Scanning Electron

Microscope
Moh. Wildan Ali F (165060300111016)
 Pengertian

Scanning Electron Microscope (SEM) adalah alat pembesaran yang

kuat yang memanfaatkan berkas elektron yang terfokus untuk
mendapatkan informasi.

Scanning Electron Microscope menyediakan data permukaan

terperinci dari sampel padat. Dibutuhkan elektron tak terduga untuk
memfokuskannya pada spesimen, elektron yang tersebar dari
permukaan setelah interaksi dapat dianalisis dengan berbagai detektor
yang memberikan informasi topografi, morfologi dan komposisi
mengenai permukaan sampel.

2
3
 Prinsip Kerja
a) Proses dimulai dengan pistol elektron yang menghasilkan
seberkas elektron energik di kolom dan ke serangkaian lensa
elektromagnetik.
b) Lensa-lensa ini adalah tabung, dibungkus dengan koil dan
disebut sebagai solenoida. Kumparan disesuaikan untuk fokus
sinar elektron datang ke sampel.
c) Karena penyesuaian sinar, menyebabkan fluktuasi tegangan,
meningkatkan / mengurangi kecepatan di mana elektron
bersentuhan dengan permukaan spesimen.
d) Kemudian pengontrolan dilakukan melalui komputer, operator
SEM dapat menyesuaikan sinar untuk mengontrol perbesaran
serta menentukan luas permukaan yang akan dipindai.
e) Electron beam akan difokuskan ke ruang sampel, di mana
sampel padat ditempatkan.
 KOMPONEN

1. Electron Guns
-tungsten filament (didalam
electron gun) mencapai 2400ºC
-digunakan untuk memproduksi
electron beam yang akan
ditembakkan ke sampel

5
 KOMPONEN

2. Lenses
-Lensa objektif - mengubah posisi
titik di mana elektron difokuskan
pada sampel.
-Lensa kondensor - menentukan
jumlah elektron dalam berkas
yang mengenai sampel dengan
mengurangi diameter berkas
elektron. 6
 KOMPONEN

3. Scanning Coils
-Digunakan untuk raster / memindai
elektron beam yang melintasi
permukaan sampel.

-Sinar elektron dapat dipindai dalam

raster persegi panjang di permukaan
sampel dengan menggunakan
serangkaian "scan coils" yang terletak
di atas lensa objektif.
7
 KOMPONEN

4. Sample Chamber
-tempat dimana sampel
diletakkan dan diuji

8
 KOMPONEN

5. Detectors
-untuk mendeteksi elektron
sekunder dan elektron yang
berhamburan balik

9
 KOMPONEN

6. Vacuum Chamber
-digunakan untuk melindungi elektron beam agar
tidak terinterferensi dengan udara bebas

10
 KOMPONEN
7. Aperture

-mengontrol jumlah elektron

beam menuju sampel
-mengontrol sudut konvergensi
akhir sebuah elektron beam
menuju sampel

11
Keuntungan Kerugian
1. Dapat digunakan pada 1. Ukuran alat besar
beragam aplikasi 2. Biaya mahal
2. Pencitraan tiga dimensi 3. Harus ditempatkan di
yang baik area bebas dari
3. Topografi yang terperinci gangguan listrik,
magnetik, dan getaran
4. Mudah dioperasikan

12
 REFERENSI

- Working_Principle_of_Scanning_Electron_Microscope.p
df
- Scanning_Electron_Microscope:_Advantage_and_Disad
vantage_in_Imaging_Components.pdf

13