1

MEMS TEKNOLOGI






Nama : Ivan Safutra Muis
NRP : 111100031
Program Studi : Teknik Elektro
Mata kuliah : Kapita Selekta
Peminatan : Teknik Tenaga Listrik
Semester : Genap
Tahun Akademik : 2013/2014






2

KATA PENGANTAR

Puji dan syukur kami panjatkan ke hadirat Allah SWT, yang telah memberikan izin
dan kekuatan kepada kami, sehingga kami dapat menyelesaikan makalah ini dengan
judul Mems Teknologi tepat pada waktunya.
Tugas ini ditujukan untuk memenuhi tugas mata kuliah Kapita Selekta. Tidak lupa kami
sampaikan terimakasih kepada dosen yang telah membantu dan membimbing kami dalam
mengerjakan makalah ini. Kami juga mengucapkan terimakasih kepada teman-teman mahasiswa
yang juga sudah memberi kontribusi baik langsung maupun tidak langsung dalam pembuatan
makalah ini.
Kami menyadari bahwa makalah ini masih banyak kekurangan dan kelemahannya,
baik dalam isi maupun sistematikanya. Hal ini disebabkan oleh keterbatasan pengetahuan dan
wawasan kami. Oleh sebab itu, kami sangat mengharapkan kritik dan saran untuk
menyempurnakan makalah ini.
Akhirnya, kami mengharapkan semoga makalah ini dapat memberikan manfaat,
khususnya bagi penulis dan umumnya bagi pembaca.











3

BAB I
PENDAHULUAN

1.1 Latar Belakang

Pada tahun 1960, para ilmuwan mencari tahu bagaimana cara menyusun sejumlah
besar transistor dalam satu buah chip. Chip ini kemudian dapat dibuat dalam sirkuit
microelectronic yang secara dramatis dapat meningkatkan performa, fungsi, kemampuan,
dan juga mengurangi biaya serta meningkatkan volume produksi. Teknologi ini banyak
memicu pengembangan dalam revolusi informasi.
Yang terbaru, ilmuwan telah mengetahui bahwa tidak hanya alat elektronik,
namun juga alat mekanis, bisa diminiaturisasi dan diberi tanda fabrikasi, memberikan
harapan kepada dunia mekanika seperti yang telah diberikan teknologi sirkuit terintegrasi
kepada dunia elektronik. Sementara elektronik menyediakan otak untuk produk dan
sistem terbaru, alat mikromekanik dapat menyediakan sensor dan aktuator mata dan
telinga, tangan dan kaki.
Micro-Electro-Mechanical Systems, atau MEMS, adalah teknologi yang dalam
bentuk yang paling umum yang dapat didefinisikan sebagai elemen miniatur mekanik dan
elektro-mekanis (yaitu, perangkat dan struktur) yang dibuat dengan menggunakan teknik
microfabrication. Dimensi fisik kritis perangkat MEMS dapat bervariasi dari di bawah
satu mikron pada ujung bawah dari spektrum dimensi, semua jalan ke beberapa
milimeter. Demikian juga, jenis perangkat MEMS dapat bervariasi dari struktur yang
relatif sederhana tidak memiliki elemen bergerak, sistem elektromekanis untuk sangat
kompleks dengan beberapa elemen bergerak di bawah kendali mikroelektronika terpadu.
Salah satu kriteria utama MEMS adalah bahwa setidaknya ada beberapa elemen yang
memiliki semacam fungsi mekanis atau tidaknya unsur-unsur bisa bergerak. Istilah yang
digunakan untuk mendefinisikan MEMS bervariasi di berbagai belahan dunia. Di
Amerika Serikat mereka sebagian besar disebut MEMS.



4

1.2 Rumusan Masalah
Ada beberapa masalah yang akan dibahas pada makalah ini yaitu meliputi :
Apa yang dimaksud dengan MEMS (mikrosistem) ?
Apa jenis-jenis dari perangkat MEMS ?
Bagaimana tahapan-tahapan pembuatan MEMS ?
Apa saja aplikasi dari perangkat MEMS ?

1.3 Tujuan Penulisan
Makalah ini ditulis untuk membahas lebih lanjut mengenai MEMS, yang meliputi prinsip
kerja, desain konfigurasi, tahapan fabrikasi, dan yang terakhir, makalah ini juga akan
membahas aplikasi MEMS dalam berbagai bidang, yaitu bidang industri, otomotif, dan juga
kesehatan, dimana aplikasi pada bidang kesehatan banyak menarik perhatian banyak pihak.













5

BAB II

LANDASAN TEORI

2.1 Pengertian Mems
Micro-Electro-Mechanical Systems, atau MEMS, adalah teknologi yang
dalam bentuk yang paling umum yang dapat didefinisikan sebagai elemen miniatur
mekanik dan elektro-mekanis (yaitu, perangkat dan struktur) yang dibuat dengan
menggunakan teknik microfabrication. Dimensi fisik kritis perangkat MEMS dapat
bervariasi dari di bawah satu mikron pada ujung bawah dari spektrum dimensi, semua
jalan ke beberapa milimeter. Demikian juga, jenis perangkat MEMS dapat bervariasi dari
struktur yang relatif sederhana tidak memiliki elemen bergerak, sistem elektromekanis
untuk sangat kompleks dengan beberapa elemen bergerak di bawah kendali
mikroelektronika terpadu. Salah satu kriteria utama MEMS adalah bahwa setidaknya ada
beberapa elemen yang memiliki semacam fungsi mekanis atau tidaknya unsur-unsur bisa
bergerak. Istilah yang digunakan untuk mendefinisikan MEMS bervariasi di berbagai
belahan dunia. Di Amerika Serikat mereka sebagian besar disebut MEMS.


Gambar 1 Wafer silikon adalah contoh dari bentuk mikroteknologi
6

Sistem mikro elektromekanikal atau MEMS (Micro Electro Mechanical System),
pertama kali disebut pada tahun 1980 untuk menjelaskan sistem mekanikal terbaru dan
canggih pada chip, seperti motor mikroelektrik, resonator, roda gigi, dan sebagainya. Saat ini,
istilah MEMS digunakan untuk merujuk pada alat mokroskopik dengan fungsi mekanikal
yang bisa diproduksi secara masal (seperti contoh, susunanroda gigi mikroskopik yang
dipasang pada mikrochip dikatakan sebagai MEMS, namun generator laser mini tidak).
Di Eropa, istilah MST (Micro System tehnology) lebih sering digunakan, dan
di Jepang MEMS disebut dengan "micromachine". Perbedaan istilah-istilah tersebut
sangatlah kecil.
Dalam bentuk yang paling umum, MEMS terdiri dari mechanical microstructure,
microsensors, microactuators, dan microelectronics, yang semuanya terintegrasi pada
silikon chip yang sama, seperti yang ditunjukkan pada gambar 2 berikut.

Gambar 2 skematik dari komponen MEMS


7

2.2 Komponen Mems
Microsensor mendeteksi perubahan sistem atau lingkungan dengan pengukuran
mekanik, termal, magnetik, kimia, informasi elektromagnetik atau fenomena. Contoh jenis
jenis microsensor :
Sensor mekanik
Sensor suhu
Sensor radiasi
Sensor magnetik
Micrelectronics bertugas untuk memproses informasi dan memberikan sinyal, dan
memindahkan mikro untuk bekerja sama dengan satu sama lain dan untuk melakukan tugas
yang diberikan. Contoh jenis jenis Micrelectronics :
Driver circuits
Signal Condition
Signal Processing
Signal Transmission
Control system
microactuator untuk bereaksi dan memberikan beberapa bentuk perubahan lingkungan
seteleh mendapatkan sinyal dari microelectronics. Contoh jenis jenis Microactuator :
Actuators Electrostatic
Actuators Magnetic
Actuators Piezoelectric
Actuators Hydraulic
Actuators Suhu

mechanical microstructure komponen dari MEMS yang bertugas mengontrol atau
penggeraknya. . Contoh jenis jenis mechanical microstructure :
Micromirror
Microvalve
8

Microfluidic
Elemen mekanik lainnya

2.3 Fitur Sistem Mikro
Miniaturisasi sangat penting
Multiplisitas adalah kunci untuk sukses microsystem
Microelectronics yang dibutuhkan untuk memindahkan mikro untuk bekerja
sama dengan satu sama lain dan untuk melakukan tugas yang diberikan.

Gambar 3. Fitur dalam sistem mikro









9

2.4 Cara lain jika melihat MEMS - menghubungkan domain ilmu yang berbeda

Gambar 4. Aspek lain dari MEMS

Gambar 5. Sifat Alami Multi dari Teknik Microsystems
10

BAB III

PEMBAHASAN

Pada pembahasan ini, akan dijelaskan bagaimana macam macam tahapan
pembuatan perangkat MEMS, cara kerja dari MEMS serta MEMS serta aplikasi dari
MEMS tersebut.

3.1 Macam macam proses tahapan untuk pembuatan perangkat MEMS
Dalam pembuatan perangkat MEMS dapat dilakukan dengan berbagai macam
cara yaitu :
Micromachining
Bulk micromachining
Surface micromachining
Wafer bonding
LIGA
Micromolding
3.2 Tahapan-tahapan pembuatan MEMS
Tahapan proses pembuatan MEMS disini akan dijelaskan pada proses Bulk
micromachining, Surface micromachining, wafer bonding, LIGA, micromolding.
Micromolding
.
11


Gambar 6. Sensor tekanan Bulk Micromachined

Surface Micromachining
MEMS yang dibuat menggunakan film didepositkan pada wafer seperti CMOS
A. Lapisan structural memiliki sifat mekanik, listrik, dan suhu yang
didinginkan.
B. Lapisan sacrificial mendukung lapisan structural sampai tergores
seperti pada gambar 8 berikut

Gambar 8. Perangkat yang tergores MEMS

12

C. Lapisan bahan structural dan sacrificial yang disimpan dan berpola
seperti pada gambar 9 berikut :

Gambar 8. Surface Micromachining.

Bulk surface micromolding
A. Dry Etching
B. Wet etching
C. Yaitu proses menghilangkan substrat itu sendiri.
1. Wet etching
Prosesnya membutuhkan wadah dengan larutan cauran yang akan melarutkan
materi seperti pada gambar 10 berikut

13

Gambar 9. Perbedaan isotrophic Etching dengan Anisotropic Etching
2. Dry etching
Reactive ion Etching
Reactive ion Etching
Vapour phase etching
Yaitu Uap tahap etching Ion dipercepat dan bereaksi pada permukaan

Gambar 10. Dry Etching

LIGA (Litography Galvanoformung Electroplating Abformung) (Injection Molding)

A. Digunakan untuk membuat aspek rasio yang sangat tinggi dan
digunakan untuk pembuatan volume tinggi.
B. Aspek ratio tinggi litoghraphy adalah kunci untuk LIGA








Gambar 11. LIGA

14

Micro molding
Digunakan untuk mentransfer bentuk mikroskopis yang dibuat sebelumnya melalui
produksi massa dan digunakan berbagai bahan termasuk Si.

Gambar 12 micro molding

3.3 Prinsip kerja MEMS

Gambar 13 MEMS Pressure sensor
15


Gambar 14 MEMS Pressure sensor

Pada gambar diatas ditunjukkan beberapa contoh dari bulk micro-machined
piezoresistive pressure sensor. Resistor bisa didifusikan pada membrane atau dideposisi
diatas membrane dengan lapisan isolasi intermediate (biasanya SiO2). Membrane di
etching dari belakang wafer biasanya memiliki ketebalan puluhan micrometer. Etching
berdasarkan waktu memiliki beberapa kelebihan yaitu membrane tidak membutuhkan
doping boron. Bagaimanapun juga kemampuan untuk memproduksi dengan ketebalan
membrane rendah. Etching dengan melibatkan boron memberikan control yang baik
terhadap pengendalian ketebalan membrane, bagaimanapun tingkat doping yang tinggi
melarang penggunaan difusi strain ganges.
Maka dari itu electrochemical etching sering menggunakan membran dopingan
yang lebih ringan. Karena membrane di etching dari belakang wafer yang sangat
memungkinkan dengan standar proses IC fabrikasi. Contoh dari sensor, dengan
menggunakan on chip elektronik dikembangkan oleh toyota, mereka mengkombinasikan
piezoresistif pressure sensor dengan sebuah rangkaian elektronik bipolar untuk
menghasilkan kompensasi temperature dan untuk mengubah tegangan keluaran ke dalam
sebuah frekuensi yang mana lebih mudah dikoneksikan dengan rangkaian elektronika.
Gambar diatas yang berada pada posisi tengah menunjukkan penampang skematik
yang terakhir, dimana sebuah penguat operasional NMOS terintegrasi dengan sensor
untuk amplifikasi dan kompensasi suhu sinyal strain ganges. Diusulkan dikombinasi
dengan proses CMS standar. Dalam hal ini sirkuit CMS diwujudkan dalam tipe-N lapisan
eptaxial seperti ditunjukkan pada gambar diatas. MEMS bekerja berdasarkan prinsip
mekanik, melengkungnya diafragma yang terbuat dari lembaran silikon yang tipis
(membrane) yang bersinggungan dengan tekanan gas atau udara.
16

3.4 Aplikasi dari perangkat MEMS
a. Automotive
Pada mobil digunakan beberapa jenis pressure sensor, yang memiliki prinsip kerja
yang sama, yang berfungsi memonitoring tekanan.
b. Medical
Teknologi dibutuhkan untuk membuat sensor tekanan yang digunakan untuk
kepentingan medis yang membutuhkan keahlian dalam membuat alat yang memiliki
akurasi pada tekanan rendah.
c. Industri
Pada industry teknologi yang digunakan adalah sebagai switches, barometer pressure
sensor, dan smart road
d. Militer
Pada kegiatan militer teknologi yang digunakan adalah GPS, gyroscope,
accelerometers, micro propulsion systems.



















17

BAB IV

KESIMPULAN
MEMS atau Sistem Mikro Elektro Mekanikal adalah teknologi terbaru yang yang
dalam bentuk yang paling umum yang dapat didefinisikan sebagai elemen miniatur
mekanik dan elektro-mekanis (yaitu, perangkat dan struktur) yang dibuat dengan
menggunakan teknik microfabrication.
Kompoen-komponen MEMS (Micro Electro Mechanical System) terdiri dari
Microsensors, MicroActuators, MicroElectronics , dan Microstructures. Tahapan-tahapan
dari pembuatan MEMS adalah Bulk Micromachining, Surface Micromachining, Wafer,
LIGA , dan Micro Molding.
Aplikasi dari MEMS adalah penggunaan dalam bidang industry, otomotif,
medical,militer, sampai telepon seluler. Contoh contohnya produk menggunakan
MEMS adalah Accelerometer, Gyroskop, Micro Propulsion system,



















18

BAB V

DAFTAR PUSTAKA

1. What is MEMS technology, https://www.mems-exchange.org/MEMS/what-is.html
2. Mikroteknologi, http://id.wikipedia.org/wiki/Mikroteknologi
3. Verdavathi, S, Fabrication of MEMS Pressure Sensor for Lab Course E3-222, 2011




















19