Widyaningsih Bungin Sura

1406532974 Anstruk 02

Pengamatan SEM vs TEM

Berikut ini adalah perbandingan permukaan film Fe yang melalui proses :
a.
b.
c.
d.

Vacuum annealing pada suhu 330 K

Annealing pada suhu 700 K
Annealing pada suhu 1000 K, setelah pemanasan dari suhu 330-1000 K selama 30 menit
Annealing pada suhu 1000 K, setelah annealing pada suhu 700 K dan 1000 K untuk 60 dan 30
menit

Ketebalan dari film Fe 108 +/- 4 nm untuk gambar (a) dan (b) serta 57+/- 2 nm untuk gambar (c) dan (d)

Hasil Pengamatan Mikrostruktur Menggunakan SEM

Dengan menggunakan SEM
untuk mengamati
mikrostruktur, hasil
pengamatan yaitu :
(a)
Terdapat microvoids
yang tidak teratur, hal ini
muncul sebagai akibat dari
penguapan dan suhu rendah
pada saat annealing.
(b)
Terdapat sebuah
struktur granular dengan
ukuran butir 30-90 nm muncul
dan microvoid pada batas butir
tidak ada.
(c)
Terlihat bahwa partikel
Fe (30-90 nm) beragregasi
menjadi butir heterogen yang
besar (~400 nm).
(d)
Butir-butir kecil dapat
dilihat dan mudah dibedakan.
Permukaan butir Fe menjadi
lebih homogen dan sangat jelas
bentuknya dengan ukuran
sekitar 100-800 nm

Widyaningsih Bungin Sura

1406532974 Anstruk 02

Hasil Pengamatan Mikrostruktur Menggunakan TEM

(a)
Menggambarkan crosssectional dari film Fe terlihat
sebuah polikristalin dengan
fine kristalin membentuk
distribusi struktur yang acak.
(b) Polikristalin film Fe
bertranformasi menjadi
mikrokristalin columnar
dengan struktur bulk.
(c)
Lebar dari column
kristalin menjadi 30-100 nm
(d) Column kristalin
berubah menjadi lebih
luas/besar sampai pada 100800 nm
TEM menggambarkan dengan
jelas bagaimana kekerasan
permukaan dapat dipengaruhi
oleh peningkatan suhu
annealing. Selain itu, TEM juga
bisa menunjukkan informasi
struktur dari fasa kristal sesuai
dengan orientasi setelah
variasi prosedur annealing,
dilakukanlah analisis
mikrodifraksi menggunakan
TEM.

Referensi :
Lisowski, Wojciech, Enrico G. Keim, and Mark Smithers. "TEM And SEM Studies Of Microstructural
Transformations Of Thin Iron Films During Annealing". Applied Surface Science 189.1-2 (2002):
148-156. Web.