Makalah
disusun oleh:
SEPTEMBER 2023
MAKALAH
Disusun oleh:
Karya Tulis ini telah dipersentasikan untuk memenuhi evaluasi Mata Kuliah
Fisika Material dan Device Nano
Pada tanggal 29 September 2023
Dosen Pengampu,
2023
KATA PENGANTAR
Bismillahirrahmaanirrahiim
Alhamdulillah, Puji syukur kami ucapkan atas kehadirat Allah SWT yang
telah memberikan rahmat dan karuniaNya kepada kita semua, sehingga dapat
menyelesaikan makalah yang membahas Semikonduktor Quantum Dots. Kami
mengucapkan terima kasih kepada dosen yang telah membimbing kami yaitu Dr.
rer. Nat. Akfiny Hasdi Aimon, S.Si., M.Si.
Kami berharap semoga makalah ini dapat bermanfaat bagi kami dan
pembaca. Tiada yang sempurna melainkan Allah swt,, kami menyadari bahwa
makalah ini masih jauh dari kata sempurna. Oleh karena itu, kami berharap kritik
dan saran yang membangun untuk perbaikan makalah kami selanjutnya.
Bandung, 2023
(Penulis)
DAFTAR ISI
halaman
KATA PENGANTAR..........................................................................................ii
DAFTAR ISI.......................................................................................................iii
BAB I PENDAHULUAN.....................................................................................1
1.1 Latar Belakang...............................................................................1
1.2 Tujuan dan Manfaat Penelitian......................................................1
1.3 Rumusan Masalah..........................................................................2
BAB II LANDASAN TEORI..............................................................................3
2.1 Dasar Fisik QD Semikonduktor.....................................................3
2.1.1 Pengertian Kuantum Dot.......................................................3
2.1.2 Efek Pengurungan Kuantum.................................................7
2.1.3 Excitons and Luminescence................................................13
2.1.4 Perhitungan Energi Ikat Eksiton.........................................17
2.2 Preparasi Quantum Dots..............................................................20
2.2.1 Metode Kimia Koloid.........................................................21
2.2.2 Self-Assembly Methods of Quantum Dots.........................23
2.2.3 Lithography and etching.....................................................26
2.2.4 Split-gate approach.............................................................28
32
2.2.5 Laser Devices Based on QDs..............................................36
2.2.6 Single-Photon Source.........................................................45
BAB III PENUTUP............................................................................................51
3.1 Kesimpulan..................................................................................51
3.2 Saran............................................................................................52
DAFTAR PUSTAKA.........................................................................................53
BAB I PENDAHULUAN
1
1.3 Rumusan Masalah
2
BAB II LANDASAN TEORI
nm. Jarak antar atom dalam sebuah susunan kristal adalah 1 – 2 Amstrong (atau
0,1 – 0,2 nm). Ini artinya bahwa sebuah quantum dot (QD) hanya terdiri dari
kurang lebih 1000 atom. Karena jumlahnya yang sudah bisa terbilang (countable)
maka QDs dinobatkan sebagai material terkecil buatan manusia yang setara
seperti GaN (Gallium Nitride), CdSe (Cadmium Selenide), CdTe, GaAs (Gallium
QDs) dan Colloidal QDs. Pembuatan self esemble QDs biasanya dengan
Epitaxy (MBE), MOCVD, LPE dll. Proses ini membutuhkan peralatan yang rumit
dan harga yang kurang terjangkau. Material yang bisa ditumbukan dengan metode
ini antara lain: GaN, GaAs, AlN, InGaN, ZnO, dll. Dengan proses ini diperoleh
QDs dengan ukuran rata-rata 20 hingga 25 nm (diameter). Jenis QDs yang kedua
adalah colloidal QDs. Pembuatan QDs dengan proses ini menggunakan proses
kimia. Bahan dan peralatannya pun lebih mudah dan terjangkau. Jenis QDs yang
bisa dibuat dengan proses ini antara lain CdSe, CdTe, PbS, InP, dll. Ukuran QDs
3
Pada material semikondiktor berukuran besar (bulk semiconductor), level-
level energi yang bisa ditempati oleh electron banyak sekali, bahkan tak
berhingga, sehingga bisa disebut level energy tak berhingga. Electron bisa berada
dimana saja sebatas dibawah level energy electron bebas. Seiring dengan kecilnya
dimungkinkan untuk electron berada. Hal ini berkaitan dengan mata kuliah fisika
maka level-level energy mana saja yang bisa ditempati oleh electron dapat
diketahui. QDs merupakan infinite square well. Hal lain yang membuat QDs
Hal ini berkaitan dengan bohr radius. Bohr radius adalah radius dimana electron
dapat bergerak secara bebas pada level energy tertentu. Pada material
Saat electron tereksitasi ke level atas dan kemudian turun kembali ke level
bawah (ground state), maka akan ada radiasi yang pancarkannya. Energy radiasi
ini bergantung pada Energy Band Gap. Pada bulk material, besar energy band gap
sangat susah untuk diubah. Energy band gap dapat diubah jika ukuran material
kecil ukuran QDs, maka semakin besar energy band gap yang memberikan
mengubah ukuran suatu material (CdSe) mulai dari 2 hingga 5 nm, maka kita akan
mendapatkan cahaya mulai dari hijau hingga merah. Untuk CdS, kita bisa
4
mendapatkan cahaya Deep UV hingga biru. Untuk GaN, kita bisa mendapatkan
Oleh karena material dasar QDs adalah semikonduktor maka aplikasi yang
bisa didapat dari QDs sangat luas untuk alat-alat optik berbasis semikonduktor
seperti LED (light emitting diode), Laser diode, Solar Cell, dll. Selain material
dasar yaitu ukurannya yang mendekati Amstrog, maka mudah untuk dilekatkan
pada element-element biologi, seperti protein, DNA, atau sel. Dalam hal ini QDs
keberadaan element bio. Ukurannya yang kecil dan mendekati sebuah atom, maka
QDs akan sangat berpotensi untuk bidang komunikasi dan transfer informasi.
Cahaya saat ini sudah dapat menggantikan peran electron sebagai penghantar
informasi. Yang dapat kita bayangkan sebagai pengembang QDs dimasa depan,
jika computer tidak lagi menggunakan electron tapi cahaya untuk pengolahan
informasi. Hasilnya proses perhitungan akan jauh lebih cepat. QDs bisa digunakan
sebagai sumber pengolah informasi. Untuk itu QDs harus bisa dibuat menjadi
tentang pengembangan aplikasi material maju koloidal Quantum Dots (QDs). Dari
kisaran nanometer. Material QDs menarik perhatian karena sifat elektronik dan
5
optik yang sangat bergantung pada ukurannya sehingga dapat diatur. Hal ini
berkaitan dengan efek kurungan kuantum yang terjadi ketika ukuran QDs berada
pada orde nanometer (umumnya kurang dari 10 nm). Oleh karena itu, material
menjelaskan, pada material QDs ini muncul fenomena fisika yang disebut efek
kurangan kuantum. Ukuran material QDs yang sangat kecil (nm) akan
menyebabkan sifat-sifat kuantum suatu material QDs muncul dan dapat berguna
Adapun sifat dari material QDs itu sendiri yakni bisa muncul pendaran atau
emisi cahaya apabila disinari oleh sinar Ultra Violet (UV). Salah satu contoh
dalam peristiwa ini ialah pada alat pengecekan uang palsu melalui sinar UV.
Pendaran dari material QDs ini bisa berbeda-beda tergantung pada ukuran.
dots ketika efek kurungan kuantumnya muncul dengan material yang sama namun
jika ukurannya dapat diatur maka akan mengeluarkan pendaran yang berbeda-
beda.
fisika, seperti Molecular Beam Epitaxy (MBE), MOCVD, LPE dll. Proses ini
6
Material yang bisa ditumbukan dengan metode ini antara lain: GaN, GaAs,
AlN, InGaN, ZnO, dll. Dengan proses ini diperoleh Quantum Dot dengan
menggunakan proses kimia. Bahan dan peralatan yang digunakan mudah dan
harga yang terjangkau. Jenis Quantum Dot yang dapat dibuat dengan proses
ini antara lain CdSe, CdTe, PbS, InP, dll. Ukuran Quantum Dot yang bisa
Efek kurungan Quantum menimbulkan sifat optik yang unik dan sifat
dalam bubuk silikon dan titik kuantum silikon germanium sebagai perangkat
sebagai lapisan jendela dalam sel surya. Serbuk logam berukuran nano telah
digunakan untuk produksi bahan kedap gas, bagian padat, dan lapisan berpori.
Partikel yang sangat kecil mempunyai struktur atom khusus dengan keadaan
energi elektron pada arah tersebut akan terkuantisasi. Sebab, pada arah tersebut
Berdasarkan struktur ada empat struktur material yaitu bulk material, kuantum
7
well, kuantum wire, dan kuantum dot. Bulk material merupakan sistem tiga
dimensi yaitu particle yang memiliki ukuran di atas 100 nm, material ini dapat
dilihat secara kasat mata. Contoh dari material ini adalah oli, batu bara, dan lain-
lain.
Degree of Freedom dari bulk material ini adalah tiga degree. Sehingga
elektron atau hole dapat bergerak bebas ke arah XY ataupun Z. Kuantum well
atau sumur kuantum merupakan sistem dua dimensi yang memiliki 2 degree of
freedom. Sehingga elektron hanya dapat bergerak sepanjang dua arah. Kuantum
wire atau kawat kuantum merupakan sistem satu dimensi yang memiliki 1 degree
of freedom. Sehingga elektron hanya bergerak pada 1 arah saja. Kuantum dot
merupakan sistem dimensi nol. Sehingga dibatasi total untuk bergerak. Kuantum
dot, kuantum well dan kuantum wire adalah efek dari kungkungan kuantum. Jadi
8
Dimana perumusan untuk menentukan nilai Degree of Freedom dan Degree of
Kuantum well terjadi efek kungkungan satu dimensi atau (1) arah saja. Sehingga
pada arah panah seperti pada gambar elektron tidak dapat bergerak, pada arah dua
lainnya dapat bergerak. Kuantum wire terjadi efek kungkungan kuantum (2) arah.
Sehingga hanya satu arah saja pergerakanya. Sedangkan kuantum dot memiliki
efek kungkungan kuantum (3) arah sehingga particle tidak dapat bergerak.
dalam suatu sistem dan untuk menentukan konsentrasi pembawa muatan dan
gerak bebas pembawa muatan dibatasi pada spacial 2,1, dan 0. Saat menentukan
statistik semikonduktor pada sistem ini, Density of States dalam Quantum well,
Quantum Wire, dan Quantum Dot harus diketahui. Kita dapat memodelkan
semikonduktor sebagai sumur kuantum tak hingga (2D) dengan panjang sisi L,
( )
2
−ℏ 2
∇ Ψ =Eψ (1)
2m
2 2
∂Ψ ∂ Ψ 2
( 2 + 2 +k Ψ =0 (2)
∂x ∂y
9
dimana nilai k; k =
√ 2 mE
ℏ2
Berikut ini adalah statistika untuk memperoleh nilai density of states dari quantum
( )( )( ) ( )
3
π π π π
Vsingle-state = =
a b c V
Note:
V is the volume of the cristal
Vsingle-state is the smallest unit in k-space and is required to hold a single electron.
3
4πk
Vsphere =
3
dimana nilai k; k =
√ 2 mE
ℏ2
N=
V sphere
V single−state
1 1 1
×2× × ×
2 2 2 ( )
4 3
πk
()
3 3
3 1 4πk L
N= ×2 × =
π
3
8 3π
3
L3
10
( )( ) ( )
2
π π π
Vsingle-state = =
a b V
Vcircle = πk 2
dimana nilai k; k =
√ 2 mE
ℏ2
N=V ¿˚
V single−state
1 1
¿ ×2× ×
2 2 ( )
()
2 2 2
πk 1 k L
N= 2
× 2× =
π 4 2π
2
L
√
2 2
k L 2 mE
N= ; ; substituting k; k =
2π ℏ2
(√ )
2
2 mE 2 2
2
L mL E
ℏ = 2
N= ℏ π
2π
The density per unit energy is then obtained using the chain rule:
2
dN dN dk L m
= =
dE dk dE π ℏ 2
The densiti of states per unit volume, per unit energy is found by diving by V
(volume of the crystal).
2
L m
2
πℏ m
g(E)2 D= 2 = 2
L πℏ
11
For calculating the density of states for a 1D structure is;
N=
V line
V single−state
×2×
1
2 ()
k
N= kL
π=
π
L
N=
kL
π
; ; substituting k; k =
2 mE
ℏ2 √
N=
(√ ) 2 mE 2
ℏ2
L
= √ 2 mE
L
ℏπ
π
The density per unit energy is then obtained using the chain rule:
1 −1 /2
(2mE ) .2mL (2 mE )−1/ 2 . mL
dN dN dk 2 =
= = ℏπ
dE dk dE ℏπ
The densiti of states per unit volume, per unit energy is found by diving by V
(volume of the crystal).
−1 /2
(2 mE) . mL −1/ 2
(2 mE ) . m
=
m
.
√m = 1 . √m
ℏπ
g(E)1 D = =¿ ℏπ ℏπ √ 2mE √ m ℏπ √ 2 E
L
g(E)2 D=
1
.
√m ¿
ℏπ √ 2(E−E C )
possible. Because there is no k-space to be filled with electrons and all avaliable
12
states exist only at discrete energies, we describe the density of state for 0D with
g(E)0 D=2 δ ¿
Agar lebih dapat mudah dimengerti, berikut ini adalah plot dari density of states:
Gambar 4. Electronic density of states of semikonduktor with 3,2,1,and 0 degrees of freedom for elektron
propagation.
meninggalkan hole. Diantara pita valensi dan pita konduksi pada suatu
material atau bahan terdapat jarak yang disebut Band Gap. Pita Valensi terisi
penuh oleh elektron Sedangkan pita konduksi tidak ada elektron sama sekali
atau berada pada keadaan ground state energi. Energi yang cukup dibutuhkan
elektron pada pita valensi agar elektron dapat melepaskan diri dari pita valensi
Akibatnya elektron dan hole tarik menarik satu sama lain oleh gaya
13
Keadaan ini disebut sebagai Eksiton. Agar lebih jelas silahkan lihat skema
elektron dapat di emisikan sebagai cahaya yang disebut flurescence. Ada 2 jenis
eksiton yaitu eksiton bebas dan eksiton terikat. Eksiton bebas diamati pada
Semikonduktor. Eksiton bebas memiliki jari jari yang sangat besar yang
mencakup banyak atom dan dapat bergerak bebas di seluruh kristal. Sedangkan
eksiton terikat diamati pada Isolator. Sebaliknya eksiton terikat memiliki radius
yg jauh lebih kecil dan sebanding dengan ukuran unit sel. Energi ikat eksiton
2 2
−e εℏ
En = 2
; a0 = 2 2
2 ε a0n 4 π μe
14
Energi dari photon yang diemisikan merupakan penjumlahan dari : Energi band
gap (antara tingkat energi tertinggi dan tingkat energi terendah, confinement
energy (dari hole dan elektron yang tereksitasi), dan energi ikat dari eksiton
(pasangan elektron-hole).
1. Energi band gap (antara tingkat energi tertinggi dan tingkat energi terendah.
diketahui memiliki rentang energi yang diizinkan (band energy) dan rentang
pita dalam fisika solid state.Band gap dapat meningkat ketika quantum dot
lebih kecil dari jari-jari exciton bohr saat terjadi tingkatan energi. Total energi
emisi meningkat, serta terjadi emisi pada panjang gelombang yang bervariasi.
confinement energy. Solusi untuk partikel pada box yang digunakan untuk
( )
2 2 2 2
ℏ π 1 1 ℏ π
Econfinement = 2
+ =
2 a me mh 2 μa2
molekul dan elektron bebas serta hole pada unit yang berbeda. Gaya Coulomb
antara elektron hole yang memiliki energi sebanding dengan energi Rydbergs,
15
dan berbanding terbalik dengan konstanta dielektrik kuadrat penting
−1 μ
Radius Bohr: Eexciton= 2
RY =−R y ¿
ε r me
kebebasan dari Quantum Dot, Quantum Well, dan Quantum Wire, total energi
2 2
ℏ π
E=Ebandgap + 2
−R y ¿
2 μa
yang dipancarkan juga memendek, dan bergerak menuju ujung biru dari the
hc
E=
λ
mengenai Quantum dot, beberapa elektron menerima energi yang cukup untuk
16
bebas bergerak melalui material dan menghantarkan listrik. Ketika elektron ini
dasar dari berbagai struktur nano kristal dan non-kristal. Quantum dot dapat
kisi, mereka dapat menempel pada polimer, dan juga dapat dimasukkan ke
dalam polimer thin film. Teknik untuk produksi Quantum meliputi colloidal
Gambar 6. Qds dalam berbagai struktur, termasuk (a) molekul, (b) kristal, (c) polimer, dan dalam
(d) nya yang tipis.
The exciton band structure menunjukkan dua keadaan spin. Dalam hal
simetri kisi kubik, bagian atas pita valensi adalah keadaan yang setara dengan
momentum sudut I = 1. Karena interaksi spin dan orbital, empat kali lipat
3 1 3
degenerasi state terbentuk seperti:(j =l⊕ s= , m j=± , ± ). Umumnya dikenal
2 2 2
17
sebagai heavy hole, |32 , ± 32 ⟩ dan light hole, |32 , ± 12 ⟩. Penyerapan cahaya yang
dekat dengan celah energi berasal dari kontribusi heavy hole. Penyerapan cahaya
yang dekat dengan celah energi berasal dari kontribusi heavy hole. Dimana vektor
momentum sudut total (j) adalah jumlah dari vektor momentum sudut orbital total
Gambar 7. Plot skematik dari spektrum energi partikel tunggal dalam bulk semikonduktor untuk keadaan
elektron dan hole di sisi kiri panel dengan keadaan kuantum diskrit elektron (e) dan hole (h) yang sesuai
ditunjukkan di sebelah kanan. Pita parabola atas adalah pita konduksi yang semakin rendah nilai valensinya.
semiconductor QDs.
18
2
−ℏ 2 ( )
∇ ς i r = ℇi ς i ( r )
2 mi
jl ( αR r ) Y (θ , ∅)
nl
√
ς i ( r )=¿ 1 m
3 l
4 π R j l+1 ( α nl )
The spherical Bessel function with boundary conditions dari pers.diatas dapat
ditulis:
jl ( αR r )|r=R =0
nl
j l ( α nl )=0
dimana, jl = l dari spherical Bessel function dan αnl = akar ke-n dari nilai l.
( )
2 2
ℏ anl
ε i=
2 mi R
dengan menggunakan the band zero point pada pita valensi maksimum, dengan
( )
2 2
e ℏ an l
E =E g + e e
2 me R
( )
2 2
h ℏ an l
E =Eg + h h
2 mh R
19
karena tidak memperhitungkan interaksi Coulomb antara elektron dan hole.
Spektrum partikel tunggal tidak sejalan dengan spektrum serapan optik. Sehingga
( )
2 2
−ℏ 2 ℏ 2
∇e − ∇ h+ V c ϕ (r )=ε ϕ (r)
2 me 2 mh
an l 2 ℏ 2 an l
( ) ( )
2 2
e hℏ
ε =E + E =Eg + + e e h h
2 me R 2mh R
ϕ (r e, r h)=¿ ς i ( r e ) ς i ( r h )
( )
α nl r
jl
ς i ( r )=¿
√ 1
3
R
4 π R j l+1 ( α nl )
m
Y l (θ , ∅ )
Berikut ini merupakan hubungan antara serapan cahaya dan energi foton pada
QDs:
Gambar 9. Spektrum penyerapan linier kristal CdS dan QD dalam kaca di ruangan Suhu.
20
Gambar 10. Spektrum penyerapan linier kristal CdS dan QD dalam kaca pada 10 K.
of light. Pergeseran puncak ke energi yang lebih rendah disebablan oleh ukuran
Quantum Dots memiliki struktur heterogen dalam skala nano, yang dilapisi
oleh celah energi yang lebih rendah dari struktur nano semikonduktor dimaterial
lain dengan celah energi yang lebih tinggi. Saat ini, metode untuk sinstesis QD
terutama dibagi menjadi berikut ini.
transformasi dari prekursor cair menjadi sol dan akhirnya menjadi struktur
jaringan yang disebut gel (Danks et al., 2016). Melalui sintesis kimia sol dapat
dapat digunakan dalam produksi massal. Sintesis quantum dots (QDs) melibatkan
adalah metode umum yang digunakan untuk sintesis QDs, terutama QDs
21
Dalam sintesis QDs menggunakan metode koloid kimia digunakan prekursor
kimia yang sesuai untuk menghasilkan QDs dengan komposisi yang diinginkan
pelarut yang sesuai untuk mengurai prekursor kimia dan menghasilkan QDs
pelarut dan panaskan campuran tersebut. Sehingga reaksi nukleasi akan terjadi, di
mana atom-atom logam mulai membentuk inti partikel yang akan menjadi QDs.
Selama reaksi, QDs akan terus tumbuh secara bertahap dengan menambahkan
QDs. Untuk meningkatkan stabilitas dan sifat optik QDs, Anda dapat melapisi
QDs dengan lapisan pelindung yang biasanya terbuat dari senyawa semikonduktor
meningkatkan kuantum yield QDs. Setelah sintesis dilakukan, QDs mungkin perlu
dipisahkan dari pelarut dan produk sampingan. Ini dapat dilakukan dengan
dilakukan untuk memastikan bahwa produk memiliki ukuran, komposisi, dan sifat
Metode koloid kimia memungkinkan sintesis QDs dengan kontrol yang baik
22
metode ini terus berlanjut untuk menghasilkan QDs dengan sifat yang lebih baik
dan aplikasi yang lebih luas dalam berbagai bidang, termasuk bidang biologi,
koloid pada suhu tinggi. Mereka telah menghasilkan QD koloidal CdS, CdSe dan
CdTe yang memiliki pendaran yang dapat disesuaikan, melalui proses pirolisis
dalam tri-n oktilfosfin oksida panas (300 °C). Hal ini mengakibatkan nukleasi
mendadak dan penurunan suhu campuran (~180 °C). Setelah titik ini nukleasi
°C. Suhu dipertahankan pada nilai ini selama pertumbuhan nanopartikel. Sintesis
nanopartikel pada suhu tinggi menyebabkan anil pada partikel yang dihasilkan,
produksi massal QD yang diatur secara teratur (Zunger & Editor, 1998).
23
Molecular Beam Epitaxy (MBE) adalah salah satu metode sintesis yang
tinggi. MBE adalah teknik yang sangat efisien dan canggih yang digunakan untuk
menumbuhkan lapisan atomik pada substrat, dan ini juga dapat digunakan untuk
adalah metode yang sangat kuat untuk merancang struktur material dengan
ketebalan nanometer dan lapisan atomik. Berikut adalah prinsip dasar MBE yang
Gambar 11. skema ruang pertumbuhan epitaksi berkas molekul (MBE) (Morresi, 2013).
bentuk uap pada suhu yang tepat. Ini dapat dilakukan melalui pemanasan sampel
padat di dalam oven tanpa uap (effusion cell) atau metode lain seperti laser
energi kinetik tinggi melalui berkas molekuler yang difokuskan. Ini menciptakan
reaksi dan dipanaskan. Ketika molekul yang diuapkan tiba di substrat, mereka
24
dapat berikatan dan membentuk lapisan pada substrat. Proses ini berlangsung
pada tingkat atomik. Ketika atom-atom atau molekul-molekul ini tiba di substrat,
mereka membentuk lapisan atomik yang sangat tipis, satu atom atau molekul pada
satu waktu. Pengendalian suhu sangat penting dalam MBE. Suhu substrat
sifat fisiknya. Hasil pertumbuhan film tipis atau lapisan atomik kemudian
elektron (TEM) untuk memeriksa sifat struktural, kimia, dan fisik (Morresi,
2013).
sangat penting dalam sintesis dan deposisi film tipis dan lapisan material di
tipis, nanoteknologi, dan banyak lagi. Proses CVD melibatkan penggunaan reaksi
kimia dalam fase uap untuk menghasilkan atau meletakkan material pada substrat
(Sun et al., 2021). Berikut adalah gambaran umum tentang metode Chemical
25
Gambar 12. Skema chemical Vapor Deposition Method (CVD) (Zhang et al., 2016).
prekursor. Prekursor ini bisa berbentuk gas atau cair, tergantung pada jenis CVD
yang digunakan. Prekursor ini dipecah menjadi elemen kimia yang diperlukan,
seperti atom atau molekul, melalui pemanasan atau reaksi kimia di dalam ruang
reaksi. Reaksi ini menghasilkan produk yang dapat mengendap sebagai lapisan
atau film pada substrat. Substrat yang ingin dilapisi dengan lapisan material
Produk reaksi kimia, yang berupa atom atau molekul dalam fase gas, diangkut
menuju substrat melalui aliran gas pembawa (carrier gas). Gas pembawa ini
membawa produk reaksi ke substrat tempat mereka mengendap. Ketika atom atau
molekul mencapai substrat yang lebih dingin, mereka mulai mengendap sebagai
lapisan atau film. Pertumbuhan film terjadi seiring waktu seiring dengan
seperti suhu, tekanan, laju aliran gas pembawa, dan jenis prekursor yang
digores untuk menghasilkan pola. Proses ini memakan waktu dan tidak berlaku
untuk produksi massaal (Morresi, 2013). Lithography dan etching adalah langkah
26
penting dalam proses manufaktur mikroelektronika dan teknologi nanoskala
pola atau cetakan pada substrat dengan presisi tinggi. Berikut adalah penjelasan
Lithography (Litografi)
dicetak pada substrat. Pola ini biasanya didesain dalam bentuk mask atau
dengan pola yang diinginkan. Mask ditempatkan di atas substrat. Sinar ultraviolet
(UV) atau deep ultraviolet (DUV) dilewatkan melalui mask. Daerah-daerah non-
cahaya. Ada dua jenis photoresist yang umum digunakan: positif dan negatif.
Dalam photoresist positif, daerah yang terpapar menjadi mudah larut dalam
sulit larut. Setelah paparan, substrat dicelupkan ke dalam developer. Daerah yang
terpapar larut, meninggalkan pola yang diinginkan pada substrat. Pola yang ada
27
semikonduktor atau logam, melalui proses etching atau deposit (Mailly & Vieu,
2007).
Etching (Pengukiran)
lapisan yang tidak diinginkan. Proses ini dapat menghasilkan struktur seperti
saluran (trenches), vias, dan lainnya. Substrat atau bahan yang akan diukir
disiapkan. Ini bisa berupa lapisan fotoresist yang telah mengalami lithography
sebelumnya, atau bisa berupa lapisan bahan tertentu yang perlu diukir.Dalam wet
material tertentu. Material larut secara kimia dikeluarkan dari substrat. Dry
etching (plasma etching) menggunakan gas reaktif dalam ruang vakum untuk
menghilangkan material dari substrat. Ini adalah proses yang lebih presisi dan
anisotropic daripada wet etching. Etching digunakan untuk menciptakan pola pada
substrat. Pola yang dihasilkan dalam proses lithography akan membimbing proses
selesai, lapisan photoresist yang digunakan untuk melindungi daerah yang tidak
diukir dapat dihapus, dan substrat dapat diproses lebih lanjut sesuai kebutuhan
ke bidang dua dimensi sumur kuantum. Gerbang tersebut dapat dikontrol terkait
28
perubahan bentuk dan ukuran QD dan cocok untuk penelitian akademis daripada
terbuat dari bahan seperti silikon (Si) atau gallium arsenida (GaAs). Di atas
dari logam atau struktur semikonduktor dan ditempatkan dalam jarak yang sangat
dekat dengan substrat. Desain split-gate melibatkan pembuatan dua gerbang yang
gate. Tegangan yang lebih tinggi biasanya menghasilkan QD yang lebih kecil,
29
Dengan mengubah tegangan gerbang, peneliti dapat menyesuaikan sifat QD
fotoluminesensi, dan alat analisis lainnya untuk mengevaluasi ukuran, bentuk, dan
sifat elektroniknya.
tipis. Literatur saat ini sering mengutip tiga jenis model klasik untuk pertumbuhan
Pertumbuhan lapisan per lapisan, yang sering disebut sebagai model Frank-van
der Merwe (F-M), adalah salah satu mekanisme pertumbuhan film tipis yang
terjadi ketika suatu bahan dideposisikan pada substrat. Model F-M adalah salah
satu dari beberapa model pertumbuhan film tipis yang digunakan untuk
permukaan substrat membentuk lapisan satu per satu (Morresi, 2013). Prinsip
dasar dari model F-M dapat dilihat pada gambar 3 a. Model F-M digunakan ketika
substrat yang digunakan adalah permukaan polikristal atau amorf, sehingga tidak
ada struktur teratur yang ada pada substrat. Atom atau molekul dari bahan yang
akan dideposisikan diserap atau menempel pada permukaan substrat. Ini mungkin
terjadi melalui proses fisika atau kimia. Atom atau molekul yang menempel pada
substrat akan menyebar dan bergerak sampai mereka menemukan posisi yang
pembentukan satu lapisan atom pertama pada substrat. Setelah lapisan pertama
30
terbentuk, atom atau molekul berikutnya yang menempel akan membentuk lapisan
mekanisme pertumbuhan film tipis yang terjadi ketika bahan dideposisikan pada
dengan lapisan yang lebih besar. Prinsip dasar dari model V-W dapat dilihat pada
amorf atau polikristal yang tidak memiliki struktur kristal yang teratur. Atom atau
molekul dari bahan yang akan dideposisikan diserap atau menempel pada
permukaan substrat. Ini mungkin terjadi melalui proses fisika atau kimia. Atom
kecil yang terisolasi sebagai lapisan pertama. Ini disebut nukleasi. Pulau-pulau ini
tumbuh lebih besar seiring bertambahnya atom atau molekul yang menempel pada
yang cukup besar, lapisan pertama yang telah terbentuk bertumbuh lebih besar
seluruh substrat. Ini adalah tahap pertumbuhan lapisan penuh.(Hao et al., 2023;
Morresi, 2013).
31
kecil yang kemudian dilanjutkan dengan pertumbuhan lapisan yang lebih besar.
lapisan tipis ketika ada perbedaan yang signifikan dalam struktur kristal antara
lapisan film dan substrat. Prinsip Dasar Model Stranski-Krastanov (S-K) dapar
Model S-K digunakan ketika substrat adalah permukaan amorf atau polikristal
yang tidak memiliki struktur kristal yang teratur. Pada tahap awal pertumbuhan,
lapisan film pertama akan tumbuh sebagai pulau-pulau kecil yang terisolasi. Atom
atau molekul dari bahan yang akan dideposisikan diserap atau menempel pada
permukaan substrat. Ini mungkin terjadi melalui proses fisika atau kimia. Atom
kecil yang terisolasi sebagai lapisan pertama. Ini disebut nukleasi, mirip dengan
lapisan pertama yang telah terbentuk akan tumbuh lebih besar untuk menutupi
Ini adalah tahap pertumbuhan lapisan penuh. Namun, dalam model S-K,
campuran, di mana lapisan pertama yang terisolasi masih ada sebagai pulau-pulau
di atas lapisan yang lebih besar yang telah terbentuk.(Hao et al., 2023; Morresi,
2013).
32
Gambar 13. a. Model pertumbuhan berlapis (Frank-van der Marwe (F-M)). b. Model Pertumbuhan pulau
(Volmer-Weber (V-W)). c. Model Pertumbuhan campuran (Stranski-Krastanov (S-K)) (Hao et al., 2023).
yang baik untuk pertumbuhan QD. Pertama-tama, lapisan dasar yang biasanya
terdiri dari InAs atau GaAs digunakan sebagai permukaan kerja untuk
QD di atasnya. Beam atom indium (In) dan atom arsenida (As) ditembakkan
ke permukaan lapisan dasar dalam suatu ruang MBE. Ini menyebabkan atom
33
terkontrol. Struktur dasar dan suhu pertumbuhan diatur agar menghasilkan
lebih besar saat atom InAs tambahan menempel pada mereka (Gibson et al.,
2018).
lapisan aktif pada dioda laser. Juga, untuk secara efektif membatasi pembawa
di ruang kecil (kurungan pembawa) dan untuk kurungan optik di mana rongga
34
Gambar 14. gambar FE-SEM dari InAs/GaAs QDs
QD sangat penting untuk kinerja laser QD dan cukup sensitif terhadap metode
dan kondisi pertumbuhan. Ambil contoh pertumbuhan MBE fase gas. Dimensi
kristal substrat gallium arsenide (100 atau 111), komposisi yang diolah, suhu
mode dan waktu interupsi, komposisi dan ketebalan lapisan atau tutup
35
Selain menggunakan FE-SEM untuk mengukur kepadatan QD, mikroskop
elektron transmisi resolusi tinggi dapat secara akurat mengukur ukuran QD.
AFM, STM atau SPM juga dapat digunakan untuk mengamati geometri dan
Anda tertarik dengan subjek ini, silakan merujuk ke literatur terbaru tentang
36
2.2.5 Laser Devices Based on QDs
bidang perangkat laser. Sejak dimulainya struktur sumur kuantum, para peneliti di
kemudian minat mereka bergeser ke kabel kuantum dan QD dimensi yang lebih
rendah.
quantum dots. Mereka dikenal karena penemuan efek hamburan cahaya eksiton
(exciton light scattering effect) dalam quantum dots. Penemuan ini merupakan
langkah awal dalam memahami sifat optik quantum dots dan berkontribusi pada
dimensi dan energi DoS dalam bentuk fungsi δ. Sementara itu, mereka secara
teoritis memprediksi kualitas kinerja laser QD, yang meliputi arus ambang rendah,
karakteristik suhu tinggi, dan efisiensi cahaya tinggi. Dibandingkan dengan laser
quantum dots sebagai gain medium dalam laser dan berkontribusi pada
37
Pada tahun 1986, Asada memprediksikan melalui perhitungan cara teoritis
bahwa kerapatan arus ambang dengan struktur QD akan jauh lebih rendah
ambang batas yang terlalu tinggi, yang merupakan masalah yang dihadapi dengan
berkualitas tinggi. Pada saat itu juga Asada dan Arakawa menerbitkan makalah
laser yang menggunakan quantum dots sebagai gain medium. Penelitian ini
menyajikan hasil yang menunjukkan bahwa quantum dots bisa digunakan sebagai
gain medium dalam perangkat laser dengan lasing yang signifikan dan membahas
parameter seperti ambang lasing (lasing threshold) dan lebar garis spektral laser.
quantum dot laser dan memberikan pemahaman awal tentang sejauh mana
quantum dots dapat digunakan dalam perangkat laser. Penelitian berikutnya terus
seperti kestabilan, efisiensi, dan output daya (Yadav et al., 2023; Zunger & Editor,
1998).
pertumbuhan bahan film tipis semikonduktor secara tepat dan untuk mengakses
38
bahan sumur kuantum terbatas dua dimensi dan bahan superlattice berkualitas
tinggi. Dibuat dari bahan dua dimensi ini dengan struktur heterostruktur kurungan,
peningkatan yang pesat. Produk mereka dengan cepat memasuki pasar dan
digunakan secara luas. Keberhasilan luar biasa dalam material sumur kuantum dua
indium gallium arsenida untuk membentuk SAQD. Pada tahun yang sama, N.
pada emisi edge. Mereka memasukkan tingkat bias gradient ke dalam QD yang
diatur sendiri dengan indeks lapisan tunggal InGaAS / GaAs, yang digunakan
untuk pengurungan terpisah dari struktur heterostruktur dan struktur laser sumur
kuantum. Kuantum asli berfungsi dengan baik sebagai media aktif, sehingga
mencapai ambang batas kepadatan arus rendah (120 A/cm 2) pada temperatur
rendah (77 K). Setelah itu, SAQD mendapat perhatian besar. Studi ekstensif telah
mencakup topik dari sifat fisik dasar perangkat kuantum hingga studi fabrikasi
yang membantu mendapatkan hasil yang memuaskan. Sejak tahun 1994 dan
ambang rendah, stabilitas termal yang sangat baik, dan berbagai sifat menarik
39
lainnya telah menarik banyak perhatian di semakin banyak laboratorium (Zunger
Sejumlah besar tim peneliti internasional telah bergabung dengan barisan untuk
mendorong penelitian intensif tentang laser QD. Untuk mencapai keadaan dasar
keseragaman bentuk.
laser QD yang diproduksi saat ini dapat memiliki ambang batas kepadatan jauh
lebih rendah daripada laser sumur konvensional dan kuantum. Pada tahun 1996,
desain dan kinerja dari laser berbasis quantum dots menggunakan heterostruktur
40
laser QD sehingga pada suhu kamar, densitas arus ambang berkurang menjadi 90
suhu ruangan. Sejauh ini, laser QD dengan lapisan HR pada sisinya telah
memperoleh kerapatan arus ambang batas 10-20 A/cm 2, yang dua sampai empat
kali lebih rendah dari laser sumur kuantum terbaik. Dari laser dengan QD
kerapatan arus ambang rendah, bahkan serendah 7-10 A/cm 2 (Zunger & Editor,
1998).
yang baik pada suhu rendah (150-180 K). Pada suhu kamar, bagaimanapun,
stabilitas termal ambang kerapatan arus lebih rendah daripada perangkat sumur
kuantum GaA komersial. Pada tahun 1997, Maximov dan rekan menempatkan
dikurangi untuk menghasilkan suhu karakteristik T0 laser hingga 385 K pada suhu
operasi antara 80 K dan 330 K, jauh di atas suhu karakteristik laser sumur
yang signifikan dari ambang batas kepadatan arus. Pada tahun 1999, Shernyakov
operasi 1,3 μm, yang merupakan perangkat pertama yang bekerja pada suhu
41
kamar tetapi pada saat yang sama memiliki suhu karakteristik yang tinggi T0 (160
Untuk laser QD yang ideal, QD harus memiliki ukuran dan bentuk yang
sama; yaitu, QD harus dari satu elektron dan tingkat energi lubang, dan harus
mudah dicapai dalam operasi mode tunggal. Pada tahun 1996, Kirstaedter dan
rekannya pada suhu 77 K dengan nilai kerapatan sedikit lebih tinggi dari ambang
batas kerapatan arus mengamati operasi mode tunggal. Sebaliknya, laser sumur
kuantum untuk mencapai operasi mode tunggal harus berada jauh di atas rapat
Pada tahun 2004, Universitas Tokyo dan Fujitsu berhasil dalam uji coba
pengembangan laser QD yang bekerja pada panjang gelombang 1,3 μm; fluktuasi
daya optik yang disebabkan oleh suhu dapat disetel hingga kira-kira seperenam
nilai aslinya. Dalam kisaran 20-70oC, itu dapat mengirimkan sinyal optik dengan
mantap pada 10 Gbit/s tanpa kompensasi suhu yang disebabkan perubahan daya
Tim peneliti saat ini sedang mencoba untuk memperluas rentang suhu operasi
berkontribusi pada pengembangan pemancar sinyal optik kecil dengan biaya dan
darinya. Selain itu mereka melakukan kerja sama yang berhasil dalam uji coba
pengembangan laser berbasis quantum dots (quantum dot laser). Pada saat itu,
42
penelitian dalam bidang ini terus berkembang dengan upaya untuk
mengoptimalkan kinerja perangkat laser berbasis quantum dots. Hasil kerja sama
ini mungkin mencakup pencapaian dalam hal kinerja laser, efisiensi, dan
stabilitas. Laser berbasis quantum dots menunjukkan potensi yang besar dalam
gelombang laser yang dapat disesuaikan adalah keunggulan yang sangat penting.
Upaya untuk mengembangkan teknologi ini terus berlanjut, dan kolaborasi antara
universitas dan perusahaan teknologi seperti Fujitsu adalah langkah penting dalam
menggerakkan teknologi quantum dot laser ke tahap lebih lanjut (Zunger &
Editor, 1998).
Saat ini, bahan laser QD telah ditemukan, tetapi bahan terbaik sejauh ini
pertumbuhan keluarga III-V pada substrat GaAs. Indium arsenide memiliki celah
energi yang sempit, yang dapat diatur melalui nilai x setelah menambahkan
nanometer. Selain itu, dapat digunakan untuk menghasilkan sumber cahaya laser
atau perangkat pendeteksi cahaya dengan panjang gelombang dalam kisaran 1,3-
1,55 μm, yang cocok untuk digunakan dalam komunikasi optik. Di sini, kami
harus menunjukkan bahwa sinar laser dengan panjang gelombang antara 1,3 dan
1,55 μm sangat penting karena serat optik memiliki kehilangan energi yang sangat
rendah di pita ini, sangat cocok untuk komunikasi optik jarak jauh (Zunger &
Editor, 1998).
43
QD dalam keluarga III-V dinilai terutama dalam penerapan properti optik
tinggi), perangkat pemancar cahaya frekuensi tinggi, dan detektor cahaya dengan
perubahan suhu yang datang dengan perubahan daya dalam eksitasi optik atau
pemompaan atau sistem kriogenik, dan ini dapat memperoleh spektrum foton
radiasi dari rekombinasi lubang dari data spektral dan mekanisme relaksasi dan
kemajuan yang cukup besar dan telah meluncurkan tantangan yang kuat terhadap
antara kinerja dan prediksi teoritisnya. Masalah berikut harus diatasi untuk lebih
puncak luminesensi lebar dan jauh lebih besar daripada material sumur kuantum
(meV). Faktanya, hanya sebagian kecil dari QD yang berkontribusi pada proses
pengurangan lebih lanjut dalam ambang penguat laser sulit dicapai. Kedua adalah
44
QD untuk memaksimalkan perolehan material dari QD. Ketiga adalah
baru untuk memperluas ruang lingkup kerja panjang gelombang penguat laser QD
atau untuk memilih sistem material baru untuk memperluas ruang lingkup kerja
Untuk bahan indium arsenide QD, QD indium arsenide saat ini telah
mencapai kemajuan yang cukup besar dalam perangkat dioda laser. Pada panjang
gelombang 1,3 μm dan rapat arus kritis rendah dapat meluncurkan gelombang
mode tunggal berkelanjutan dalam mode operasi pada suhu kamar, dengan daya
hingga 210 mW. Saat ini, kinerja laser QD lebih baik daripada laser sumur
peralihan antara modul keadaan dasar dan modul keadaan tereksitasi, serta untuk
masalah yang perlu dipelajari lebih lanjut, seperti kepadatan tinggi, ukuran,
pertumbuhan lapisan epitaxial seragam QD, serta pengamatan yang tepat dari
bentuk dan ukuran QD pengukuran, analisis komponen QD dalam dan luar dan
45
stres distribusi pengukuran atau perkiraan, perhitungan teoritis QD dengan
morfologi yang berbeda pada pita kuantum dan tingkat energi, nilai energi
elektron dalam transisi optik antara tingkat energi, mekanisme relaksasi energi
pembawa, dan pengukuran umur pembawa dan besaran fisika utama lainnya.
Dengan upaya para peneliti ilmiah, perangkat laser berkekuatan tinggi dan mode
tunggal yang lebih efisien dalam operasi suhu tinggi dengan panjang gelombang
tinggi. Foton tunggal adalah foton yang dihasilkan satu per satu, tanpa kehadiran
foton lain dalam waktu yang sama. Prinsip dasar dalam menciptakan sumber foton
tunggal adalah memanfaatkan emisi cahaya dari satu atom atau molekul tunggal.
Optik kuantum memiliki aplikasi yang sangat penting atau potensial di banyak
area, dan area yang paling terkenal adalah informasi kuantum, termasuk
foton tunggal yang sangat efisien, sedangkan panjang gelombang operasi juga
dapat diperpanjang hingga yang ada di pita komunikasi serat optik (1,3 μm).
46
Teori optik kuantum pertama kali dikembangkan oleh fisikawan Amerika,
Roy J. Glauber. Pada tahun 1963, Roy J. Glauber dianugerahi Penghargaan Nobel
dalam Fisika atas karyanya dalam teori kuantum cahaya. Kontribusi utama
Glauber adalah pengembangan teori kuantum untuk kohernsi optik dan statistik
cahaya, yang memungkinkan pemahaman lebih dalam tentang sifat foton dan
penting tentang sifat statistik cahaya dan bagaimana foton mendisplay kohernsi
dan korelasi dalam berbagai kondisi eksperimen. Hasil kerjanya dalam optik
kuantum telah menjadi dasar bagi banyak aplikasi dalam fisika kuantum dan
pengembangan teori optik kuantum, dan konsep Glauber dalam statistik cahaya
telah memainkan peran kunci dalam pemahaman sifat-sifat kuantum dari cahaya
dan foton. Konsep kuantisasi optik yang dilakukan Glauber dapat ditelusuri
kembali ke teori radiasi benda hitam yang dibuat oleh Max Planck pada tahun
1900 dan interpretasi Einstein tentang efek fotolistrik pada tahun 1905 (Glauber,
1963).
bersama oleh R. Hanbury Brown dan RQ Twiss antara tahun 1952 dan 1956.
47
antara foton yang terdeteksi. serangkaian eksperimen yang dilakukan R. Hanbury
Brown dan RQ Twiss melibatkan pengukuran korelasi cahaya dari bintang dan
sumber cahaya alam lainnya. Mereka menyelidiki korelasi antara dua foton yang
tiba di detektor dengan jarak tertentu satu sama lain. Hasil eksperimen mereka
menunjukkan bahwa cahaya dari bintang dan sumber cahaya lainnya tidak tunduk
pada distribusi statistik cahaya yang diharapkan (yang dikenal sebagai statistik
yang tiba. Efek Hanbury Brown dan Twiss ini memberikan bukti eksperimental
penting tentang sifat partikel dari foton dan memunculkan konsep statistik foton
kedua yang dikenal sebagai "korelasi boson kedua" atau "korelasi Hanbury Brown
dan Twiss." Efek ini penting dalam pemahaman sifat cahaya dan statistik foton
dalam optik kuantum. Selanjutnya, efek ini juga menjadi dasar untuk teknologi
seperti korelasi cahaya dalam deteksi jarak jauh, seperti dalam astronomi dan
Gambar 16. (A) Diagram skema perangkat interferometer HB-T. Pemisah sinar membagi cahaya
datang menjadi dua balok. (B) Diagram fungsi koherensi orde dua pada fenomena foton bunching dan
anti-bunching.
48
Gambar A menunjukkan diagram skema perangkat interferometer HB-T.
Pemisah sinar membagi cahaya datang menjadi dua balok. Sedangkan detektor
dua foton digunakan untuk mengamati sifat koherensi intensitas cahaya datang,
yang biasanya dinyatakan dengan fungsi koherensi orde dua g(2) (τ). Di sini, τ
Fitur koheren dapat dibedakan dengan menggunakan nilai g(2 ) ( τ=0 ). Jika
detektor mendeteksi foton pada saat yang bersamaan teramati. Dapat dikatakan
bahwa gelombang cahaya datang memiliki koherensi waktu yang positif di antara
keduanya. E. M. Purcell berpikir pada saat itu bahwa koherensi positif seperti itu
sejenis boson, ketika memiliki status kuantum yang sama, foton cenderung
"berkumpul" bersama untuk mencapai detektor dua foton pada saat yang sama.
Jadi, fenomena cahaya ini juga sering disebut sebagai efek clustering (clustering)
tersebut sedang berlangsung pada saat itu. Pada tahun 1963, Glauber mengusulkan
teori kuantum koherensi optik, memberikan penjelasan yang masuk akal untuk
49
karakteristik foton dari radiasi termal, dan cahaya koheren (misalnya laser) tidak
dalam beberapa kasus. Fenomena anti-tandan foton pertama kali diamati oleh
Kimble, Dagenais, dan Mandel dengan fluoresensi atom natrium tunggal pada
Jika sistem fisika memiliki karakteristik anti-tandan, maka sistem tersebut tidak
memancarkan dua atau lebih foton pada saat yang bersamaan. Dengan kata lain,
sistem hanya mengirimkan satu foton pada satu waktu, sehingga disebut sumber
Gambar 17. Diagram skematis dari sistem kuantum dua tingkat yang terpisah (Zunger & Editor,
1998)
50
Fenomena antibunching terjadi saat foton muncul dengan jarak waktu yang
lebih besar di antara satu sama lain daripada yang diharapkan dari distribusi
statistik cahaya Poisson yang acak. Ini berarti bahwa setelah satu foton muncul,
peluang kemunculan foton berikutnya dalam waktu yang sangat dekat sangat
rendah. Penyebab utama dari fenomena antibunching adalah sifat partikel dari
foton dan prinsip ketidakpastian dalam fisika kuantum. Kita tidak bisa dengan
pasti memprediksi di mana dan kapan foton akan muncul selanjutnya, dan korelasi
antara foton-foton ini mencerminkan sifat acak partikel subatom. Faktanya, sistem
kuantum independen apa pun dapat menghasilkan radiasi foton tunggal. Seperti
yang ditunjukkan pada Gambar dengan sistem dua tingkat sebagai contoh, sistem
keadaan dasar, setelah tereksitasi oleh cahaya atau listrik, dapat melompat ke
keadaan tereksitasi tetapi belum menghasilkan radiasi spontan, kita tidak dapat
sebuah elektron untuk menempati keadaan tereksitasi terkait dengan masa radiasi
spontan. Oleh karena itu, dalam periode waktu ini, meskipun eksitasi konstan
diberikan pada sistem ini, sistem ini tetap tidak akan menghasilkan foton. Dengan
demikian, sistem dua tingkat yang independen tidak akan dapat secara bersamaan
menghasilkan dua atau lebih foton dan hanya merupakan sumber foton tunggal
51
.
52
BAB III PENUTUP
3.1 Kesimpulan
Quantum Dots atau yang biasa disebut QDs adalah kristal berukuran
nanometer yang terbuat dari logam atau dari bahan semikonduktor. Quantum Dots
yang sangat luas, ksitasi yang memungkinkan oleh berbagai macam gelombang
dan bersifat stabil. Quantum Dots dapat diaplikasikan dalam aplikasi biologi atau
medis sebagai bio sensing dan biological imaging. Quantum Dots juga dapat
sebagai pembersih pada prosess dan hasil produksi, yaitu menurunkan volume
lingkungan dengan cara mereduksi beberapa gas polutan dan dalam bidang medis
53
3.2 Saran
Quantum Dots atau yang biasa disebut QDs adalah kristal berukuran
nanometer yang terbuat dari logam atau dari bahan semikonduktor. Quantum Dots
yang sangat luas, ksitasi yang memungkinkan oleh berbagai macam gelombang
dan bersifat stabil. Quantum Dots dapat diaplikasikan dalam aplikasi biologi atau
54
DAFTAR PUSTAKA
Agarwal, K., Rai, H., & Mondal, S. (2023). Quantum dots: an overview of
synthesis, properties, and applications. Materials Research Express, 10(6).
https://doi.org/10.1088/2053-1591/acda17
Alyobi, M., & Cobley, R. (2017). Electron Beam Lithography and Plasma Etching
To Fabricate Supports for Studying Nanomaterials. International Journal
of Research in Science, 3(2), 18. https://doi.org/10.24178/ijrs.2017.3.2.18
Background, S., & Prize, N. (2023). Scientific Background to the Nobel Prize in
Chemistry 2023 QUA N T U M D O TS – SE E DS OF NA NOSCI ENCE
The Nobel Committee for Chemistry. 50005.
Danks, A. E., Hall, S. R., & Schnepp, Z. (2016). The evolution of “sol-gel”
chemistry as a technique for materials synthesis. Materials Horizons, 3(2),
91–112. https://doi.org/10.1039/c5mh00260e
Gibson, R., Gehl, M., Sears, J., Zandbergen, S., Nader, N., Keiffer, P.,
Hendrickson, J., Arnoult, A., Khitrova, G., Gibson, R., Gehl, M., Sears, J.,
Zandbergen, S., Nader, N., Gibson, R., Gehl, M., Sears, J., Zandbergen, S.,
& Nader, N. (2018). Molecular beam epitaxy grown indium self-assembled
plasmonic nanostructures To cite this version : HAL Id : hal-01912394
Molecular beam epitaxy grown indium self-assembled plasmonic
nanostructures.
Guo, S., Germanis, S., Taniguchi, T., Watanabe, K., Withers, F., & Luxmoore, I.
J. (2023). Electrically Driven Site-Controlled Single Photon Source. ACS
Photonics, 10(8), 2549–2555.
https://doi.org/10.1021/acsphotonics.3c00097
Hao, Q., Lv, H., Ma, H., Tang, X., & Chen, M. (2023). Development of Self-
Assembly Methods on Quantum Dots. Materials, 16(3).
https://doi.org/10.3390/ma16031317
Helwig, N. E., Hong, S., & Hsiao-wecksler, E. T. (n.d.). Sintesis koloid Quantum
Dots (QDs).
Joglekar, P. V., Mandalkar, D. J., Nikam, M. A., Pande, N. S., & -, A. D. (2019).
Review article on Quantum Dots: Synthesis, Properties and Application.
International Journal of Research in Advent Technology, 7(1), 510–515.
https://doi.org/10.32622/ijrat.712019113
55
Mailly, D., & Vieu, C. (2007). Lithography and etching processes. Nanoscience:
Nanotechnologies and Nanophysics, 3–40. https://doi.org/10.1007/978-3-
540-28617-2_1
Norman, J. C., Jung, D., Wan, Y., & Bowers, J. E. (2018). Perspective: The future
of quantum dot photonic integrated circuits. APL Photonics, 3(3).
https://doi.org/10.1063/1.5021345
Sun, L., Yuan, G., Gao, L., Yang, J., Chhowalla, M., Gharahcheshmeh, M. H.,
Gleason, K. K., Choi, Y. S., Hong, B. H., & Liu, Z. (2021). Chemical
vapour deposition. Nature Reviews Methods Primers, 1(1).
https://doi.org/10.1038/s43586-020-00005-y
Yadav, A., Chichkov, N. B., Avrutin, E. A., Gorodetsky, A., & Rafailov, E. U.
(2023). Edge emitting mode-locked quantum dot lasers. Progress in
Quantum Electronics, 87(January), 100451.
https://doi.org/10.1016/j.pquantelec.2022.100451
Zhang, Q., Sando, D., & Nagarajan, V. (2016). Chemical route derived bismuth
ferrite thin films and nanomaterials. Journal of Materials Chemistry C,
4(19), 4092–4124. https://doi.org/10.1039/c6tc00243a
Zunger, A., & Editor, G. (1998). Semiconductor Quantum Dots. MRS Bulletin,
23(2), 15–17. https://doi.org/10.1557/S0883769400031213
56