Anda di halaman 1dari 4

TF3205 ANALISIS TERMAL

13 April 2010

SISTEM HVAC CLEANROOM


VICTOR SAMUEL (13307105)
Program Studi Teknik Fisika, Fakultas Teknologi Industri, Institut Teknologi Bandung,
Jalan Ganesha 10, Bandung 40132, Indonesia (e-mail: vctr_sml@yahoo.com)

A rapid development of nanotechnology product fabrication raises the necessity of cleanroom


significantly. The classification of cleanroom is determined by the amount and the size of existing
particles in the room. Mainly, there are two kinds of air that are dealed in the cleanroom—makeup
air and recirculating air. Both—with different treatment—need to be controlled to maintain the
cleanroom parameter.

Keywords: cleanroom, HVAC, refrigeration, filtration, humidification, dehumidification,


makeup air, recirculating air

berukuran yang lebih kecil dari 100 nanometer.


INTRODUKSI Sebagai pembanding, tebal rambut manusia
berukuran 80 000 nanometer dan partikel debu
Perkembangan teknologi nano saat ini mengalami yang kita temui sehari-hari berukuran sekitar 500
kemajuan yang pesat dan akan semakin pesat di nanometer. Secara ekstrem, kita dapat bayangkan
tahun-tahun mendatang. Produk teknologi nano manufaktur teknologi nano dilakukan di udara
sudah mulai banyak terjual di pasar dan terus bebas. Jutaan partikel debu dengan ukuran akan
mengalami pengembangan seiring perkembangan “menghantam” sistem yang sedang dirancang.
sains material (seperti carbon nanotubes atau Maka cleanroom harus ada.
struktur nanokomposit atau partikel nano) atau
proses nanoteknologi (seperti nanopatterning atau Jenis udara di dalam cleanroom dibagi menjadi
quantum dots untuk pencitraan medis). Produk- dua: (1) makeup air yang berasal dari udara luar
produk ini terus dikembangkan dengan dan (2) recirculating air (udara sirkulasi) yang terus
menciptakan komponen-komponen yang lebih menerus diputar di dalam cleanroom—secara
kecil dan yang memiliki kinerja yang lebih baik dan unidirectional (laminer) ataupun multidirectional
tentunya dengan harga yang lebih murah. Maka, (turbulen).
banyak perusahaan manufaktur “produk nano”
akan tumbuh pesat dan akan mendominasi semua
perusahaan industri.
(1) KLASIFIKASI CLEANROOM
Cleanroom digolongkan berdasarkan berapa bersih
Manufaktur produk teknologi nano yang udara di dalamnya. Ada dua standar yang
meningkat pesat itu menyebabkan semakin digunakan untuk ini: ISO dan US Federal Standards.
pentingnya kebutuhan akan cleanroom. Cleanroom ISO memberi nomor secara sekuensial dari 1.
adalah suatu lingkungan yang dikondisikan secara Cleanroom dengan kelas ISO 1 berarti ada kurang
(2)
khusus tempat manufaktur itu terjadi . dari sepuluh partikel setiap 0.1 mikrometer kubik.
Kebutuhan akan cleanroom terutama terkait ISO 2 berarti ada kurang dari 100 partikel per 0.1
dengan ukuran produk yang dimanufaktur. Sesuai mikrometer kubik. ISO 3 berarti 1000 dan
namanya, teknologi nano berurusan struktur
TF3205 Analisis Termal
13 April 2010 Victor Samuel

seterusnya. Penomoran US Federal Standards mengarahkan udara lurus dari atas ke bawah
adalah 1, 10, 100, 1000, dan seterusnya. (Gambar 1). Arsitektur cleanroom juga didesain
Penomoran ini secara sedeharan menunjukkan sedemikian rupa sehinga tidak menimbulkan
(3)
jumlah partikel setiap 0.5 mikrometer kubik. banyak turbulensi udara.

Filter HEPA digunakan untuk menyaring dan


PENYARINGAN UDARA SIRKULASI membersihkan air yang masuk ke dalam
Untuk menjaga kebersihan cleanroom diperlukan cleanroom. Filter laminer biasanya terdiri dari
penyaringan (filter) terhadap udara di cleanroom. stainless steel atau material lain yang dapat
Biasanya, metode filter yang digunakan adalah menahan jumlah partikel yang yang masuk ke
highly efficient particulate air (HEPA) atau ultra dalam cleanroom. Filter-filter laminer biasanya
(3)
low particulate air (ULPA). memakan tempat 80% dari langit-langit.

Filter HEPA, dengan efisiensi 99.97% pada partikel


berukuran 0.3 mikron, telah menjadi andalan
industri cleanroom selama bertahun-tahun dan
masih banyak digunakan dalam industri farmasi.
Sedangkan filter ULPA dengan efisiensi 99.9995%
pada partikel berukuran 0.12 mikron telah banyak
digunakan untuk cleanroom berkelas ISO 1 sampai
(4)
dengan ISO 4.

Kedua jenis filter ini dapat digunakan untuk


menyaring dua jenis aliran udara yang sengaja
dibiarkan mengalir pada cleanroom, yakni aliran
udara unidirectional (laminer) dan aliran udara
multidirectional (turbulen).

GAMBAR 2. CLEANROOM DENGAN POLA ALIRAN UDARA


TURBULEN (4)

Selain unidirectional airflow cleanroom di atas, ada


juga non-unidirectional airflow cleanroom yang
menggunakan aliran air turbulen untuk
membersihkan udara dan mempertahankan
kebersihan cleanroom (Gambar 2). Aliran udara
turbulen menyebabkan pergerakkan partikel
searah dengan aliran udara. Ini memang membuat
pemisahan udara dengan partikel menjadi lebih
sulit, namun justru dengan pergerakan yang acak
itulah partikel dapat keluar dari ruangan.

PENDINGINAN UDARA SIRKULASI


GAMBAR 1. CLEANROOM DENGAN POLA ALIRAN UDARA
LAMINER (4) Sensible heat ratio (perbandingan antara beban
kalor sensibel dengan total beban refrigerasi)
Aliran udara laminer adalah udara yang mengalir kebanyakan cleanroom bernilai lebih dari 95%.
lurus satu arah (unidirectional), tanpa dihalangi Pendinginan biasanya dibutuhkan sepanjang tahun
atau dibelok-belokkan. Aliran udara ini terus karena adanya kalor yang dihasilkan dari kipas
menerus dipertahankan di dalam cleanroom aliran udara dan juga dari perlengkapan proses
melalui suatu saluran udara laminer yang
TF3205 Analisis Termal
13 April 2010 Victor Samuel

yang ada di dalam cleanroom. Lima persen kalor Udara luar yang masuk ke dalam cleanroom harus
laten biasanya dikeluarkan oleh pekerja. dikondisikan—menjadi makeup air—supaya
mempertahankan tekanan positif di dalam
cleanroom supaya jika terjadi
kebocoran, udara berpindah dari
cleanroom ke luar, bukan
sebaliknya. Makeup air menjadi
sangat mahal karena harus memiliki
kelembaban, kandungan, dan
kebersihan tertentu sebelum mauk
ke dalam cleanroom. Karena
kebutuhan makeup air tidak bisa
dihindarkan, jumlahnya harus
diminimalkan dengan kemungkinan
yang memenuhi syarat konservasi
energi dan ekonomi.

GAMBAR 3. NON-UNIDIRECTIONAL CLEANROOM DENGAN KIPAS, AIR HANDLER, DAN Tekanan dalam cleanroom biasanya
MAKEUP AIR UNIT (4) ditahan tetap positif relatif terhadap
udara lingkungan. Secara umum,
Di dalam cleanroom dengan kelas sangat bersih
perbedaan 12 Pa direkomendasikan. Perbedaan
atau menengah, sebagian besar udara yang
tekanan yang terlalu besar dapat menimbulkan
mengalir di dalam ruangan tidak dikondisikan,
suara siulan di sela-sela lubang dan membuat
hanya disirkulasikan kembali oleh kipas.
pintu sulit dibuka (atau ditutup). Di dalam ruang
Pengondisian udara dilakukan dengan air handler
yang memiliki tingkat kebersihan yang berbeda-
dengan menarik sebagian kecil dari total aliran
beda, biasanya dijaga perbedaan tekanan sebesar
udara, lalu mendinginkannya, lalu dikembalikan ke
5 Pa di antara masing-masing ruang yang
dalam aliran udara utama sebelum mencapai kipas
berbatasan, dengan tekanan yang lebih tinggi pada
(Gambar 3). Temperatur dari udara yang masuk ke
ruang dengan tingkat kebersihan yang lebih tinggi.
dalam cleanroom itu mungkin hanya beberapa
derajat lebih dingin karena besarnya volum udara Makeup air handler harus mengkondisikan udara
total yang didinginkan. Perbedaan temperatur luar supaya sesuai dengan parameter desain
yang kecil ini mengijinkan filter HEPA/ULPA yang cleanroom. Untuk itu, dibutuhkan penyaringan,
dipasang di langit-langit, dengan aliran udara turun pemanasan awal (pre-heating), pendinginan,
yang tidak terlalu dingin bagi pekerja di bawahnya. pemanasan kembali (reheating), dehumidifikasi
dan humidifikasi.
Di dalam cleanroom dengan kelas kebersihan yang
lebih rendah (atau lebih “kotor”), total aliran Di dalam dengan tingkat kebersihan yang tinggi,
udara, dalam beberapa kasus, dapat didinginkan biasanya penyaringan dibuat tiga lapis: (1) pre-
secara normal. Namun, air yang masuk ke dalam filter dengan efisiensi ASHRAE 30%, (2) filter
ruangan dapat 8.3 sampai 11°C lebih dingin dari menengah dengan efisiensi 95%, dan (3)
air yang keluar, yang dapat membuat pekerja HEPA/ULPA filter. Pada tingkat kebersihan yang
dibawahnya tidak nyaman. Untuk itu, diperlukan lebih rendah, dapat dipakai dua filter yang
diffuser atau strategi lain untuk meminimalkan pertama.
ketidaknyamanan tersebut.
Pemanasan awal (pre-heating) sebelum masuk
ruangan biasanya digunakan ketika temperatur
MENANGANI UDARA LUAR: luar berada di bawah 4°C di musim dingin.
MAKEUP AIR Pendinginan dan dehumidifikasi dilakukan di
dalam kumparan dingin dengan titik embun (dew
TF3205 Analisis Termal
13 April 2010 Victor Samuel

point) yang diinginkan di dalam cleanroom sebesar April 13, 2010.]


5.6°C. Karena temperatur tabung kering (dry-bulb) http://www.coastwidelabs.com/Technical%20Artic
ruangan dengan tingkat kebersihan tinggi dengan les/Cleaning%20the%20Cleanroom.htm.
pekerja berpakaian khusus dapat ditahan sebesar
19°C, maka biaya kontrol kelembaban—dengan 3. Cleanroom Air Principles. ThomasNet. [Online]
pendinginan—dapat ditekan lebih kecil di titik RH [Cited: April 13, 2010.]
40%. http://www.thomasnet.com/articles/automation-
electronics/Cleanroom-Air-Flow-Principles.
Pemanasan kembali (reheating) dibutuhkan untuk
meningkatkan temperatur yang keluar dari 4. Designing Clean Room HVAC Systems.
kumparan pendingin setelah dehumidifikasi—oleh Schneider, Raymond K. October-December 2001,
pendinginan. Dalam menghitung pemanasan s.l. : Indian Society of Heating, Refrigerating and
kembali, kalor yang ditambahkan dari kipas Air Conditioning Engineers, 2001.
dimasukkan ke dalam perhitungan. Ini dapat
5. Wikipedia Foundation, Inc. Cleanroom.
signifikan di dalam cleanroom dengan tingkat
Wikipedia -- The Free Encyclopedia. [Online] April
kebersihan tinggi.
3, 2010. [Cited: April 13, 2010.]
Makeup air unit juga harus melakukan http://en.wikipedia.org/wiki/Cleanroom.
pendinginan laten dan humidifikasi. Diasumsikan
kapasitas kalor laten diperoleh dari para pekerja
dan uap air yang masuk dari luar. Ini tergantung
dari kondisi udara luar, kondisi udara sekitar clean
room, dan proses yang terjadi yang mungkin dapat
menambahkan kandungan uap air ke dalam aliran
udara.

Di dalam cleanroom dengan kandungan udara luar


lebih rendah, unit pendingin sensibel dapat
didesain sebagai pengatur udara laten maupun
sensibel yang dapat mengkondisikan makeup air
dari luar maupun udara sirkulasi.

Di dalam cleanroom dengan klasifikasi kebersihan


yang lebih rendah, total volum udara sirkulasi
mungkin hampir sebesar volum udara yang
dikondisikan. Dalam kasus itu, mungkin tidak
diperlukan kipas sirkulasi sama sekali, tapi justru
digunakan air handler untuk mengkondisikan
sekaligus mensirkulasikan semua udara di dalam
(4)
cleanroom.

REFERENSI
1. Introduction to Nanotechnology - What is
nanotechnology? Nanowerk. [Online] [Cited: April
13, 2010.]
http://www.nanowerk.com/nanotechnology/intro
duction/introduction_to_nanotechnology_1.php.

2. McFadden, Roger. A Basic Introduction to Clean


Rooms. Coastwide Laboratories. [Online] [Cited: