MAKALAH

SCANNING ELECTRON MICROSCOPE (SEM)

Prof. Dr. Nurdin Bukit, M. Si

Disusun Oleh

Kelompok 4 :

Nama :

1. Retta Rondang Sirait (4193540004)

2. Romantina Hutajulu (4192540007)
3. Sufri Sinaga (4193240005)
Kelas : Fisika A 2019

Strata : S-1

Mata Kuliah : Karakterisasi Material

Jurusan Fisika

FAKULTAS MATEMATIKA DAN ILMU PENGETAHUAN ALAM

UNIVERSITAS NEGERI MEDAN

(The Character Building University)

2022
 KATA PENGANTAR
Puji dan syukur kami panjatkan kehadirat Tuhan yang Maha Esa, atas segala rahmat dan
karunia-Nya sehingga makalah ini dengan topik Scanning Electron Microscope (SEM) dapat
terselesaikan tepat waktu. Makalah ini diajukan guna memenuhi tugas mata kuliah Karakterisasi
Material.
Penulis juga mengucapkan terimakasih kepada Bapak Prof. Dr. Nurdin Bukit, M. Si. selaku
dosen pengampu mata kuliah Karakterisasi Material atas bimbingannya kepada kami sehingga
kami dapat menyelesaikan makalah mengenai materi Scanning Electron Microscope (SEM)
dengan baik dan tepat waktu.
Penulis menyadari bahwa makalah ini memiliki banyak kekurangan. Oleh karena itu, kami
sangat mengharapkan kritik serta saran yang mendukung dari para pembaca untuk makalah ke
depannya yang lebih baik lagi. Akhir kata kami mengucapkan banyak terimakasih.

Medan, September 2022

Penulis
Kelompok 4
 DAFTAR ISI

KATA PENGANTAR.....................................................................................................................2
DAFTAR ISI...................................................................................................................................3
BAB I PENDAHULUAN................................................................................................................4
1.1 Latar Belakang..................................................................................................................4
1.2 Rumusan Masalah.............................................................................................................4
1.3 Tujuan...............................................................................................................................5
BAB II PEMBAHASAN.................................................................................................................6
2.1 Pengertian Scanning Electron Microscope...........................................................................6
2.2 Prinsip Kerja Scanning Electron Microscope (SEM).......................................................6
2.3 Komponen-komponen Scanning Electron Microsope (SEM)..........................................8
2.4 Manfaat SEM..................................................................................................................11
2.5 Keunggulan dan Kelemahan SEM..................................................................................11
2.6 Penyiapan Sampel SEM..................................................................................................12
2.7 Menentukan Ukuran Partikel SEM.................................................................................13
2.8 Menentukan Distribusi Ukuran.......................................................................................14
BAB III PENUTUP.......................................................................................................................15
3.1 Kesimpulan.....................................................................................................................15
3.2 Saran................................................................................................................................15
DAFTAR PUSTAKA....................................................................................................................16
 BAB I

PENDAHULUAN
1.1 Latar Belakang
Untuk melihat benda berukuran di bawah 200 nanometer, diperlukan mikroskop dengan
panjang gelombang pendek. Dari ide inilah, di tahun 1932 lahir mikroskop elektron.
Sebagaimana namanya, mikroskop elektron menggunakan sinar elektron yang panjang
gelombangnya lebih pendek dari cahaya. Karena itu, mikroskop elektron mempunyai
kemampuan pembesaran obyek (resolusi) yang lebih tinggi dibanding mikroskop optik.
Sebenarnya, dalam fungsi pembesaran obyek, mikroskop elektron juga menggunakan lensa,
namun bukan berasal dari jenis gelas sebagaimana pada mikroskop optik, tetapi dari jenis
magnet. Sifat medan magnet ini bisa mengontrol dan mempengaruhi elektron yang melaluinya,
sehingga bisa berfungsi menggantikan sifat lensa pada mikroskop optik. Kekhususan lain dari
mikroskop elektron ini adalah pengamatan obyek dalam kondisi hampa udara (vacum). Hal ini
dilakukan karena sinar elektron akan terhambat alirannya bila menumbuk molekul-molekul yang
ada di udara normal. Dengan membuat ruang pengamatan obyek berkondisi vacum, tumbukan
elektron-molekul bisa terhindarkan.
Konsep awal yang melibatkan teori scanning electron microscope pertama kali
diperkenalkan di Jerman (1935) oleh M. Knoll. Konsep standar dari SEM modern dibangun oleh
von Ardenne pada tahun 1938 yang ditambahkan scan kumparan ke mikroskop elektron
transmisi. Scanning electron microscope (SEM) pertama kali dikomersilkan oleh Von
Ardenne pada tahun 1965 dengan fungsi me-scanning dari sinar elektron melewati sampel.
Scanning Electron Microscope (SEM) merupakan instrumen unggul dan mudah digunakan,
dibandingkan dengan instrumen lain, SEM mampu mendeteksi berbagai sinyal dari
spesimen serta dapat digunakan untuk menganalisis skala mikro.
Desain SEM dimodifikasi oleh Zworykinpada tahun 1942 ketika bekerja untuk RCA
Laboratories di Amerika Serikat. Desain kembali direkayasa oleh CW pada tahun 1948 seorang
profesor di Universitas Cambridge. Sejak itu, semakin banyak bermunculan kontribusi signifikan
yang mengoptimalkan perkembangan modern mikroskop elektron. Di dalam SEM terdapat
rangkaian elektron yang dibelokkan oleh tumbukan dengan elektron sampel. Sebelum
menjelajahi jenis elektron dihasilkan oleh SEM khas, pemahaman dasar dari teori elemen yang
dikelilingi diklasifikasikan tabel periodik perlu disebutkan. Sepanjang sejarah banyak fisikawan,
matematikawan, dan ahli kimia mempelajari unsur-unsur di bumi.
Melalui kerja keras para ahli tersebut dan sejumlah orang lain, maka sejumlah besar
informasi yang disusun dan diuji oleh mereka untuk menetapkan prinsip dasar digunakan saat ini
dalam pengembangan mikroskop elektron scanning modern.
1.2 Rumusan Masalah
1. Apa pengertian scanning electron microscope (SEM) ?
2. Bagaimana prinsip kerja scanning electron microscope ?
3. Apa saja komponen-komponen scanning electron microscope (SEM) ?
4. Apa saja manfaat scanning electron microscope (SEM) ?
5. Bagaimana penyiapan sampel SEM ?
6. Apa keunggulan dan kelemahan SEM ?

1.3 Tujuan
1. Mengetahui pengertian scanning electron microscope (SEM).
2. Mengetahui prinsip kerja scanning electron microscope (SEM).
3. Mengetahui komponen scanning electron microscope (SEM).
4. Mengetahui manfaat scanning electron microscope (SEM).
5. Mengetahui penyiapan sampel SEM.
6. Mengetahui Keunggulan dan kelemahan SEM.
 BAB II

PEMBAHASAN
2.1 Pengertian Scanning Electron Microscope
Scanning Elektron Microscope (SEM) adalah salah satu jenis mikroskop elektron yang
menggunakan berkas elektron untuk menggambarkan bentuk permukaan dari material yang
dianalisis. Scanning Elektron Microscope (SEM) merupakan alat yang dapat membentuk
bayangan permukaan. Dengan menggunakan hamburan elektron dalam membentuk bayangan,
elektron berinteraksi dengan atom-atom yang membentuk sampel menghasilkan sinyal yang
berisi informasi tentang topografi permukaan sampel, komposisi dan sifat-sifat lain.
Scanning Electron Microscope (SEM) memiliki resolusi yang lebih tinggi dari pada
mikroskop optic. Hal ini disebabkan oleh panjang gelombang de Broglie yang memiliki elektron
lebih pendek dari pada gelombang optic. Karena makin kecil panjang gelombang yang
digunakan maka makin tinggi resolusi mikroskop. SEM mempunyai depthoffield yang besar,
yang dapat memfokuskan jumlah sampel yang lebih banyak pada satu waktu dan menghasilkan
bayangan yang baik dari sampel tiga dimensi. SEM juga menghasilkan bayangan dengan resolusi
tinggi, yang berarti mendekati bayangan yang dapat diuji dengan perbesaran tinggi.
Kombinasi perbesaran yang lebih tinggi, darkfield, resolusi yang lebih besar dan
komposisi serta informasi kristallografi membuat SEM merupakan satu dari peralatan yang
paling banyak digunakan dalam penelitian, khususnya industri semikonduktor. Elektron
memiliki resolusi yang lebih tinggi daripada cahaya. Cahaya hanya mampu mencapai 200nm
sedangkan elektron bisa mencapai resolusi sampai 0,1 – 0,2 nm. Disamping itu dengan
menggunakan elektron kita juga bisa mendapatkan beberapa jenis pantulan yang berguna untuk
keperluan karakterisasi.

Gambar 1. a) sampel dari Mikroskop SEM; b) sampel dari Mikroskop Optik

2.2 Prinsip Kerja Scanning Electron Microscope (SEM)
Prinsip kerja SEM adalah menembakkan permukaan benda dengan berkas elektron
berenergi tinggi. Permukaan benda yang dikenai berkas akan memantulkan kembali berkas
tersebut atau menghasilkan elektron sekunder ke segala arah. Tetapi ada satu arah di mana
berkas dipantulkan dengan intensitas tertinggi. Detektor di dalam SEM mendeteksi elektron yang
dipantulkan dan menentukan lokasi berkas yang dipantulkan dengan intensitas tertinggi. Arah
tersebut memberi informasi profil permukaan benda seperti seberapa landai dan ke mana arah
kemiringan.

Gambar 2. Dalam SEM berkas elektron berenergi tinggi EM memiliki resolusi yang lebih tinggi
mengenai permukaan material. Elektron pantulan dan elektron sekunder dipancarkan kembali
dengan sudut yang bergantung pada profil permukaan material.
Pada SEM, gambar dibuat berdasarkan deteksi elektron baru (elektron sekunder) atau
elektron pantul yang muncul dari permukaan sampel ketika permukaan sampel tersebut dipindai
dengan sinar elektron. Elektron sekunder atau elektron pantul yang terdeteksi selanjutnya
diperkuat sinyalnya, kemudian besar amplitudonya ditampilkan dalam gradasi gelap-terang pada
layar monitor CRT (cathode ray tube). Di layar CRT inilah gambar struktur obyek yang sudah
diperbesar bisa dilihat. Pada proses operasinya, SEM tidak memerlukan sampel yang ditipiskan,
sehingga bisa digunakan untuk melihat obyek dari sudut pandang 3 dimensi.
Syarat agar SEM dapat menghasilkan citra yang tajam adalah permukaan benda harus
bersifat sebagai pemantul elektron atau dapat melepaskan elektron sekunder ketika ditembak
dengan berkas elektron. Material yang memiliki sifat demikian adalah logam. Jika permukaan
logam diamati di bawah SEM maka profil permukaan akan tampak dengan jelas.
Agar profil permukaan bukan logam jelas dengan SEM maka permukaan material
tersebut harus dilapisi dengan logam. Film tipis logam dibuat pada permukaan material tersebut
sehingga dapat memantulkan berkas elektron. Metode pelapisan yang umumnya dilakukan
adalah evaporasi dan sputtering.
 Gambar 3. Permukaan isolator perlu dilapisi logam agar dapat diamati dengan jelas dibawah
SEM
Pada metode evaporasi, material yang akan diamati permukaanya ditempatkan dalam satu
ruang (chamber) dengan logam pelapis. Ruang tersebut dapat divakumkan dan logam pelapis
dapat dipanaskan hingga mendekati titik leleh. Logam pelapis diletakkan di atas filamen
pemanas. Mula-mula chamber divakumkan yang dikuti dengan pemanasan logam pelapis. Atom-
atom menguap pada permukaan logam. Ketika sampai pada permukaan material yang memiliki
suhu lebih renda, atom-atom logam terkondensasi dan membetuk lapisan film tipis di permukaan
material. Ketebalan lapisan dapat dikontrol dengan mengatur lama waktu evaporasi. Agar proses
ini dapat berlangsung efesien maka logam pelapis yang digunakan harus yang memiliki titik
lebur rendah. Logam pelapis yang umumnya digunakan adalah emas.
Prinsip kerja sputtering mirip dengan evaporasi. Namun sputtering dapat berlangsung
pada suhu rendah (suhu kamar) Permukaan logam ditembak dengan ion gas berenergi tinggi
sehingga terpental keluar dari permukaan logam dan mengisi ruang di dalam chamber. Ketika
mengenai permukaan sample, atom-atom logam tersebut memmebtuk fase padat dalam bentuk
film tipis. Ketebalan lapisan dikontrol dengan mengatur lama waktu sputtering. Pada saat
pengukuran dengan SEM, lokasi di permukaan sample tidak boleh terlalu lama dikenai berkas.
elektron yang berenergi tinggi pada berkas dapat mencabut atom-atom di permukaan sample
sehingga permukaan tersebut akan rusak dengan cepat. Film tipis di permukaan sample akan
menguap dan kembali menjadi isolator. Akhirnya bayangan yang terekam tiba- tiba menjadi
hitam.
2.3 Komponen-komponen Scanning Electron Microsope (SEM)

Gambar 4. Scanning Electron Microscope (SEM)

Instrumen SEM terdiri dari beberapa perangkat secara garis besar, perangkat-perangkat
tersebut dapat dikategorikan dalam tiga komponen, yaitu komponen pemindai, komponen
penyajian gambar dan data (image display) dan komponen pendukung. Komponen pemindai
sampel dan komponen image display telah diberikan pada gambar dibawah ini.

Gambar 5. Skema SEM (Kolom SEM dan display image)

Prosedur kerja SEM berdasarkan komponen-komponen penyusunnya (Gambar 5) dapat
diuraikan sebagai berikut:
1. Electron beam dari electron gun difokuskan oleh serangkaian lensa elektromagnetik,
sehingga menghasilkan electron primer / elektron probe. Elektron probe adalah elektron
yang memiliki jari-jari sekita 2,4 Å.
2. Elektron primer keluar dari lensa akhir (final lens) kemudoan menumbuk specimen
(sampel).
3. Elektron primer melakukan penetrasi kedalam permukaan sampel dan kemudian terjadi
interaksi antara elektron primer dengan atom-atom penyusun sampel.
4. Hasil interaksi elektron-sampel (ada dua jenis interaksi yaitu tumbukan elastis dan
nonelastis, yang akan dibahas pada modul selanjutnya) menghasilkan beberapa spektrum
elektron dan foton.
5. Elektron dan foton yang teremisi kemudian dideteksi oleh detektor dan selanjutnya
diteruskan ke amplifier untuk dikuatkan.
6. Detektor mengolah sinyal yang diterima dan mengubahnya menjadi image dan data
kuantitatif.
7. Image dan data ditampilkan di display.
8. Data hasil pemindaian disimpan dalam bentuk digital.
Komponen pendukung SEM diantaranya power supply, sistem vakum dan sistem
pendingin. SEM adalah sebuah instrumen pemindai objek yang menggunakan sistem vakum.
Tegangan yang tinggi dalam pengoperasian SEM seringkali mengakibatkan kenaikan suhu pada
alat, sehingga diperlukan sebuah sistem pendingin digunakan untuk menjaga agar suhu bisa
terjaga pada suhu optimum kerja. Dalam pengoperasiannya, instrumen SEM juga harus
diletakkan pada lantai non vibrasi dan ruangan yang bebas dari medan magnet dan medan listrik.
 Sebuah komponen SEM memiliki minimal sebuah detektor secondary electron. Detektor
tambahan dari sebuah SEM bisa berupa detektor backscattered electron, sinar X, dan EDAX.
Semakin banyak fitur detektor sebuah SEM, maka semakin lengkap karakterisasi material yang
dapat dilakukan. Karakterisasi material adalah sebuah studi yang dilakukan untuk menganalisis
sifat fisis dari sebuah material, misalnya bentuk permukaan, struktur kristal, elemen penyusun,
kerapatan, besar butir dan kecacatan (defek). Instrumen SEM yang dilengkapi banyak fitur
diberikan pada gambar dibawah ini.

Gambar 6. Sebuah SEM yang dilengkapi oleh Energy Dispersive Spectometer (EDS),
Wavelength Dispersive Spectometers (WDS), Mikroskop optik, detektor secondary electron (SE)
dan detektor backscattered electron (BSE). Mikroskop optik ditambahkan pada SEM untuk
membantu mengatur posisi sampel di dalam specimen chamber.
Fitur EDS digunakan untuk menganalisis elemen penyusun sampel. Fitur WDS
digunakan untuk melengkapi EDS, EDS digunakan untuk memindai elemen penyusun sampel
secara cepat, sedangkan WDS digunakan untuk menganalisis struktur kimia secara akurat dari
sampel dan juga untuk memetakan komposisi elemen sinar X dari sebuah titik (spot) atau pun
pada area yang lebih luas pada sampel.Detektor SE dan BSE adalah fitur standar pada SEM. Dari
detektor SE dan BSE inilah image SEM dihasilkan.
Mekanisme Kerja SEM
1. Electrongun menghasilkan electron beam dari filamen. Pada umumnya electron gun yang
digunakan adalah tungsten hairpin gun dengan filamen berupa lilitan tungsten yang
berfungsi sebagai katoda. Tegangan yang diberikan kepada lilitan mengakibatkan
terjadinya pemanasan. Anoda kemudian akan membentuk gaya yang dapat menarik
elektron melaju menuju ke anoda.
2. Lensa magnetik memfokuskan elektron menuju suatu titik pada permukaan sampel.
3. Sinar elektron yang terfokus memindai (scan) keseluruhan sampel dengan diarahkan oleh
koil pemindai.
 4. Ketika elektron mengenai sampel, maka akan terjadi hamburan elektron, baik Secondary
Electron (SE) atau Back Scattered Electron (BSE) dari permukaan sampel dan akan
dideteksi oleh detektor dan dimunculkan dalam bentuk gambar pada monitor CRT.

Gambar 7. Mekanisme kerja dari SEM

2.4 Manfaat SEM
Fungsi utama dari SEM antara lain dapat digunakan untuk mengetahui informasi-
informasi mengenai:
1. Topografi, yaitu ciri-ciri permukaan dan teksturnya (kekerasan, sifat memantulkan
cahaya, dan sebagainya).
2. Morfologi, yaitu bentuk dan ukuran dari partikel penyusun objek (kekuatan, cacat pada
Integrated Circuit (IC) dan chip, dan sebagainya).
3. Komposisi, yaitu data kuantitatif unsur dan senyawa yang terkandung di dalam objek
(titik lebur, kereaktifan, kekerasan, dan sebagainya).
4. Informasi kristalografi, yaitu informasi mengenai bagaimana susunan dari butir-butir
didalam objek yang diamati (konduktifitas, sifat elektrik, kekuatan, dan sebagainya)
2.5 Keunggulan dan Kelemahan SEM
1. Keunggulan SEM adalah sebagai berikut
 Daya pisah
Dapat ditinjau dari jalannya berkas media, SEM dapat digolongkan dengan optik
metalurgi prinsip refleksi, yang diarti sebagai permukaan spesimen yang
memantulkan berkas media.
 Menampilan data permukaan spesimen
Teknik SEM pada hakekatnya merupakan pemeriksaan dan analisis permukaan.
Data atau tampilan yang diperoleh adalah data dari permukaan atau lapisan yang
tebalnya sekitar 20 mikro meter dari permukaan. Sinyal lain yang penting adalah
 back scattered elektron yang intensitasnya bergantung pada nomor atom, yang
unsurnya menyatakn permukaan spesimen. Dengan cara ini diperoleh gambar
yang menyatakan perbedaan unsur kimia yang lebih tinggi pada nomor atomnya.
Kemampuannya yang beragam membuat SEM popular dan luas penggunaannya,
tidak hanya dibidang material melainkan juga dibidang biologi, pertanian,
kedokteran, elektronika, mikroelektronika dan lain-lain.
 Kemudahan penyiapan sampel
Spesimen untuk SEM dapat berupa material yang cukup tebal, oleh karena itu
penyiapannya sangat mudah. Untuk pemeriksaan permukaan patahan
(fraktografi), permukaan diusahakan tetap seperti apa adanya, namun bersih dari
kotoran, misalnya debu dan minyak. Permukaan spesimen harus bersifat
konduktif. Oleh karena itu permukaan spesimen harus bersih dari kotoran dan
tidak terkontaminasi oleh keringat.
 Ukuran sample yang relatif besar
 Rentang perbesaran yang luas: 3X -150,000X
2. Kelemahan SEM adalah sebagai berikut
 Memerlukan kondisi vakum
 Hanya menganalisa permukaan
 Resolusi lebih rendah dari TEM
 Sampel harus bahan yang konduktif, jika tidak konduktor maka perlu dilapisi
logam seperti emas
2.6 Penyiapan Sampel SEM
 Bersihkan sampel
 Keringkan; dengan vakum kalau mungkin (Sample harus bebas dari HO2)
 Tempatkan sample pada sample holder
 Sputter dengan Au atau Pt

Gambar 8. Tempat sampel untuk karakterisasi dengan SEM

 Ukuran sample holder: 12 mm atau 25 mm
 Untuk menempelkan sample diperlukan double-sided tape konduktif
 Area yang dipelajari sebaiknya diletakan pada 45 degree
 Kontak area yang luas akan menguntungkan
Contoh Hasil SEM :

Gambar 9. Hasil SEM dari aplikasi EDS

Gambar 10. Nano partikel Abu Boiler Kelapa Sawit Gambar 8. Nano Partikel Abu Sekam Padi
2.7 Menentukan Ukuran Partikel SEM
1. Panjang Horisontal

2. Panjang Vertikal
 3. Rata-rata Panjang Horisontal dan Vertikal
4. Rata-rata Panjang Maksimum dan Minimum
5. Diameter Lingkaran
2.8 Menentukan Distribusi Ukuran
1. Paint Brush → Excell → Origin
2. Origin → Notepad → Excell → Origin
3. Paint Brush → Excell → Origin
 BAB III

PENUTUP
3.1 Kesimpulan
Scanning Elektron Microscope (SEM) adalah salah satu jenis mikroskop elektron yang
menggunakan berkas elektron untuk menggambarkan bentuk permukaan dari material yang
dianalisis. Scanning Elektron Microscope (SEM) merupakan alat yang dapat membentuk
bayangan permukaan. Dengan menggunakan hamburan elektron dalam membentuk bayangan,
elektron berinteraksi dengan atom-atom yang membentuk sampel menghasilkan sinyal yang
berisi informasi tentang topografi permukaan sampel, komposisi dan sifat-sifat lain. Prinsip kerja
SEM adalah menembakkan permukaan benda dengan berkas elektron bernergi tinggi, dari
interaksi tersebut dapat ditentukan diameter partikel penyusun suatu benda. Instrumen SEM
terdiri dari beberapa perangkat secara garis besar, perangkat-perangkat tersebut dapat
dikategorikan dalam tiga komponen, yaitu komponen pemindai, komponen penyajian gambar
dan data (image display) dan komponen pendukung. Sampel yang dianalisis dapat berupa logam
dan non-logam yang dilapisi dengan logam mulia. Kelebihan SEM yaitu menghasilkan bayangan
dengan resolusi tinggi, sedangkan kekurangannya yaitu SEM tidak sanggup mengamati ukuran
partikel dalam orde beberapa nanometer.
3.2 Saran
Didalam makalah ini tentunya terdapat banyak sekali kekurangan dan masih jauh dari
kata kesempurnaan. Penulis mengharapkan bagi para pembaca dan pembaca makalah ini untuk
dapat memberikan saran, kritik maupun mengembangkan makalah ini agar kedepannya makalah
ini dapat lebih sempurna lagi sehingga mampu memberikan pengetahuan yang maksimal tentang
Scanning Electron Microscopy (SEM) kepada seluruh pembacanya.
 DAFTAR PUSTAKA
Abdullah, M., Khairurrijal. 2009. Review: Karakterisasi Nanomaterial. Jurnal Nanosains dan
Nanoteknologi. Vol. 2, No.1.
Eva M. Ginting., Bukit, Nurdin. 2014. Karakterisasi Material. Medan. UNIMED Press.
Fahma, F. 2020. Modul Tutorial Scanning Electron Microscope (SEM) dan Transmission
Electron Microscope (TEM). Bogor. IPB Press.
Masta, N. 2020. Scanning Electron Microscopy. Jakarta. Universitas Kristen Indonesia.
Zainul, R. 2021. Teknik Karakterisasi Kimia Fisika. Padang. Berkah Prima.