MAKALAH TEKNIK KARAKTERISASI MATERIAL

TEM
(TRANSMISSION ELECTRON MICROSCOPY)

Oleh

Fildzah Rudyah Putri Nurzam (14034015)

Helmita (14034039)

Dosen Pembimbing :
Dra. Yenni Darvina, M.Si

JURUSAN FISIKA
FAKULTAS MATEMATIKA DAN ILMU PENGETAHUAN ALAM
UNIVERSITAS NEGERI PADANG
2017
 KATA PENGANTAR

Syukur Alhamdulillah tidak lupa Penulis ucapkan kehadirat Allah Yang

Maha Esa atas segala limpahan Rahmat dan Karunia-Nyalah sehingga Penulis
dapat menyelesaikan makalah ini sesuai dengan jangka waktu yang telah
ditentukan.Dalam makalah diangkat judul TEM dengan pembahasan yaitu
deskripsi alat, fungsi TEM, prinsip kerja alat, fungsi kompone-komponen TEM,
cara menggunakan alat, data yang dihasilkan TEM dan interpretasi data.

Penulis sadari sepenuhnya dalam penyusunan makalah ini masih terdapat

kekurangan karena keterbatasan pengetahuan yang penulis miliki.Oleh karena itu,
penulis mengharapkan kritik dan saran yang bersifat membangun
bagikesempurnaan makalah ini.Akhir kata Penulis ucapkan terima kasih dan
semoga makalah ini dapat bermanfaat bagi kita semua.Amin.

Padang, 5 April 2017

Penulis

i
 DAFTAR ISI

KATA PENGANTAR

DAFTAR ISI

BAB I PENDAHULUAN

A. Latar Belakang ..................................................................................... ... 1

B. Rumusan Masalah ................................................................................. ... 2
C. Tujuan Penulisan ......................................................................................3
BAB II KAJIAN TEORI

A. Konsep Fisika yang berhubungan dengan TEM....................................4

B. Pengertian TEM......................................................................................5
C. Bagian-bagian dari TEM.........................................................................7
BAB III TEM

A. Keberadaan Alat....................................................................................10
B. Prinsip Kerja......................................................................................... 10
C. Cara Menggunakan Alat TEM...............................................................11
D. Persiapan Sampel dan Bentuk Sampel yang dapat dikarakterisasi........12
E. Bentuk data dari TEM...........................................................................14
F. Interpretasi Data....................................................................................15
BAB IV PENUTUP

A. Kesimpulan ....................................................................................... ..17

B. Saran........ .......................................................................................... ..18
DAFTAR PUSTAKA

ii
iii
 BAB I
PENDAHULUAN

A. Latar Belakang

Perkembangan ilmu pengetahuan memberikan dampak yang positif terhadap

perkembangan teknologi. Kemajuan ilmu pengetahuan yang berorientasi pada
pengembangan teknologi dan informasi merupakan bagian dari kehidupan
masyarakat dunia saat ini khususnya kalangan akademisi, banyak cara yang dapat
dilakukan untuk memanfaatkan perkembangan teknologi saat ini dalam
memperoleh informasi, salah satunya adalah dalam mendeteksi struktur
permukaan berbagai jenis sampel atau contoh bahan yang dibutuhkan di dalam
suatu penelitian.
Dewasa ini hampir semua bidang IPTEK, serta jaminan kualitas mutu
produksi dalam dunia industri, terutama industri berbasis teknologi tinggi tidak
dapat lepas dari pemantauan skala mikro (sepermiliar milimeter) atau bahkan
pemantauan pada skala yang jauh lebih kecil hingga beberapa puluh nanometer
dengan menggunakan mikroskop. Salah satu jenis mikroskop yang berkembang
sekarang ini adalah mikroskop elektron yang terdiri dari Transmission Electron
Microscopy (TEM) dan Scanning Electron Microscopy (SEM).
Scanning Electron Microscopy (SEM) menghasilkan bayangan dengan
resolusi yang tinggi, maksudnya adalah pada jarak yang sangat dekat tetap dapat
menghasilkan perbesaran yang maksimal tanpa memecahkan gambar.
Transmission Electron Microscopy (TEM) adalah sebuah mikroskopdimana
sebuah berkas elektronditembakkan melalui spesimen ultra tipis.
Berdasarkan uraian di atas, penulis mencoba membuat makalah yang
berjudul:Transmission Electron Microscopy (TEM).(Anonymous, Transmission
Electron Microscope (TEM), accesed from unl.edu.com)
Pada tahun 1931, Seorang ilmuwan dari universitas Berlin yaitu Dr. Ernst
Ruska membuat mikroskop transmisi elektron (TEM) untuk pertama kali. Untuk
hasil karyanya ini, dunia ilmu pengetahuan menganugerahinya hadiah
Penghargaan Nobel dalam bidang fisika pada tahun 1986. Mikroskop yang

1
pertama kali diciptakannya menggunakan dua lensa medan magnet, namun tiga
tahun kemudian ia menyempurnakan karyanya tersebut dengan menambahkan
lensa ketiga, lalu mendemonstrasikan hasil kinerjanya dan menghasilkan resolusi
hingga 100 nanometer (nm). TEM adalah mikroskop yang mampu untuk
melakukan pembesaran objek sampai 2 juta kali, yang menggunakan elektro statik
dan elektro magnetik untuk mengontrol pencahayaan dan tampilan gambar serta
memiliki kemampuan pembesaran objek serta resolusi yang jauh lebih bagus
daripada mikroskop cahaya. Mikroskop elektron ini menggunakan jauh lebih
banyak energi dan radiasi elektromagnetik yang lebih pendek dibandingkan
mikroskop cahaya (Aptika oktaviana t.d.2009. Teknologi penginderaan
mikroskopi. FMIPA Universitas sebelas maret: surakarta)

B. Rumusan Masalah
Berdasarkan latar belakang tersebut maka dapat dirumuskan masalah,
yaitu sebagai berikut;
1. Apa saja konsep dasar fisika yang berhubungan dengan TEM?
2. Apa itu TEM dan apa fungsinya?
3. Apa saja bagian-bagian TEM?
4. Bagaimana prinsip dari TEM?
5. Bagaimana cara menggunakan TEM?
6. Bagaimana cara membuat persiapan sampel dan bentuk sampel yang
dapat dikarakterisasi?
7. Bagaimana bentuk data yang diperoleh dari TEM?
8. Bagaimana cara menginterpretasikan datanya?
C. Tujuan Penulisan
Adapun tujuan penulisan makalah ini adalah sebai berikut;
1. Untuk mengetahui apa saja konsep dasar fisika yang berhubungan
dengan TEM?
2. Untuk mengetahui apa itu TEM dan fungsinya.
3. Untuk mengetahui bagian-bagian TEM
4. Untuk mengetahui bagaimana prinsip dari TEM.
5. Untuk mengetahui cara menggunakan TEM.

2
6. Untuk mengetahui cara membuat persiapan sampel dan bentuk sampel
yang dapat dikarakterisasi.
7. Untuk mengetahui bentuk data yang diperoleh dari TEM.
8. Untuk mengetahui cara menginterpretasikan data dari hasil pengujian.

3
 BAB II
KAJIAN TEORI

A. Konsep Dasar TEM

Teori gelombang De Broglie

Pada tahun 1924, Louis de Broglie, menjelaskan bahwa cahaya dapat

berada dalam suasana tertentu yang terdiri dari partikel-partikel,
kemungkinan berbentuk partikel pada suatu waktu sehingga untuk

menghitung panjang gelombang satu partikel diperoleh:

Hipotesis de Broglie terbukti benar dengan ditemukannya sifat

gelombang dari elektron. Elektron mempunyai sifat difraksi seperti halnya
sinarX. Sebagai akibat dari dualisme sifat elektron sebagai materi dan
sebagai gelombang, maka lintasan elektron yang dikemukakan Bohr tidak
dapat dibenarkan. Gelombang tidak bergerak menurut suatu garis, melainkan

4
 menyebar pada suatu daerah tertentu
(https://belajarkimiaonlineyuk.wordpress.com/teori-atom-mekanika-kuantum-
2/materi/hipotesis-louis-de-broglie/)

B. Pengertian TEM

TEM adalah salah satu jenis mikroskop yang memanfaatkan adanya

penemuan electron. Sesuai dengan namanya, mikroskop ini memanfaatkan
electron dengan cara mentransmisikan electron sehinggan nantinya akan
ditangkap oleh sebuah layar yang akan menghasilkan gambar dari struktur
material tersebut. Secara mudahnya, TEM cara kerjanya mirip dengan cara kerja
dari sebuah slide proyektor

Gambar tadi bisa terbentuk oleh karena adanya interaksi antara electron
yang ditransmisikan melewati specimen, lalu gambar akan membesar dan akan
difokuskan padasuatu alat pencitraan, biasanya dengan menggunakan layar
flouresent atau dengan suatu sensor seperti kamera CCD

Dengan TEM, maka gambar yang kita hasilkan akan memiliki tingkat
resolusi yang jauh lebih tinggi daripada mikroskop cahaya. Kita dapat melihat
sesuatu yang memiliki ukuran 10.000 kali lebih kecil daripada ukuran objek
terkecil yang bisa terlihat di mikroskop cahaya(http://www.matter.org.uk/tem/)

Pada Gambar. 1 adalah penampakan keseluruhan dari TEM

Gambar 1. TEM(Nuryadi, Ratna. 2008. Mikroskop dan Teknologi Nano. Ditulis

olehadministrator.URL:http://nano.or.id/index.php?Option=comcontent&task=vie
w&id=52&Itemid=36

5
 Pada perbesaran kecil, gambar TEM akan kontras karena absorbsi elektron
pada material akibat dari ketebalan dan komposisi material. Pada perbesaran
tinggi, maka gambar yang dihasilkana akan menampilkan data yang lebih jelas
pada analisa struktur kristal, dan lainnya.

Dalam dunia riset, TEM (Transmission Elektron Mikroskopi) merupakan

salah satu mikroskop yang penting. Dalam bidang material, mikroskop ini
digunakan untuk mengetahui struktur material terutama bentuk kristal penyusun
material yang tidak dapat dilihat dengan
mikroskop biasa.

TEM pertama kali dirancang oleh Max Knoll dan Ernst Ruska, prinsip
awalnya dilakukan dengan membatasi pencitraan gelombang cahaya terhadap
objek yang akan dilihat. TEM sederhana tersebut hanya mampu melihat spesimen
material hingga 16 kali pembesaran. Perkembangan berikutnya kohler dan rohr
menggunakan sinar ultraviolet, namun hal ini tidak dapat menghasilkan apa-apa
karena terkendala oleh panjang gelombang.

Berikutnya max knoll di Universitas Teknologi Berlin Adolf Matthias,

ditunjuk sebagai ketua tim peneliti untuk mengembangkan desain CRO yaitu
desain defleksi sinar katoda. Kemudian pada tahun 1931 kelompok ini berhasil
menggerakkan gambar yang diperbesar dari grid mesh yang diletakkan di atas
aperture anoda. Alat ini menggunakan dua lensa magnetik untuk mencapai
perbesaran yang lebih tinggi, dan alat inilah yang disebut mikroskop elektron
pertama TEM (Transmission electron microscopy. Accesed from wiki.org)

6
C. Bagian-Bagian dari TEM
Pada Gambar. 2 terlihat bagian-bagian dari TEM

Gambar 2. Bagian-bagian TEM(http://www.microscopy.ethz.ch/TEM.htm)

Berikut adalah komponen-komponen yang terdapat pada TEM beserta

penjelasannya:

a. Ruang Vakum

Ruang vakum merupakan tempat dimana interaksi elektron terjadi,

TEM standar mempunyai tekanan rendah, yaitu sekitar 10-4 Pa. Hal ini
dimaksudkan untuk mengurangi perbedaan tegangan antara katoda dan
ground, dan juga untuk mengurangi frekuensi tumbukan elektron dengan
atom gas. TEM membutuhkan film yang harus diganti secara teratur tiap
ada objek sehingga TEM dilengkapi dengan sistem pemompaan ganda dan
airlocks.

b. Spesimen stages

Spesimen stages merupakan bagian yang fungsinya seperti meja

preparat di mikroskop, yaitu berfungsi untuk meletakkan objek / preparat.
Di dalam TEM spesimen stages ini berupa jaring-jaring yang bisa kita
sebut dengan grid. Ukuran grid TEM standar ditunjukkan seperti cincin
berdiameter 3,05 mm, dengan ukuran ketebalannya mulai dari 100 pM.
Sampel diletakkan pada grid dengan ukuran sekitar 2,5 mm. Grid biasanya
terbuat dari tembaga, molibdenum, emas atau platinum. Untuk spesimen

7
Elektron transparan memiliki ketebalan sekitar 100 nm, tetapi nilai ini
tergantung pada tegangan percepatan.

c. Electron gun

Electron gun merupakan bagian dari TEM yang sangat penting,

electron gun inilah yang menghasilkan partikel-partikel elektron. Electron
gun memiliki beberapa komponen penting yaitu filament, sebuah biasing
circuit, sebuah Wehnelt cap, dan sebuah extraction anode. Elektron dapat
di ekstraksi dengan menghubungkan filamen ke komponen power supply
negatif, elektron "dipompa" dari pistol elektron ke lempeng anoda, dan
kolom TEM. Pistol dirancang untuk membuat berkas elektron keluar dari
rangkaian dalam beberapa sudut tertentu, yang dikenal sebagai semiangle
perbedaan pistol, .

Dengan membentuk silinder Wehnelt sedemikian rupasehingga

memiliki muatan negatif lebih tinggi dari filamen itu sendiri untuk
membuat elektron keluar dari filamen dengan cara diverging. Pada operasi
yang tepat, pola elektron dipaksa untuk memusat dengan diameter ukuran
minimum crossover pistol.

d. Electron lens

Lensa elektron dirancang dengan cara meniru lensa optik, dengan

memfokuskan sinar sejajar pada beberapa constant focal length. Lensa
dapat beroperasi elektrostatis atau magnetis. Mayoritas lensa elektron
untuk TEM menggunakan kumparan elektromagnetik untuk menghasilkan
lensa cembung. Untuk lensa ini bidang yang dihasilkan harus radial
simetris, deviasi dari simetri radial lensa magnetik dapat menyebabkan
aberasi seperti astigmatisme, spherical and chromatic aberration. lensa
elektron dibuat dari besi, komposit besi-kobalt atau kobalt nikel.

Seluruh komponen termasuk yoke, kumparan magnet, pole,

polepiece, dan sirkuit kontrol eksternal. polepiece harus diproduksi dengan
cara yang sangat simetris. Kumparan yang menghasilkan medan magnet

8
berada di dalam yoke. Biasanya kumparan dapat digunakan dengan
tegangan tinggi, oleh karena itu memerlukan isolator untuk mencegah
hubungan arus pendek pada komponen lensa. Thermal distributor
digunakan sebagai peredam panas yang dihasilkan oleh energi yang hilang
dari gulungan coil.

e. Apertures

Apertures merupakan lingkaran pelat logam yang terdiri dari

sebuah cakram logam kecil yang cukup tebal. Apertures digunakan untuk
mengarahkan elektron agar dapat berjalan secara aksial. Hal ini dapat
menyebabkan efek simultan, yaitu apertures dapat mengurangi berkas
intensitas dan menghilangkan elektron yang tersebar di berbagai sudut
tinggi, yang mungkin disebabkan oleh proses-proses yang tidak diinginkan
seperti aberration, atau karena difraksi dari interaksi dalam sampel.

Dengan adanya aperture, elektron sentral dalam TEM

menyebabkan dua efek simultan:

Pertama, aperture mengurangi intensitas berkas elektron yang

disaring dari balok, yang mungkin diinginkan dalam kasus sampel balok
sensitif.

Kedua, penyaringan ini menghilangkan elektron yang tersebar pada

sudut tinggi, yang mungkin disebabkan oleh proses-proses yang tidak
diinginkan seperti aberration bola atau berwarna, atau karena difraksi dari
interaksi dalam sampel(Stoian, Razvan, Andrew Hill, Tress
Hariiman.2006. TEM,SEM, and AFM of polystyrene latex and gold
nanoparticles. Submission of journal publication on December, 7 2006.)

9
 BAB III

TEM

(TRANSMISSION ELECTRON MICROSCOPY)

A. Keberadaan Alat
1. Laboratorium Kimia FMIPA UGM http://www.wikipedia.co.id)

B. Prinsip TEM

Prinsip kerja TEM dimulai dari sumber emisi (pistol elektron) yaitu
tungsten filament dan sumber lanthanum hexaboride (LaB6). Dengan
menghubungkan pistol ini dengan sumber tegangan tinggi (biasanya ~ 100-300
kV) pistol akan mulai memancarkan elektron baik dengan termionik maupun
emisi medan elektron ke sistem vakum. ekstraksi ini biasanya dibantu dengan
menggunakan silinder Wehnelt. Interaksi elektron dengan medan magnet akan
menyebabkan elektron bergerak sesuai dengan aturan tangan kanan, sehingga
memungkinkan elektromagnet untuk memanipulasi berkas elektron. Penggunaan
medan magnet akan membentuk sebuah lensa magnetik dengan kekuatan fokus
variabel yang baik. Selain itu, medan elektrostatik dapat menyebabkan elektron
didefleksikan melalui sudut yang konstan. Dua pasang defleksi yang berlawanan
arah dengan intermediete gap akan membentuk arah elektron yang menuju lensa.

Berbeda dengan mikroskop optik yang lensanya bisa langsung

difungsikan, optik TEM bisa cepat berubah, TEM memiliki kekuatan lensa yang
berubah-ubah. Lensa TEM memungkinkan adanya konvergensi, dengan sudut
konvergensi yang sesuai variabel parameter, TEM berkemampuan untuk
mengubah perbesaran dengan cara memodifikasi jumlah arus yang mengalir
melalui kumparan, lensa quadrupole atau lensa hexapole.

Biasanya TEM terdiri dari tiga tahap lensing. Tiga tahapan itu adalah lensa
kondensor, lensa objektif, dan lensa proyektor. Lensa kondensor bertanggung
jawab untuk pembentukan balok primer, sedangkan fokus lensa objektif datang

10
melalui sampel itu sendiri (dalam STEM mode pemindaian, ada juga lensa
objektif atas sampel untuk membuat konvergen insiden berkas elektron). Lensa
proyektor digunakan untuk memperluas sinar ke layar fosfor atau perangkat
pencitraan lain, seperti film. Pembesaran TEM berasal dari rasio jarak antara
spesimen dan lensa objektif. Selain itu, lensa Quad dan hexapole digunakan untuk
koreksi distorsi balok asimetris, yang dikenal sebagai astigmatisme. Perlu dicatat
bahwa konfigurasi TEM optik sangat berbeda dengan kenyataannya.

Sistem Pencitraan dalam TEM terdiri dari layar fosfor, partikel sulfida
seng dibuat sehalus mungkin (10-100 pM) untuk pengamatan langsung oleh
operator. sistem perekaman gambar berdasarkan film atau doped YAG yang
digabungkan CCD layar. Perangkat ini dapat dihapus atau dimasukkan ke dalam
jalur balok oleh operator sesuai kebutuhan.

Secara umum, elektron dihamburkan oleh partikel di udara, yang

diperlukan untuk memperbaiki (dan mempercepat) electron yang disimpan dalam
ruang hampa untuk mencegah interaksi yang tidak diinginkan. Oleh karena itu,
untuk melihat spesimen hidup di bawah TEM sulit untuk dilakukan. Selain itu,
elektron tidak dapat menembus spesimen yang sangat tebal lapisannya, karena
hanya dapat menembus 50-100nm.

Prinsip kerja dari TEM secara singkat adalah sinar elektron mengiluminasi
spesimen dan menghasilkan sebuah gambar diatas layar pospor. Gambar dilihat
sebagai sebuah proyeksi dari spesimen. Skema dari TEM lebih detil dapat dilihat
pada gambar berikut ini (Egerton, Ray F. Physical Principles of Electron
Microscopy: An Introduction to TEM, SEM, and AEM.2005)

C. Cara Kerja TEM

Pada TEM digunakan berkas elektron energi tinggi kepada material

tipis. Material tersebut harus tipis agar elektron dapat menembus material.
Bagian yang keras dari material akan menyebabkan sedikitnya berkas elektron
yang diteruskan. Lalu semua hasilnya diolah melalui program komputer

11
D. Bentuk Sampel yang Dapat Dikarakterisasi dan Cara karakterisasi

Spesimen dari TEM

Syarat yang harus dipenuhi sampel untuk dianalisa menggunakan TEM

adalah memiliki ukuran diameter maksimum 3 mm. selain itu, specimen
juga harus memiliki ketebalan antara 100-500 nm atau kurang (khusus
pemakaian High Resolution TEM). Pembagian sampel TEM :

a. Biologi

Mengambil bagian yang ingin diamati dan diletakkan pada lapisan

tipis karbon atau formvar film. Untuk partikel seperti virus harus
dibekukan pada lapisan es yang tipis.

b. Material
Melakukan preparasi sampel untuk metalografi klasik, seperti
grinding, polishing dan etching untuk memperoleh sampel yang tipis
dan tembus atau dapat dilewati electron. Namun,untuk pada masa
sekarang teknik FIB mulai digunakan sebagai pengganti teknik
metalografi klasik tersebut.

TEM memiliki fungsi untuk analisis morfologi, struktur Kristal,

dan komposisi Spesimen. Sample yang digunakan pada TEM adalah
spesimen yang tipis . Agar pengamat dapat mengamati preparat dengan
baik, diperlukan persiapan sediaan dengan tahap sebagai berikut :

1. Melakukan fiksasi, yang bertujuan untuk mematikan sel tanpa mengubah

struktur sel yang akan diamati. fiksasi dapat dilakukan dengan
menggunakan senyawa glutaraldehida atau osmium tetroksida.
2. pembuatan sayatan, bertujuan untuk memotong sayatan hingga setipis
mungkin agar mudah diamati di bawah mikroskop. Preparat dilapisi dengan
monomer resin melalui proses pemanasan, kemudian dilanjutkan dengan
pemotongan menggunakan mikrotom. Umumnya mata pisau mikrotom

12
terbuat dari berlian karena berlian tersusun dari atom karbon yang padat.
Oleh karena itu, sayatan yang terbentuk lebih rapi. Sayatan yang telah
terbentuk diletakkan di atas cincin berpetak untuk diamati.

a. Preparation of thin sections

Pengambilan sampel dengan ferri osmium (stabilizes lipid

bilayers and proteins) dan glutaldehyde (biasanya dilakukan di awal;
ikat silang protein dengan ikatan kovalen)

memungkinkan spesimen untuk mengalami dehidrasi dan

diresap oleh resin monomer. Spesimen dalam bentuk ini dapat diiris
dengan baik dengan pisau berlian atau ultra-mikrotom untuk
membuat bagian tipis yang bebas dari air dan zat volatil. Prosedur ini,
kurang umum digunakan, oleh karena itu digantikan oleh rapid
freezing.

b. Rapid freezing:

Pembuatan lapisan tipis suatu specimen yang diuji dengan

TEM tidak menjamin bahwa specimen tersebut dapat dilihat di bawah
mikroskop menyerupai struktur dalam bentuk (ikatan kovalen protein
yang bermasalah) yang sebenarnya. Untuk memastikan sepenuhnya,
specimen harus diawetkan tanpa merusak struktur aslinya yang
dimungkinkan untuk pembekukan cepat spesimen dengan sedemikian
rupa sehingga mencegah molekul-molekul air dari menata ulang
strukturnya sendiri. Dengan memasukkan spesimen ke dalam sebuah
polesan blok tembaga dingin dengan helium, air sangat dingin
dimasukkan ke dalam es vitreous. Spesimen ini kemudian dapat diiris
dengan sebuah ultramicrotome.

Pelapisan/pewarnaan, bertujuan untuk memperbesar kontras

antara preparat yang akan diamati dengan lingkungan sekitarnya.
Pelapisan/pewarnaan dapat menggunakan logam berat seperti uranium

13
 dan timbal(tri-w-b-fst08.2011. TEM(transmission electron
microscopy)http://www.microscopy.ethz.ch/TEM.htm)

E. Bentuk Data

Berdasarkan jurnal Riset Industri . Volume V, Nomor 02 Tahun 2011, hal

175-182. Balai Besar Keramik, Kementrian Perindustrian oleh Setiati, Suhanda,
Naili Sofiyaningsih, Yoyo Suparyo yang berjudul Sintesis dan karakterisasi nano
powder alumina titania dengan metode masking gel. Bentuk data keluaran TEM
adalah sebagi berikut:

Gambar 3. Foto morfologi SEM (Scanning Electron Microscope) nano

alumina titania berbasis gibsit kalsinasi suhu 1200 C

Gambar 4. Foto mikrostruktur TEM (Transmission Electron Microscope) nano

alumina titania berbasis gibsit kalsinasi suhu 1000C (AT 361 1000)

14
 Gambar 5. Foto mikrostruktur TEM (Transmission Electron Microscope) nano
alumina titania berbasis bayerit setelah dikalsinasi suhu 1000C (AT 661 1000)

F. Interpretasi Data
Gambar SEM (Scanning Electron Microscope) pembentukan bodi alumina
titania dengan temperatur kalsinasi 1200 C untuk kode serbuk AT 361 1200
ditunjukkan pada Gambar 3. Pada Gambar 3 sesuai juga dengan hasil karakteristik
mineraloginya, menunjukkan terdapatnya mineral berbentuk batanganbatangan
yang merupakan bentuk dari mineral rutil, sedangkan bentuk mineral korundum
berupa lempengan-lempengan memanjang rhombohedral yang menunjukkan
keberadaan mineral korundum. Bentuk partikel atau kristal dengan menggunakan
TEM (Transmission Electron Microscope) pada serbuk AT 361 1000 ditunjukkan
pada Gambar 4.

Dari gambar tersebut terlihat mineral yang saling bertumpuk sehingga

tidak terlalu jelas perbedaan bentuk mineral yang ada. Seperti pada pembahasan
sebelumnya, bahwa mineral atau partikel yang saling bertumpuk tersebut akibat
adanya fasa gelas (solid solution) dari alumina titania yang cukup tinggi.

Serbuk AT 661 1000

Bentuk partikel atau kristal dengan menggunakan TEM (Transmission

Electron Microscope) pada serbuk AT 661 1000 ditunjukkan pada Gambar 5.
Pada TEM (Transmission Electron Microscope) pada Gambar 5 untuk AT 661
1000 dapat dilihat bentuk lempengan-lempengan tidak beraturan yang merupakan

15
bentuk dari kappa-alumina, sedangkan bentuk mirip lempengan-lempengan
rhombohedral adalah bentuk dari mineral korundum.

16
 BAB IV
PENUTUP
A. Kesimpulan
1. TEM adalah mikroskop elektron yang paling teliti yang digunakan untuk
menentukan ukuran partikel karena resolusi yang sangat tinggi. TEM
digunakan untuk menentukan bentuk dan ukuran partikel yang sangat teliti
karena memiliki resolusi yang tinggi serta untuk mengetahui keteraturan
lapisan tipis pada permukaan partikel. Mikroskop transmisi elektron
(TEM=Transmission Electron Microscope) adalah sebuah mikroskop
elektron yang cara kerjanya mirip dengan cara kerja proyektor slide, di
mana elektron ditembuskan ke dalam obyek pengamatan dan pengamat
mengamati hasil tembusannya pada layar.
2. Komponen dasar dari TEM terdiri dari elektron gun, lensa kondenser,
sampel, objek lensa, bidang difraksi, intermediate image, lensa proyektor,
dan layar fluorescen.
3. TEM memiliki fungsi untuk analisis morfologi, struktur Kristal, dan
komposisi Spesimen.
4. TEM bekerja dengan prinsip menembakkan elektron ke lapisan tipis
sampel, yang selanjutnya informasi tentang komposisi struktur dalam
sample tersebut dapat terdeteksi dari analisis sifat tumbukan, pantulan
maupun fase sinar elektron yang menembus lapisan tipis tersebut. Dari
sifat pantulan sinar elektron tersebut juga bisa diketahui struktur kristal
maupun arah dari struktur kristal tersebut.
5. Untuk bentuk data dapat dilihat Berdasarkan jurnal Riset Industri . Volume
V, Nomor 02 Tahun 2011, hal 175-182. Balai Besar Keramik, Kementrian
Perindustrian oleh Setiati, Suhanda, Naili Sofiyaningsih, Yoyo Suparyo
yang berjudul Sintesis dan karakterisasi nano powder alumina titania
dengan metode masking gel.
6. Untuk interpretasi dapat dilihat Berdasarkan jurnal Riset Industri . Volume
V, Nomor 02 Tahun 2011, hal 175-182. Balai Besar Keramik, Kementrian
Perindustrian oleh Setiati, Suhanda, Naili Sofiyaningsih, Yoyo Suparyo

17
 yang berjudul Sintesis dan karakterisasi nano powder alumina titania
dengan metode masking gel.
B. Saran
Berdasarkan apa yang telah saya jelaskan dalam makalah
mengenai TEM ini pasti ada kekurangan maupun kelebihannya. Adapun
kritik maupun saran dapat disampaikan ke penulis agar dapat memperbaiki
makalah ini baik dari segi penulisan, materi, maupun tata bahasa yang
disampaikan. Penulis mengharapkan pembaca dapat mengambil manfaat
dari makalah yang telah dibuat

18
 DAFTAR PUSTAKA

Aptika oktaviana t.d.2009. Teknologi penginderaan mikroskopi. FMIPA

Universitas sebelas maret: surakarta

Anonymous, Transmission Electron Microscope (TEM), accesed from

unl.edu.com

Egerton, Ray F. Physical Principles of Electron Microscopy: An Introduction to TEM,

SEM, and AEM.2005

Nuryadi, Ratna. 2008. Mikroskop dan Teknologi Nano. Ditulis oleh administrator.

URL:http://nano.or.id/index.php?Option=comcontent&task=view&id=52

&Itemid=36

Setiati, Suhanda, Naili Sofianingsih dkk. 2011.Sintesis dan karakterisasi nano

powder alumina titania dengan metode masking gel. Riset Industri. Balai
Besar Keramik Kementrian Perindustrian

Transmission electron microscopy. Accesed from wiki.org diakses 1 April 2017

Tri-w-b-fst08.2011. TEM (transmission electron microscopy)

http://www.microscopy.ethz.ch/TEM.htm diakses 1 April 2017

http://www.matter.org.uk/tem/ diakses 1 April 2017

http://www.microscopy.ethz.ch/TEM.htm diakses 1 April 2017

https://belajarkimiaonlineyuk.wordpress.com/teori-atom-mekanika-kuantum-
2/materi/hipotesis-louis-de-broglie/

http://www.wikipedia.co.id diakses 1 April 2017

19
20