SEM (Scanning Electron Microscope)

SEM merupakan teknik yang sangat handal untuk menguji dan menganalisa struktur dari lapisan fouling
pada skala mikro/nano. SEM memberikan gambar dengan resolusi tinggi beserta informasi tambahan
mengenai sifat asal foulant, seperti struktur sel, filamen dan lain-lain. Selain itu komponen perekat seperti
biopolimer yang mengikat/merekatkan agregat flok, juga dapat diamati secara jelas. Dengan demikian
SEM sangat baik digunakan untuk menganalisa fouling terutama untuk memberikan gambaran mengenai
morfologi permukaan membran yang tersumbat.

Membran baru (bersih) (data sendiri)

Membran setelah dipakai (tersumbat) (data sendiri)

Peralatan SEM (sumber 1)

SEM juga dapat digunakan untuk menjelaskan fenomena “self forming membrane” yang terbentuk dari
lapisan foulant, menganalisa keberhasilan proses pencucian membran dan fenomena penuaan membran
(kerusakan karena pemakaian terus-menerus).
Namun demikian, diperlukannya perlakuan pendahuluan terhadap sample merupakan salah satu
hambatan aplikasi SEM. Pengeringan sampel dan pelapisan menggunakan emas (gold coating)
memungkinkan terjadinya perusakan struktur asal.

ESEM sebagai alternatif lain

Salah satu perkembangan penting dari teknik pengamatan mikroskopik adalah ditemukannya
environmental scanning electron microscopy (ESEM). ESEM dapat menganalisa permukaan hampir
semua spesimen, baik yang basah maupun yang kering, karena lingkungan yang hampa (vacuum) tidak
diperlukan lagi sehingga memungkinkan dilakukan pengamatan secara langsung. Teknik ini juga sudah
mulai digunakan untuk melihat morfologi membran yang tersumbat. Akan tetapi masih sangat sulit untuk
mendapatkan gambar dengan resolusi tinggi karena dioperasikan pada kondisi basah. Resolusi yang
rendah terutama akibat material penyumbat membran adalah senyawa organik, bukan inorganik yang
mengandung kerapatan elektron tinggi. Untuk mengatasi permasalahan tersebut, prosedur staining
menggunakan Ruthenium merah, glutaraldehyde, osmium tetraoxide dan lysin telah dicoba untuk
mendapatkan resolusi yang lebih baik.

Peralatan ESEM (sumber 2)

Fungsi mikroskop elektron scanning atau SEM adalah dengan memindai terfokus balok halus elektron ke
sampel.Elektron berinteraksi dengan sampel komposisi molekul. Energi dari elektron menuju ke sampel
secara langsung dalam proporsi jenis interaksi elektron yang dihasilkan dari sampel. Serangkaian energi
elektron terukur dapat dihasilkan yang dianalisis oleh sebuah mikroprosesor yang canggih yang
menciptakan gambar tiga dimensi atau spektrum elemen yang unik yang ada dalam sampel dianalisis.Ini
adalah rangkaian elektron yang dibelokkan oleh tumbukan dengan elektron sampel.Sebelum menjelajahi
jenis elektron dihasilkan oleh SEM khas, pemahaman dasar dari teori elemen yang dikelilingi
diklasifikasikan tabel periodik perlu disebutkan.Sepanjang sejarah banyak fisikawan, matematikawan,
dan ahli kimia mempelajari unsur-unsur di bumi.
B. Prinsip Kerja

SEM membentuk suatu gambar dengan menembakkan suatu sinar electron berenergi tinggi, biasanya
dengan energi dari 1 hingga 20 keV, melewati sampel dan kemudian mendeteksi ‘secondary electron’ dan
‘backscattered electron’ yang dikeluarkan. ‘Secondary electron’ berasal pada 5-15 nm dari permukaan
sampel dan memberikan informasi topografi dan untuk tingkat yang kurang, pada variasi unsur dalam
sampel. ‘Backscattered electron’ terlepas dari daerah sampel yang lebih dalam dan memberikan informasi
terutama pada jumlah atom rata-rata dari sampel.

Peristiwa tumbukan berkas sinar electron, yaitu ketika memberikan energi pada sampel, dapat
menyebabkan emisi dari sinar-x yang merupakan karakteristik dari atom-atom sampel. Energi dari sinar-x
digolongkan dalam suatu tebaran energi spectrometer dan dapat digunakan untuk identifikasi unsur-unsur
dalam sampel.

Berkas elektron primer berinteraksi dengan sampel di sejumlah cara kunci:

 elektron primer menghasilkan elektron energi yang rendah sekunder, yang cenderung
menekankan sifat topografi spesimen
 elektron primer dapat backscattered yang menghasilkan gambar dengan tingkat tinggi nomor
atom kontras (Z)
 atom terionisasi dapat bersantai transisi elektron shell-ke-shell, yang mengakibatkan baik emisi
X-ray atau elektron Auger ejeksi. Sinar-X dipancarkan merupakan karakteristik dari unsur-unsur dalam
beberapa pM atas sampel

TEM (Transmission Electron Microscope)

TEM adalah salah satu jenis mikroskop yang memanfaatkan adanya penemuan electron. Sesuai dengan
namanya, mikroskop ini memanfaatkan electron dengan cara mentransmisikan electron sehinggan
nantinya akan ditangkap oleh sebuah layar yang akan menghasilkan gambar dari struktur material
tersebut. Secara mudahnya, TEM cara kerjanya mirip dengan cara kerja dari sebuah slide proyektor

Gambar tadi bisa terbentuk oleh karena adanya interaksi antara electron yang ditransmisikan melewati
specimen, lalu gambar akan membesar dan akan difokuskan padasuatu alat pencitraan, biasanya dengan
menggunakan layar flouresent atau dengan suatu sensor seperti kamera CCD

Dengan TEM, maka gambar yang kita hasilkan akan memiliki tingkat resolusi yang jauh lebih tinggi
daripada mikroskop cahaya. Kita dapat melihat sesuatu yang memiliki ukuran 10.000 kali lebih kecil
daripada ukuran objek terkecil yang bisa terlihat di mikroskop cahaya.

Pada perbesaran kecil, gambar TEM akan kontras karena absorbsi elektron pada material akibat dari
ketebalan dan komposisi material. Pada perbesaran tinggi, maka gambar yang dihasilkana akan
menampilkan data yang lebih jelas pada analisa struktur kristal, dan lainnya.

Fungsi TEM
Sinyal utama yang dapat ditangkap atau dihasilkan dari TEM cukup banyak antara lain:
1. Diffraction Contrast : Dipakai untuk mengkarakterisasi kristal biasa digunakan untuk menganalisa
defek, endapan, ukuran butiran dan distribusinya. Sinyal utama yang dapat ditangkap atau dihasilkan dari
TEM cukup banyak antara lain:

sinyal utama yang dapat dihasilkan oleh TEM dideskripsikan pada gambar berikut.

2. Phase Contrast : Dipakai untuk menganalisa kristalin material (defek, endapan, struktur interfasa,
pertumbuhan kristal)
3. Mass/Thickness Contrast : Dipakai untuk karakterisasi bahan amorf berpori, polimer, material lunak
(biologis)
4. Electron Diffraction
5. Characteristic X-ray (EDS)
6. Electron Energy Loss Spectroscopy (EELS + EFTEM)
7. Scanning Transmission Electron Microscopy (STEM)

Perbandingan SEM dan TEM

Perbedaan mendasar dari TEM dan SEM adalah pada cara bagaimana elektron yang ditembakkan oleh
pistol elektron mengenai sampel. Pada TEM, sampel yang disiapkan sangat tipis sehingga elektron dapat
menembusnya kemudian hasil dari tembusan elektron tersebut yang diolah menjadi gambar. Sedangkan
pada SEM sampel tidak ditembus oleh elektron sehingga hanya pendaran hasil dari tumbukan elektron
dengan sampel yang ditangkap oleh detektor dan diolah. Skema perbandingan kedua alat ini disajikan
oleh gambar dibawah ini.

Mikroskop elektron transmisi digunakan untuk menandai mikrostruktur bahan dengan resolusi spasial
sangat tinggi. Informasi tentang morfologi, struktur dan cacat kristal, fasa kristal dan komposisi, dan
mikrostruktur magnet dapat diperoleh oleh kombinasi elektron-optical imaging (titik 2.5A resolusi),
difraksi elektron, dan kemampuan probe kecil. Trade-off untuk ini beragam informasi struktural dan
resolusi tinggi adalah tantangan untuk memproduksi sampel yang sangat tipis untuk transmisi elektron.

Bagian-bagian TEM
Berikut ini adalah bagian-bagian dari TEM :
1. Virtual Source di bagian atas mewakili senapan elektron, menghasilkan elektron monokromatik.
2. Aliran electron difokuskan pada berkas yang kecil, tipis, koheren dengan menggunakan lensa
kondensor 1 dan 2. Lensa 1 (biasanya dikontrol oleh tombol "spot size”) sangat menentukan ukuran dari
besarnya aliran mengenai sampel. Lensa kedua (biasanya dikontrol tombol “intensitas/brightness”)
sebenarnya mengubah ukuran spot pada sampel; mengubahnya dari tersebar luas tempat untuk sebuah
balok menentukan.

3. berkas dibatasi oleh aperture dari kondensor (biasanya dapat dipilih pengguna), merobohkan sudut
tinggi elektron (yang jauh dari sumbu optik, garis putus-putus di tengah-tengah)
4. Berkas elektron menumbuk specimen. Lalu, bagian-bagiannya ditransmisikan
5. Bagian yang ditransmisikan difokuskan oleh lensa objektif menjadi sebuah gambar
6. Tujuan dan pilihan opsional logam Area apertur dapat membatasi sinar; Objective aperture
meningkatkan kontras dengan menghalangi difraksi electron yang high angle, yang dipilih apertur
memungkinkan pengguna untuk secara berkala memeriksa difraksi elektron oleh pengaturan
memerintahkan atom dalam sampel
7. Gambar selanjutnya terus melalui intermediate dan lensa proyektor, yang diperbesar sepanjang jalan
8. Gambar gambar membentur layar fosfor dan cahaya yang dihasilkan, yang memungkinkan pemakai
untuk melihat gambar. Daerah yang lebih gelap gambar mewakili wilayah yang oleh sampel yang lebih
sedikit elektron yang ditularkan melalui (mereka lebih tebal atau padat). Area yang lebih terang gambar
mewakili wilayah yang oleh sampel yang lebih elektron yang ditularkan melalui (mereka lebih tipis atau
kurang padat)

Preparasi Sample
Agar pengamat dapat mengamati preparat dengan baik, diperlukan persiapan sediaan dengan tahap
sebagai berikut :
1. melakukan fiksasi,
bertujuan untuk mematikan sel tanpa mengubah struktur sel yang akan diamati. fiksasi dapat dilakukan
dengan menggunakan senyawa glutaraldehida atau osmium tetroksida.
2. pembuatan sayatan,
bertujuan untuk memotong sayatan hingga setipis mungkin agar mudah diamati di bawah mikroskop.
Preparat dilapisi dengan monomer resin melalui proses pemanasan, kemudian dilanjutkan dengan
pemotongan menggunakan mikrotom. Umumnya mata pisau mikrotom terbuat dari berlian karena berlian
tersusun dari atom karbon yang padat. Oleh karena itu, sayatan yang terbentuk lebih rapi. Sayatan yang
telah terbentuk diletakkan di atas cincin berpetak untuk diamati.
3. pelapisan/pewarnaan,
bertujuan untuk memperbesar kontras antara preparat yang akan diamati dengan lingkungan sekitarnya.
Pelapisan/pewarnaan dapat menggunakan logam berat seperti uranium dan timbal.

Cara Kerja
Mikroskop elektron transmisi menggunakan berkas elektron energi tinggi ditularkan melalui sampel yang
sangat tipis untuk gambar dan menganalisis mikrostruktur bahan dengan resolusi skala atom. Elektron
difokuskan dengan lensa elektromagnetik dan gambar diamati pada layar fluorescent, atau direkam dalam
film atau kamera digital. Elektron dipercepat di beberapa ratus kV, memberikan panjang gelombang jauh
lebih kecil daripada cahaya: 200kV elektron memiliki panjang gelombang 0.025Å. Namun, sedangkan
resolusi mikroskop optik dibatasi oleh panjang gelombang cahaya, yaitu mikroskop elektron dibatasi oleh
penyimpangan yang melekat pada lensa elektromagnetik, menjadi sekitar 1-2 Å.

Karena sampel sangat tipis, biasanya kita tidak melihat atom secara individual. Alih-alih pencitraan
dengan modus resolusi tinggi dari gambar mikroskop kisi kristal dari suatu material sebagai pola
interferensi antara ditransmisikan dan berkas terdifraksi. Hal ini memungkinkan seseorang untuk
mengamati garis planar dan cacat, batas butir, interface, dll dengan resolusi skala atom. mode pencitraan
mikroskop Bright field / dark field, yang beroperasi di antara pembesaran, dikombinasikan dengan
difraksi elektron, juga sangat berharga untuk memberikan informasi tentang morfologi, kristal tahapan,
dan cacat pada material. Akhirnya mikroskop dilengkapi dengan lensa pencitraan khusus yang
memungkinkan untuk pengamatan micromagnetic domain struktur di bidang lingkungan bebas.
TEM juga mampu membentuk elektron yang terfokus pada probe, sekecil 20A, yang dapat diposisikan
pada fitur yang sangat bagus dalam sampel untuk informasi atau microdiffraction analisis x-ray untuk
informasi komposisi.
Yang terakhir adalah sinyal yang sama yang digunakan untuk komposisi EMPA dan analisis SEM (lihat
EMPA fasilitas), di mana resolusi atas perintah dari satu mikron karena berkas tersebar di sebagian besar
sampel. Resolusi spasial untuk analisis komposisi ini TEM jauh lebih tinggi, pada urutan ukuran probe,
karena sampel sangat tipis. Sebaliknya sinyal jauh lebih kecil dan karena itu kurang kuantitatif.
Kecerahan tinggi lapangan senapan emisi meningkatkan kepekaan dan resolusi dari x-ray analisis
komposisi lebih dari yang tersedia dengan sumber-sumber thermionic lebih tradisional.
Kekurangan TEM
Contoh persiapan sampel untuk TEM umumnya memerlukan lebih banyak waktu dan pengalaman
daripada kebanyakan teknik karakterisasi lainnya. Sebuah spesimen TEM harus tebalnya mendekati
1000Å atau kurang dalam ketebalan di daerah tertentu. Seluruh spesimen harus sesuai ke dalam diameter
3mm dan dengan ketebalan kurang dari sekitar 100 mikron.
Ada sejumlah kelemahan pada teknik TEM. Banyak material memerlukan persiapan sampel yang lebih
rumit untuk menghasilkan sebuah sampel yang cukup tipis agar elektron transparan, yang membuat
analisis TEM yang relatif memakan waktu proses dengan peletakan sampel yang kecil. Karena hampir
transparan untuk elektron, sebuah substrat graphene telah mampu menunjukkan atom hidrogen tunggal
dan hidrokarbon. Struktur sampel juga mungkin berubah selama proses persiapan. Juga bidang pandang
relatif kecil, meningkatkan kemungkinan bahwa daerah dianalisis mungkin tidak menjadi ciri khas dari
seluruh sampel. Ada potensi pula sampel rusak oleh berkas elektron
PERBEDAAN SEM TEM
Perbedaan mendasar dari TEM dan SEM adalah pada cara bagaimana elektron yang ditembakkan oleh
pistol elektron mengenai sampel. Pada TEM, sampel yang disiapkan sangat tipis sehingga elektron dapat
menembusnya kemudian hasil dari tembusan elektron tersebut yang diolah menjadi gambar. Sedangkan
pada SEM sampel tidak ditembus oleh elektron sehingga hanya pendaran hasil dari tumbukan elektron
dengan sampel yang ditangkap oleh detektor dan diolah. Skema perbandingan kedua alat ini disajikan
oleh gambar dibawah ini.
Prinsip kerja dari TEM secara singkat adalah sinar elektron mengiluminasi spesimen dan menghasilkan
sebuah gambar diatas layar pospor. Gambar dilihat sebagai sebuah proyeksi dari spesimen. Skema dari
TEM lebih detil dapat dilihat pada gambar berikut ini.

(sumber: hk-phy.org)
Sedangkan sinyal utama yang dapat dihasilkan oleh TEM dideskripsikan pada gambar berikut.

Sinyal utama yang dapat ditangkap atau dihasilkan dari TEM cukup banyak antara lain:
1. Diffraction Contrast
Dipakai untuk mengkarakterisasi kristal biasa digunakan untuk menganalisa defek, endapan, ukuran
butiran dan distribusinya.
2. Phase Contrast
Dipakai untuk menganalisa kristalin material (defek, endapan, struktur interfasa, pertumbuhan kristal)
3. Mass/Thickness Contrast
Dipakai untuk karakterisasi bahan amorf berpori, polimer, material lunak (biologis)
4. Electron Diffraction
5. Characteristic X-ray (EDS)
6. Electron Energy Loss Spectroscopy (EELS + EFTEM)
7. Scanning Transmission Electron Microscopy (STEM)
Sehingga aplikasi utama TEM adalah sebagai berikut: analisis mikrostruktur, identifikasi defek, analisis
interfasa, struktur kristal, tatanan atom pada kristal, serta analisa elemental skala nanometer.

Sementara itu kelebihan dari analisa menggunakan TEM adalah:

1. Resolusi Superior 0.1~0.2 nm, lebih besar dari SEM (1~3 nm)
2. Mampu mendapatkan informasi komposisi dan kristalografi dari bahan uji dengan resolusi tinggi
3. Memungkinkan untuk mendapatkan berbagai signal dari satu lokasi yang sama.

Sedangkan kelemahannya adalah:

1. Hanya meneliti area yang sangat kecil dari sampel (apakah ini representatif?)
2. Perlakuan awal dari sampel cukup rumit sampai bisa mendapatkan gambar yang baik.
3. Elektron dapat merusak atau meninggalkan jejak pada sampel yang diuji.