INTISARI

KAJIAN SPECTROSCOPIC ELLIPSOMETRY PADA LAPISAN TIPIS

EMAS UNTUK APLIKASI BIOSENSOR

Oleh

Riza Ariyani Nur Khasanah

15/392177/PPA/05049

Kajian spectroscopic ellipsometry pada lapisan tipis emas (Au) untuk aplikasi
biosensor telah dilakukan. Pada penelitian ini, rotating analyzer ellipsometer
(RAE) dengan sumber cahaya visible (380 nm sampai dengan 800 nm) telah
berhasil dikonstruksi. Lapisan tipis Au dengan ketebalan yang bervariasi (dari 30
nm, 50 nm, 70 nm, dan 100 nm) difabrikasi melalui teknik RF magnetron
sputtering dan struktur permukaannya dikaji dengan atomic force microscopy
(AFM). Pengukuran ellipsometry dilakukan pada sudut datang yang bervariasi (60
° , 65° , 70° dan 75° ). Model optik Cauchy, Drude-Lorentz, dan effective medium
approximation (EMA)-Bruggeman digunakan untuk menganalisis hasil
pengukuran. Hasil menunjukkan bahwa konstanta optik dari lapisan tipis Au tidak
bergantung pada sudut datang karena sampel bersifat isotrop. Akan tetapi,
konstanta optik tersebut bervariasi terhadap panjang gelombang dan ketebalan
lapisan tipis. Penyerapan elektron yang direpresentasikan oleh konstanta optik
semakin meningkat pada panjang gelombang yang meningkat. Hal ini disebabkan
oleh adanya transisi interband dari 5d-band ke 6sp-band (tingkat Fermi) dengan
beda tingkat tenaga sekitar 2,55 eV sampai dengan 2,60 eV. Penyerapan elektron
semakin besar seiring dengan ketebalan lapisan tipis Au yang semakin kecil. Hal
ini dapat dikarenakan adanya quantum confinement effect yang terjadi pada
material dengan orde kurang dari 100 nm. Penelitian ini bertujuan mendeteksi
keberadaan mikroalga isolat Glagah yang dicampur dengan polyvinyl alcohol
(PVA) dengan konsentrasi 2 % untuk imobilisasi. Campuran tersebut dicoating
pada lapisan tipis Au melalui teknik vacuum spin coating. Indikator adanya
mikroalga dapat dilihat dari perubahan ψ dan Δ . Biosensor ini berkerja paling
baik ketika digunakan lapisan tipis Au dengan ketebalan 70 nm, sudut datang 75° ,
dan panjang gelombang 594 nm dengan nilai |δΔ| sebesar 63,1°.

xxv
Kata kunci: spectroscopic ellipsometri, lapisan tipis emas (Au), konstanta optik,
biosensor, mikroalga.
ABSTRACT

SPECTROSCOPIC ELLIPSOMETRY STUDY ON GOLD THIN FILM

FOR BIOSENSOR APPLICATION

By

Riza Ariyani Nur Khasanah

15/392177/PPA/05049

Spectroscopic ellipsometry study on gold (Au) thin film for biosensor application
has been done. In this work, a rotating analyzer ellipsometer (RAE) with the
visible light source (from 380 nm to 800 nm) has been constructed successfully.
Au thin films with different thicknesses (30 nm, 50 nm, 70 nm, and 100 nm) were
fabricated by RF Magnetron Sputtering technique and their surface structures
were studied by atomic force microscopy (AFM). The measurement of
ellipsometry was performed at different incident angles (60° , 65° , 70° and 75° ).
Optical models, like Cauchy, Drude-Lorentz, and effective medium approximation
(EMA)-Bruggeman, were used to analyze the results of measurement. The results
show that the optical constant of Au thin film does not depend on the incidence
angle because Au is isotropic. However, the optical constant depends on the
wavelength and the thickness of thin film. Absorption of electron represented by
an optical constant is increasing as the wavelength is increasing. It can be caused
by the interband transition from 5d-band to 6sp-band (Fermi level) which the
difference of energy level is about 2.55 eV to 2.60 eV. The absorption is higher at
the lower thicknesses of Au thin film. It is reasonable since there is a quantum
confinement effect in the material having a size less than 100 nm order. This work
aims to detect the presence of microalgae of Glagah isolate mixed with polyvinyl
alcohol (PVA) with the concentration of 2 % for immobilization. The mixture was
coated on Au thin film by vacuum spin coating technique. The indicator of
microalgae presence can be seen from the change of ψ and Δ . This biosensor
showed the best performance when the thickness of Au thin film is 70 nm, the
incidence angle is 75° , and the wavelength is 594 nm which |δΔ| is 63.1° .

Keywords: spectroscopic ellipsometry, gold (Au) thin film, optical constant,

biosensor, microalgae.

xxvi