Pengenalan
Federal Standard 209E telah lama menjadi satu-satunya definisi dari tingkat
klasifikasi Cleanroom tersedia dari sebuah organisasi standar. FS209E, Airborne
Particulate Kebersihan Kelas di ruang Bersih dan Zona Bersih, adalah dari
Amerika Serikat Layanan Umum Administrasi dan disetujui untuk digunakan
oleh semua lembaga AS. Dengan tidak adanya standar internasional, 209E FS
yang luas digunakan secara internasional.
Kebutuhan untuk standar internasional baru yang meliputi parameter
lingkungan dan praktek Cleanroom lebih mengarah pada pembentukan komite
teknis dari Organisasi Standar Internasional. Komite teknis adalah bernama,
ironisnya, TC 209 Cleanrooms dan Asosiasi Controlled Lingkungan. Tujuan dari
TC 209 adalah "standarisasi peralatan, fasilitas, dan cleanrooms untuk dan
terkait dikendalikan lingkungan metode operasional. Ini mencakup batas
prosedural, batas operasional dan prosedur pengujian untuk mencapai yang
diinginkan atribut untuk meminimalkan kontaminasi mikro."
Komite ini ISO akan menghasilkan 10 standar dokumen baru yang berhubungan
dengan cleanrooms atau zona bersih (dijelaskan di bawah). Dua yang pertama
telah diterbitkan standar: ISO 14644-1 dan -2.
Dokumen pertama, ISO 14644-1, Cleanrooms dan asosiasi dikendalikan
lingkungan Bagian 1: Klasifikasi partikel di udaratelah dirilis sebagai konsep
standar internasional akhir ini (FDIS).
Dokumen kedua, ISO 14644-2, Cleanrooms dan asosiasi dikendalikan
lingkungan Bagian 2: Pengujian dan monitoring untuk membuktikan kepatuhan
dilanjutkan dengan ISO 14644-1; telah dirilis sebagai standar internasional draft
(DIS). Keduanya adalah hukum untuk digunakan dalam perdagangan.
Menurut hukum AS, 209E FS dapat digantikan oleh standar internasional yang
baru. Diharapkan bahwa 209E akan digunakan di beberapa industri melalui lima
tahun ke depan, tetapi akhirnya akan digantikan secara global dengan ISO
14644-1. Bagaimana standar di Indonesia? Belum ada tetapi CPOB dapat
dijadikan rujukan.
Makalah ini memberikan gambaran umum tentang pengukuran jumlah partikel
yang dibutuhkan diberikan dalam standar.
Ringkasan 209E FS dan ISO 14644-1 dan -2
Tingkat kebersihan klasifikasi didefinisikan oleh FS209E dan ISO 14644-1 kira-
kira sama, kecuali standar ISO yang baru menggunakan sebutan kelas baru,
ukuran metrik volume udara dan menambahkan tiga kelas tambahan - dua
bersih dari Kelas 10 dan satu di luar dari Kelas 100.000. ISO standar baru yang
kedua, ISO 14644-2, memberikan persyaratan untuk memantau Cleanroom atau
zona bersih untuk memberikan bukti kepatuhan lanjutan dengan ISO 14644-1.
Tabel berikut ini membandingkan FED STD 209E ke ISO 14644-1 klasifikasi baru.
Airborne Particulate Perbandingan Kebersihan Kelas
ISO
FED STD 209E
14644-1
ISO Kelas Inggris Metrik
1
2
3 1 M1.5
4 10 M2.5
5 100 M3.5
6 1.000 M4.5
7 10.000 M5.5
8 100.000 M6.5
9
Standar ISO juga mengharuskan lokasi sampel lebih sedikit, terutama sebagai
Cleanroom luas wilayah meningkat /, namun standar ISO tidak memerlukan
minimal satu sampel menit, sedangkan Federal Standar memungkinkan sampel
lebih pendek, terutama pada ukuran partikel yang lebih kecil.
Misalnya, untuk mengesahkan sebuah FS Kelas 10 Cleanroom (ISO kelas 4),
dengan 250 kaki persegi (7,08 meter persegi), diklasifikasikan sebesar 0,3
mikron dengan cf 1 / m laju alir partikel counter, jumlah sampel yang
diperlukan lokasi, volume sampel , dan waktu akan sampel sebagai berikut:
FS209E membutuhkan lokasi sampel 10, 19,6 liter volume minimum
sampel (0,85 cf), dan waktu sampel dari 51 detik. Ini menghasilkan sampel
minimum waktu total 510 detik dan peralatan bergerak 10.
ISO 14644-1 membutuhkan lokasi sampel 5, 19,6 liter volume minimum
sampel (0,85 cf), tetapi juga waktu sampel minimum satu menit menghasilkan
tiga sampel dari satu kaki kubik. Hal ini menghasilkan waktu total sampel 180
detik dan tiga langkah peralatan.
Tingkat menghitung tepat yang dibutuhkan oleh ISO 14644-1 untuk klasifikasi
masing-masing, dengan ukuran partikel, diberikan di bawah ini.
Airborne Particulate Kebersihan Kelas (oleh meter kubik)
KELA Jumlah Partikel per Meter Kubik oleh
S mikrometer Ukuran
0,2 0,3
0,1 mm 0,5 mm 1 um 5 um
mm mm
ISO 1 10 2
ISO 2 100 24 10 4
ISO 3 1.000 237 102 35 8
ISO 4 10.000 2.370 1.020 352 83
23.70 10.20
ISO 5 100.000 3.520 832 29
0 0
1.000.0 237.0 102.0
ISO 6 35.200 8.320 293
00 00 00
ISO 7 352.000 83.200 2.930
3.520.00
ISO 8 832.000 29.300
0
35.200.0 8.320.0 293.00
ISO 9
00 00 0
ISO 14644-2 menentukan jenis dan frekuensi uji yang diperlukan agar sesuai
dengan standar. Tabel berikut menunjukkan yang tes yang wajib dan yang tes
adalah opsional.
Diperlukan Pengujian (ISO 14644-2)
Jadwal Tes untuk Menunjukkan Kepatuhan Melanjutkan
Interval
Parameter Uji Kelas Waktu Uji Prosedur
Maksimum
<= ISO
Partikel Count 5 6 Bulan ISO 14644-1
Test Lampiran A
> ISO 5 12 Bulan
Perbedaan Semua ISO 14644-1
12 Bulan
Tekanan Udara Kelas Lampiran B5
Semua ISO 14644-1
Aliran udara 12 Bulan
Kelas Lampiran B4
Opsional Pengujian (ISO 14644-2)
Jadwal Tes Tambahan Opsional
Interval
Parameter Uji Kelas Waktu Uji Prosedur
Maksimum
Dipasang Filter Semua ISO 14644-3
24 Bulan
Kebocoran Kelas Lampiran B6
Kebocoran Semua ISO 14644-3
24 Bulan
penahanan Kelas Lampiran B4
Semua ISO 14644-3
Pemulihan 24 Bulan
Kelas Lampiran B13
Visualisasi Semua ISO 14644-3
24 Bulan
aliran udara Kelas Lampiran B7
Sejarah dan Masa Depan Standar ISO Cleanroom
Pada tahun 1992, atas desakan Institut Ilmu Lingkungan Hidup, American
National Standards Institute petisi ISO untuk membuat sebuah komite teknis
terkait cleanrooms dan lingkungan yang dikendalikan. Komite baru ini, ISO TC
209, secara resmi didirikan pada bulan Mei 1993. Misinya adalah untuk
mengembangkan sebuah standar internasional untuk cleanrooms dan terkait
lingkungan yang dikendalikan yang meliputi standarisasi peralatan, fasilitas,
dan metode operasional, sementara juga mendefinisikan dan operasional batas
prosedural dan pengujian prosedur untuk meminimalkan kontaminasi.
Tiga puluh empat negara sedang aktif dalam ISO TC 209. Voting anggota adalah
Australia, Belgia, Cina, Denmark, Finlandia, Perancis, Jerman, Italia, Jamaika,
Jepang, Korea, Belanda, Norwegia, Portugal, Rusia, Swedia, Swiss, Britania
Raya, dan Amerika Serikat. Nonvoting anggota Bulgaria, Republik Ceko, Mesir,
India, Irlandia, Malaysia, Selandia Baru, Filipina, Polandia, Arab Saudi, Afrika
Selatan, Thailand, Turki, Ukraina, dan Yugoslavia.
Dua Draft Standar Internasional (DIS) telah dirilis oleh panitia: ISO / DIS 14644-
1, Cleanrooms dan asosiasi dikendalikan lingkungan-Bagian 1: Klasifikasi
partikel di udara, dan / ISO DIS 14644-2 Cleanrooms dan dikendalikan terkait
lingkungan-Bagian 2 : Spesifikasi untuk pengujian dan pengawasan untuk
membuktikan kepatuhan dilanjutkan dengan ISO 14644-1.Cleanroom ini ISO
standar pertama adalah dua dari 10 dokumen (lihat tabel A) yang akan
membentuk keluarga baru standar Cleanroom global. Banyak dokumen-
dokumen ini berada di tahap akhir suara dan dapat secara legal digunakan
dalam perdagangan.
ISO Dokumen Judul
ISO-14644-1 Klasifikasi Air Kebersihan
ISO-14644-2 Cleanroom Menguji Kepatuhan
Metode Evaluasi & Mengukur Cleanrooms & Asosiasi
ISO-14644-3
Controlled Lingkungan
ISO-14644-4 Cleanroom Desain & Konstruksi
ISO 14644-5 Cleanroom Operasi
ISO 14644-6 Syarat, Definisi & Unit
ISO 14644-7 Enhanced Bersih Devices
ISO 14644-8 Molekul Kontaminasi
ISO-14698-1 Biocontamination: Kontrol Prinsip Umum
ISO-14698-2 Biocontamination: Evaluasi & Interpretasi Data
Biocontamination: Metodologi untuk Mengukur Efisiensi
ISO-14698-3
Membersihkan Permukaan Inert
Standar ISO Cleanroom
ISO / FDIS 14644-1 Klasifikasi Kebersihan Udara
Dokumen ini meliputi klasifikasi kebersihan udara di cleanrooms dan terkait
lingkungan yang dikendalikan. Klasifikasi sesuai dengan standar ini ditetapkan
dan dilakukan secara eksklusif dalam hal konsentrasi partikel udara.
ISO / DIS 14644-2 Pengujian Cleanroom untuk Kepatuhan
Dokumen ini menetapkan persyaratan untuk pengujian periodik dari Cleanroom
atau zona bersih untuk membuktikan kepatuhan lanjutan dengan ISO 14644-1
untuk klasifikasi yang ditunjuk kebersihan partikulat udara. Persyaratan ini
memohon uji diuraikan dalam ISO 14644-1 untuk klasifikasi Cleanroom atau
zona bersih. tes tambahan juga ditentukan, harus dilakukan berdasarkan
persyaratan Standar Internasional ini. tes Opsional, yang akan diterapkan pada
pengguna dengan kebijakan, juga diidentifikasi.
ISO-14644-3 Metode Evaluasi & Mengukur Cleanrooms & Asosiasi Controlled
Lingkungan
Dokumen ini menjelaskan tes kinerja yang diperlukan untuk berbagai jenis
cleanrooms. negara hunian dari beberapa "dibangun" sebagai, "di" istirahat, dan
"dalam operasi" didefinisikan serta tingkat yang tepat dari sertifikasi. Sebuah
indeks besar disediakan pada berbagai metode pengujian dan peralatan yang
sesuai.
ISO-14644-4 Cleanroom Desain & Konstruksi
Dokumen ini akan menjadi primer pada desain dan konstruksi cleanrooms. Ini
akan mencakup semua aspek dari proses dari pengembangan desain untuk
startup dan commissioning.
ISO-14644-5 Cleanroom Operasi
Dokumen ini akan menjadi operasi Cleanroom primer. Ini akan mencakup
semua aspek pengoperasian Cleanroom termasuk prosedur masuk dan keluar
untuk peralatan dan personil, pendidikan dan pelatihan, pakaian Cleanroom,
dan isu-isu seperti fasilitas perawatan, rumah tangga, pemantauan, kegagalan
sistem, dll
ISO-14644-6 Syarat, Definisi & Unit
Dokumen ini akan memberikan acuan yang konsisten untuk semua istilah,
definisi dan unit dibahas di semua standar Cleanroom ISO.
ISO-14644-7 Devices Enhanced Bersih
Dokumen ini akan berfokus pada khusus bersih-ruang berdiri sendiri termasuk
rancangan, konstruksi, dan operasi.