KELOMPOK 1

1. ADE NUR HIDAYAT (11190950000021)

2. DAVINA OLIVIA (11190950000005)
3. FAUZIAH AKTAVIA (11190950000003)
4. MUHAMMAD IKHSAN (11190950000009)
5. WARDAH NURI MAULIDAH (11190950000031)
 SEJARAH DAN
PENGERTIAN SEM

PERBESARAN DAN
PENCITRAAN
Scanning
Electron PRINSIP KERJA SEM

Microscope
(SEM) KELEBIHAN DAN
KEKURANGAN

HASIL ANALISIS
MENGGUNAKAN SEM
 SEJARAH SEM

SEM memiliki kemampuan untuk menganalisis sampel tertentu dengan

memanfaatkan salah satu metode. Sayangnya, setiap jenis analisis dianggap
merupakan aksesori perangkat tambahan untuk SEM. Aksesori yang paling
umum dilengkapi dengan SEM adalah dispersif energi detektor x-ray atau EDX
(kadang-kadang dirujuk sebagai EDS). Jenis detektor memungkinkan pengguna
untuk menganalisis komposisi molekul sampel.Pada tahun1895 Wilhelm Conrad
Roeentgen seorang fisikawan jerman yang pertama menemukan deteksi yang
dikenal dengan sinar-x yang ditemukannya secara tidak sengaja saat
mempelajari sinar katoda dalam tegangan tinggi, tabung debit gas.Hal itu
diketahui bahwa ketika katoda dari sebuah sirkuit listrik dipanaskan dalam ruang
hampa dengan beda potensial yang besar diterapkan antara katoda dan anoda,
kemudian ada gelombang bergerak antara dua elektroda.
 SEJARAH SEM
Awalnya ini dianggap gelombang elektromagnetik, sehingga
mereka disebut sinar katoda, JJ Thompson (1856-1940)
menciptakan sinar katoda tabung-CRT dasar untuk monitor
komputer dan televisi). Karena alasan tersebut, Wilhelm
Conrad Roeentgen menciptakan istilah "x-radiasi". Panjang
gelombang elektromagnetik sinar-x sekitar01-100 angstrom
adalah salah satu darisepuluh-miliar (1/10000000000)
meter.
Teknik ini berguna dalam mempelajari komposisi lapisan
permukaan secara kualitatif dan kuantitatif suatu
senyawa, elemen atau partikel sub-atomik yang dikenal
sebagai muon.
Pada tahun 1925 Pierre-Victor Auger fisikawan perancis
Fenomena ini terjadi ketika sebuah elektron dilepaskan dari
salah satu inti orbit dalam sehingga menghasilkan dua
bagian elektron dari atom residu dan kemudian diulang untuk
01 02 menghasilkan bagian yang baru atau x-ray yang untuk
dipancarkan. Jenis elektron yang akan dibahas adalah
elektron energi tingkat rendah yang dikenal sebagai efek
Auger.
Efek Auger pertama kali diamati pada tahun 1925 oleh
Fisikawan Perancis Perlu dicatat bahwa spesifikasi
deteksi Auger elektron atau yield Auger yaitu untuk
elementer tentu dengan nomor atom menurun. Sebagai
contoh, emisi sinar-x dan Auger elektron dari seng (nomor
atom 30) adalah sama.Jenis analisis dikembangkan
04 03 ditahun 1960 dan disebut Auger Spektroskopi atau AES.
 PENGERTIAN SEM

Scanning Electron Microscope (SEM) adalah sebuah mikroskop

elektron yang didesain untuk menyelidiki permukaan dari objek solid
secara langsung SEM memiliki perbesaran 10- 3.000.000 kali, depth of
field 4–0.4 mm dan resolusi sebesar 10-10 nm. Kombinasi dari
perbesaran yang tinggi, depth of field yang besar, resolusi yang baik,
kemampuan untuk mengetahui komposisi dan informasi kristalografi
membuat SEM banyak digunakan untuk keperluan penelitian dan
industry (Prasetyo, 2011).
FUNGSI SEM

Toporafi

Morfologi

komposisi

Informasi kristalografi
 Prinsip Kerja SEM
Prinsip kerja dari mikroskop scanning electron adalah sinar
dari lampu dipancarkan pada lensa kondensor, sebelum
masuk pada lensa kondensor ada pengatur dari pancaran
sinar elektron yang ditembakkan. Sinar yang melewati lensa
kondensor diteruskan lensa objektif yang dapat diatur maju
The user can demonstrate on a
mundurnya. Sinar yang melewati lensa objektif diteruskan
projector or computer, or print the
presentation and make it film
pada spesimen yang diatur miring pada pencekamnya,
spesimen ini disinari oleh deteksi x-ray yang menghasikan
sebuah gambar yang diteruskan pada layar monitor

The user can demonstrate on a

projector or computer, or print the
presentation and make it film

Mikroskop scanning
Skema dasar SEM
Electron
 PERBESARAN SEM

Perbesaran dalam SEM dapat dikendalikan pada

kisaran sekitar 6 kali lipat dari sekitar 10 sampai
500,000 kali. Tidak seperti mikroskop elektron optik dan
transmisi, perbesaran gambar dalam SEM bukanlah
merupakan fungsi dari kekuatan lensa objektif. SEM
mungkin memiliki kondensor dan lensa objektif, tetapi
fungsi mereka adalah untuk memfokuskan sinar ke
tempat, dan tidak pada gambar spesimen. Asalkan
pistol elektron dapat menghasilkan balok dengan
diameter cukup kecil, SEM bisa melakukan prinsip kerja
yang sama sekali tanpa kondensor atau lensa objektif,
meskipun mungkin sangat tidak serbaguna atau
mencapai resolusi sangat tinggi.
 PENCITRAAN SEM

Ada beberapa sinyal yang penting yang dihasilkan oleh SEM. Dari pantulan inelastis didapatkan sinyal
elektron sekunder dan karakteristik sinar X sedangkan dari pantulan elastis didapatkan sinyal
backscattered electron. Sinyal -sinyal tersebut dijelaskan pada gambar dibawah ini.
 PENCITRAAN SEM

Elektron sekunder menghasilkan

topografi dari benda yang dianalisa,
permukaan yang tinggi berwarna lebih
cerah dari permukaan rendah.

Sedangkan backscattered elektron

memberikan perbedaan berat molekul dari
atom – atom yang menyusun permukaan,
atom dengan berat molekul tinggi akan
berwarna lebih cerah daripada atom
dengan berat molekul rendah.
 PENCITRAAN SEM
Mekanisme kontras dari elektron sekunder:

Permukaan yang tinggi akan lebih banyak melepaskan elektron dan menghasilkan gambar yang lebih cerah
dibandingkan permukaan yang rendah atau datar.
 PENCITRAAN SEM
Mekanisme kontras dari backscattered electrons:

Secara prinsip atom – atom dengan densitas atau berat molekul lebih besar akan memantulkan lebih banyak
elektron sehingga tampak lebih cerah dari atom berdensitas rendah. Maka teknik ini sangat berguna untuk
membedakan jenis atom.
 PERBESARAN SEM

Namun untuk mengenali jenis atom dipermukaan yang

mengandung multi atom para peneliti lebih banyak
mengunakan teknik EDS (Energy Dispersive Spectroscopy).
EDS dihasilkan dari Sinar X karakteristik, yaitu dengan
menembakkan sinar X pada posisi yang ingin kita ketahui
komposisinya. Maka setelah ditembakkan pada posisi yang
diinginkan maka akan muncul puncak – puncak tertentu yang
mewakili suatu unsur yang terkandung. Dengan EDS kita juga
bisa membuat elemental mapping (pemetaan elemen) dengan
memberikan warna berbeda – beda dari masing – masing
elemen di permukaan bahan. EDS bisa digunakan untuk
menganalisa secara kuantitatif dari persentase masing –
masing elemen.
 KELEBIHAN SEM

1. Preparasi sampel 3. Menghilangkan efek

cepat dan sederhana pergerakan elektron yang tidak
beraturan

2. Ukuran sampel dan 4. Meminimalisasi gas yang

perbesaran pengamatan dapat bereaksi dengan sampel
yang besar dan luas. atau mengendap pada sampel,
baik gas yang berasal dari
sampel atau pun mikroskop.
KEKURANGAN SEM

01 Memerlukan kondisi vakum

02 Hanya menganalisa permukaan

03 Resolusi lebih rendah

Sampel harus bahan yang konduktor,

04 jika tidak, maka sampel harus dilapisi
logam atau emas.
Contoh hasil analisis
Menggunakan SEM

Citra SEM sampel kolon

tikus yang telah melewati
tahapan preparasi yaitu
sampel kolon tikus (a)
sebelum diobati (b)
setelah diobati.
Sumber jurnal
 REFERENSI

Suzuki, E. (2002). High-resolution Scanning Electron Microscopy Of Immunogold-labelled Cells By The Use Of Thin
Plasma Coating Of Osmium. Journal of Microscopy. 208 (3): 153–157.
ETH Zurich. (2021). Electron Microscope. Available at http://www.microscopy.ethz.ch/sem.html. Diakses pada 11
Juni 2021 pukul 01.07 WIB.
Prasetyo, Y. (2011). Scanning Electron Microscope dan Optical Emission
Spectroscope.http://yudiprasetyo53.wordpress.com/2011/11/07/scanningelectron-microscope-sem-dan- optical-
emission-spectroscope-oes/Tanggal akses 11 Juni 2021.
Thank you