LAPORAN PRAKTISI MENGAJAR SERI 6

ANALISIS DATA FIELD EMISSION SCANNING ELECTRON

MICROSCOPY (FESEM)
(Analisis Sifat Fisis Material)

Oleh

OLGA SAPUTRA
2017041026

JURUSAN FISIKA
FAKULTAS MATEMATIKA DAN ILMU PENGETAHUAN ALAM
UNIVERSITAS LAMPUNG
2023
 Analisis Data Field Emission Scanning Electron Microscopy (FESEM)

Fathan Bahfie, S.T., M.T.

Mikroskopi elektron pemindai dengan emisi lapangan, atau Field Emission

Scanning Electron Microscopy (FESEM), adalah salah satu alat penting dalam
dunia ilmu pengetahuan dan teknologi yang digunakan untuk mengamati objek
dalam skala nanometer. FESEM adalah perkembangan dari mikroskopi elektron
konvensional yang memungkinkan pengguna untuk mendapatkan citra dengan
resolusi tinggi dan detail nanometer. Makalah ini akan menjelaskan pengenalan
singkat tentang FESEM, sejarah perkembangan, prinsip dasar operasi, aplikasi,
dan potensi masa depan.

FESEM pertama kali diperkenalkan pada tahun 1965 oleh Erwin Wilhelm Müller
dan Peter S. Pershan. Teknologi ini muncul sebagai respons terhadap kebutuhan
untuk meningkatkan resolusi dalam mikroskopi elektron konvensional. Metode
FESEM awalnya memungkinkan pemindahan emisi elektron dari permukaan
tajam (biasanya ujung tajam), dan ini memungkinkan resolusi yang lebih tinggi
dibandingkan dengan Sistem Mikroskopi Elektron Konvensional (SEM). Selama
beberapa dekade, teknologi FESEM terus berkembang dan mengalami berbagai
peningkatan yang menjadikannya alat penting dalam berbagai bidang penelitian.

Langkah-Langkah Preparasi Sampel dan Analisis FESEM:

1. Persiapan Sampel: Tahap persiapan sampel yaitu berupa pembersihan,

pengeringan, dan mungkin aplikasi lapisan konduktif, tergantung pada jenis

sampel dan analisis yang diperlukan.

2. Menyalakan Komputer: Komputer tersebut akan terhubung ke mikroskop

SEM yang berguna sebagai pengoperasian perangkat, pengontrol parameter,

dan pengambil gambar. Pastikan komputer dihidupkan dan perangkat lunak

SEM sudah siap dijalankan

3. Pemeriksaan Peralatan Pendukung: peralatan pendukung yang digunakan

yaitu seperti Uninterruptible Power Supply (UPS) yang harus berfungsi

dengan baik. Hal tersebut penting untuk melindungi sistem SEM dari

kerusakan akibat gangguan daya listrik.

4. Ambil Sample Holder di Home Stage: Sample holder biasanya disimpan di

posisi "home stage”. Ambil sample holder untuk menyiapkan sampel.

5. Matikan Ruang Vakum: Mikroskop SEM bekerja dalam kondisi vakum.

Maka, untuk menghindari kerusakan sistem SEM pastikan ruang vakum

tersebut dimatikan sebelum membuka chamber

6. Buka Chamber dan Letakkan Sampel: Setelah sampel ditempatkan, tutup

chamber kembali.

7. Nyalakan Ruang Vakum: Sistem vakum perlu dihidupkan untuk

menciptakan kondisi vakum yang dibutuhkan di dalam chamber.

8. Aktifkan Sumber Elektron: Sumber elektron biasanha berupa sinar elektron,

untuk menghasilkan elektron yang akan digunakan untuk pemindaian sampel.

9. Atur Ketinggian: Sesuaikan jarak antara sampel dan pistol elektron, biasanya

sekitar 10mm, untuk mencapai fokus yang baik.

10. Atur Fokus dan Ketinggian Sampel: Pengaturan fokus dan ketinggian

sampel agar gambar yang dihasilkan memiliki kualitas yang optimal.

11. Matikan Sumber Elektron (Opsional): Opsi ini digunakan jika Anda ingin

mengambil gambar dalam mode tertentu seperti Secondary Electron Detector

Array (SADARI) atau mode tambahan lain yang mungkin diperlukan.

12. Ambil Gambar FESEM: Pada tahap ini, dapat mulai mengambil gambar

SEM dengan mengatur parameter seperti besaran pembesaran dan kekuatan

pengambilan gambar yang sesuai.

13. Pemetaan EDS (Energy Dispersive X-ray Spectroscopy): Setelah mengambil

gambar SEM, dapat juga menggunakan teknik EDS untuk menganalisis

komposisi elemen pada sampel jika sistem SEM Anda dilengkapi dengan

peralatan EDS.

Beberapa komponen utama dalam FESEM meliputi:

1. Katoda Tajam
Pada katoda tajam, elektron-emisi terjadi karena medan listrik tinggi diujung
tajam.
2. Lens Elektromagnetik
Lensa ini digunakan untuk mengarahkan dan fokuskan aliran elektron ke
sampel.
3. Detektor Elektron
Detektor ini mengukur elektron yang tersebar oleh sampel dan menghasilkan
citra berdasarkan informasi ini.
4. Sistem Kendali
Sistem ini mengatur parameter-operasi FESEM seperti tingkat energi elektron,
tingkat arus, dan jarak fokus.
Bukti Kehadiran