Review Jurnal Utama:

Simulation Modelling of MEMS Thermoelectric Generator for Aircraft

Applications
Masyarakat saat ini sangat bergantung pada kemampuan untuk memanfaatkan
sumber baru energi bersih dan terbarukan. Ada beberapa tren energy terbarukan yang
menjanjikan dalam cabang panen energi: pemanenan energi matahari, pemanenan energi
mekanik dan pemanenan energi panas. Salah satu cara prospektif pemanenan energi dalam
rekayasa saat ini adalah generator termoelektrik, atau dapat disingkat TEG. Teknologi TEG
didasarkan pada efek Seebeck. Efek ini adalah fenomena fisik yang menggambarkan
konversi langsung panas terbuang menjadi energi listrik yang bermanfaat. Bahan
termoelektrik baru dan teknologi sistem micro-elektromekanis, segera MEMS, digunakan
dalam proses pembuatan modul TEG. Teknologi ini secara signifikan mengurangi dimensi
mereka dan mengubah tingkat energi panen yang cukup. Modul TEG berdasarkan teknologi
MEMS dapat dicapai secara komersial. Karena tingginya kondisi suhu operasi, aplikasi
pesawat terbang cenderung prospektif untuk teknologi thermoelectric.
Gradien suhu alami dipastikan dengan kondisi operasi suhu tinggi selama
penerbangan. Hal ini disediakan oleh ketinggian yang bervariasi, perubahan suhu di dalam
lambung kapal, dekat teluk mesin, dan lain-lain. Ada sumber potensial energi termal yang
terbuang yang sesuai untuk pemanenan energi termoelektrik. Alat teknik dan komputasi
modern digunakan dalam proses pengembangan teknologi MEMS TEG. Pemodelan
komputasi didasarkan pada pendekatan multidisiplin dan diterapkan pada deskripsi
kompleks properti MEMS TEG. Deskripsi ini dapat direalisasikan sebagai model simulasi
dari MEMS TEG yang didasarkan pada metode elemen hingga; Sebentar lagi FEM. Model
FEM ini dibuat di lingkungan komputasi ANSYS.
Prinsip di balik panen energi panas adalah efek Seebeck. Fenomena ini adalah
selama konversi energi yang disumbangkan oleh efek termoelektrik lainnya seperti efek
Thomson dan pemanasan Joule. Efek Seebeck didasarkan pada difusi elektron melalui
antarmuka antara dua bahan yang berbeda - konduktor atau semikonduktor. Difusi ini
disebabkan oleh pemanasan yang diterapkan pada persimpangan dua bahan yang
membuat termokopel. Pemanasan menyebabkan perubahan bersih pada material dan
memungkinkan elektron bergerak dari material dimana energi rendahnya masuk ke
material dimana energi elektron lebih tinggi. Karena arus listrik benar-benar aliran
elektron, efek elektron yang lewat dari satu bahan ke material lainnya membuat gaya gerak
listrik. Model TEG sebenarnya mengarah pada deskripsi analitik yang kompleks dengan
nonlinearitas yang kuat karena parameter material komponen TEG. Sistem TEG dibagi
menjadi bagian termodinamika dan listrik dalam proses pembuatan model. Kedua bagian
ini saling mempengaruhi karena panas Joule, efek Thomson dan Seebeck, dan lain-lain. Ada
dua pendekatan untuk pembuatan model TEG yang umum digunakan. Pendekatan pertama
didasarkan pada prinsip dasar dan proses termodinamika ireversibel dengan asumsi
kesetimbangan lokal. Pendekatan kedua menggunakan prinsip teori keseimbangan energi
pada elemen.
Implementasi teknologi MEMS pada generator termoelektrik didasarkan pada
miniaturisasi termokopel yang dibuat dari bahan termoelektrik semikonduktor dengan
menggunakan teknologi pembuatan film tipis khusus. Pendekatan ini memberikan
minimalisasi konduktivitas termal, maksimisasi maksimal konduktivitas listrik. Sebagian
besar teknologi manufaktur yang digunakan adalah sputtering, berbagai jenis deposisi uap
kimia, pengendapan elektro dan thinning bahan pembungkus yang cukup langka. Lapisan
termoelektrik diendapkan ke wafer dan pasangan P-N dibentuk menggunakan etsa basah
atau teknik pembuatan serupa. Lapisan P dan N yang dibentuk akhirnya dirakit dan
dihubungkan secara konduktif secara elektrik. Setiap desain modul MEMS TEG dibuat dari
sejumlah besar termokopel, yang dihubungkan secara seri dalam hal konduktivitas listrik
dan secara paralel dalam hal konduktivitas termal. TEG MEMS memiliki susunan geometris
yang sama dengan generator termoelektrik klasik. Perbedaan utamanya adalah ukuran
mereka. Ukuran TEG standar berada pada kisaran tensimeter dan ketebalan berkisar dari
satuan milimeter. Ukuran MEMS TEG berada dalam kisaran satuan milimeter dan
ketebalannya berada di kisaran puluhan mikrometer.Model FEM dibuat dalam modul
Thermo-electric ANSYS, yang sesuai untuk analisis termoelektrik. Analisis ini didasarkan
pada model 3D. Analisis dimulai dengan model yang disederhanakan untuk mengevaluasi
fenomena fisik dasar dan selesai dengan model multi-fisik kompleks yang kompleks yang
memungkinkan untuk memeriksa rincian pengembangan kemasan yang sesuai dan efisien,
manajemen daya, dan lain-lain.
Desain dan dimensi dasar modul MEMS TEG yang dipertimbangkan ditunjukkan pada
Gambar dibawah ini. Model FEM ini terdiri dari 585 mayat dan mereka dibentuk menjadi
delapan partai utama. Model terdiri dari komponen tipe P dan N, solder, lapisan konduktif
tembaga, wafer panas dan dingin, bagian listrik dengan beban tahanan dan sekitarnya.

Bagian penting dari model TEG adalah satu termokopel, yang terdiri dari lapisan tipe-N dan
semikonduktor tipe-P, solder dan tembaga yang konduktif seperti ditunjukkan pada
Gambar dibawah ini.
Array termoelektrik dibuat oleh 72 termokopel yang dihubungkan secara elektrik secara
seri dan termal secara paralel. Struktur model dan modul nyata dibandingkan dengan
gambar berikut.

Array termoelektrik berasal dari kedua sisi yang diisolasi secara elektrik oleh wafer.
Kabelnya terpasang pada tembaga. Beban resistansi diwakili oleh bodi dengan sifat bahan
tahanan listrik. Model TEG ditunjukkan pada Gambar berikut..

Sifat signifikan dari modul TEG adalah suhu, tegangan keluaran dan arus. Nilai yang
diperoleh dengan simulasi steady state dengan kondisi batas, ditunjukkan pada gambar
dibawah ini. Berikut adalah hasil dari FEM :

Pemodelan simulasi ini akan digunakan dalam proses perancangan berbasis model untuk
pengembangan sistem mekanika mekatronik dari alat pemanen energi untuk aplikasi
pesawat terbang. Tujuannya adalah menggunakan model FEM yang disajikan dengan
model aplikasi pemanenan energi kompleks lainnya. Sub-model elektronika daya ini, model
termal kemasan dan sekitarnya, model pendinginan dan pemanasan CFD dapat dipecahkan
dalam strategi simulasi bersama model FEM yang dihadirkan dari MEMS TEG dan akan
sangat berguna untuk pengembangan di masa depan. Dan analisis optimasi dari aplikasi
pemanenan energi termoelektrik kompleks. Strategi dalam proses perancangan model
yang disajikan sesuai dengan gagasan pendekatan mekatronika dan pemodelan simulasi
sistem multidisiplin. Pendekatan ini menjanjikan penghematan waktu pengembangan dan
biaya total selama proses pengembangan aplikasi pemanenan energi . Desain yang optimal
dan efisien dapat dicapai dan sangat penting untuk pengembangan masa depan dalam
aplikasi pesawat untuk sistem pemantauan dan diagnostik struktur kesehatan.

Review Jurnal Referensi 1:

Development of Energy Harvesting Sources for Remote Applications as Mechatronic
systems

Makalah ini membahas tentang pengenalan cara unik untuk menghasilkan energi
dari lingkungan sekitar. Pembangkitan energi ini biasa disebut metode Pemanenan Energi.
Energi sumber pemanenan energi listrik dapat digunakan untuk pemberian otonom
aplikasi jarak jauh, elektronik, perangkat berdaya rendah dan sensor nirkabel. Perangkat
pemanenan energi menghasilkan energi listrik dengan menggunakan beberapa metode
konversi energi. Karena itu, alat pemanen energi disini dinilai tidak mengkonsumsi bahan
bakar atau zat apapun. Di sisi lain, karena tingkat energi lingkungan sangat rendah. Namun,
tren baru dalam teknologi memungkinkan penurunan baik ukuran dan konsumsi daya
elektronik. Penurunan ukuran dan konsumsi daya ini memunculkan peluang baru untuk
komputasi dan penggunaan elektronik modern. Saat ini, perangkat ini didukung oleh
baterai. Salah satu kemungkinan untuk mengatasi keterbatasan energi baterai atau baterai
pengganti sepenuhnya adalah dengan memanen energi dari lingkungan untuk mengisi
ulang baterai, atau bahkan untuk langsung memberi daya pada elektronik. Pekerjaan kami
difokuskan pada pengembangan sumber pemanenan energi yang memanen energi listrik
dari getaran mekanik ambien. Perangkat ini terdiri dari beberapa bagian mekanik,
magnetik dan listrik dan elektronik. Sistem kompleks pemanen energi ini mencakup
umpan balik di antara bagian-bagian ini. Pengembangan perangkat kompleks semacam itu
berjalan dalam beberapa siklus pengembangan yang memperhatikan masukan di antara
masing-masing bagian sistem. Untuk pengembangan sistem mekatronik yang optimal,
siklus pengembangan menggunakan pendekatan mekatronika. Pendekatan mekatronika
menggunakan pemodelan simulasi dan menghormati umpan balik sistem. Siklus
pengembangan bagian individu dihubungkan oleh umpan balik dalam satu sistem
kompleks dan memberikan beberapa keuntungan untuk pengembangan sistem kompleks
yang begitu cepat. Pemodelan simulasi sistem kompleks ini dapat menyempurnakan desain
optimal pada basis perubahan parameter masukan sistem.
Di alam energi ambien dapat menjadi sumber energi yang sesuai untuk menyalakan
aplikasi jarak jauh, ditunjukkan pada Tabel I. Perangkat bertenaga ditempatkan di
lingkungan dengan jenis energi lingkungan yang sesuai dengan kepadatan energi yang
memadai. Jika jumlah densitas energi masukan sesuai dengan daya keluaran yang
dibutuhkan, maka alat pemanen energi dapat digunakan sebagai sumber energi listrik
elektronika yang independen.
 Sel surya adalah alat yang mengubah energi sinar matahari langsung menjadi listrik
akibat efek fotovoltaik. Sel surya memiliki banyak aplikasi jarak jauh dan nirkabel. Sel
individu digunakan untuk menyalakan perangkat kecil seperti elektronik. Sel fotovoltaik
menghasilkan bentuk listrik terbarukan, terutama berguna dalam situasi di mana daya
listrik dari grid tidak tersedia seperti pada sistem tenaga jarak jauh. Efisiensi tinggi sel
surya tersedia di pasaran dan memberikan kesempatan untuk beberapa aplikasi nirkabel
atau penginderaan jarak jauh.
Energi termal adalah bentuk energi lain yang siap hadir di lingkungan. Perangkat
pemanenan energi termal dapat menggunakan energi termal dari berbagai sumber seperti
mesin, sumber manusia atau sumber alam lainnya. Perangkat ini mengubah panas (gradien
suhu) langsung menjadi energi listrik. Ini biasanya bekerja berdasarkan prinsip efek
Seebeck, dengan efisiensi khas sekitar 5- 10%. Pemanenan energi termoelektrik
didasarkan pada fluks panas melalui elemen termoelektrik atau thermogenerator yang
terdiri dari banyak elemen tersebut. Fluks panas digerakkan oleh perbedaan suhu melalui
elemen. Tegangan yang dihasilkan sebanding dengan jumlah elemen dan perbedaan suhu.
Energi mekanis untuk pemanenan energi terjadi hampir di setiap sistem rekayasa,
dimana pemanenan generator dapat menggunakan energi getaran, pergerakan acak,
deformasi dan fluktuasi tekanan, aliran medium (sungai, angin, gelombang laut dll) dan
energi tubuh manusia, yang dapat Dibagi menjadi sumber perilaku aktif dan pasif.
Pemanenan energi dari energi mekanik dijelaskan secara rinci dalam makalah ini.
Prinsip di balik pemanenan energi dari energi mekanik adalah pergerakan relatif
tereksitasi dari sistem bergerak atau deformasi mekanis dari beberapa struktur cerdas di
dalam alat pemanen energi. Gerakan relatif atau deformasi ini dapat diubah menjadi energi
listrik dengan metode fisik ini:
konversi elektromagnetik konversi piezoelektrik,
konversi elektrostatik konversi magnetostriction
Setiap prinsip konverter energi cocok untuk aplikasi yang berbeda dan daya keluaran yang
dibutuhkan. Pilihan desain pemanen energi yang sesuai dan metode konversi energi fisik
sangat penting untuk pemanenan energi yang efisien. Volume maksimal atau berat
pemanen energi biasanya merupakan faktor pembatas lain dengan menggunakan sumber
alternatif ini. Jumlah energi dari generator pemanen biasanya kecil dan sangat bervariasi.
Hal ini membutuhkan sirkuit dan elektronik yang bertenaga rendah dan dapat mengukur
konsumsi daya mereka dengan kebutuhan pengguna dan energi yang tersedia.
 Konsumsi daya perangkat dan sistem elektronik menurun dengan teknologi
modern. Di sisi lain, efisiensi konverter energi seperti pembangkit tenaga getaran sedang
dioptimalkan lebih lanjut. Dengan demikian energi dari lingkungan dapat digunakan untuk
memasok barang elektronik jarak jauh. Aplikasi tipikal adalah sensor, transceiver nirkabel,
elektronik jarak jauh dll. Aplikasi lain dengan konsumsi daya masukan yang lebih tinggi
dapat diberikan namun hanya dalam mode burst. Pendekatan mekatronika yang
dipresentasikan untuk pengembangan sistem mekanika mekatronik sangat berguna untuk
perancangan dan pengembangan pembangkit pemanen energi ini yang memanen energi
listrik dari getaran mekanik ambien. Perangkat pemanenan energi memiliki potensi besar
sebagai sumber energi listrik yang tak habis-habisnya di masa depan untuk memberi
makan elektronik jarak jauh dan sensor nirkabel. Batas penggunaan teknologi pemanenan
energi biasanya kecukupan dan stabilitas energi ambient yang dipanen.

Review Jurnal Refensi 2:

Sensors/Actuators network development for aeronautics structure health
monitoring

Kompleksisasi struktur pesawat terbang dan integrasi bahan komposit baru yang konstan
membuat perawatan lebih sulit dan banyak cacat tak terlihat dapat dihasilkan tanpa tanda
eksternal. Kerusakan ini umumnya muncul setelah keributan energik yang menciptakan
penduduk setempat yang mengalami delaminasi dalam material komposit atau retak pada
paduan logam dan karena itu melemahkan struktur global dan mengurangi keandalannya.
Banyak alat komersial yang tidak merusak sudah ada untuk mengevaluasi integritas
struktur. Ini umumnya didasarkan pada arus eddy atau emisi ultrasonik untuk mendeteksi
cacat dan mengkhususkan pada satu jenis material. Alat ini juga sangat lokal dan oleh
karena itu tidak sesuai untuk inspeksi pesawat terbang yang menurut definisi memakan
waktu dan membutuhkan banyak sumber daya manusia. Untuk mengatasi masalah ini dan
membuat pemeriksaan lebih mudah dan lebih otomatis, kami mengusulkan sebuah
metodologi baru berdasarkan sensor jaringan piezoelektrik yang mampu menyelidiki
struktur larges yang terbuat dari berbagai jenis material. Dengan demikian, dalam makalah
ini kami menyajikan sebuah studi analitis mengenai pengembangan sensor / aktuator dan
menghubungkan model yang dikembangkan dengan hasil eksperimen. Akhirnya kami
menunjukkan kelayakan sistem dengan eksperimen beton pada spesimen struktur
aeronautika nyata.

Fokus penelitian kami menghidupkan studi tentang transduser kecil yang terbuat dari
bahan piezoelektrik yang dipasang langsung di permukaan struktur dalam gangguan
minimal. Menurut efek piezoelektrik, penerapan voltase sinusoidal bipolar pada kapak
transduser normal mengembangkan perpindahan material alternatif mengikuti sumbu 1,
2 dan 3. Fenomena yang benar-benar reversibel, sensor menghasilkan listrik.
Lapangan bila mengalami tekanan mekanis.

Karakteristik material piezoelektrik menentukan perilaku transduser dan dengan

demikian bentuk eksitasi yang ditransmisikan ke struktur. Dalam karya ini kami memilih
bahan PZT-5A karena menunjukkan muatan piezoelektrik tinggi dan konstanta
tegangan yang baik, masing-masing d31 = -175 10-12 CN-1 dan g31 = 12.410-3Vm.N-1

penyihir menjamin kopling elektromekanik yang tinggi. . Untuk memiliki strain divergen
radial, kami merancang PZT sebagai disk untuk memastikan distribusi seragam
tegangan geser yang dihasilkan ke struktur. Disk memiliki diameter 10mm dan
ketebalan 1mm (Gambar 2). Dua nilai ini memperbaiki frekuensi getaran radial hingga
200 kHz dan getaran normal menjadi 2 MHz dan memastikan perpindahan yang baik
antara dua mode osilasi.

Pendekatan pertama untuk penilaian keandalan struktur aeronautika menggunakan

patch PZT dipresentasikan. Studi yang kami lakukan pada makalah ini difokuskan pada
pengembangan sensor dan pada masalah interfacing seperti transfer beban mekanis
antara aktuator dan media inang. Hasil percobaan pertama yang diekstraksi dari panel
sayap komposit ATR 72 menunjukkan kelayakan cacat yang baik pada material
bertingkat. Metodologi diagnostik yang kami lakukan didasarkan pada perbandingan
temporal antara garis dasar dan tanda tangan yang diambil. Seperti yang digambarkan
pada gambar 9 dan 10, area yang rusak menyebabkan distorsi temporal pada sinyal
yang dipancarkan oleh PZT A. Ini menciptakan mode getaran lokal yang dapat dikenali
langsung oleh respons temporal PZTs B dan C.

Review Referensi Jurnal 3:

Introduction to Thermoelectricity
(Thermoelectric Generator)

Kita sekarang mempertimbangkan penerapan efek Seebeck pada generasi kekuatan

listrik. Sekali lagi, kita mendapatkan kinerjanya dengan menggunakan model satu
termo-pasangan dan kita berasumsi bahwa tidak ada panas yang tiba di bak cuci selain
melalui dua cabang. Pengaturan ditunjukkan pada Gambar dibawah dimana termokopel
dihubungkan dengan beban RL yang dapat bervariasi. Efisiensi generator tergantung
pada nilai RL dan juga sifat termokopel. Kami akan menjelaskan teori generasi
termoelektrik, perawatan lengkap yang telah diberikan di tempat lain .
Meskipun efek termomagnetik transversal belum menemukan banyak aplikasi praktis, efek
Ettingshausen berpotensi lebih unggul daripada efek Peltier untuk pendinginan pada suhu
rendah. Efek Nernst juga menawarkan beberapa keunggulan dibandingkan efek Seebeck
dalam mendeteksi radiasi termal. Ada korespondensi yang erat antara persamaan yang
menggambarkan kekuatan pendinginan dan COP untuk pendingin Ettingshausen dan
Peltier. Seperti yang akan kita lihat, ada sejumlah penghargaan yang dapat digunakan
untuk konversi energi termomagnetik transversal yang serupa dengan angka manfaat Z
yang digunakan untuk termokopel. Pendingin Ettingshausen bisa berbentuk bilah persegi
panjang, seperti yang ditunjukkan pada Gambar dibawah ini. Arus dilalui sepanjang batang
dan medan magnet diaplikasikan dalam arah yang terpisah. Lalu arus transversal panas
normal ke arus dan medan magnet. Sumber panas dan wastafel bersifat termal, tapi tidak
secara elektrik, menempel pada bahan termomagnetik. Permukaan ekuipotensial di dekat
pusat bar akan cenderung ke medan yz karena efek Hall, tapi di dekat ujung spesimen,
permukaan ini biasanya terletak pada bidang seperti itu. Kita akan mengira bahwa
spesimen lebih panjang pada arah x daripada arah y dan akan mengabaikan efek akhir.
Kami menyadari, bagaimanapun, bahwa kehadiran efek akhir akan selalu menjadi kerugian
dari apapun.

Review Jurnal Referensi 4:

Development of Electromagnetic Induction Type
MEMS Air Turbine Generator with Ball Bearing

Makalah ini menyarankan turbin udara MEMS yang digunakan untuk generator tipe
induksi elektromagnetik MEMS. Dalam turbin udara MEMS yang menggunakan sistem
bantalan dinamis fluida, celah antara magnet dan sirkuit magnetik dan gerakan eksentrik
rotor bermasalah dalam efisiensi tinggi dan daya keluaran tinggi. Turbin angin MEMS yang
dikembangkan memiliki struktur silikon miniatur dan struktur bantalan miniatur. Struktur
bantalan diperluas untuk menekan gerakan eksentrik dan untuk menutup celah antara
magnet dan sirkuit magnetik. Kesalahan dimensi komponen turbin MEMS yang dibuat
kurang dari 6 meter mikro. Oleh karena itu, mikrostruktur dengan akurasi tinggi dan
rasio aspek tinggi dapat dibuat oleh proses MEMS. Dengan membentuk struktur pemandu,
kesalahan perakitan kurang dari 5 meter mikro. Gabungan turbin angin MEMS dengan
bantalan bola tercapai, dan dimensinya masing-masing 4,36 mm, 4,25 mm, dan 3,60mm.
Selain itu, dimungkinkan untuk menutup jarak celah dengan mengenalkan struktur
bantalan. Dalam percobaan rotasi, gerak rotasi rotor tercapai bila gaya magnet yang
diaplikasikan dari luar turbin buatan. Dengan demikian, dimungkinkan untuk mewujudkan
struktur rotasi yang dikombinasikan dengan komponen silikon MEMS dan bantalan bola.
Dalam pekerjaan masa depan, untuk mencapai gerakan rotasi oleh tekanan udara, struktur
rotasi akan dioptimasi mengenai penurunan berat rotor dan saluran udara.

Dengan berkembangnya teknologi produksi semikonduktor dan elemen elektronik

miniatur, perangkat elektronik seperti smartphone dan komputer laptop telah mengalami
miniaturisasi dan performa tinggi. Oleh karena itu, catu daya dengan kepadatan energi
tinggi dan kerapatan output tinggi diminta untuk perangkat elektronik. Umumnya, baterai
lithium-ion diadopsi untuk perangkat elektronik. Namun, kerapatan energi baterai lithium-
ion mencapai batas teoritis. Karena itu, pendekatan baru diganti dengan baterai lithium-ion
yang dibutuhkan. Sebagai pendekatan baru untuk power supply, generator MEMS (Micro
Electro Mechanical Systems) telah diteliti. Proses MEMS adalah teknologi microfabrication
yang berbasis pada proses semikonduktor, dan mampu membuat struktur orde kecil. Salah
satu penelitian yang menggunakan proses MEMS, UMGT (Ultra Micro Gas Turbine).
Diharapkan kerapatan energi lebih tinggi dibanding baterai lithium-ion.
Secara konvensional, tipe elektrostatik diadopsi pada generator turbin MEMS. Tipe
elektrostatik dibangun oleh struktur planar, jadi cocok untuk proses MEMS. Namun, jenis
ini menunjukkan arus keluaran rendah dari generator tipe elektrostatik karena saturasi
muatan dan impedansi internal yang tinggi. Di sisi lain, tipe induksi elektromagnetik yang
digunakan untuk generator ukuran komersial menunjukkan daya keluaran tinggi. Namun,
jenis ini memiliki beberapa masalah tentang miniaturisasi rangkaian magnetik. Secara
umum, koil kawat berliku digunakan untuk rangkaian magnetik, dan sulit untuk melakukan
miniatur. Untuk mengenalkan rangkaian magnetik pada struktur MEMS, spiral coil dengan
struktur dua dimensi dibuat. Koil struktur planar dapat terbentuk oleh proses MEMS, dan
memiliki pola tiga fasa yang kompleks untuk mencapai bilangan belok.
Dalam tulisan ini, kami merancang struktur turbin angin MEMS dengan struktur

bantalan untuk menghasilkan daya keluaran yang lebih tinggi. Bantalan bola digunakan
sebagai struktur bantalan untuk pencapaian celah sempit antara magnet dan sirkuit
magnetik. Selain itu, gerakan rotasi yang lebih stabil direalisasikan, dan peningkatan
jumlah rotasi diharapkan terjadi. Makalah ini membahas tentang perancangan dan gerak
rotasi turbin angin MEMS yang dikembangkan.
Makalah ini menyarankan turbin udara MEMS yang digunakan untuk generator tipe
induksi elektromagnetik MEMS. Dalam turbin udara MEMS yang menggunakan sistem
bantalan dinamis fluida, celah antara magnet dan sirkuit magnetik dan gerakan eksentrik
rotor bermasalah dalam efisiensi tinggi dan daya keluaran tinggi. Turbin udara MEMS yang
dikembangkan memiliki struktur silikon miniatur dan struktur bantalan miniatur. Struktur
bantalan diperluas untuk menekan gerakan eksentrik dan untuk menutup celah antara
magnet dan sirkuit magnetik. Kesalahan dimensi komponen turbin MEMS yang dibuat
kurang dari 6 m. Oleh karena itu, mikrostruktur dengan akurasi tinggi dan rasio aspek
tinggi dapat dibuat oleh proses MEMS. Dengan membentuk struktur pemandu, kesalahan
perakitan kurang dari 5 m. Gabungan turbin angin MEMS dengan bantalan bola tercapai,
dan dimensinya masing-masing 4,36 mm, 4,25 mm, dan 3,60mm. Selain itu, dimungkinkan
untuk menutup jarak celah dengan mengenalkan struktur bantalan. Dalam percobaan
rotasi, gerak rotasi rotor dicapai saat gaya magnet yang diaplikasikan dari luar turbin
buatan. Dengan demikian, dimungkinkan untuk mewujudkan struktur rotasi yang
dikombinasikan dengan komponen silikon MEMS dan bantalan bola. Dalam pekerjaan masa
depan, untuk mencapai gerakan rotasi oleh tekanan udara, struktur rotasi akan dioptimasi
mengenai penurunan berat rotor dan saluran udara.

Review Jurnal Referensi 5:

Simulation of MEMS Energy Harvesting Generators Based on Bennets Doubler

Makalah ini menyajikan pertimbangan tentang perumusan dan pengoperasian

generator elektrostatik berdasarkan penggandengan Bennet, saat direalisasikan dengan
teknik microelectromechanics. Model listrik yang diambil dari analog mekanik digunakan
untuk mensimulasikan perangkat yang beroperasi, dengan efek operasi mekanis dan
interaksi dengan kekuatan listrik yang diperhitungkan dalam model.
Desain mikrogenerator yang didasarkan pada kapasitansi variabel untuk
pemanenan energi menggunakan sistem microelectromechanic (MEMS) berkembang
dengan cepat, dengan perangkat yang serupa dengan akselerometer kapasitif besar yang
digunakan untuk tujuan ini . Dengan perangkat kecil, daya yang dihasilkan sangat kecil,
namun cukup untuk perangkat daya yang beroperasi secara in- termitent, seperti sensor
yang berkomunikasi melalui radio. Perangkat ini biasanya didasarkan pada kapasitor
variabel tunggal, dan memerlukan bias tegangan tinggi, menggunakan electrets sebagai
generator bias untuk generator kapasitor variabel, atau setidaknya baterai untuk pengisian
awal, yang diisi ulang oleh generator. Pendekatan yang berbeda adalah menggunakan
"mesin pemancar" yang benar, generator elektrostatik yang tidak stabil, untuk
menciptakan tegangan yang tumbuh secara eksponensial sebagai urutan gerakan mundur
dan berputar ulang. Perangkat yang diusulkan untuk ini adalah modifikasi mesin
sederhana, "pengganda listrik", yang dijelaskan oleh Abraham Bennet pada tahun 1787.
Diagram skematiknya ditunjukkan pada Gambar. 1, terdiri dari dua kapasitor variabel Ca
dan Cb, kapasitor penyimpanan C1, dan tiga dioda. Ketika dua kapasitansi variabel
bervariasi secara siklis secara komplementer, perangkat menghasilkan tegangan tumbuh
secara umum di C1. Cb dapat diperbaiki, pada penambahan variasi kapasitansi yang lebih
besar pada Ca yang dibutuhkan. Dalam beberapa implementasi "makroskopis" yang sejauh
ini diuji,, perangkat tersebut diamati untuk memulai tanpa muatan awal eksplisit, hanya
dari ketidakseimbangan muatan alami, menghasilkan beberapa siklus tegangan keluaran
hanya dibatasi oleh percikan. Antara piring, di beberapa kV.

Dalam pekerjaan ini, konstruksi atau doubler dalam teknologi MEMS dipelajari,
dengan beberapa struktur yang mungkin dipertimbangkan. Mereka diselidiki melalui
model simulasi itu Perlakukan alat mekanik menggunakan analog listrik pada simulator
yang dikembangkan secara lokal, dengan tujuan untuk menemukan parameter yang
diperlukan untuk perangkat MEMS, mulai dari perilaku listrik yang diinginkan.

Gambar diatas menunjukkan tata letak dasar yang mungkin untuk perangkat MEMS, di
mana blok tengah yang dapat dipindah dengan jari N dengan panjang L, lebar W, dan tinggi
H pada masing-masing sisi bergerak ke atas dan ke bawah, disangga oleh mata air yang
memadai, dengan sisir jari Disisipkan di antara sisir yang sama di setiap sisinya. Pemisahan
antara jari selalu jarak tetap D. Tata letak ini membuat pelat kapasitor tetap konstan, hanya
dengan tumpang tindihnya yang bervariasi. Beberapa ruang kosong harus ada di atas dan
di bawah bagian depan, dan penangguhan harus membatasi pergerakan Ke arah vertikal.
Dua variasi desain MEMS untuk "doubler of elec- tricity" dipelajari. Analisis
menunjukkan bahwa ada batas tegangan maksimum yang dapat dihasilkan perangkat
karena tenaga listrik. Batas ini dapat diprediksi dengan perkiraan yang relatif sederhana,
dan harus diperhitungkan dalam perancangan perangkat yang sebenarnya, karena dapat
dengan mudah lebih besar daripada voltase yang dibutuhkan untuk pengoperasian normal
perangkat sebagai pemanen energi.

Review Jurnal Referensi 6:

Design of CMOS-MEMS Based
Thermoelectric Generator

Makalah ini menyajikan desain generator termoelektrik skala mikro (TEG) dengan
teknologi CMOS-MEMS. Energi listrik diperoleh dengan teknik pemanen energi panas.
Pemanenan energi panas telah menjadi solusi yang menjanjikan untuk menyalakan sistem
tenaga rendah seperti jaringan sensor nirkabel (wireless sensor networks / WSN) dan
perangkat portable. Energi termal atau panas yang banyak tersedia di alam dan juga
lingkungan buatan manusia dapat diubah menjadi tenaga listrik dengan menggunakan efek
Seebeck. TEG yang diusulkan kompatibel dengan teknologi CMOS standar yang terdiri dari
termokopel polysilicon p-doped dan n-doped yang disusun secara elektrik secara seri dan
termal secara paralel. Untuk meningkatkan perbedaan suhu antara bagian panas dan
dingin, lapisan heat sink dengan bahan konduktivitas termal rendah terisolasi pada daerah
bagian yang dingin. Parit disertakan di antara masing-masing termokopel untuk
menyebarkan panas secara efisien ke udara sekitar. Proses pasca-CMOS disertakan untuk
menggambarkan prosedur yang tepat untuk pelepasan perangkat yang berhasil. Hasil
simulasi menunjukkan bahwa dengan perbedaan suhu 10 K, tegangan keluaran dan daya
yang dicapai masing masing adalah 301 mV dan 45 W.
Pengembangan teknologi elektronik saat ini miring ke arah perangkat yang lebih
kecil, independen dan portabel. Fitur ini penting untuk aplikasi jaringan sensor nirkabel
(WSN) seperti surveilans keselamatan, pemantauan biomedis dan juga struktural. Baterai
biasanya digunakan sebagai sumber tenaga untuk perangkat semacam itu. Namun, daya
hanya bisa diberikan untuk waktu yang terbatas karena penguras daya baterai. Apalagi
penggantian baterai secara berkala akan mengakibatkan kenaikan biaya dan pencemaran
lingkungan. Makanya, kemungkinan menggunakan energi alternatif untuk mengakomodasi
kelemahan baterai baru-baru ini dikembangkan. Salah satu kemungkinannya adalah
memanfaatkan teknik pemanenan energi. Keadaan seni teknik pemanenan energi telah
berhasil memperpanjang siklus hidup WSNs dan membutuhkan usaha perawatan yang
rendah. Pemanenan energi adalah proses penggalian energi sekitar seperti kinetik, radiasi
elektromagnetik dan energi panas menjadi energi listrik. Energi kinetik hadir dalam bentuk
getaran, perpindahan atau gaya acak biasanya diubah menjadi tenaga listrik dengan
menggunakan piezoelektrik, elektromagnetik dan juga Mekanisme transduksi elektrostatik.
Energi surya banyak tersedia dan diselidiki untuk jenis radiasi elektromagnetik energi
diubah menjadi tenaga listrik dengan menggunakan sel fotovoltaik (PV). Diantara teknik
pemanenan energi ini, pemanenan energi panas telah terbukti teknik yang berlaku dalam
mengekstraksi energi listrik berdasarkan efek termal. Panas dapat ditemukan dengan
berlimpah di sumber yang berbeda seperti matahari, tubuh manusia, mesin dan juga dari
lingkungan alami dan dapat diubah menjadi tenaga listrik melalui mekanisme
termoelektrik menggunakan pemanen energi termoelektrik yang dikenal sebagai generator
termoelektrik (TEG). Sejak tahun 1930an, TEG telah dimanfaatkan sebagai sumber energi
untuk menyalakan radio. Generator thermoelectric radioscope (RTGs) juga digunakan
untuk memberikan energi listrik dalam misi luar angkasa seperti Pioneer 11 dan Voyager
2. Saat ini, perkembangan terbaru TEG telah berhasil mencapai tingkat skala mikro seperti
yang dilaporkan dalam jam tangan Seiko Thermic. Dengan bantuan teknologi
mikrofabrikasi silikon CMOS, miniaturisasi berbagai sensor dan aktuator termasuk TEG
pada platform silikon yang umum adalah layak. Teknologi ini memiliki tujuan yang
menjanjikan menuju pembuatan TEGO miniatur karena memungkinkan integrasi banyak
pasangan termokopel dalam perangkat ukuran kecil. Dengan demikian, tegangan output
yang lebih tinggi dapat dicapai dengan hanya perbedaan suhu yang lebih kecil antara dua
persimpangan. Selain itu, ketersediaan bahan kompatibel CMOS sebagai bahan
termoelektrik telah memfasilitasi kebutuhan dalam mewujudkan pasokan daya chip dan
kemampuannya dengan perangkat sirkuit terpadu (IC) dan MEMS.
Pekerjaan ini menjelaskan tentang desain dan kemungkinan prosedur pasca-CMOS dari
TEGA CMOS-MEMS yang dapat memanen energi panas menjadi energi listrik. Material
konduktivitas termal rendah diisolasi di daerah persimpangan dingin untuk menyebarkan
panas ke udara ambien dalam upaya memperbesar perbedaan suhu antara sambungan
panas dan dingin. TEG dirancang dengan parit di antara masing-masing termokopel yang
meningkatkan kehilangan panas melalui konduksi udara dan konveksi. Kedua fitur ini telah
berhasil meningkatkan kinerja TEG dengan memperbaiki perbedaan suhu antara dua
persimpangan. Perbedaan suhu yang diprediksi diperoleh dari hasil simulasi kemudian
digunakan untuk mencapai kinerja TEG dalam hal tegangan keluaran dan tenaga.
Struktur pemanenan pemanen energi panas CMOS-MEMS ditunjukkan pada Gambar
dibawah ini. Sejumlah 108 pasang termokopel yang terbuat dari polioplasti boron dan
fosfor disusun pada perangkat dengan dimensi 3000 m 1300 m. Perangkat bekerja
berdasarkan prinsip operasi efek Seebeck.

Untuk menggambarkan susunan kaki termokopel tipe-p dan n-tipe dalam struktur TEG,
penampang melintang dikonstruksi seperti yang ditunjukkan pada Gambar dibawah
Parameter struktur ditunjukkan pada Tabel berikut.

Makalah ini menyajikan pengembangan, teknologi, desain dan simulasi generator

termoelektrik CMOS-MEMS. Ditemukan bahwa ketika perbedaan suhu 10 K terjaga antara
sambungan panas dan dingin struktur TEG, tegangan keluaran dan daya yang dihasilkan
masing masing 301 mV dan 45 W. Untuk perangkat ini, penggunaan bahan konduktivitas
termal rendah sebagai heat sink dan desain parit telah berhasil memperbaiki kinerjanya
dengan memperbesar gradien suhu yang diperoleh di antara kedua persimpangan
tersebut. Perangkat kecil dan kompak seperti itu dengan daya tahan lama cukup untuk
menyalakan WSN dan menggerakkan sirkuit terpadu (integrated circuit / IC). Pekerjaan
masa depan akan fokus pada fabrikasi perangkat untuk memvalidasi keakuratan hasil
simulasi. Makanya, optimasi lebih lanjut bisa dilakukan berdasarkan hasil eksperimen
sehingga menghasilkan tegangan output dan tenaga yang lebih tinggi

Review Jurnal Referensi 7:

A Theoritical Model On MEMS Based Dual Micro-Generator

Membangkitkan listrik untuk penggunaan perangkat nirkabel, alat pacu jantung

untuk waktu yang lama adalah tugas yang sulit dan tergantung pada teknologi baterai isi
ulang. Saat ini, teknologi baterai diganti dengan teknik mikrogenerator berbasis MEMS /
NEMS, karena teknologi baterai lebih mahal, lebih besar dan memerlukan perawatan dan
penggantian yang sering. Dalam karya ini kami telah mengusulkan sebuah model untuk
merancang microgenerator menggunakan teknik desain MEMS / NEMS yang mapan. Model
yang diusulkan terdiri dari desain mikrogenerator piezoelektrik dan termoelektrik, yang
dapat dirancang secara ergonomis pada tombol / keyboard pada perangkat mobile dan
komputasi. Model yang diusulkan dapat disimulasikan, dianalisis, dan diimplementasikan
untuk memecahkan masalah pasokan listrik pada sebagian besar komunikasi portabel dan
miniatur serta perangkat biomedis.
Beberapa sumber ambien yang berbeda, termasuk efek surya, getaran dan suhu,
telah dimanfaatkan untuk menghasilkan tenaga untuk aplikasi perangkat kecil.
Microgenerator adalah perangkat pada skala mikrometer, yang menghasilkan energi listrik
dari getaran mekanis. Microgenerators memiliki aplikasi yang luas, charger mobile, alat
pacu jantung, sensor biomedis miniatur, dan lain-lain. Dalam aplikasi biomedis seperti alat
pacu jantung, penelitian intensif telah dilakukan oleh banyak peneliti biomedis untuk
memanen daya dari gerakan fisik manusia. Mikrogenerator elektromagnetik pertama yang
mampu menghasilkan 0,3 W pada eksitasi 4 MHz dikembangkan pada tahun 2006. Sesuai
dengan literatur yang ada, microgenerator dapat dikategorikan menjadi empat tipe utama
seperti elektromagnetik, elektrostatik, piezoelektrik dan termoelektrik.
Pada mikrogenerator elektromagnetik, voltase dihasilkan di koil pegas saat magnet
terpasang. Output dari generator ini berada di sekitar I W pada frekuensi 200 Hz. Lalu pada
piezoelectric generator, menghasilkan listrik pada regangan yang diterapkan pada bahan
piezoelektrik seperti kuarsa, turmalin, dan lain-lain. Biasanya, jenis generator ini dipasang
pada sepatu atau tertanam dalam implan ortopedi, yang menghasilkan daya dari tekanan
yang diterapkan melalui gerakan tubuh. Sedangkan pada tipe elektrostatik, gaya
elektrostatik diubah menjadi potensial listrik, yang menggunakan kapasitor variabel untuk
mengubah kerja mekanik yang dilakukan menjadi potensial listrik.
Mikrogenerator termoelektrik mengubah energi panas menjadi energi listrik. Dalam
termokopel, kedua sambungan dijaga pada dua suhu yang berbeda, menghasilkan termo
em Mikrogenerator ini dapat dirancang sedemikian rupa untuk mengubah panas tubuh
menjadi daya yang digunakan.
Model yang diusulkan terdiri dari dua jenis mikrogenerator yaitu, termoelektrik dan
piezoelektrik. Tipe termoelektrik dibangun di sekitar termokopel, yang harus disematkan
di permukaan kontak keyboard atau pada enkapsulasi ponsel. Kapan pun, keyboard atau
ponsel digunakan, pengguna melakukan kontak langsung dengan termokopel masing-
masing yang tertanam di permukaan, yang menghasilkan listrik tergantung pada
perbedaan antara suhu tubuh dan suhu lingkungan. Dalam kasus mikrogenerator
piezoelektrik, cantilev piezoelektrik dirancang untuk x pada masing-masing kunci yang
menggantikan mata air biasa. Saat menggunakan keyboard dengan menekan tombol
individual menghasilkan potensial piezoelektrik, yang bergantung pada tekanan yang
diberikan pada kantilever untuk setiap goresan. Kedua mikrogenerator ini dapat dirancang
secara ergonomis untuk mencapai efisiensi maksimum. Akhirnya kedua sumber daya ini

terhubung sedemikian rupa dengan transfomer step up kecil untuk meningkatkan level
voltase, karena daya yang dihasilkan oleh generator ini berada pada level voltase mikro.
Metodologi desain ini dapat diadopsi menjadi sumber daya untuk perangkat kecil seperti
atasan palang, telepon genggam, pemutar mp3, perangkat gigi biru, dan lain-lain. Model
yang diusulkan ditunjukkan pada gambar dibawah ini.
Model yang diusulkan bertujuan memanen tenaga om panas dan tekanan yang
diberikan oleh pergerakan tubuh manusia. Jika desain ini layak dilakukan melalui
pemodelan, simulasi, analisis dan implementasi perangkat prototipe yang tepat, maka akan
memberikan solusi power supply potensial untuk sebagian besar perangkat berbasis
MEMS seperti sensor, aktuator, perangkat mobile, dan komputer laptop.

Review Jurnal Referensi 8:

A SANDWICH-STRUCTURED MEMS ELECTRET POWER GENERATOR FOR MULTI-
DIRECTIONAL VIBRATION ENERGY HARVESTING

Makalah ini menyajikan perancangan, pemodelan dan karakterisasi generator

tenaga electron kompak MEMS untuk pemanenan energi getaran multi arah. Perangkat ini
dibangun di atas resonator berbentuk persegi simetris yang bisa memanen energi kinetik
dari berbagai arah dengan menggunakan dua derajat getaran ortogonal. Struktur sandwich
diadopsi tidak hanya untuk meningkatkan kinerja keluaran, namun juga untuk mengurangi
gaya tarik vertikal dan gaya hantar elektrostatik vertikal dengan dua rangkaian kapasitif
180 out-of-phase terpisah. Generator dapat menjadi calon potensial terhadap perangkat
pemanen energi multi-arah praktis untuk pemanfaat energi getaran ambien tingkat rendah.
Dalam beberapa tahun terakhir, pemanen energi dari sumber alam sekitar, seperti
getaran lingkungan dan panas di sekitar, telah diusulkan untuk menyalakan sensor
nirkabel. Pemanen tersebut dapat menawarkan solusi yang layak untuk pemeliharaan dan
penggantian baterai dan dapat membuka langkah utama untuk mewujudkan perangkat
self-autonomous. Pemanen energi berbasis vibrasi yang khas biasanya menggunakan
mekanisme transduksi piezoelektrik, elektromagnetik, atau elektrostatik. Dibandingkan
dengan rekan-rekan pemanen elektromagnetik dan piezoelektrik, pemanen energi
elektrostatik memiliki keuntungan lebih besar dalam aplikasi skala mikro karena lebih
kompatibel dengan proses CMOS silikon serta menawarkan fleksibilitas yang lebih tinggi
sehingga fitur listrik dan mekanik dapat dirancang secara terpisah.
Terlepas dari mekanisme konversi energi, salah satu tantangan utama pemanen
resonan adalah bahwa mereka hanya dapat mencapai daya optimal di sekitar resonansi
mereka saat osilasi mereka tepat sejajar dengan arah eksitasi yang telah ditentukan.
Namun demikian, getaran di lingkungan sekitar biasanya didistribusikan melalui spektrum
yang luas dengan arah acak atau multipel. Fitur-fitur ini akan membatasi penerapan
pemanen energi dalam skenario praktis. Untuk mengatasi masalah ini, berbagai desain dan
metode pelaksanaan telah diusulkan untuk mencapai pemanenan energi broadband atau
dua dimensi . Dalam makalah ini, sebuah generator tenaga listrik kompak MEMS yang
kompak dengan sistem resonansi berbentuk persegi simetris diusulkan. Perangkat ini
mampu mengubah energi kinetik ambien tingkat rendah menjadi energi listrik dengan dua
tingkat kebebasan getaran di pesawatnya. Struktur sandwich digunakan sebagai metode
kontrol celah pasif non-perilaku yang dapat mengurangi efek redaman yang disebabkan
oleh gaya elektrostatik yang melekat baik dari arah luar pesawat maupun di dalam
pesawat.
Perangkat ini terutama dibangun dengan tiga pelat silikon paralel yang diukir
dengan elektroda emas. Lapisan tengah terdiri dari sistem resonansi massa pegas bergerak
yang memiliki pola elektroda pada kedua sisinya dengan pengaturan fase keluar 180o. Baik
lapisan atas dan bawah juga berpola dengan elektroda counter yang sesuai. Lapisan tipis
electret dipasang pada lapisan atas dan bawah untuk menyediakan sumber tegangan
permanen. Massa seismik persegi dengan tinggi 300 m dan lebar 1 cm tersuspensi oleh
empat set lintasan balok paralel. Desain ini akan memudahkan gerakan arsitektur pegas-
massa dalam arah dalam pesawat. Ketika perpindahan relatif terjadi antara massa seismik
dan elektroda kontra, variasi kapasitansi di dalam dua rangkaian kapasitif akan
menghasilkan arus bolak balik melalui beban eksternal.
Finite element method (FEM) digunakan untuk membangun model dan menganalisis
perilaku getaran sistem pegas-massa. Simulasi ANSYS digunakan untuk menentukan mode
getaran struktur. Pada 2 gambar dibawah menunjukkan frekuensi resonansi dan bentuk
mode dari dua mode getaran primer. Ditemukan bahwa massa seismik berosilasi sepanjang
arah X pada Mode I sekitar 129 Hz, sementara bergetar di arah Y pada Mode II sekitar 130
Hz. Frekuensi resonansi mode getaran lainnya jauh dari dua mode dasar. Dapat
dibayangkan bahwa perilaku dinamis dari model getaran didominasi oleh dua mode osilasi
in-plane ortogonal (Mode I dan II). Jika arah eksitasi eksternal diagonal dengan sudut
intercept ke sumbu X atau Y, hanya proyeksi eksitasi ke sumbu osilasi resonansi akan
berguna untuk memotivasi perangkat. Efektivitas keseluruhan tergantung pada
superimposisi osilasi dalam dua arah ortogonal.

Karena potensial permukaan dari electret telah ditentukan sesuai dengan proses
pengisian korona, gaya damping elektrostatik horizontal didominasi oleh tingkat
perubahan kapasitansi. Telah dilaporkan bahwa perubahan kapasitansi akan secara
signifikan terlalu tinggi jika rumus teoritis konvensional diterapkan, dimana efek fringing
belum diperhitungkan . Oleh karena itu, metode elemen hingga (FEM) dengan bantuan
modul elektrostatik simulasi Comsol Multiphysics digunakan untuk menyelidiki variasi
kapasitansi sehubungan dengan gerak massa seismik. Gambar dibawah menggambarkan
bagian tata letak geometris dan distribusi medan listrik struktur sandwich. Dapat dilihat
bahwa efek fringing yang kuat ada di sekitar tepi elektroda melalui model analisis FEM.
Elektroda dirancang dengan pengaturan 180 derajat di luar fase pada kedua sisi
massa seismik tengah. Pada keadaan awal, elektroda berada pada area tumpang tindih
100% untuk bagian atas dan di daerah yang tumpang tindih pada bagian bawah. Ketika
osilasi horizontal pelat tengah terjadi, rasio tumpang tindih berubah dari 100% menjadi
nol untuk rangkaian kapasitif atas, dengan rangkaian kapasitif bagian bawah bervariasi
dari nol sampai 100%. Ini akan membawa arah berlawanan dari gaya redaman
elektrostatik pada kedua sisi massa seismik sehingga menghilangkan efek redaman
elektrostatik.
Dalam makalah ini, generator tenaga listrik MEMS electrik tersusun dari novel telah
dirancang, dibuat dan diuji untuk pemanenan energi getaran multi arah. Resolusi tinggi
dengan distribusi biaya mikro berukuran seragam telah berhasil dicapai dengan proses
pengisian korona terlokalisasi. Analisis pemodelan COMSOL telah menunjukkan gaya
elektrostatik redaman horizontal dikurangi oleh sebagian besar karena pengaturan
antiphase elektroda dan superimposisi dari dua rangkaian kapasitif yang terpisah. Hasil
pengujian menunjukkan bahwa perangkat memiliki potensi yang baik untuk mengais
energi ambien frekuensi rendah dari sumber getaran in-plane multi arah.

Review Jurnal Referensi 9:

Thermal Matching Designed CMOS MEMS-Based
Thermoelectric Generator for Naturally Cooling
Condition

Makalah ini menyajikan perangkat generator energi termoelektrik CMOS MEMS

(TEG) yang digunakan dalam kondisi pendinginan alami dengan kinerja output tinggi.
Prinsip pencocokan termal digunakan untuk perancangan dan pengemasan chip TEG, di
mana ketahanan termal dari thermopile poli-silikon mendekati beban termal eksternal
dalam sistem. Perangkat yang dapat dipakai yang disematkan dengan chip TEG telah diuji
di pintu saat sisi dingin didinginkan secara alami oleh udara sekitar. Hasil yang diukur
menunjukkan tegangan rangkaian terbuka setinggi 1,6 V dan daya keluaran 0,49 W bila
suhu sumber panas berada pada suhu 35 oC, yang menjadikannya sebagai perangkat TEG
yang dapat dipakai dan dapat dipakai untuk kehangatan tubuh yang dikodifikasi oleh
Teknologi berbasis CMOS MEMS.
Dengan menurunnya konsumsi daya pada perangkat elektron saat ini, tersedia
untuk menggunakan pemanen energi miniatur sebagai sumber daya, mis. Generator energi
termoelektrik (TEG), yang mengubah gradien termal menjadi tegangan. Perangkat TEG
yang hanya dikenal yang berlaku umumnya dibuat dengan termostat BiTe, yang bertujuan
menghasilkan setidaknya 1,5 V output dan daya 1 W untuk menggerakkan perangkat
elektron saat didinginkan secara alami oleh udara sekitar. Namun, biaya tinggi termostat
BiTe telah mencegahnya dari ketersediaan di pasar dan memindahkan perangkat dan
sistem mandiri ke dalam produksi massal. Dengan terus mengurangi konsumsi daya untuk
perangkat nirkabel, juga tersedia perangkat TEG untuk menggunakan bahan termoelektrik
seperti poli-silicon dan silikon polikristalin germanium (poli-SiGe), yang memiliki figur
lebih rendah dari Manfaatnya daripada paduan BiTe tapi juga kompatibel dengan proses
CMOS dan teknik MEMS.
Karena perbedaan suhu di perangkat biasanya diasumsikan tetap, perancangan perangkat
TEG CMOS-MEMS saat ini cenderung mengadopsi dimensi thermopile besar dengan
termokopel dengan kepadatan tinggi yang dihubungkan secara termal sejajar. Namun,
untuk aplikasi di mana sisi dingin perangkat secara alami didinginkan oleh udara sekitar,
tahan panas besar ada di sisi dingin perangkat. Dalam hal ini, daya keluaran tidak lagi
dinormalisasi dengan jumlah elemen, karena tahanan termal tambahan tetap tidak
berubah sementara resistansi termal paralel dari elemen berkurang dengan jumlah rakitan
meningkat, sehingga terjadi penurunan suhu secara terus-menerus melintasi Elemen.
Dalam penelitian ini, dengan menggunakan perancang pencocokan termal, perangkat TEG
berbasis CMOS-MEMS dengan dimensi yang dapat dipakai telah menghasilkan daya
keluaran 0,49 W pada hotplate 35 C saat sisi dingin didinginkan secara alami oleh udara
sekitar.
Untuk desain perangkat TEG saat ini, perkiraan kinerja output perangkat umumnya
didasarkan pada gradien suhu konstan T antara sisi panas dan sisi dingin chip, dan
dengan demikian perbedaan suhu di kaki kaki hanya bergantung pada Rasio tahanan
termal termopile Ktp terhadap ketahanan termal keseluruhan perangkat Kc. Namun,
sebagian besar aplikasi, mis. Perubahan kehangatan manusia, sisi dingin perangkat secara
alami didinginkan oleh udara sekitar, yang membawa ketahanan panas tambahan di sisi
yang dingin. Oleh karena itu, total beban termal dalam sistem sebenarnya melibatkan
resistor dari udara sekitar Kair, dan struktur konduksi (substrat termal, bahan antarmuka
termal). Telah diselidiki bahwa daya keluaran maksimum dapat dicapai hanya bila
ketahanan termal dari thermopile sesuai dengan beban termal dalam system.

Modul uji ditunjukkan pada Gambar dibawah ini, di mana pelat tembaga digunakan untuk
menerapkan gradien suhu dari sekitarnya, dan chip TEG dikemas secara vertikal di antara
pelat. Untuk mengurangi hambatan termal udara ambien, radiator dengan tapak 3,7 cm *
3,7 cm ditempatkan di pelat atas.
 Pengukuran in door telah dilakukan pada hotplate, dengan suhu bervariasi dari 35 C
sampai 75 C, sedangkan suhu ruangan tetap pada 22 C. Kinerja output perangkat versus
perbedaan suhu antara hotplate dan udara ambien. Tegangan buka sirkuit turunan
mencapai 128 mVK-1, yang sangat dekat dengan nilai yang dihitung 108 mVK-1 dengan,
menunjukkan kecocokan termal yang baik antara perangkat TEG yang dibuat dan udara
ambien. Perlu dicatat bahwa ketika suhu hotplate adalah 35 C, yang mendekati suhu tubuh
manusia, voltase yang dihasilkan perangkat mencapai setinggi 1,6 V, dengan daya keluaran
yang dihitung sebesar 0,49 W. Daya keluaran meningkat tiga kali lipat dari pada
perangkat serupa yang dibuat oleh Z. Wang dkk, di mana poli-SiGe digunakan sebagai
bahan termoelektrik, walaupun jumlah termokopel jauh lebih kecil. Akibatnya, upaya
desain pencocokan termal tidak hanya terlihat dalam meningkatkan kinerja, namun juga
dalam memperkecil ukuran dan menghemat biaya perangkat, yang merupakan keuntungan
utama untuk power supply TEG berbasis CMOS-MEMS.
Makalah ini menyajikan prinsip desain pencocokan termal untuk perangkat TEG yang
digunakan dalam kondisi pendinginan alami, yang menggambarkan bahwa daya keluaran
maksimum perangkat TEG akan tercapai bila ketahanan termal dari termopile mendekati
beban termal eksternal pada sistem. Dengan disain ini, perangkat TEG CMOS
berkemampuan MEMM yang mudah dipakai disajikan, yang menghasilkan voltase
rangkaian terbuka 1,6 V dan daya keluaran 0,49 W dengan suhu sumber panas pada suhu
35 oC di lingkungan laboratorium. Kedua nilai tersebut jauh lebih baik daripada perangkat
TEG yang berbasis CMOS-MEMS yang ada, sedangkan dimensi thermopile jauh lebih kecil
daripada yang ada, yang mengindikasikan peningkatan kinerja yang luar biasa, dan
pengurangan biaya fabrikasi. Dengan perkembangan lebih lanjut pada bahan termoelektrik
CMOS [9], ada prospek bagus untuk aplikasi perangkat TEG yang berukuran mini dengan
biaya fabrikasi rendah.