FAKULTAS TEKNIK DAN INFORMATIKA

PROGRAM STUDI TEKNIK ELEKTRO

No.Dokumen F01.2023.00 Distribusi

Tgl. Efektif JULI 2023 Kaprodi Bagian Perkuliahan Dosen

Dr. Yohanes Galih Erfiana
Adhiyoga Wahyuningsih,
ST.,MT

UJIAN AKHIR SEMESTER GENAP TAHUN AKADEMIK 2022/2023

Mata Kuliah / SKS : Sistem Fabrikasi Mikroelektronik / 3 sks

Hari / Tanggal : Sabtu/ 15 Juli 2023 Waktu : 150 Menit
Sifat Ujian : Buka Buku Ruang : E-Learning
Dosen : Erfiana Wahyuningsih,ST.,MT

Kerjakan soal-soal berikut sesuai petunjuk yang telah diberikan.

1. Jelaskan secara rinci proses litografi dalam fabrikasi mikroelektronik. Analisa peran fotolitografi
dalam proses ini. Total poin : 15
2. Jelaskan bagaimana variasi dalam ketebalan lapisan gate oxide dapat mempengaruhi kinerja
MOSFET dalam teknologi CMOS. Total poin : 15
3. Apa tantangan yang dihadapi dalam mencapai dimensi transistor yang semakin kecil dalam
fabrikasi MOSFET dan upaya yang dilakukan untuk mengatasi tantangan tersebut. Total poin : 10
4. Bagaimana proses fabrikasi MOSFET berbeda dalam teknologi nMOS (n-channel MOSFET) dan
pMOS (p-channel MOSFET)? Analisa perbedaan desain dan proses yang terlibat dalam kedua
kasus tersebut. Total poin : 20
5. Apakah tantangan yang dihadapi dalam fabrikasi mikroelektronik untuk mencapai dimensi dan
resolusi yang lebih kecil dalam teknologi semikonduktor modern. Total poin : 15
6. Jelaskan bagaimana perkembangan teknologi fabrikasi, seperti litografi berkecepatan tinggi, proses
self-alignment, dan metode pembuatan ultrascaled transistors, telah mengatasi tantangan dalam
fabrikasi mikroelektronik. Total poin : 15
7. Apakah dampak dari variasi parameter fabrikasi, seperti ketebalan lapisan, kualitas eksposur
cahaya, dan ketepatan pemosisian, terhadap karakteristik kinerja perangkat semikonduktor yang
dihasilkan. Total poin : 10

------------- Selamat mengerjakan, semoga sukses -------------

1 SOAL INI BERSIFAT RAHASIA “HARUS DIKEMBALIKAN” | MILIK UNIVERSITAS DIAN NUSANTARA
 FAKULTAS TEKNIK DAN INFORMATIKA
PROGRAM STUDI TEKNIK ELEKTRO

Kampus Validasi Koordinator RMK Validasi Program Studi Keterangan

(✓) A=Tanjung Duren (✓) B=Cibubur

Acuan Soal (1) RPS, (2) Pustaka, (3) Pertemuan Kuliah, (4) Ketentuan evaluasi yang berlaku.

2 SOAL INI BERSIFAT RAHASIA “HARUS DIKEMBALIKAN” | MILIK UNIVERSITAS DIAN NUSANTARA