TF3205 ANALISIS TERMAL

13 April 2010

SISTEM HVAC CLEANROOM

VICTOR SAMUEL (13307105)
Program Studi Teknik Fisika, Fakultas Teknologi Industri, Institut Teknologi Bandung,
Jalan Ganesha 10, Bandung 40132, Indonesia (e-mail: vctr_sml@yahoo.com)

A rapid development of nanotechnology product fabrication raises the necessity of cleanroom

significantly. The classification of cleanroom is determined by the amount and the size of existing
particles in the room. Mainly, there are two kinds of air that are dealed in the cleanroom—makeup
air and recirculating air. Both—with different treatment—need to be controlled to maintain the
cleanroom parameter.

Keywords: cleanroom, HVAC, refrigeration, filtration, humidification, dehumidification,

makeup air, recirculating air

berukuran yang lebih kecil dari 100 nanometer.

INTRODUKSI
Perkembangan teknologi nano saat ini mengalami
kemajuan yang pesat dan akan semakin pesat di
tahun-tahun mendatang. Produk teknologi nano
sudah mulai banyak terjual di pasar dan terus
mengalami pengembangan seiring perkembangan
sains material (seperti carbon nanotubes atau
struktur nanokomposit atau partikel nano) atau
proses nanoteknologi (seperti nanopatterning atau
quantum dots untuk pencitraan medis). Produk-
produk ini terus dikembangkan dengan
menciptakan komponen-komponen yang lebih
kecil dan yang memiliki kinerja yang lebih baik dan
tentunya dengan harga yang lebih murah. Maka,
banyak perusahaan manufaktur “produk nano”
akan tumbuh pesat dan akan mendominasi semua
perusahaan industri.
(1)
Manufaktur produk teknologi nano yang
meningkat pesat itu menyebabkan semakin
pentingnya kebutuhan akan cleanroom. Cleanroom
adalah suatu lingkungan yang dikondisikan secara
(2)
khusus tempat manufaktur itu terjadi . dari sepuluh partikel setiap 0.1 mikrometer kubik.
Kebutuhan akan cleanroom terutama terkait
dengan ukuran produk yang dimanufaktur. Sesuai
namanya, teknologi nano berurusan struktur
Sebagai pembanding, tebal rambut manusia
berukuran 80 000 nanometer dan partikel debu
yang kita temui sehari-hari berukuran sekitar 500
nanometer. Secara ekstrem, kita dapat bayangkan
manufaktur teknologi nano dilakukan di udara
bebas. Jutaan partikel debu dengan ukuran akan
“menghantam” sistem yang sedang dirancang.
Maka cleanroom harus ada.
Jenis udara di dalam cleanroom dibagi menjadi
dua: (1) makeup air yang berasal dari udara luar
dan (2) recirculating air (udara sirkulasi) yang terus
menerus diputar di dalam cleanroom—secara
unidirectional (laminer) ataupun multidirectional
(turbulen).
KLASIFIKASI CLEANROOM
Cleanroom digolongkan berdasarkan berapa bersih
udara di dalamnya. Ada dua standar yang
digunakan untuk ini: ISO dan US Federal Standards.
ISO memberi nomor secara sekuensial dari 1.
Cleanroom dengan kelas ISO 1 berarti ada kurang
ISO 2 berarti ada kurang dari 100 partikel per 0.1
mikrometer kubik. ISO 3 berarti 1000 dan
TF3205 Analisis Termal
13 April 2010
seterusnya. Penomoran US Federal Standards
adalah 1, 10, 100, 1000, dan seterusnya.
Penomoran ini secara sedeharan menunjukkan
(3)
jumlah partikel setiap 0.5 mikrometer kubik.
PENYARINGAN UDARA SIRKULASI
Untuk menjaga kebersihan cleanroom diperlukan
penyaringan (filter) terhadap udara di cleanroom.
Biasanya, metode filter yang digunakan adalah
highly efficient particulate air (HEPA) atau ultra
low particulate air (ULPA).
Filter HEPA, dengan efisiensi 99.97% pada partikel
berukuran 0.3 mikron, telah menjadi andalan
industri cleanroom selama bertahun-tahun dan
masih banyak digunakan dalam industri farmasi.
Sedangkan filter ULPA dengan efisiensi 99.9995%
pada partikel berukuran 0.12 mikron telah banyak
digunakan untuk cleanroom berkelas ISO 1 sampai
(4)
dengan ISO 4.
Kedua jenis filter ini dapat digunakan untuk
menyaring dua jenis aliran udara yang sengaja
dibiarkan mengalir pada cleanroom, yakni aliran
udara unidirectional (laminer) dan aliran udara
multidirectional (turbulen).
GAMBAR 1. CLEANROOM DENGAN POLA ALIRAN UDARA
LAMINER (4)
Aliran udara laminer adalah udara yang mengalir
lurus satu arah (unidirectional), tanpa dihalangi
atau dibelok-belokkan. Aliran udara ini terus
menerus dipertahankan di dalam cleanroom
melalui suatu saluran udara laminer yang
Victor Samuel
mengarahkan udara lurus dari atas ke bawah
(Gambar 1). Arsitektur cleanroom juga didesain
sedemikian rupa sehinga tidak menimbulkan
banyak turbulensi udara.
Filter HEPA digunakan untuk menyaring dan
membersihkan air yang masuk ke dalam
cleanroom. Filter laminer biasanya terdiri dari
stainless steel atau material lain yang dapat
menahan jumlah partikel yang yang masuk ke
dalam cleanroom. Filter-filter laminer biasanya
(3)
memakan tempat 80% dari langit-langit.
GAMBAR 2. CLEANROOM DENGAN POLA ALIRAN UDARA
TURBULEN (4)
Selain unidirectional airflow cleanroom di atas, ada
juga non-unidirectional airflow cleanroom yang
menggunakan aliran air turbulen untuk
membersihkan udara dan mempertahankan
kebersihan cleanroom (Gambar 2). Aliran udara
turbulen menyebabkan pergerakkan partikel
searah dengan aliran udara. Ini memang membuat
pemisahan udara dengan partikel menjadi lebih
sulit, namun justru dengan pergerakan yang acak
itulah partikel dapat keluar dari ruangan.
PENDINGINAN UDARA SIRKULASI
Sensible heat ratio (perbandingan antara beban
kalor sensibel dengan total beban refrigerasi)
kebanyakan cleanroom bernilai lebih dari 95%.
Pendinginan biasanya dibutuhkan sepanjang tahun
karena adanya kalor yang dihasilkan dari kipas
aliran udara dan juga dari perlengkapan proses
TF3205 Analisis Termal
13 April 2010
yang ada di dalam cleanroom. Lima persen kalor
laten biasanya dikeluarkan oleh pekerja.
GAMBAR 3. NON-UNIDIRECTIONAL CLEANROOM DENGAN KIPAS, AIR HANDLER, DAN Tekanan dalam cleanroom biasanya
MAKEUP AIR UNIT (4)
Di dalam cleanroom dengan kelas sangat bersih
atau menengah, sebagian besar udara yang
mengalir di dalam ruangan tidak dikondisikan,
hanya disirkulasikan kembali oleh kipas.
Pengondisian udara dilakukan dengan air handler
dengan menarik sebagian kecil dari total aliran
udara, lalu mendinginkannya, lalu dikembalikan ke
dalam aliran udara utama sebelum mencapai kipas
(Gambar 3). Temperatur dari udara yang masuk ke
dalam cleanroom itu mungkin hanya beberapa
derajat lebih dingin karena besarnya volum udara
total yang didinginkan. Perbedaan temperatur
yang kecil ini mengijinkan filter HEPA/ULPA yang
dipasang di langit-langit, dengan aliran udara turun
yang tidak terlalu dingin bagi pekerja di bawahnya.
Di dalam cleanroom dengan kelas kebersihan yang
lebih rendah (atau lebih “kotor”), total aliran
udara, dalam beberapa kasus, dapat didinginkan
secara normal. Namun, air yang masuk ke dalam
ruangan dapat 8.3 sampai 11°C lebih dingin dari
air yang keluar, yang dapat membuat pekerja
dibawahnya tidak nyaman. Untuk itu, diperlukan
diffuser atau strategi lain untuk meminimalkan
ketidaknyamanan tersebut.
MENANGANI UDARA LUAR:
MAKEUP AIR
Victor Samuel
Udara luar yang masuk ke dalam cleanroom harus
dikondisikan—menjadi makeup air—supaya
mempertahankan tekanan positif di dalam
cleanroom supaya jika terjadi
kebocoran, udara berpindah dari
cleanroom ke luar, bukan
sebaliknya. Makeup air menjadi
sangat mahal karena harus memiliki
kelembaban, kandungan, dan
kebersihan tertentu sebelum mauk
ke dalam cleanroom. Karena
kebutuhan makeup air tidak bisa
dihindarkan, jumlahnya harus
diminimalkan dengan kemungkinan
yang memenuhi syarat konservasi
energi dan ekonomi.
ditahan tetap positif relatif terhadap
udara lingkungan. Secara umum,
perbedaan 12 Pa direkomendasikan. Perbedaan
tekanan yang terlalu besar dapat menimbulkan
suara siulan di sela-sela lubang dan membuat
pintu sulit dibuka (atau ditutup). Di dalam ruang
yang memiliki tingkat kebersihan yang berbeda-
beda, biasanya dijaga perbedaan tekanan sebesar
5 Pa di antara masing-masing ruang yang
berbatasan, dengan tekanan yang lebih tinggi pada
ruang dengan tingkat kebersihan yang lebih tinggi.
Makeup air handler harus mengkondisikan udara
luar supaya sesuai dengan parameter desain
cleanroom. Untuk itu, dibutuhkan penyaringan,
pemanasan awal (pre-heating), pendinginan,
pemanasan kembali (reheating), dehumidifikasi
dan humidifikasi.
Di dalam dengan tingkat kebersihan yang tinggi,
biasanya penyaringan dibuat tiga lapis: (1) pre-
filter dengan efisiensi ASHRAE 30%, (2) filter
menengah dengan efisiensi 95%, dan (3)
HEPA/ULPA filter. Pada tingkat kebersihan yang
lebih rendah, dapat dipakai dua filter yang
pertama.
Pemanasan awal (pre-heating) sebelum masuk
ruangan biasanya digunakan ketika temperatur
luar berada di bawah 4°C di musim dingin.
Pendinginan dan dehumidifikasi dilakukan di
dalam kumparan dingin dengan titik embun (dew
TF3205 Analisis Termal
13 April 2010 Victor Samuel

point) yang diinginkan di dalam cleanroom sebesar April 13, 2010.]

5.6°C. Karena temperatur tabung kering (dry-bulb) http://www.coastwidelabs.com/Technical%20Artic
ruangan dengan tingkat kebersihan tinggi dengan les/Cleaning%20the%20Cleanroom.htm.
pekerja berpakaian khusus dapat ditahan sebesar
19°C, maka biaya kontrol kelembaban—dengan 3. Cleanroom Air Principles. ThomasNet. [Online]
pendinginan—dapat ditekan lebih kecil di titik RH [Cited: April 13, 2010.]
40%. http://www.thomasnet.com/articles/automation-
electronics/Cleanroom-Air-Flow-Principles.
Pemanasan kembali (reheating) dibutuhkan untuk
meningkatkan temperatur yang keluar dari 4. Designing Clean Room HVAC Systems.
kumparan pendingin setelah dehumidifikasi—oleh Schneider, Raymond K. October-December 2001,
pendinginan. Dalam menghitung pemanasan s.l. : Indian Society of Heating, Refrigerating and
kembali, kalor yang ditambahkan dari kipas Air Conditioning Engineers, 2001.
dimasukkan ke dalam perhitungan. Ini dapat
5. Wikipedia Foundation, Inc. Cleanroom.
signifikan di dalam cleanroom dengan tingkat
Wikipedia -- The Free Encyclopedia. [Online] April
kebersihan tinggi.
3, 2010. [Cited: April 13, 2010.]
Makeup air unit juga harus melakukan http://en.wikipedia.org/wiki/Cleanroom.
pendinginan laten dan humidifikasi. Diasumsikan
kapasitas kalor laten diperoleh dari para pekerja
dan uap air yang masuk dari luar. Ini tergantung
dari kondisi udara luar, kondisi udara sekitar clean
room, dan proses yang terjadi yang mungkin dapat
menambahkan kandungan uap air ke dalam aliran
udara.

Di dalam cleanroom dengan kandungan udara luar

lebih rendah, unit pendingin sensibel dapat
didesain sebagai pengatur udara laten maupun
sensibel yang dapat mengkondisikan makeup air
dari luar maupun udara sirkulasi.

Di dalam cleanroom dengan klasifikasi kebersihan

yang lebih rendah, total volum udara sirkulasi
mungkin hampir sebesar volum udara yang
dikondisikan. Dalam kasus itu, mungkin tidak
diperlukan kipas sirkulasi sama sekali, tapi justru
digunakan air handler untuk mengkondisikan
sekaligus mensirkulasikan semua udara di dalam
(4)
cleanroom.

REFERENSI
1. Introduction to Nanotechnology - What is
nanotechnology? Nanowerk. [Online] [Cited: April
13, 2010.]
http://www.nanowerk.com/nanotechnology/intro
duction/introduction_to_nanotechnology_1.php.

2. McFadden, Roger. A Basic Introduction to Clean

Rooms. Coastwide Laboratories. [Online] [Cited: