengan metode search and
match. Analisis kualitatif XRD tersebut untuk menentukan struktur kristal dan komposisi
unsur-unsur oksida yang terkandung dalam material alam tersebut.

Sinar-X yang dihasilkan merupakan gabungan spektrum sinambung dan spektrum berenergi
tertentu (discreet) yang berasal bahan sasaran yang tertumbuk elektron. Jenis spektrum discreet yang
terjadi tergantung pada perpindahan elektron yang terjadi dalam atom bahan. Spectrum ini dikenal
dengan spektrum sinar-X karakteristik.
Spektrometri XRF memanfaat-kan sinar-X yang dipancarkan oleh bahan yang selanjutnya
ditangkap detektor untuk dianalisis kandungan unsur dalam bahan. Bahan yang dianalisis dapat berupa
padat massif, pelet, maupun serbuk. Analisis unsur dilakukan secara kualitatif maupun kuantitatif.
Analisis kualitatif menganalisis jenis unsur yang terkandung dalam bahan dan analisis kuantitatif
dilakukan untuk menentukan konsetrasi unsur dalam bahan. Sinar-X yang dihasilkan dari peristiwa
seperti peristiwa detektor semi konduktor Silikon Litium (SiLi).
Hasil difraksi sinar X (XRD) bahan alam (batuan dan pasir) yang diambil sebagai sampel yang
diambil dari beberapa daerah tersebut, diperoleh bahwa Batu_1(onik) dan Batu_2(putih) menunjukan
bahwa sampel tersebut mempunyai fase dominan struktur kristal Calsite (CaCO3), dan untuk pasir dari
Tuban dan Sumenep mempunyai fase dominan quartz (SiO2). Dan hasil XRF menunjukan kandungan
CaCO3 pada sampel batuan (onik) cukup tinggi (98,23%), dan untuk sampel pasir (Tuban dan Sumenep)
menunjukan kandungan oksida quartz (SiO2) dengan kemurnian yang tinggi (65,9 -76,8 %), dengan
impuritas terbanyak CaO dan Fe2O3 (20-28%). Meskipun sudah diperoleh jenis bahan alam sebagai
oksida dengan presentase yang tinggi, namun pemilihan metode sintesis untuk menghasilkan material
dengan ukuran nano merupakan studi lanjut yang harus dilakukan.
 Analisis Kerusakan X-Ray Fluoresence (XRF)
ISSN : 1979 - 2409
Spektrometer XRF adalah salah satu alat uji yang terdapat di laboratorium IRM-PTBN yang
digunakan untuk menganalisis unsur dalam bahan secara kualitatif maupun kuantitatif. Hasil analisis
kualitatif adalah teridentifikasinya jenis-jenis unsur makro yang terkandung dalam suatu bahan
berdasarkan energi sinar-x karakteristik yang dipancarkan oleh unsur dalam bahan tersebut.
Oleh karena itu perlu dilakukan analisis kerusakan. Tahap analisis dilakukan pengecekan melalui
pengamatan visual dan cara pengukuran langsung, Setelah dilakukan pengecekan secara visual maupun
pengukuran langsung didapat kerusakan pada bagian window detektor, modul spinner dan modul display
sample holder counter, dan detektor. Kerusakan modul spinner dan display disebabkan tetesan
kondensasi dewar yang jatuh pada papan modul yang menyebabkan short circuit pada rangkaian.
Analisis kualitatif memberikan informasi jenis unsur yang terkandung dalam bahan yang
dianalisis, yang ditunjukkan oleh adanya spektrum unsur pada energi sinar-x karakteristiknya.
Sedangkan analisis kuantitatif memberikan informasi jumlah unsur yang terkandung dalam bahan yang
ditunjukkan oleh ketinggian puncak spektrum.

Gambar 1. Spektrometer XRF ISSN 1979-2409 Analisis Kerusakan X-Ray Fluoresence (XRF) (Agus Jamaludin, Darma Adiantoro) 21
Gambar 2. Spektrum Energi Sinar-X Karakteristik Dalam Bahan Analisis menggunakan XRF dilakukan berdasarkan identifikasi dan

pencacahan sinar-x karakteristik yang terjadi dari peristiwa efek fotolistrik.

Pengujian menggunakan XRF mempunyai keunggulan tidak memerlukan preparasi bahan

uji yang rumit dan waktu pengujian yang singkat. Keunggulan tersebut menjadikan alat tersebut
digunakan sebagai langkah awal dalam analisis bahan sebelum dilakukan analisis unsur dalam
bahan lebih lanjut menggunakan alat uji yang lain. Dalam rangka pelaksanaan perbaikan alat
dilakukan analisisi kerusakan pada XRF yang dilakukan melalui 2 tahap, yaitu pengamatan secara
visual dan melakukan pengukuran langsung.

1) Pengamatan Secara Langsung

Ketidakstabilan Counting → Ketika XRF dinyalakan, pada monitor muncul tampilan
display untuk langkah pengoperasian XRF. Pada tampilan counter pada layar monitor
bagian bawah terlihat angka bergerak acak hingga nilai cacah mencapai 6 digit. Seharusnya
pada keadaan normal, counter menunjukkan hanya pada kisaran 0 s/d 10 cps.
Spinner Sample Holder Yang Berputar Terus Menerus → spinner sample holder dengan holder (tempat
sampel) yang berjumlah 10 lubang pada satu piringan akan bergerak menuju posisi holder 1 dan dan
berhenti secara otomatis pada posisi 1.

2) Metode Pengukuran
# Pengukuran Tegangan Bias Detektor → digunakan detektor Si-Li yang mempunyai tegangan kerja -
700 Vdc yang dibangkitkan oleh rangkaian elektronik dengan penguat akhir menggunakan trafo step
up.
# Pengukuran Modul Spinner → untuk menggerakan motor ac, counter holder, tampilan posisi sample
holder dan hubungan interface ke komputer.

Pengujian Pulsa → untuk memastikan adanya kerusakan pada detektor.

Pembahasan dan Hasil

1. Penyebab Kerusakan Modul Spinner → adanya short circuit pada rangkaian dan
komponen spinner yang rusak.
2. Penyebab Kerusakan Detektor → adanya kerusakan pada limit switch, tegangan
tinggi, dan sampel dengan kadar asam.

Kesimpulan → Kerusakan XRF meliputi dua hal yaitu, kerusakan pada modul spinner
dan kerusakan fungsi detektor.
 Pengujian Kemampuan XRF Untuk Analisis Komposisi Unsur Paduan Zr-Sn-Cr-Fe-Ni
(PTNBR- BATAN Bandung, 17 – 18 Juli 2007)
Metoda analisis menggunakan XRF memerlukan permukaan sampel yang homogen sehingga
analisis dapat mewakili komposisi unsur yang terkandung dalam bahan. Pada interaksi ini, elektron
dalam orbital kulit K akan terlempar dan terjadi kekosongan elektron pada kulit tersebut. Analisis
kandungan unsur dalam bahan ditentukan atas dasar sinar-x karakteristik yang dideteksi. Berdasarkan
manual alat maka spektrometer XRF mampu untuk mendeteksi unsur-unsur dengan energi karakteristik
sinar-x yang lebih besar dari 0,840 keV, sedangkan berdasarkan kebolehjadian terjadinya sinar yang
dideteksi maka spektrometer XRF digunakan untuk analisis unsur dalam bahan dengan konsentrasi lebih
besar dari 0,01 %.
Hasil analisis kualitatif ditunjukkan dalam bentuk spektrum yang mewakili komposisi unsur yang
terkandung dalam suatu bahan sesuai dengan energi karakteristik sinar-x masing-masing unsur, sedang
analisis kuantitatif dihitung menggunakan metode komparatif. Analisis yang menyangkut unjuk kerja
alat meliputi penentuan konfirmasi identitas, selektifitas, spesifisitas, limit deteksi untuk semua unsur,
linearitas dari standar, presisi dengan uji ripitabilitas dan reprodusibilitas dari standar. Dengan
perhitungan limit deteksi diperoleh batas minimum konsentrasi unsur dalam bahan yang masif dapat
terukur. Berdasarkan pustaka ASTM dan manual alat spektrometer XRF, permukaan bahan yang akan
dianalisis harus rata, halus dan bersih.
Pengukuran paduan zirkonium dengan menggunakan spektrometer XRF yang dilakukan
memberikan hasil berupa spektrum unsur-unsur yang terkandung dalam paduan tersebut dan nilai
intensitas unsur.

Pada Gambar tersebut dapat dilihat bahwa unsur dominan yang terdapat dalam bahan standar
paduan zirkonium adalah Sn, Cr, Fe dan Ni. Sumbu-X (mendatar/horizontal) merupakan energi
karakteristik sinar-x (keV), sedangkan sumbu-Y (tegak/vertikal) menunjukkan nilai intensitas
unsur (dicacah selama 300 detik).
 Pada gambar diatas menunjukan hubungan antara intensitas terhadap konsentrasi adalah linear,
Hal ini ditunjukkan oleh nilai R2 berkisar antara 0,97 sampai 0,99. ASTM menyatakan bahwa
ketepatan persamaan regresi dengan data ukur baik jika nilai R2 lebih besar dari 95%. Dari hasil
pengukuran simpangan baku pengukuran yang ditunjukan oleh nilai RSD yaitu <2%. Nilai tersebut
masih terima karena seperti yang dipersyaratkan nilai RSD <3%.
Untuk mengetahui hasil pengukuran paduan zirkonium dibanding nilai sertifikat mempunyai
perbedaan yang signifikan atau tidak, maka dilakukan uji-t. Nilai t dari perhitungan lebih kecil dari
0,5 sedangkan nilai t tabel adalah 2,45. Dari sini dapat dinyatakan bahwa nilai keduanya tidak

mempunyai perbedaan yang signifikan sehingga metoda XRF untuk penentuan unsur-unsur dapat
diterima.

Pada umumnya derajat kepercayaan yang diambil untuk pengukuran secara spektrofotometri
sebesar 95% dan akurasi pengukuran diperoleh dengan membandingkan nilai terukur terhadap nilai
sertifikat. Pengujian kemampuan untuk kerja XRF untuk analisis komposisi unsur-unsur paduan Zr-Sn-
Cr-Fe-Ni telah dilakukan dan hasil pengujian tersebut dapat disimpulkan bahwa akurasi pengukuran
berada dalam batas yang masih diterima yaitu lebih besar dari 90%. Hal ini menunjukkan bahwa tingkat
akurasi pengukuran unsur-unsur tersebut cukup baik dan untuk unsur Ni tingkat akurasinya paling
rendan karena kandungan Ni dalam bahan lebih kecil dibandingkan unsur lainnya.
 X-ray Photoelectron Spectroscopy

XPS juga dikenal dengan ESCA, yang merupakan teknik analisis permukaan yang paling
banyak digunakan karena relative sederhana dalam penggunaan dan interpretasi data.

Metode Analisis XPS

Intensitas dari photoelectron vs E atau KE

B

 Identifikasi unsur dan keadaan kimia unsur

 Komposisi relatif dari daerah konstituen di daerah
permukaan
 Struktur pita valensi,

Referensi energi ikat :

Instrumentasi

 Penganalisis energi elektron

 Sumber sinar-X
 Pistol Arion
 Penetral
 Sistem Vakum
 Kontrol elektronik
 Sistem Komputer

Sistem Ultrahigh Vacuum <10-9 Torr (<10-7 Pa)

o Deteksi electron
o Hindari reaksi permukaan/kontaminasi

Pemisahan antara dua puncak disebut pemisahan orbital spin. Nilai pemisahan orbital
spin tingkat into suatu unsur dalam senyawa yang berbeda hampir sama.

Perbandingan luas puncak suatu tingkat inti suatu unsur dalam senyawa yang
berbeda juga hampir sama

Spin dan rasio area puncak membantu dalam identifikasi elemen

Metode umum dalam membantu identifikasi puncak
(1) Memeriksa posisi puncak dan intensitas puncak relatif dari 2 puncak atau lebih (garis
fotoemisi dan garis Auger) suatu elemen
(2) Memeriksa pemisahan orbital spin dan rasio luas untuk puncak p, d, f

Departemen Pengambilan sampel

Λi = inelastis berarti jalur bebas elektron dalam padatan
Untuk elektron dengan intensitas yang dipancarkan pada kedalaman d di bawah permukaan,
intensitasnya dilemahkan menurut Beer-Lambert hukum. Jadi, intensitas Is dari elektron yang
sama saat mencapai permukaan adalah Is= Ioe-d/λ Dengan panjang lintasan satu 63% dari semua
elektron dihamburkan.
- Kedalaman pengambilan sampel didefinisikan sebagai kedalaman dari mana 95% dari semua
fotoelektron berada tersebar pada saat mencapai permukaan (3λ)
- Kebanyakan berada dalam kisaran 1-3,5 nm untuk radiasi AlKα
- Jadi kedalaman sampling (3λ) untuk XPS dalam kondisi ini adalah 3-10 nm

Quantitative XPS:1

Beberapa pengukuran kuantitatif XPS adalah sebagai akurat ±10%

Ii= Ni σi λi K
Dimana: Ii= intensitas puncak fotoelektron “p” untuk unsur “i” Ni = konsentrasi atom rata -rata unsur “ i”
di permukaan yang dianalisis i = penampang fotoelektron (Scofield factor) untuk elemen "i" seperti yang
dinyatakan oleh puncak "p" i = jalur bebas rata-rata tidak elastis fotoelektron dari elemen "i" seperti yang
dinyatakan oleh puncak "p" K = semua faktor lain yang terkait dengan deteksi
kuantitatif sinyal (diasumsikan tetap konstan selama exp 't).

Akurasi lebih baik dari 15% menggunakan ASF

Penggunaan standar yang diukur pada instrumen yang sama atau penuh
ekspresi di atas akurasi lebih baik dari 5%
Dalam kedua kasus, reproduktifitas (presisi) lebih baik dari 2%
Fungsi Transmisi → efisiensi deteksi penganalisis energi elektron, yang merupakan fungsi
dari energi elektron. Fungsi transmisi juga tergantung pada parameter elektron penganalisis
energi, seperti energi yang dilewatkan.

Analisis Kuantitatif
Scofield Cross-section Factors (σi) telah dihitung untuk setiap elemen dari teori hamburan,
khususnya untuk radiasi AlKα dan MgKα. Inelastic Mean Free Paths (λi) bervariasi dengan
energi kinetik fotoelektron. Dapat diperkirakan dari "kurva universal" atau dihitung (lebih baik).
Untuk lapisan permukaan multi-elemen yang terdiri dari elemen i, j, k.

Kesalahan dalam Kuantitasi

Ii = terkadang sulit untuk memisahkan "intrinsik" fotoelektron untuk hamburan "ekstrinsik"
fotoelektron yang terdiri dari latar belakang (± 5 - 100%)
σi = nilai yang dihitung (besarnya tidak diketahui)
λi = kesalahan estimasi ± 50%
Efek Kimia dalam XPS
Pergeseran kimia: perubahan energi ikat inti elektron suatu unsur karena perubahan dalam
ikatan kimia unsur tersebut.
Pandangan kualitatif: Energi ikat inti ditentukan oleh interaksi elektrostatik diantaranya
dan nukleus, dan dikurangi oleh: perisai elektrostatik muatan nuklir dari semua elektron lain dalam
atom (termasuk elektron valensi), serta penghapusan atau penambahan muatan elektronik sebagai
akibat dari perubahan ikatan akan mengubah perisai.

Penarikan atau pengurangan muatan elektron valensi → meningkat pada BE (oksidasi)

Penambahan muatan elektron valensi → menurunkan BE (reduksi)

Proses Fotoemisi dapat dilakukan dengan 3 langkah yaitu (a) Penyerapan dan ionisasi foton
(keadaan awal efek) (b) Respon atom dan pembentukan fotoelektron (efek keadaan akhir) (c)
Transpor elektron ke permukaan (efek ekstrinsik).
Teorema Koopman
BE elektron hanyalah perbedaan antara keadaan awal (atom dengan n elektron) dan keadaan
akhir (atom dengan n-1 elektron (ion) dan Fotoelektron bebas).
BE = Efinal(n-1) – Einitial(n)
Jika tidak ada relaksasi* yang diikuti fotoemisi, BE = - energi orbital, yang dapat dihitung dari
Hartree Fock. *"relaksasi" ini mengacu pada penataan ulang elektronik yang diikuti fotoemisi.

Pergeseran Kimia: Model Bola Bermuatan

Untuk atom tunggal j:
E = qve2/rv
qv = nomor elektron valensi
rv = radius rata-rata elektron valensi
ΔEb = Δqve2/rv
Tambahkan perubahan potensial interatomik
Eb = (Δqve2/rv) - ΔVij, dimana Vij = potensial atom i pada j
Contoh Pergeseran Kimia
Ketebalan Aluminium Oksida

Resolusi tinggi spektrum Al (2p) dari permukaan aluminium. hasil peak aluminium dan oksida
dapat digunakan untuk menentukan ketebalan oksida. Pada kasus ini, 3,7 nanometer.
Estimasi dari ketebalan oksida
Biasanya ikatan energi dari oksida dan spesies metalik dipisahkan oleh beberapa volts elektron.
Dengan demikian, ketika oksida memikili ketebalan (< 9 nm) memungkinkan untuk membedakan
kontribusi dari kedua oksida dan metal photoelectron. Untuk aluminium, ketebalan oksida (d)
diberikan sebagai:
– d (nm) = 2,8 ln ((1,4(Io/Im))+1)
– di mana Io dan Im adalah intensitas (area puncak) dari oksida dan puncak fotoelektron logam
masing-masing
Lewati Energi dan Transfer Lensa
(1) Untuk menyelesaikan elektron 1000 eV menjadi ± 0,5 eV akan membutuhkan alat analisa
dengan w=1 mm dan R=1,2 meter. Oleh karena itu, akan lebih mudah untuk memperlambat energi
dari elektron yang masuk sehingga mereka memiliki lebih rendah (dan konstan) energi saat mereka
melewati penganalisis. Sistem lensa yang memperlambat energi elektron juga memfokuskan energi
elektron dari sampel untuk meningkatkan keluaran.

CHA Analyzers – Mode Operasi

• Mode Retardasi “CAT”: Transmisi Constant Analyzer
• Karakteristik:
- Energi Pass Konstan di seluruh spektrum, oleh karena itu resolusi tetap di seluruh spektrum
- Kuantisasi lebih mudah karena transmisi diperbaiki
- Namun, transmisi tetap bekerja melawan high KE fotoelektron karena sebagian besar elektron
di sini adalah berserakan
- sudut penerimaan sempit
- Pass Energi α "Entendue"
Mode CRR – Rasio Perlambatan Konstan, tidak digunakan untuk XPS
 Keuntungan menggunakan monokromator sinar-X
• Lebar puncak sempit
• Latar belakang yang dikurangi
• Tidak ada satelit & puncak Hantu

1. Konvolusi

2. Dekonvolusi

Kerugian intrinsik dan ekstrinsik

Variasi struktur kehilangan energi Al2p
Asal-usul latar belakang XPS
- Kerugian ekstrinsik (peristiwa elektron-fonon) hamburan inelastic
- Kerugian intrinsik (peristiwa elektron-elektron) bagian dari peristiwa fotoemisi. keadaan akhir
alternatif.
Mengapa mempelajari latar belakang intrinsik? informasi tentang kedalaman dan distribusi
lateral elemen menggunakan metode QUASES yang dikembangkan oleh Sven tougaard

Hamburan tidak elastis

Latar belakang Tougaard mengembangkan prosedur pemasangan untuk ekor hamburan tidak
elastis, yang mungkin memberikan beberapa informasi tentang struktur permukaan lapisan,
seperti, lengkap cakupan oleh logam lapisan atau pembentukan cluster logam.
Analisis spektrum XPS Menggunakan QUASES
a) Kuantifikasi XPS tradisional mengasumsikan
- Permukaan luar sampel homogen
- Konsentrasi permukaan luar berbanding lurus dengan intensitas puncak
 b) Kuantifikasi yang lebih akurat harus mencakup puncak intensitas, bentuk puncak dan
energi latar belakang
c) Dalam spektroskopi fotoelektron elektron terdeteksi hasil dari dua proses
- elektron intrinsik – dari proses fotoelektron
- elektron ekstrinsik – dari hamburan fotoelektron melewati atom sekitarnya
d) Tergantung pada kedalaman atom yang memancarkan di dalam permukaan, serta
distribusi lateralnya, ekstrinsik porsinya akan berubah drastic
e) Gambar menunjukkan perhitungan teoritis dari bagian ekstrinsik dari spektrum 2p
tembaga sebagai fungsi posisi dan distribusi tembaga yang memancarkan atom dalam
matriks unsur lain

Kehilangan Plasmon puncak

Untuk beberapa bahan, ada kemungkinan yang ditingkatkan untuk kehilangan sejumlah energi
tertentu karena interaksi antara fotoelektron dan elektron lainnya.
Kalibrasi skala kedalaman
1. Tingkat sputtering ditentukan dari waktu yang dibutuhkan untuk sputtering melalui
lapisan bahan yang sama dengan ketebalan yang diketahui.
2. Setelah analisis sputtering, kedalaman kawah diukur menggunakan profilometer
kedalaman. Tingkat sputtering konstan diasumsikan.
Faktor yang mempengaruhi profil kedalaman
Faktor instrumental:
- Adsorpsi dari atmosfer gas sisa
- Reposisi spesies tergagap
- Kotoran dalam berkas ion
- Intensitas berkas ion tidak seragam
- Intensitas berkas ion bergantung waktu.
Karakteristik sampel:
- Informasi mendalam (IMFP)
- Kekasaran permukaan asli
- Struktur kristal dan cacat (Penyaluran)
- Paduan, senyawa, fase kedua (Preferensial tergagap dan kekasaran yang diinduksi).
Efek akibat radiasi
- Implantasi ion primer
- Pencampuran atom
- Kekasaran yang disebabkan oleh percikan
- Sputtering preferensial dan dekomposisi senyawa
- Peningkatan difusi dan segregasi
- Desorpsi yang diinduksi elektron
- Pengisian isolator (analisis distorsi;elektromigrasi)

Kerusakan sinar-X
Beberapa sampel dapatrusak oleh x-ray. Untuk sampel yang sensitif, ulangi pengukuran dua kali
untuk memeriksa x-ray kerusakan.
Puncak guncangan
Untuk beberapa bahan, ada kemungkinan terbatas bahwa proses fotoelektronik mengarah ke
pembentukan ion dalam keadaan tereksitasi dengan beberapa eV di atas keadaan dasar.
 1. Kompensasi pengisian (Charging Compensation)
Untuk sampel logam atau konduktor
lainnya yang dihubungkan ke
spectrometer. Elektron bergerak ke
permukaan terus menerus untuk
mengkompensasi kehilangan elektron
di daerah permukaan.

Teknik Referensi Energi Binding pada sampel isolasi dengan enggunaan kontaminan
berbasis karbon tambahan
 paparan udara
 kontaminasi karena minyak pemompaan
 tambahkan

sikloheksana Teknik pengisian

kompensasi

Jika intensitas electron cukup tinggi. Biasanya, pada kesetimbangan, potensial permukaan
< energi berkas electron atau sama.
2. Microscopic Analysis and Imaging Using Photoelectron Spectroscopy
Medan perendaman magnet yang kuat digunakan untuk
mengekstrak fotoelektron dari fase terlokalisasi. Efisiensi
pengumpulan yang tinggi memungkinkan gambar diperoleh
dalam beberapa menit. Gambar "dikoreksi" untuk geometri
permukaan. Resolusi ~ 1µm. Spektrum dapat diekstraksi dari
daerah sekecil 15 µm.
 3. Analisis area kecil dan XPS imaging

1. Ukuran titik ditentukan oleh penganalisis,

2. Oleh sinar x-ray. baik anoda monokrom dan ganda sumber x-ray dapat
digunakan.

Teknik XPS imaging

1. Memindahkan sample stage

2. Penggunaan pelat pemindai

3. Penggunaan plat multichannel

 Kromatografi Gas Spektrometri Massa (GCMS)
A. Dasar-dasar GC
GC dikenal juga sebagai kromatografi partisi gas-padat atau gas-cair karena distribusi
senyawa antara fase diam padat/cair dalam kolom dan fase gerak gas. Campuran sampel
disuntikkan, diuapkan, dan mengalir ke kolom yang dikontrol secara termal oleh gas inert.
Senyawa sampel dapat berinteraksi dengan fase diam melalui berbagai gaya antarmolekul
seperti gaya Van der Waals dan interaksi dipol-dipol. Beberapa senyawa cenderung
berinteraksi lebih kuat karena polaritasnya, sehingga menghasilkan konsentrasi yang lebih
tinggi dalam fase diam dibandingkan dengan fase gerak (yaitu koefisien partisi yang lebih
tinggi). Oleh karena itu, senyawa tersebut tertahan lebih lama di dalam kolom dan memiliki
waktu retensi (RT) yang lebih lama dibandingkan dengan senyawa yang memiliki interaksi
dengan fase diam lebih lemah. Waktu retensi merupakan waktu yang dibutuhkan senyawa
untuk melakukan perjalanan dari port injeksi ke detektor.
Pemisahan senyawa dalam GC terutama tergantung pada dua faktor: (i) polaritas (yaitu
interaksi senyawa dengan fase diam dalam kolom GC) dan (ii) titik didih senyawa (yaitu
volatilitas). Semakin rendah titik didih, semakin tinggi kecenderungan senyawa berada dalam
fase gas; dengan demikian, ia bergerak lebih cepat dalam bentuk gas melalui kolom. Senyawa
dengan titik didih yang sama, terelusi sehubungan dengan polaritasnya, di mana senyawa yang
interaksinya lebih lemah dengan fase diam dielusi terlebih dahulu. Senyawa dengan polaritas
yang sama dielusi dalam urutan kenaikan titik didih, di mana senyawa dengan titik didih yang
lebih rendah memiliki waktu retensi yang lebih pendek.
Aplikasi Kromatografi Gas
a. Minyak, Gas, dan Kimia → Analisis belerang, gas anorganik & hidrokarbon ringan
b. Pengujian Lingkungan → Analisis polutan lingkungan yang mudah menguap (volatil)
c. Toksikologi Forensik → Analisis steroid dan obat-obatan
d. Makanan & Minuman → Analisis pestisida, zat aditif, dan kontaminan
e. Farmasi → Analisis pengotor dan pelarut sisa
f. Rasa & Aroma → Analisis aroma dalam parfum, minuman anggur, dan kopi
 Instrumen GC

Kolom
Pemisahan terutama dicapai dengan menggunakan kolom dan oven yang
dikontrol suhu. Ada berbagai jenis kolom GC seperti yang ditunjukkan pada gambar
dibawah ini.

Secara umum, ada beberapa parameter kolom yang mempengaruhi pemisahan, yaitu
dimensi kolom (misalnya panjang dan diameter dalam) serta komposisi dan ketebalan fase diam.
Pemilihan jenis dan komposisi fase diam tergantung pada analisis dan sebagian besar kolom
terbuat dari polimer.
Dengan fase diam yang berbeda, interaksi (misalnya Van der Waals, -π, interaksi
elektrostatik dipol dan ikatan hidrogen) dan polaritas kolom dapat diubah untuk memisahkan
senyawa dalam campuran. Kolom khusus juga tersedia untuk beberapa aplikasi spesifik
(misalnya asam, pestisida dan difenil eter polibrominasi). Dengan kolom ini, GC dapat
dioperasikan baik dalam mode isotermal atau terprogram suhu. Program suhu yang tepat
diperlukan untuk mencapai pemisahan dan resolusi tinggi analit. Setelah pemisahan, analit
terelusi dari kolom dan menghasilkan sinyal atau respons dari detektor.
Detektor
Detektor digunakan untuk menentukan keberadaan dan jumlah analit dalam campuran.
Ini umumnya mengukur properti fisikokimia dan data ini diubah menjadi sinyal dan diplot
terhadap waktu retensi untuk mendapatkan kromatogram. Luas puncak dan/ atau tinggi puncak
sesuai dengan jumlah senyawa yang ada dalam sampel sedangkan waktu retensi dapat
digunakan untuk membedakan identitas senyawa.
Ada beberapa detektor GC yang tersedia, diantaranya yaitu FID, TCD,
ECD, FTD, SCD, dan FPD. Detektor yang ideal harus memiliki sifat-sifat seperti sangat
sensitif, tidak terpengaruh oleh variasi lain, linieritas yang sangat baik, mampu mengukur dan
mengidentifikasi, tidak merusak, cepat, stabil, dan mudah digunakan.

B. Pengantar GCMS
Spektrometri massa (MS) adalah teknik deteksi yang sangat sensitif yang membentuk,
memisahkan dan mendeteksi ion dalam fase gas. Ketika digabungkan ke GC, ia segera
mengionisasi senyawa gas yang dielusi, memisahkan ion dalam ruang hampa berdasarkan rasio
massa terhadap muatannya (m/z) dan akhirnya mengukur intensitas setiap ion. MS adalah salah
satu dari banyak detektor GC tetapi tidak seperti detektor lainnya, MS dapat melakukan analisis
kuantitatif dan kualitatif. GCMS memisahkan dan menghitung sampel multi-komponen dan
kompleks matriks, serta memiliki kemampuan untuk mengidentifikasi senyawa yang belum
diketahui.
 Instrumen GCMS

Sistem Antarmuka dan Pemompaan Vakum

Antarmuka berfungsi sebagai jembatan yang menghubungkan GC dan MS. Bersama
dengan sistem pemompaan vakum, mereka menurunkan tekanan untuk memenuhi persyaratan
vakum tinggi dari MS. Antarmuka kedap gas dan dipertahankan pada tekanan rendah dan
konsisten oleh pompa. Gas pembawa dapat dihilangkan pada langkah ini. Dengan pemanas,
suhu antarmuka dijaga tetap tinggi (misalnya 50 – 350 °C) untuk memastikan bahwa senyawa
terelusi dari GC tetap berada dalam fase gas dan hanya senyawa volatil yang masuk ke MS.
Kolom kapiler biasanya digunakan dalam GCMS. Tekanannya yang rendah dan laju aliran yang
rendah memungkinkan antarmuka dan koneksi yang lebih mudah ke MS melalui antarmuka
GCMS langsung.
Sistem pemompaan vakum sangat diperlukan untuk mencapai penerbangan bebas ion
dalam MS. Sistem dapat terdiri dari berbagai pengaturan dan pengaturan pompa, misalnya,
pompa vakum tunggal atau sistem pompa vakum diferensial. Dengan satu pompa, beban kerja
untuk mencapai vakum tinggi sepenuhnya hanya pada satu pompa. Dalam hal laju aliran gas
pembawa GC meningkat lima kali, kapasitas pemompaan dan kecepatan harus sama lima kali
lebih besar untuk mencapai vakum yang sama. Sistem lain, pemompaan diferensial,
memperoleh vakum tinggi dalam beberapa tahap. Hal ini biasanya digunakan untuk perbedaan
besar dalam tekanan (misalnya GC atmosfer ke MS vakum tinggi). Dengan pendekatan bertahap
ini, MS dibagi menjadi beberapa ruang vakum dan secara bertahap mencapai vakum tinggi yang
dibutuhkan. Hal ini memungkinkan pompa menjadi lebih sedikit beban dan sistem tidak mudah
terpengaruh. Itu juga mampu membeli lebih banyak gas pembawa (laju aliran lebih tinggi) di
GC.
Antarmuka GCMS Langsung

Sumber Ion
Dalam GCMS, sumber ion mengubah molekul gas menjadi ion bermuatan melalui
penembakan elektron atau tumbukan/reaksi dengan gas reagen. Ionisasi elektron (EI) dan
Ionisasi kimia (CI) adalah mode ionisasi utama yang digunakan dalam GCMS.
Ionisasi Elektron (EI)  adalah sumber ion khas untuk GCMS. Seperti namanya, elektron
bertumbukkan dengan molekul gas untuk membentuk ion. Elektron dihasilkan dari filamen
yang dipanaskan dan dipercepat oleh tegangan tinggi menuju ruang sumber ion. Molekul gas
yang dielusi dari GC bertabrakan dengan elektron ini (yaitu berkas elektron 70eV) di ruang
EI. Dari tumbukan, sebuah elektron dilepaskan dari molekul untuk membentuk ion molekul
(M+). Dalam beberapa kasus, ion molekul stabil dan tidak mengalami fragmentasi lebih lanjut.
Hampir selalu, ionisasi pada EI tidak hanya berhenti pada ion molekul (M+). Terdapat
kelebihan energi dan ion molekul meta-stabil (M+*) dapat diproduksi. Ketidakstabilan ion
M+* ini dan kelebihan energi menyebabkan fragmentasi lebih lanjut menjadi ion m/z yang
lebih kecil (juga dikenal sebagai ion fragmen). Karena alasan ini, EI sering disebut sebagai
hard ionization di mana fragmentasi cukup luas dan ion molekuler jarang diamati. Ion-ion ini
(ion fragmen bermuatan) diproduksi dan kemudian dipercepat ke penganalisis massa.

Ionisasi Kimia (CI), jenis ionisasi lunak, sering digunakan dalam GCMS untuk
mendeteksi ion molekuler. CI ada dalam dua mode: positif dan negatif dan biasanya digunakan
sebagai teknik ionisasi komplementer untuk EI. Dalam Ionisasi Kimia Positif (PCI), ion positif
menarik dan dihasilkan dan diekstraksi dalam proses ionisasi. Di sisi lain, selama Ionisasi
Kimia Negatif (NCI), ion negatif diperoleh dan sebagian besar terbentuk.
Detektor
Detektor dapat diklasifikasikan sebagai detektor titik atau array. Pilihannya terutama
tergantung pada penganalisis massa yang digunakan, dan apakah ion-ion tersebut terpecahkan
secara spasial. Umumnya, detektor titik cocok untuk MS berbasis waktu di mana ion
dipisahkan sementara dan dideteksi secara berurutan pada titik tetap. Di sisi lain, array-
detektor berjalan bersama-sama dengan MS berbasis ruang di mana ion diselesaikan secara
spasial dan dipisahkan berdasarkan deviasinya dalam hal radius jalur atau kecepatan.
Parameter Penting yang Perlu Diperhatikan Saat Menggunakan GCMS
Pertama, pemilihan kolom sangat penting dalam GCMS. Diameter internal dan
panjang kolom GC mempengaruhi tekanan vakum di MS. Menggunakan kolom dengan
diameter internal yang lebih besar memungkinkan laju aliran gas pembawa yang lebih tinggi
dan membutuhkan sistem pemompaan vakum yang lebih kuat dan efektif. Juga, jenis dan
bahan kolom merupakan faktor penting lainnya.
Dalam GCMS, kolom yang digunakan biasanya kolom kapiler (yaitu WCOT) dan
bukan kolom kemas. Ini karena MS harus dipertahankan pada tekanan yang sangat rendah
sekitar 10-3 hingga 10-4 Pa. Gas pembawa GC adalah parameter lain yang perlu diperhatikan
saat menggunakan GCMS. Penting untuk memastikan kompatibilitas dengan sampel,
komponen GCMS, dan sumber ion. Penggunaan hidrogen sebagai gas pembawa menyebabkan
masalah untuk GCMS karena tekanan sumber ion tidak dikalibrasi dengan benar oleh nitrogen
dengan adanya hidrogen. Ini akan terbukti menjadi masalah untuk difusi kapasitas rendah dan
pompa turbomolekul untuk menghilangkan hidrogen dari sumber ion dan dengan demikian
mempengaruhi tekanan vakum. Viskositas rendah hidrogen juga cenderung menyebabkan
pelebaran puncak atau tailing di GCMS. Penggunaan kolom yang lebih panjang atau kolom
dengan diameter dalam yang lebih kecil lebih disukai untuk mengurangi efek pelebaran
puncak/ tailing. Secara keseluruhan, parameter ini perlu dicatat dan dimodifikasi untuk
memperoleh hasil GCMS yang sensitif dan dapat direproduksi.
C. Penganalisis Massa dalam GCMS
Sektor Magnetik MS
Sektor magnetik, penganalisis massa kontinu, telah digunakan di GCMS paling lama
dalam sejarah. Sesuai dengan namanya, penganalisis massa menggunakan medan magnet
untuk memisahkan ion-ion yang berbeda m/z. Tegangan tinggi diterapkan untuk mempercepat
ion ke dalam penganalisis massa. Ion kemudian terkena medan magnet dan dibelokkan sesuai
dengan aturan tangan kiri Fleming1. Pembelokan yang dialami oleh ion berbeda dan
didasarkan pada m/z dimana ion dengan m/z yang lebih rendah akan lebih banyak mengalami
defleksi.
Karakteristik utama dari penganalisis massa sektor magnetik adalah resolusi tinggi dan
rentang dinamis yang lebar. Selain penganalisis massa sektor magnetik tunggal, ada juga
model MS dengan sektor listrik dan sektor magnetik dalam satu MS, yang dikenal sebagai MS
pemfokusan ganda. Pengaturan pemfokusan ganda ini mampu memfokuskan dan menyatukan
ion dari energi yang berbeda dan massa yang identik sehingga memperoleh resolusi massa
yang lebih tinggi daripada model pemfokusan tunggal.

Quadrupole MS
Penganalisis massa quadrupole paling banyak digunakan di GCMS. Ini sangat ideal
karena desainnya yang ringkas, sensitivitas tinggi, biaya rendah, serta pengoperasian dan
perawatan yang mudah. Penganalisis massa quadrupole berfungsi dengan memindai ion dan
memungkinkan transmisi ion. Dengan kata lain, ion ditransmisikan dan dideteksi secara
berurutan dari m/z terendah ke tertinggi dalam rentang m/z yang dipilih.
Ion yang dihasilkan dari sumber ion terus mengalir dan dipercepat dalam arah z dengan
tegangan yang relatif lemah hanya beberapa lusin volt. Ion-ion ini melewati lubang kecil dan
memasuki quadrupole. Arus searah (DC) dan arus bolak-balik frekuensi tinggi atau frekuensi
radio (RF) diterapkan ke empat batang di mana batang yang berlawanan secara diagonal
memiliki polaritas tegangan yang sama dan batang yang berdekatan memiliki polaritas
tegangan yang berlawanan. Dengan tegangan yang diterapkan pada batang, medan listrik
dengan fase yang berubah-ubah dengan cepat dihasilkan dalam penganalisis massa. Akibatnya,
ion yang melewati medan listrik ini berosilasi dalam arah x dan y.
Dengan set tegangan DC dan RF yang sesuai, ion tertentu dari rentang m/z
mempertahankan osilasi stabil dan melewati quadrupole untuk mencapai detektor. Jalur ion-
ion ini mengikuti jalur ion resonansi. Sebaliknya, osilasi ion non-target (dari nilai m/z lain)
menjadi tidak stabil, menyebabkan mereka bertabrakan ke batang atau terbang keluar dari
sistem dan tidak terdeteksi. Dalam melakukannya, penganalisis massa quadrupole bertindak
seperti filter massa di mana hanya ion m/z terpilih yang melewati penganalisis massa. Ketika
tegangan DC dan RF ini divariasikan, rentang m/z “dipindai” dan ion-ion ditransmisikan ke
detektor. Jumlah ion yang mencapai detektor diubah menjadi sinyal elektronik dan keluaran
ke komputer. Data dan spektrum massa dari rentang m/z yang dipilih ditangkap.

Time-of-Flight (TOF) MS
Tidak seperti sektor magnetik dan quadrupole, TOF MS adalah penganalisis massa
berdenyut dan non-pemindaian. TOF MS memiliki konstruksi sederhana yang terdiri dari
akselerator, daerah bebas medan, reflektor dan detektor di dalam ruang vakum tinggi (juga
dikenal sebagai flight-tube). TOF MS memisahkan dan mendeteksi ion dengan waktu
penerbangan yang bervariasi untuk ion dengan m/z yang berbeda.
Ion yang dihasilkan dalam sumber ion diakumulasikan dan dimasukkan dalam bentuk
pulse ke flight-tube. Ion-ion ini dipercepat dengan menerapkan tegangan percepatan tinggi
antara elektroda. Mengingat tegangan percepatan serta energi kinetik konstan, setiap ion
terbang dengan kecepatan yang unik di dalam flight-tube untuk mencapai detektor ion di mana
ion dengan m/z yang lebih kecil berjalan lebih cepat daripada ion dengan m/z yang lebih besar.