MK.

Proses Produksi II
Pertemuan ke XII dan XII

PEMESINAN BERKAS LASER dan BERKAS ELEKTRON

(Laser Beam and Elektron Beam Machining)

1. Pemesinan Berkas Laser (Laser Beam Machining)

1.1. Pendahuluan Pemesinan Berkas Laser
Metode pemesinan modern diciptakan untuk membuat material yang sulit dikerjakan
oleh sebuah mesin biasa (konvensioanal) seperti baja paduan tinggi, berbagai macam bahan
karbida, material komposit, Stellites, dan keramik. Mesin konvensional dari meterial-meterial
tersebut menghasilkan gaya potong yang tinggi, dalam kasus tertentu, mungkin tidak ditopang
atau dibantu oleh benda yang dikerjakan. Laser Beam Machining (LBM) menawarkan solusi
yang baik yang memang lebih terkait dengan sifat material seperti konduktivitas termal dan
panas spesifik serta temperatur lebur dan temperatur mendidih.
Laser Beam Machining memproses meterial dengan laser dan proses perlakuan panas,
paduan, pelapisan, pelenturan dan sebagainya. Sebagaimana proses yang dihasilkan dengan
memanfaatkan energi photon yang koheren atau berkas laser, yang dikonversikan ke dalam
energi panas, berinteraksi langsung dengan material kerja (workpiece). Laser banyak digunakan
untuk pemesinan yang generatif atau prototype dalam proses stereolithography, pengerasan
dan lain-lain. Berkas laser dapat difokuskan memakai lensa optikal menghasilkan panjang
gelombang sekitar 0,5 m sampai dengan 70 m. Berkas laser difokuskan dengan awal
kepadatan tenaga lebih 1 MW/mm2. Saat laser berinteraksi dengan meterial, energi photon
diserap oleh benda kerja secara cepat sehingga meningkatkan temperatur lokal maka benda
kerja akan mencair dan menguap serta akhirnya terjadi pelepasan (removal) material.
Pemotongan dengan laser adalah teknologi yang menggunakan laser untuk memotong
meterial, dan biasanya digunakan untuk aplikasi industri manufaktur. Laser cutting bekerja
dengan mengarahkan output dari laser daya tinggi yang diatur oleh komputer, pada meterial
yang akan dipotong. Material akan mencair, terbakar, menguap, atau terpengaruh oleh jet gas,
menghaluskan permukaan dengan finishing permukaan yang berkualitas tinggi. Pemotong laser
di industri digunakan untuk memotong meterial lembaran, material struktural dan pipa. Laser
digunakan untuk berbagai jenis operasi dalam industri, termasuk perlakuan panas (heat
treatment), pengelasan, dan pengukuran, serta penggoresan (scribing), pemotongan, dan
penggurdian.
Istilah laser merupakan singkatan dari Light Amplification of Stimulated Emission
of Radiation. Laser adalah suatu transduser optik yang mengkonversikan energi listrik menjadi
berkas sinar yang menyatu. Berkas sinar laser memiliki beberapa sifat berbeda dari sinar yang
lain, yaitu :
- hanya memiliki satu panjang gelombang (monokromatik), dan
- memiliki berkas sinar sejajar (hampir sempurna).
Tinggi kepadatan daya dapat diperoleh 106 W/mm2, sebagian besar laser yang tersedia
seperti solid-state, ion, dan jenis molekul dalam gelombang kontinu (continuous wave, CW)
atau mode berdenyut (pulsed mode, PM) operasi seperti yang ditunjukkan pada Tabel 1.

1 dari 26
 Prinsip kerja dari laser solid-state optik Skema dari proses pemesinan laser-beam optik

Solid-state laser dengan unit pompa optik Construction of a CO laser optik

2

Gambar 1 Perinsip kerja sinar laser dalam teknologi pemesian

Tabel 1 Perbedaan Jenis Jenis Laser

Laser Beam Machining berkaitan pengolahan meterial dengan mesin dan pengolahan
meterial seperti perlakuan panas, paduan, cladding, pengolahan lembaran logam dan lain-lain
dilakukan memanfaatkan energi foton koheren atau sinar laser, yang sebagian besar diubah
menjadi energi panas pada interaksi dengan sebagian besar meterial. Saat ini, laser juga
diaplikasi di pemesinan regeneratif atau prototyping cepat seperti dalam proses seperti stereo-
litografi, selektif laser sintering dan lain-lain.
Sifat-sifat memungkinkan sinar laser dapat difokuskan menggunakan lensa optik
konvensional, menjadi titik terpusat sehingga memiliki densitas daya yang tinggi. Tergantung

2 dari 26
pada jumlah energi yang terkandung dalam berkas sinar dan tingkat konsentrasi sinar ke suatu
titik, berbagai proses industri dapat dilakukan.
Laser banyak digunakan dalam berbagai aplikasi di industri termasuk pelapisan,
perlakuan panas, cladding, paduan, las, dan proses pemesinan lainnya. Sistem LBM ditunjuk-
kan pada Gambar 1 dan 2

Gambar 2 Sistem Pemesinan Berkas Laser (LBM)

1.2. Mekanisme Pelepasan Material

Mekanis pelepasan material LBM tergantung pada panjang gelombang laser yang
digunakan. Sinar laser dihasilkan dalam rongga laser yang merupakan rongga yang sangat
reflektif berisi batang laser dan sumber cahaya intensitas tinggi, atau lampu laser. Sumber
cahaya digunakan untuk "memompa" batang laser yang mencakup atom-atom dari sebuah
media penguat yang mampu menyerap panjang gelombang tertentu dari cahaya yang
dihasilkan oleh sumber cahaya. Ketika sebuah atom media penguat dipukul oleh sebuah foton
cahaya itu menjadi energi. Ketika sebuah foton kedua serangan energi atom, atom bercabang
dua foton identik panjang gelombang bergerak ke arah yang sama dan dengan fase yang sama.
Proses ini disebut emisi dirangsang. Laser menghasilkan sangat collimated, koheren (dalam
fase) cahaya yang bila difokuskan untuk diameter kecil menghasilkan kerapatan daya tinggi
yang baik untuk pemesinan. Hal ini berlaku umum bahwa untuk menguap meterial, diperlukan
kerapatan daya inframerah lebih dari 105 W/mm2. Seperti yang ditunjukan oleh Gambar 3,
cahaya yang telah dipantulkan diserap, sehingga mengakibatkan permukaan benda kerja
menjadi panas. Pada permukaan benda kerja yang cukup panas tadi mulai mencair dan
menguap. Gejala fisika dari pemesinan berkas laser sangat kompleks, terutama karena
hamburan dan refleksi pada permukaan dimesin. Selain itu, panas difusi ke materi massal
menyebabkan perubahan fasa, mencair, serta menguap. Tergantung pada kerapatan daya dan
waktu interaksi berkas, mekanisme berlangsung dari satu penyerapan panas dan konduksi ke
salah satu dari proses mencari hingga penguapan.

3 dari 26
 Laser yang intensitasnya tinggi tidak dianjurkan karena itu akan membentuk segumpal
plasma pada permukaan material dengan konsekuensi pengurangan dalam efisiensi proses
kerugian dalam penyerapannya.

Gambar 3 Proses Fisik Yang Terjadi Selama LBM

Pemesinan oleh laser terjadi ketika kerapatan daya berkas lebih besar dari apa yang
hilang secara konduksi, konveksi, radiasi, dan terlebih lagi harus menembus dan diserap ke
dalam material. Kepadatan kekuatan sinar laser meterial. Kepadatan sinar laser (Pd) dapat
dihitung dengan persamaan :
4
= 2
2
Ukuran diameter spotnya ds:

=
Tingkat pemesinan (mm/menit) dapat diformulakan sebagai berikut:

=


= ( )2
4
4
=
( )2

Volumetric Removal Rate (VRR) (mm3/min) dapat dihitung sebagai berikut ini:

=

4 dari 26
Keterangan
Pd = daya densitas, W/cm2
Lp = daya laser , W
Fl = panjang fokus lensa, cm
T = durasi pulse laser, s
= perbedaan berkas, rad
Cl = konstanta, tergantung pada efisiensi material dan konversi
Ev = energi penguapan dari meterial, W/mm3
Ab = luas sinar laser pada titik fokus, mm2
h = ketebalan material, mm
ds = Ukuran diameter spotnya, mm
Dalam LBM meterial benda kerja dikeluarkan melalui beberapa efek. Seperti refleksi,
penyerapan, dan konduksi cahaya yang diikuti dengan proses pelelehan dan penguapan.
Perilaku benda kerja sehubungan ini menentukan tingkat pembuangan material. Tergantung
reflektifitas pada panjang gelombang, sifat-sifat material, permukaan akhir, tingkat oksidasi
dan temperatur.
Pada panjang gelombang yang telah diberikan, semakin tinggi reflektifitas material,
semakin rendah tingkat penghapusan material (VRR), dan juga sebaliknya. Dalam hal ini logam
yang paling mencerminkan sekitar 90 % dari radiasi insiden dikerapatan daya rendah.
Tingkat reflektifitas secara substansial dapat dikurangi dan material pemesinan dapat
ditingkatkan dengan cara yaitu memodifikasi kondisi permukaan. Pantulan cahaya ini kemudian
diserap, yang kemudian pada logam menimbulkan elektron yang kedaan energinya lebih lebih
tinggi. Energi yang diserap oleh elektron dengan cepat dilewatkan ke celah-celah.
Pada benda kerja yang cukup panas mulai mencair dan menguap. Energi laser minimum
yang diperlukan untuk menguapkan plastik lebih rendah dari logam. Sifat termal dari material
tersebut menunjukan bahwa pemesinan yang ditingkatkan untuk meterial konduktivitas termal
rendah, difusivitas, dan titik lebur. Kebanyakan bukan logam konduktivitas termal rendah dan
menyerap CO2 laser panjang gelombang 10,6 m. Oleh karena itu, material plastik dapat
dengan mudah mencair oleh laser CO2 berdaya rendah.

Gambar 4 Kecepatan Potong Dalam LBM CO2

Karena logam memiliki reflektifitas tinggi dan konduktivitas termal, kecepatan mesin
untuk yang bukan logam lebih tinggi dari pada yang bukan logam (Gambar 4).

5 dari 26
 Selain itu untuk mencapai kecepatan pemesinan yang sama, laser dengan kepadatan
daya yang lebih besar harus digunakan untuk meterial logam. Kedalaman lebih kecil dari lapisan
ikut berubah seiring dengan tingkat pemesinan yang lebih tinggi, hal ini merupakan keuntungan
dari LBM.
Dalam laser dibantu dengan gas panas menyebabkan material mencair dan oksidasi
logam. Pemesinan dicapai oleh pelepasan panas dari proses oksidasi. Aliran-aliran gas juga
berkontribusi dengan melepaskan oksida dari daerah sekitar mesin.
Dengan menggunakan metode tersebut, titanium ketebalan 0,5 mm telah dipotong
dengan laser CO2 dari 135 W pada 15 m/menit, sehingga sehingga membuat lapisan panas
terkena 0,375 mm. Ketebalan yang sama juga bisa dipotong sebesar 2,4 m/min,
sebagaimana yang dimilik oleh tembaga, yaitu mempunyai ketebalan 0,025 mm dengan klorin
sebagai reaktif gas. Perlu diingat bahwa semakin kecil diameter gas nosel dan jarak yang
sempit dari permukaan benda kerja, maka kualitas yang dipotong lebih baik. Tekanan gas juga
menunjukan memainkan peran yang penting dalam menentukan kualitas dan laju mesin.
Gambar 5 menunjukan indeks pemesinan relatif untuk berbagai meterial. Sebuah indeks 100
diambil untuk Ti.6Al.6V.2Sn, yang memotong pada kecepatan tertinggi seperti pada Gambar 5.

Gambar 5 Pemesinan Dari Beberapa Material Dalam LBM

1.3. Penerapan
Pemesinan berkas laser digunakan dalam berbagai jenis penggurdian, pembelahan,
pembuatan alur, penggoresan, dan operasi penandaan. Penggurdian diameter lubang kecil
dapat dilakukan di bawah 0,001 in. (0,025 mm). Untuk lubang yang lebih besar, diameter di
atas 0,020 in. (0,50 mm), dilakukan dengan mengendalikan berkas laser memotong garis luar
dari lubang. LBM tidak digunakan untuk proses produksi massal, dan pada umumnya digunakan
untuk bendakerja yang tipis. Bendakerja yang dapat dikerjakan dengan LBM sebenarnya tidak
terbatas. Sifat material yang ideal untuk dikerjakan dengan LBM adalah material yang memiliki:
- daya absorbsi energi sinar tinggi,
- reflektivitas (daya pantul sinar) rendah,
- konduktivitas termal baik,
- temperatur lebur rendah,
- temperatur penguapan rendah.
Material bendakerja yang dapat dikerjakan dengan LBM adalah :
logam dengan kekerasan dan kekuatan yang tinggi,

6 dari 26
 logam lunak,
keramik,
gelas dan epoksi gelas,
plastik,
karet,
kain, dan
kayu.
Laser dapat digunakan dalam berbagai aplikasi manufaktur
Removal/pelepasan Meterial
Welding
Pemaduan
Perlakuan panas
Pembentukan
Aplikasi yang paling dominan pada industri adalah pengeboran lubang berukuran mikro,
dalam pengeboran laser sinar laser difokuskan melebihi ukuran titik yang dikehendaki. Untuk
lembaran tipis laser pula dapat digunakan.

Gambar 6 Machining speeds of aerospace alloys in gas-assisted LBM (El-Hofy, 1995).

1.3.1 Drilling
Meterial komposit dan beberapa paduan eksotis telah telah banyak digunakan dalam
fabrikasi struktur, kerangka pesawat dan mesin pesawat. Paduan yang kuat (super alloy) sering
digunakan untuk pembuatan komponen mesin aero-gas seperti blade, setelah pembakaran, dan
coran dimana temperaturnya mencapai 2000 C.
Pembuatan keramik dan paduan titanium, meterial tersebut perlu menggunakan
teknologi dalam pembuatan dan pengolahannya. Pengeboran konvensional tidak mampu
melakukannya karena ketangguhan material tersebut.
Selain proses pemesinan nonkonvensional seperti pemesinan elektrokimia (ECM),
elektrokimia pengeboran (ECD), (EDM), mesin ultrasonic (USN), air jet mesin (WJM), harus
mengeluarkan biaya yang tinggi dan juga menghabiskan waktu yang lama.
Kemampuan LBM untuk memproduksi lubang yang halus dibandingkan dengan mesin
yang lainnya, proses yang ditinjau oleh Snoeys et al.(1986), sejak tahun 1970-an, laser drilling

7 dari 26
telah terbukti menjadi alat drilling paling efisien dalam hal pengeluaran biaya, kualitas hasil
produksinya, dan keandalan untuk aplikasi produksi yang besar-besaran. Laser drilling dilakukan
dengan menggunakan tiga metode:
1) Direct (percussion) drilling, menghasilkan ukuran lubang yang sesuai kita inginkan oleh
satu apliaksi atau lebih sasaran laser terfokus. Ukuran lubang ditentukan oleh daya input
dan penyesuaian dari fokusnya.
2) Drill and ream terdiri dari pengeboran dan kemudian merubah parameter lubang tadi,
dengan meningkatkan ukuran tempat untuk membuka keluar lubang dengan diameter
yang dibutuhkan.
3) Trepanning, digunakan pada lubang besar dengan baik memindahkan suatu bagian dan
kemudian memutar sinar laser dalam sistem pengiriman atau lensa. Karena rendahnya
energi pada setiap pulses, lapisan perombakan dan out-of-cylinderity dikurangi. Proses ini
bagaimanapun memberikan control lebih mudah dengan ukuran lubang yang besar dengan
memutar diameter berkasnya.

Tabel 2 Kemampuan Laser Drilling

Karakteristik kualitas lubang :

Lancip dan miring. Tingkat kemiringan yang berkisar antara 5 sampai 20 persen dari
diameter lubang berkurang dengan peningkatan kedalaman lubang. Lancip tergantung
pada durasi pulse dan energinya. Jumlah pulse dan desain dari sistem optik. Secara
umum, semakin pendek durasi pulse maka semakin besar lancip tersebut. Kemiringan
dibentuk oleh pelepasan meterial dari rongga material, hal ini dengan mengurangi
tekanan gas yang ada.
Merombak lapisan dan retak kecil. Pemilihan kerapatan daya rendah yang efektif
dapat menghilangkan penguapan cairan dan pelepasan meterial dari daerah mesin, hal ini
dapat mengurangi lapisan perombakan. Tingkatan untuk meminimalkan pemanasan
dalam sekitar material dapat mengurangi retak kecil. Umumnya, kedalaman yang lebih
kecil dari lapisan dapat diubah seiring dengan tingkat pemotongan yang tinggi, hal ini
merupakan keuntungan dari LBM.
Sudut masuk, Sinar laser mampu melakukan pengeboran lubang dengan sudut masuk
yang berbeda dari 10 sampai dengan kejadian normal pada temperatur 90
dengan lubang yang sesuai karakteristiknya. Sebagai sudut masuk, sehubungan dengan
permukaan yang menjadi lebih kecil, kepadatan permukaan efektif daya dikurangi. Dalam
keadaan seperti itu, perlu meningkatkan kualitas berkas lasernya (beam laser),
Waktu pengeboran (Drilling Time), dalam pengeboran lubang sampai dengan 17 mm
dapat dicapai dengan mengoperasikan berkas laser dalam modes capat-berdenyut
sehingga total waktunya adalah sebanding dengan jumlah energi yang dikirimkan

8 dari 26
 perdetik. Yoet al. pada tahun 1994 menemukan bahwa lubang dengan resiko aspek yang
sama dapat dibor dalam waktu pemesinan yang sama pula (aspek rasio 20:01
membutuhkan 7 detik).

Parameter yang mempengaruhi kualitas lubang :

Gambar 7 menampilkan berbagai faktor yang mempengaruhi kualitas dari lubang
pengeboran (drill holes).

Gambar 7 Parameter Yang Mempengaruhi Kualitas Laser-Lubang Dibor

Pulse energy, disarankan bahwa puncak daya yang dibutuhkan harus diperoleh dengan mening-
katkan energi pulse sambil menjaga getaran yang konstan dalam jangka waktu tertentu.
Pengeboran lubang dengan pulse ini juga menyebabkan pembesaran dari sudut masuk
lubang.
Pulse duration, kisaran jangka waktu pulse yang sangat cocok untuk pengeboran lubang
didapati 0,1-2,5 ms. Pulse energi tinggi (20 J) dan durasi pendek pulse yang ditemukan
cocok untuk pengeboran lubang yang dalam.
Assist gases, Jet gas biasanya diarahkan dengan sinar laser ke daerah yang berinteraksi untuk
menghapus cairan yang dihasilkan oleh mesin dan mendapatkan potongan yang bersih.
Bantuan gas juga melindungi lensa dari sisa sisa material yang berhamburan keluar
dengan membentuk penghalang bertekanan tinggi pada mulut pipa (nozzle).
Sifat meterial dan lingkungan (Material properties and environment), ini termasuk karakteristik
permukaan seperti pemantulan dan penyerapan koefisien terbesar dari material. Selain
itu, termal konduktifitas dan difusivitas, kepadatan panas spesifik dan panas laten juga
dipertiimbangkan.
Masalah kedalaman maksimum lubang terbatas, profil ketidaksilindrisan, dan adanya material
perombakan yang berlebihan, biasanya berhubungan dengan laser konvensional.

1.3.2 Pemotongan dan Membuat Alur (Cutting And Grooving)

Kekuatan dalam kisaran 200 W untuk 1 kW adalah yang disarankan untuk memotong
material yang terbuat dari baja atau besi. Jet oksigen cocok untuk kebanyakan logam, misalnya

9 dari 26
gas membebaskan energi tambahan dengan adanya reaksi kimia exothermal yang terjadi di
daerah pemesinan.
Boehme (1983) menggambarkan penggunaan laser 500 W CO2 dalam hubungannya
dengan sebuah sistem CNC untuk memotong pelat baja dengan ketebalan mencapai 5 mm.
oleh karena itu, kecepatan potong menjadi lebih menurun seiring peningkatan ketebalan dari
material baja tersebut. Pemotongan laser CNC juga telah digunakan dalam produksi pakaian.
Untuk memecahkan masalah yang berkaitan dengan pemotongan laser yang berbahan
besi stainless, Hsu dan Molian pada tahun 1995 telah mengembangkan teknik mesin laser yang
menggunakan kerja gas jet ganda (Gambar 8) untuk menghilangkan cairan yang melekat pada
saat pemotongan dan, dengan demikian memungkinkan besi steinless akan dipotong lebih
cepat, lebih bersih, dan juga lebih tebal. Untuk perilaku pemahaman yang lebih baik dan
prosesnya untuk itu diperlukan pemahaman guna mencapai hasil yang baik, perkem-
bangan di bidang pengawasan, diagnosis, peraturan dan pemodelan menjadi lebih penting.

Gambar 8 Off-axial gas-assisted laser cutting (Hsu and Molian, 1995).

1.3.3 Bentuk dan Penataan (Texturing And Structuring)

Bertekstur atau berbentuk besi dan aluminium strip atau lembaran yang benyak
digunakan terutama oleh kalangan produsen mobil. Texturing memfasilitasi pelumasan selama
logam membentuk dan mencegah pelekatan atau penempelan logam selama proses
pendinginan (annealing). Proses ini diterapkan untuk menggulung besi lembaran atau
aluminium yang mengambil pola permukaan selama tahap akhir dari penggulungan dingin. Para
desainer produk secara akurat dapat menentukan tekstur atau bentuk sifat kekerasan dari
gulungan ini tidak ada batasannya.
Dalam Laser Beam Texturing (LBT), sinar cahaya dari energi mekanis gas laser
terpotong atau terpecah ke pulse sebelum fokus ke tahap permukaan penggulungan. Energi
yang tinggi tadi mengakibatkan mencairnya sekitar gulungan, hasilnya terbentuk sebuah kawah
yang terpisah. Kedalaman ukuran kawah bisa dikendalikan atau dikontrol oleh energi pada saat
berkas diam. Siamo dan para pekerja pada tahun 1994 menyimpulkan bahwa LBT yang dapat
menghasilkan pola yang teratur karena sifat periodik dari sebuah proses tersebut. Gambar 9
menunjukan contoh khas dari bentuk atau tekstur permukaan yang banyak digunakan dalam
pembuatan cetakan, bantalan, dan pembuatan pencetak gulungan.

10 dari 26
 Acak (random) Persegi panjang Takaran (doses)
(pembuatan cetakan) (permukaan Bearing) (cetakan gulungan)
Gambar 9 Penataan Permukaan Radiasi Laser

1.3.4 Pemakaian Roda Grinda (Dressing Of Grinding Wheels)

Laser dapat membuat alur pada roda gerinda dengan baik karena penguapan dan
kerusakan material dari material komposit. Sangat cocok dalam pemilihan pemakaian gerak
makan yang akan menghasilkan produk dari seluruh permukaan roda, sehingga dapat
mengubahnya menjadi kondisi yang topografi. Pemakaian laser menghasilkan tepi potongan
kecil karena pembentukan kawah yang kecil pada butiran. Ketika kawah terbentuk pada obligasi
tersebut, butiran yang longgar kemudian dihilangkan atau dihapuskan karena tidak cukup
volume ikatan di sekitar butiran.
Selanjutnya beberapa retakan yang disebabkan secara termal selama pemakaian sinar
laser juga membantu menghilangkan lapisan resolidifies pada saat pengrindaan sedang
berlangsung yang kemudian akan menciptakan bagian tepi potong yang baru. Hal ini juga
memungkinkan untuk memperbaharui dengan menguapkan keping-keping logam yang
tersumbat pada roda dengan memfokuskan sinar laser dengan tepat, namun pemilihan dan
pengontrolan sinar laser juga harus berhati-hati.

1.3.5 Milling
Proses yang menghasilkan chips (beram) dan menghasilkan permukaan yang datar atau
berbentuk profil pada ukuran yang ditentukan dan kehalusan atau kualitas permukaan yang
ditentukan.
Laser milling ini menggunakan laser CO2 yang bergetar, dalam proses ini material yang
dilepaskan dikerjakan dengan memindai berkas yang terfokus di seluruh permukaan dari benda
kerja, sejajar, tumpang tindih alur. Agar untuk menghilangkan lapisan yang dibatasi pada tepi
dengan dinding yang tegak lurus terhadap bidang lapisan, berkas sinar dimiringkan sesuai
dengan bidang lapisan.

1.3.6 Pemotongan Halus dan Pengeboran

Pemotongan halus dan pengeboran (fine cutting and drilling), sinar laser CO2 yang
searah jarum jam lebih banyak digunakan untuk pemotongan yang halus dari pelat pelat baja
pada kendaraan bermotor, listrik, dan industri elektronik, peralatan kantor, peralatan rumah
tangga, bagian mesin industri, peralatan bagian-bagian konstrksi dan bahan konstruksi. Dalam
pemotongan yang halus pada ketebalan plat baja bervariasi 5-16 mm, memungkinkan
kecepatan potong yang bervariasi pula yaitu masing-masing 6 sampai 10 m/menit. Pencapaian
potongan yang lebarnya tipis dan permukaan potongan yang halus dan juga bersih. Pelat
dengan ketebalan 0.2 sampai 2 mm dapat dipotong halus dengan daya 200 W, telah juga

11 dari 26
diketahu sebuah kecepatan potong dari 5 m/s untuk 1 mm pelat. Lebar celah dan kebersihan
permukaan yang hampir mirip dengan proses menggunakan sinar laser CO2.

1.3.7 Pengendalian Patahan (Controlled Fracturing)

Energi Laser juga dapat digunakan untuk patahan atau mematahkan dengan cara yang
terkendali atau terkontrol, barang-barang yang rapuh seperti elektronik atau rangkaian sebuah
komponen. Penyerapan dari berkas, difokuskan pada daerah kecil dari permukaan, menciptakan
kemiringan, kemudian termal yang pada gilirannya membentuk tekanan mekanis yang cukup
untuk mengakibatkan pemotongan material di atas daerah patahan yang begitu kecil. Dengan
menggunakan seperti sebuah teknik, ketebalan keramik alumina tinggi 0.46 mm, dibuat retak
dengan cara ini menggunakan sebuah laser CW 100-1 CO2N2He.

1.3.8 Keseimbangan Dinamis pada Komponen Cadangan

Pemotongan laser dapat mencapai keseimbangan yang sangat akurat, dengan
pelepasan material dengan kecepatan miligram per pulse, lubang yang dangkalpun dapat
dihasilkan. Keseimbangan dinamis ini disederhanakan dengan penggunaan sebuah sinyal dari
titik ketidakseimbangan untuk memicu pulse atau getaran laser.

1.3.9 Memotong (Scribing)

Material yang rapuh seperti silicon, kaca, keramik yang mungkin secara efektif
dipisahkan atau dibentuk oleh laser pemotong (scribing). Dengan teknik ini, material dihapus
atau dihilangkan oleh laser di sepanjang jalur atau lintasan tertentu dipermukaan benda kerja.
Ketika material cukup tertekan, patahan yang terjadi di sekitar material.

1.3.10 Pemesinan Mikro (Micromachining)

Tonshif pada tahun 1993 meneliti aplikasi radiasi yang disebabkan oleh laser pada unit
CNC berbagai poros pemesinan mikro dengan desain moduler. Unit ini digunakan untuk
menghasilkan struktur mikro pada permukaan keramik dan polimer. Dengan menggunakan
pengaturan tersebut, hal itu memungkinkan untuk menghasilkan bagian mikro (kecil) dari
bahan-bahan plastik yang berlapisi serat.

1.3.11 Laser Dibantu EDM (Electroda Discharge Machining)

Alen dan Huang pada tahun 1997 mengembangkan sebuah proses pemesinan
gabungan untuk membuat lubang kecil (mikro). Sebelum lubang dari mikro-EDM, penguapan
tembaga akibat radiasi laser digunakan untuk mendapatkan serangkaian lubang kecil dulu,
lubang ini kemudian diselesaikan oleh mikro-EDM. Metode mereka menunjukan bahwa
kecepatan pemesinan dari mikro-EDM telah meningkat dan keausan pahat elektroda secara
nyata berkurang, sedangkan kualitas permukaan yang dihasilkan tetap baik.
Secara umum, LBM (Laser Beam Machining) menawarkan aplikasi pemesinan yang
beragam dan dapat mengatasi material-material yang berbeda. Karena itu pemelihan jenis laser
tergantung pada aplikasi tambahan yang digunakan pada mesin sesuai yang diperlukan
material, Table 3 menyediakan panduan pemilihan sinar laser yang baik.

12 dari 26
Tabel 3 Panduan Pemilihan Sinar Laser

1.4. Proses Penguatan Pemesinan Berkas Laser

Proses penguatan merupakan dasar operasi dari laser, misalkan generasi dari berkas
yang koheren dari cahaya oleh amplifikasi cahaya memakai emisi yang distimulasi. Dalam
model atom, elektron negatif yang terbeban berputar pada elektron positif terbeban dalam
suatu alur edar khusus. Ukuran dan radius alur edar tergantung pada suatu varisasi dari jumlah
parameter elektron, terdapat atom yang bersebelahan dan struktur elektronnya, adanya medan
elektromagnetik, dan lain-lain. Tiap-tiap orbit elektron berhubungan dengan tingkat energi.
Pada temperatur nol absolut dipertimbangkan ditingkat dasar, jika seluruhnya terdapat electron
maka energi potensialnya akan rendah. Elektron-elektron yang terdapat pada bagian dasar
dapat ditingkatkan energinya dengan menyerap energi dari sumber luar yang meningkatkan
hasil oleh getaran elektronik sehingga meningkatnya temperatur, melalui reaksi kimia baik
sebagai energi yang diserap dari photon. Gambar 10 diperlihatkan skematik penyerapan dari
suatu photon oleh elektron. Elektron bergerak dari suatu tingkat energi lebih rendah ke tingkat
energi lebih tinggi.
Dalam mencapai energi tinggi, elektron menjangkau suatu energy yang tidak stabil dan
akan kembali lagi ke keadaan dasarnya di dalam suatu waktu sangat kecil dengan melepaskan
suatu photon. Keadaan ini disebut emisi secara spontan. Skematik yang sama ditunjukkan pada
Gambar 10 dan 11 Spontan fotoneutron dipancarkan dengan frekwensi sama sebagai yang
fotoneutron yang ada.

Gambar 10 Rombongan Energi Pada Material

Kadang-kadang perubahan keadaan energi menempatkan elektron di dalam suatu
rombongan energi metastabil. Sebagai ganti kembali datang ke keadaan dasar (dalam masa ns)
akan tertinggal pada peningkatan keadaan energi untuk mikro ke seperseribu detik. Di dalam
suatu material, jika lebih jumlah elektron dapat dipompa kepada keadaan energi metastabil

13 dari 26
yang lebih tinggi dibandingkan dengan jumlah atom pada keadaan dasar, ini disebut
pembalikan populasi.

Gambar 11 Emisi yang spontan dan stimulus

Seperti elektron pada keadaan metastabil lebih tinggi, dapat kembali kekeadaan dasar
dalam wujud suatu salju yang disajikan oleh suatu photon dari frekuensi atau energi yang
terdapat. Ini dikenal dengan nama emission yang distimulasi. Gambar 11 memperlihatkan
elektron keadaan tinggi dalam garis edar metastabil. Jika hal ini distimulasi oleh suatu photon
dari energi yang tersedia maka elektron akan turun kepada keadaan energi yang lebih rendah
dan kembali pada satu photon asli, photon lainnya dipancarkan oleh beberapa mempunyai
stimulasi sementara dan tahap ruang yang tersedia. Dalam cara ini berkas laser yang koheren
akan dihasilkan.
Gambar 11 memperlihatkan skematik kerja suatu laser. Terdapat suatu gas di dalam
suatu selinder, gas ini disebut medium penguat. Satu ujung dari kaca adalah dihalangi dengan
kaca 100% yang memantulkan cahaya dan ujung lain mempunyai suatu miror parsila yang
memantulkan cahaya. Pembalikan populasi dapat dilaksanakan oleh molekul atau atom gas
yang dipemompakannya dengan kilat lampu. Bilamana pancaran distimulasikan maka terjadi
tindakan penguat. Pancaran stimulasi dari photon bisa di segala jarah. Kebanyakan dari photon
distimulasi tidak pada sepanjang arah yang membujur akan hilang dan menghasilkan barang
sisa yang panas. Photon dalam arah membujur akan membentuk koheren, sangat terarah,
berkas lasernya terpadu.

1.5. Medium Penguat

Banyak material dapat digunakan sebagai inti laser. Laser dapat digolongkan berdasar-
kan pada medium penguatnya yaitu sebagai laser keadaan penuh dan gas.
Laser keadaan padat umumnya tipenya disesuaikan dengan :
Ruby dimana terdiri dari paduan chromium-alumina mempunyai panjang gelombang 0,7 m.
Laser gelas-ND mempunyai panjang gelombang 1,64 m.
Laser Nd-YAG panjang gelombang 1,06 m.

14 dari 26
Laser keadaan penuh biasanya digunakan pada prosesing material.
Laser gelas umumnya yang dipakai adalah :
o Helium-Neson
o Argon
o CO2 dan lain-lain
Laser dapat dioperasikan dalam cara kontinu atau pulse. Tipe laser gas CO2 dioperasikan
dengan cara kontinu sedangkan laser Nd-YAG dengan cara pulse.

Gambar 12 Aksi penguat

1.6. Konstruksi Laser

Pada Gambar 13 ditunjukan laser tipe Nd-YAG. Laser Nd-YAG dipompakan menggu-
nakan flash tube. Flash tube dapat berbentuk helical atau berbentuk datar. Kekhususan
material penguat laser pada bidang focal dari flash tube, namun demikian adalah helical flash
tube lebih baik terdapat pemompaan yang mana terjadi kesulitan dalam perawatannya. Pada
Gambar 14 diperlihatkan sirkuit listrik untuk operasi suatu laser keadaan penuh. Flash tube
dioperasikan dengan cara pulse yang dari kapasitor dilakukan pengisian dan pelepasan, dengan
demikian pulse tepat waktu dilepaskan oleh resistasi dari sisi flash tube dan pulse waktu
dihentikan saat terjadinya resistansi pengisian.

Gambar 13 Laser Keadaan Penuh Dengan Unit Pemompaan Optikalnya

Gambar 14 Cara Kerja Laser Kedaan Penuh

15 dari 26
 Ada juga tersedia pemindahan suatu tegangan tinggi untuk inisiasi pulse. Pada gambar
15 ditunjukan laser CO2. Laser gas dapat mengalir secara aksial, melintang dan melipat secara
aksial (Gambar 16).

Gambar 15 Konstruksi Laser CO2

Besar tenaga suatu laser CO2 adalah sekitar 100 Watt per meter panjang tabung.
Penggunaan tenaga laser yang tinggi sangat diperlukan tabung tetapi agak menyulitkan. Untuk
pemakaian yang optimal lantai dasar, Laser CO2 dengan tenaga yang besar dibutuhkan atau
dirancanglah laser cara melipat.

Gambar 16 Konstruksi Laser Gas Melipat (Folded Gas Laser)

Pada laser CO2, campuran CO2, N2 dan He disirkulasi secara kontinu pada tabung gas
(gas tube). Sirkulasi yang terus menerus dari gas akan dapat meminimumkan pemakaian gas.
Aksi dari CO2 sebagai medium penguat utama dimana akan membantu Nitrogen dalam
mendukung plasma gas He akan membantu mendinginkan gas.
Pada Gambar 16 diperlihatkan juga pemakaian voltase listrik yang tinggi pada dua ujung
pengarah ke pelepasan dan formasi plasma gas. Energi berasal dari pelepasan ini diarahkan ke
pembalikan populasi dan aksi penguatan. Pada kedua ujung laser terdapat satu reflektor yang
100% dan satu reflektor parsial. Reflektor yang 100% mengalihkan arah photon pada bagian
dalam tabung gas sedangkan reflektor parsial membolehkan suatu bagian dari berkas elektron
dipakai untuk memproses material. Tipe Tabung Laser sangat baik pendinginan bagian luar.
Pada Gambar 16 ditunjukan laser aliran aksial yang dilipat terdapat dua kaca pengarah
(turning mirror) guna mengarahkan berkas laser dari suplai gas baik sebagai suplai voltase
tinggi. Tabel 4 memperlihatkan kemampuan dan karakteristik umumnya suatu laser.

16 dari 26
Tabel 4 Karakteristik proses dari tipe laser yang berbeda

1.7. Keuntungan dan Keterbatasan Pemesinan Berkas Laser

A Keuntungan
Pada pemesian berkas laser tidak membutuhkan pahat (tool cutting).
Dalam pekerjaan mengebor, rasio ketelitian yang besar dapat dicapai pada ukuran,
bentuk atau lokasi.
Ukuran lubang mikro dapat didrill dengan tingkat kesulitan dan dari bahan apapun.
Pengaruh panas pada benda kerja tidak signifikan jika memakai proses dengan laser
pulse.
Keuasan dan kerusakan alat aus jarang ditemui.
Lubang dapat dibuat secara akurat dengan menggunakan system laser optic untuk
penyelarasan
Lubang sangat kecil dengan perbandingan aspek besar dapat dihasilkan
Berbagai macam material keras sulit untuk mesin dapat ditangani.
Pemesinan sangat cepat dan waktu pengaturan yang ekonomis.
Lubang dapat dibor di sudut masuknya sulit (10 ke permukaan)
Karena fleksibilitasnya, proses yang dapat diotomatisasi dengan mudah seperti operasi
sambil mengecek untuk mengukur material tipis, yang memerlukan satu tembakan
untuk menghasilkan lubang.
Biaya operasional rendah.

B Keterbatasan
- Biaya awal (investasi) amat tinggi
- Biaya perawatan tinggi
- Proses tidak amat efisiensi

17 dari 26
 - Daerah pengaruh panas (HAZ) amat tinggi untuk pemotongan dengan laser gas CO2.
- Proses Panas tidak baik untuk bahan yang sensitif terhadap panas antara lain
aluminium glass fibre laminate.
- Tingginya biaya alat/mesin.
- Kemiringan biasanya ditemui dalam pengeboran lubang langsung.
- Sebuah lubang buta (tidak tembus) dengan kedalaman yang akurat merupakan
sesuatu yang sulit untuk dicapai dalam pengerjaan dengan laser.

2. Pemesinan Berkas Elektron (Elektron Beam Machining)

2.1 Pendahuluan Pemesinan Berkas Elektron
Pembersihan material dengan menggunakan suatu berkas elektron ditemukan oleh
Steigerwald melalui mesin prototipe rancanganya pada tahun 1947. Pemesinan berkas elektron
(EBM) telah digunakan di industri sejak tahun 1960-an, awalnya dalam aplikasi pengelasan
nuklir dan ruang angkasa. Pengedrillan lubang kecil, pemotongan, ukiran, dan perlakuan panas
adalah seperangkat aplikasi modern yang digunakan dalam pembuatan alat-alat semikonduktor
dan perangkat-perangkat kecil pemesinan.
Pemesian berkas Elekron (Electron Beam Machining, EBM) dan pemesinan berkas laser
(Laser Beam Machining, LBM) adalah proses termal mempertimbangkan mekanisme dari
pelepasan material. Pengerjaan dengan EBM, energi listrik digunakan untuk menghasilkan
elektron daya tinggi dan pengerjaan dengan LBM energi foton tinggi dikombinasikan. Dengan
demikian dua proses ini sering tergolong seperti proses termal optik elektron. Terdapat
perbedaan antara proses jet atau berkas, yaitu jet abrasif, jet air dan sebagainya, Ini adalah
dua proses jet mekanik . Ada juga jet termal atau berkas. Beberapa adalah penyalaan
oxyacetylene , busur las, penyalaan plasma dan sebagainya. EBM seperti halnya LBM adalah
proses termal.

Gambar 17 Skema ilustrasi dari proses electron-beam machining, proses ini membutuhkan
ruang hampa, sehingga ukuran benda kerja terbatas pada ukuran ruang vakum

Gambar 18 memperlihatkan variasi dalam kepadatan daya versus karakteristik dimensi

dari proses berkas termal yang berbeda. Karaktristik panjang jika berkas atau penyalaan
diaktifkan terletak pada pembesaran diameter. Jika penyalaan oxyacetylene atau busur las,
karakteristik panjang adalah tipe rendah jika berada di dalam milimeter ke puluhan dari
milimeter dan kepadatan daya. Berkas elektron mungkin punya satu karakteristik panjang dari
puluhan mikron ke milimeter bergantung kepada derajat dari pemfokusan

18 dari 26
 Gambar 18 Variasi kepadatan energi dengan diameter spot dari proses berkas termal.

2.2 Peralatan Dasar Dan Mekanisme Pemakanan.

Komponen utama dari instalasi EBM (Gambar 19) letaknya tepat di ruang vakum dan
diungsikan ke sekitar 10-4 torr. Dimana katoda tungsten dipanaskan sekitar 25000-30000C agar
dapat memancarkan elektron. Ukuran efeknya ialah emisi arus (mA) yang bervariasi antara 20
dan 100 mA. Saat ini kerapatannya berkisar di antara 5 dan 15 A/cm2. Emisi tergantung pada
material katoda, temperatur, dan tegangan tinggi, yang biasanya mencapai sekitar 150 kV.
Seperti sebuah tegangan tinggi yang dapat mempercepat aliran elektron kearah benda kerja.
Setelah dipercepat, elektron terfokus pada lapangan, yaitu perjalanan melalui lubang anoda.

Gambar 19 Sistem Komponen EBM

Berkas elektron kemudian memfokuskan kembali sistem lensa magnetik atau elektronik
sehingga balok diarahkan dan dikendalikan ke benda kerja. Elektron mempertahankan kecepat-
an (228 103 km/s) yang diberikan oleh akselerasi bertegangan hingga memakan benda, di
wilayah yang jelas, umumnya 0,25 mm. Energi kinetik pada elektron ini kemudian secara cepat
ditransmisikan menjadi panas, sehingga menyebabkan peningkatan pesat sesuai dengan
temperatur benda kerja, agar di atas titik didih, sehingga menyebabkan pengangkatan material
dengan penguapan. Dengan densitas daya 1,55 MW/mm2 yang terlibat dalam EBM, hampir
semua bahan teknik dapat dibuat dengan pemesinan oleh orang teknik mesin dengan
keakuratan memanipulasi benda kerja dan dengan kontrol yang tepat untuk menghasilkan
proses pemesinan yang sepenuhnya otomatis. Berkas difokuskan menembus benda kerja
tersebut tidak sepenuhnya dapat dilakukan, karena rumitnya mekanisme yang terlibat. Namun,
diyakini bahwa permukaan benda kerja dicairkan oleh kombinasi tekanan elektron dengan
tegangan permukaan, leburan cairan tersebut secara cepat dikeluarkan dan diuapkan, sehingga
membutuhkan pengangkatan kira-kira sekitar 10 mm3/min, sinar elektron berdetak sebesar 104

19 dari 26
Hz mereduksi temperatur dari benda kerja di luar wilayah pemesinan. Sebuah atraksi awal EBM
adalah besarnya kedalaman relatif diubah menjadi perbandingan luas (100:1) pada aplikasi
pengeboran lubang halus menjadi semakin baik. Dengan tidak adanya kontak mekanik dan
kesesuaian atas kontrol otomatis meningkatkan kemampuan proses pemesinan, namun jika
bekerja di ruang hampa akan memperpanjang siklus waktu lantai ke lantai.
Jumlah getaran yang dibutuhkan untuk memakan kedalaman lubang g dapat dijelaskan
dengan :

=

Waktu pemesinan:

=

1
=
+

Drilling rate:

= (mm/min)

Menurut Kaczmarek (1976), jumlah pulse ne hanya dapat digambarkan sebagai fungsi dari
mempercepat tegangan Va dan emisi Ie :
1
=

Sehingga drilling rate dan Volumetric removal rate adalah:
=

VRR = 2
4
In case of slotting a depth g dan length L, the slotting time tm adalah:
.
=
.

The slotting rate (mm/min) adalah:

=
The VRR (mm3/min) adalah:
VRR = 2

Keterangan:
ge depth of hole removed per pulse, mm
g depth of hole or slot required, mm
fp frequency of pulses, s1
tp pulse time, s
ti pulse interval, s
db beam diameter in contact with the workpiece (slot width), mm
Va beam accelerating voltage, kV
Ie beam emission current, mA
K constant

20 dari 26
 L slot length, mm
Penetrasi kedalaman tergantung pada diameter berkas, kerapatan daya, dan akselerasi
tegangan. Selain itu kedalaman terkikis per getaran tergantung pada kerapatan bahan benda
kerja serta pada diameter berkas. Jumlah getaran yang menghasilkan kedalaman lubang yang
diberikan biasanya ditemukan pada penurunan dan peningkatan akselerasi tegangan. Untuk
setiap setnya kondisi prosesnya tetap, jumlah getaran yang dibutuhkan meningkat
(hyperbolically) seperti halnya peningkatan kedalaman lubang.
Kesimpulannya bahwa ketika kedalaman tertentu sudah dicapai, maka setiap EBM yang
bertujuan untuk memperdalam lubang akan membutuhkan peningkatan jumlah getaran yang
sangat besar. Pada waktu Pemesinan , EBM yang dibutuhkan untuk mengebor lubang
tergantung pada jumlah getaran yang diperlukan untuk mengikis kedalaman tertentu dan
frekuensi getaran tertentu. Untuk slotting pada EBM, waktu pemesinan dipengaruhi oleh
panjang slot, diameter balok, durasi getaran, dan jumlah getaran yang dibutuhkan untuk
memakan kedalaman tertentu. Tingkat EBM biasanya dievaluasi dalam jumlah getaran yang
dibutuhkan untuk menguapkan beberapa bahan tertentu. Maka gunakan penghitung elektron,
yang ada jumlah getaran, serta memungkinkan penyesuaian waktu dari pemesinan untuk
menghasilkan kedalaman yang dipotong. Sifat bahan benda kerja seperti titik didih dan termal
konduktivitas, kedua sifat tersebut berperan penting dalam menentukan seberapa mudah mesin
dapat melakukannya. Sifat termal seperti konduktivitas listrik dianggap sebagai faktor
tambahan. Dalam merangkum faktor-faktor yang mempengaruhi kinerja EBM. Dalam gambar
juga menunjukkan jumlah getaran versus indeks relatif machinability. Dalam hal ini,
aluminium dianggap sebagai bahan yang terbaik dari machinable karena memerlukan jumlah
getaran yang minimum. Berbagai logam dalam waktu pemesinan yang sama pada aluminium
yang ada pada Gambar 20, bahan yang terdapat pada benda kerja memiliki konsumsi daya
yang rendah.

Gambar 20 Efek parameter dari performa EBM

Sehingga pemanfaatan sejumlah getaran kecil untuk pemakanan volume yang sama,
dan peningkatan machinability. Machinability ini dipengaruhi oleh sifat termal bahan serta oleh
kepadatan dan konduktivitas listrik. Penelitian telah menunjukkan bahwa meningkatnya
percepatan tegangan di atas 120 kV cukup efektif. Jumlah getaran, diambil sebagai sebuah
indeks machinability, tergantung pada kedalaman lubang . Meningkatkan durasi getaran atau

21 dari 26
mengurangi jumlah getaran yang dibutuhkan karena dalam kasus ini membutuhkan energi
yang lebih tinggi . Diameter lubang atau rongga yang diperoleh sebagai hasil dari getaran
tergantung pada materi yang sedang mesin kerjakan. Lebar alur maksimum meningkat secara
linear dengan nilai yang dibutuhkan. Dan untuk nilai getaran yang diberikan, Ag memiliki lebar
alur terbesar yang merupakan volum terbesar dan karena itu machinability tertinggi pula.

Gambar 21 Jumlah pulse yang dibutuhkan (vertikal) versus Indeks-mesin relatif (Kaczmarek, 1976).

Kisaran diameter rongga antara 35 sampai 40 m yang diperoleh dengan out-off

kebulatan 3-6 m yang lebih dari 50 persen kasus. Diameter lapisan berubah sebanding dengan
diameter lubang yang didapatkan 40 hingga 75 m untuk lubang 20-55 m. Kondisi yang
mengarah ke tingkat pamakanan yang lebih besar dan machinability tinggi serta dengan
ketebalan lapisan lebih besar dan kekasaran permukaan yang lebih besar. Pengaruh jumlah
getaran pada tegangan mempercepat tingkat kedalaman lubang yang memerlukan kenaikan
yang jauh lebih besar pada tegangan rendah, terutama disebabkan oleh kenaikan relatif
sehingga panas yang dihasilkan dari konduksi akan hilang dan lapisan logam yang berdekatan
akan mencair. Untuk jumlah getaran yang diberikan, maka akan sedikit perbaikan tingkat
materialnya yang diperoleh dengan meningkatkan percepatan tegangan di atas 120 kV.
peningkatan getaran maka akan meningkatkan energi yang tersedia, yang akan mengakibatkan
pengurangan jumlah getaran yang dibutuhkan untuk mendapatkan hasil mesin yang
diperlukan. Kaczmarek (1976) mengambil jarak kerja yang optimal di mana jumlah getaran
yang diperlukan minimum. Dia menunjuk bahwa titik fokus tepat di bawah permukaan atas
benda kerja yang paling efektif. Tingkat pengeboran oleh EBM (dalam lubang kedua) menurun
dengan peningkatan ketebalan benda kerja sebagai diameter lubang yang akan dihasilkan.
Kualitas permukaan yang dihasilkan oleh EBM tergantung pada jenis bahan. Dalam hal
ini, peningkatan kekasaran permukaan dengan nilai getaran untuk nikel, karbon, emas, dan
tungsten. Perkiraan dari kekasaran permukaan untuk lubang kecil dan pemotongan yang dekat
1 m Ra. Permukaan lapisan bahan diperlakukan oleh EBM dan dipengaruhi oleh temperatur
sinar terfokus, seperti digambarkan oleh cincin lapisan putih yang mengelilingi lubang,
ditunjukkan pada Gambar 22. Diameter meningkat lapisan rusak dengan durasi getaran dan
diameter lubang. A zona yang terkena panas khas dapat sebagai sebanyak 0,25 mm MBE, yang
dapat merugikan bagi integritas struktural yang sangat menekankan komponen dan, untuk
komponen tersebut, harus dihapus/dibuang.

22 dari 26
 Gambar 22 Penampang rongga oleh pulsa tunggal EBM di baja kromium molibdenum

Gambar 23 Daya Relatif Dari Material Yang Berbeda

2.3 Proses Pemesian Berkas elektron
Berkas elektron dihasilkan pada satu alat berkas elektron. alat berkas elektron
menyediakan elektron percepatan tinggi pada ukuran spot amat kecil. Pemesinan berkas
elektron diperlukan diselesaikan di ruang hampa. Jika tidak, elektron akan saling berinteraksi
dengan molekul udara, dan akan kehilangan kemampuan daya dan potong. Benda kerja yang
akan dilakukan pemesinan ditempatkan di bawah berkas elektron dan dipertahankan di bawah
ruang hampa. Berkas elektron yang mengasilkan energi tinggi pada spot ukuran 10 - 100 m
dibenturkan ke benda kerja. Energi kinetik dari kecepatan tinggi elektron dikonversi ke energi
panas sebagai electron membentur benda kerja. Gambar 23 memperlihatkan hubungan tinggi
kepadatan daya dan peleburan seketika secara berangsur-angsur. Bahan cair akhir dikeluarkan
dari daerah pemotong oleh tekanan uap tinggi pada bagian lebih rendah. Berbeda pada
pengelasan berkas elektron, alat/tool di EBM dipergunakan mode pulse. Lubang dapat digurdi
pada pelat tipis memakai pulse tunggal. Untuk pelat lebih tebal, akan menggunakan beberapa
pulse. Berkas elektron juga dapat diarahkan mempergunakan koil defleksi elektronmagnetik
untuk menggurdi lubang berbagai bentuk.

Gambar 24 Mekanisme pelepasan material pada pemesian berkas electron

23 dari 26
2.4 Peralatan Pemesinan Berkas Elektron
Gambar 25 terlihat skema suatu alat berkas elektron, merupakan jantung dari fasilitas
pemesinan berkas elektron apapun.

Gambar 25 Alat/tool Berkas Elektron

Fungsi dasar dari apapun alat berkas elektron adalah untuk menghasilkan elektron
bebas pada katoda, percepatkannya untuk mencapai suatu kecepatan tinggi dan
mengfokuskannya pada satu ukuran spot kecil. Selanjutnya, berkas elektron oleh senapan
diarahkan sesuai yang diinginkan. Katoda seperti seperti yang ditunjukan Gambar 25 umumnya
terbuat dari tungsten atau tantalum. Filamen katoda dipanaskan, sering secara induktif, ke satu
temperatur dari sekitar 2500C. Pemanasan tersebut diarahkan ke thermo ionic emission dari
elektron, yang mana lebih lanjut ditingkatkan dengan menjaga kevakuman yang rendah dalam
ruang alat berkas elektron. Lebih dari itu, magasin katoda ini terbias negatif sangat tinggi
sedemikian sehingga electron ionik termor benar-benar dilepaskan jauh dari katoda. Katoda ini
adalah sering dalam bentuk suatu magasin yang sedemikian sehingga sangat cepat dirubah
untuk mengurangi waktu tunggu jika terjadi kerusakan.
Setelah katoda, terdapat sebuah anular bias grid. Sebuah bias negative tinggi
dimasukkan ke grid ini sehingga dihasilkan electron oleh katoda ini, yang tidak menyebar dan
mendekati elemen berikutnya. Anoda anular dalam bentuk balok (beam) tersebut yang
kemudian menarik berkas elektron dan dipercepat terus-menerus. Ketika anoda anular
meninggalkan bagian anoda, kecepatan electron dapat mencapai setengah dari kecepatan
cahaya.
Sinaran secara alamiah hanya terjadi setelah katoda mengontrol aliran electron dan bias
grid dengan menggunakan saklar untuk mengoperasikan senapan berkas elektron di dalam

24 dari 26
model pulse. Setelah anoda, berkas elektron melewati sebuah lensa magnet (magnetic lenc)
dan aperture. Lensa magnet memotong berkas elektron dan mencoba untuk mengurangi
penyebarannya. Aperture di sisi yang lain hanya mengikuti penyebaran elektron, untuk
melewati dan menangkap penyebaran electron energi rendah dari tepi-tepi. Dengan cara ini,
aperture dan lensa magnet kualitas berkas elektron meningkat.
Table 5 Parameter proses dan kapabilitas EBM

2.5 Kemampuan Proses Berkas Elektron

Pemesinan berkas elektron (EBM) dapat membuat lubang dengan ukuran 100 m
sampai 2 mm dengan kedalam sampai dengan 15 mm yaitu pada perbandingan l/d sekitar 10.
Pada Gambar 26 memperlihatkan suatu tipe lubang yang dilakukan bor oleh berkas elektron.
Kedalaman lubang dapat berbentuk kerucut atau batang. Dengan membalikan pemusatan
berkas di bawah permukaan dapat memperoleh bentuk yang runcing.

Gambar 26 Tipe bentuk kerf dari lubang yang dibor berkas electron
Pemesinan berkas elektron berhasil melakukan fungsinya pada bahan atau metarial
yang lebar cakupannya antara lain baja, baja tahan karat, Ti dan Ni super-alloys, aluminium,

25 dari 26
plastik, keramik, dan bahan kulit. Panas adalah sumber mekanisme pelepasan bahan atau
material untuk contoh pada pemesinan berkas elektron (EBM), panas atau thermal dipakai
untuk merusak atau melepaskan bahan. Bagaimanapun, daerah pengaruh panas (heat affected
zone, HAZ) dibatasi dengan pendeknya denyutan (pulse) dari EBM. Tipe daerah pengaruh
panas bernilai sekitar 20 sampai dengan 30 m. Umumnya bahan Ti dan Ni lebih mudah
dipemesinan dibandingkan dengan bahan baja. Banyaknya lubang per detik yang dibor pada
suatu tipe bahan tergantung pada diamater lubang, kepadatan tenaga/daya, dan kedalaman.
Gambar 27 memperlihatkan variasi kecepatan pengeboran terkait dengan volume bahan yang
dilepaskan dari material baja dan aluminium.

Gambar 27 Variasi kecepatan bor pada volume pelepasan bahan untuk baja dan aluminium.

2.6 Keuntungan dan Batasan Pemesinan Berkas Elektron

EBM menghasilkan nilai tinggi dalam membuat lubang yang kecil dengan perbandingan
aspek besar dalam pengedrillan tersebut. Selain itu dapat melakukan pemesinan benda kerja
apapun tipe bahan dengan berbagai sifat mekanisnya serta dengan tidak menggunakan gaya
potong mekanikal, pemegang benda kerja dan biaya pembuatan rendah. Lebih lanjut,
pembuatan proses pelepasan bahan gampang baik untuk material yang rapuh dapat juga
diproses. Daerah pengaruh panas (HAZ) pada EBM nilainya rendah karena denyut/pulsanya
pendek. EBM dapat menghasilkan lubang dengan berbagai bentuk akurasi tinggi oleh kombinasi
defleksi berkas memakai gulungan elektromagnetik dan meja CNC.
EBM mempunyai keterbatasan dalam operasi yaitu biaya awal tinggi untuk investasi
peralatan juga termasuk biaya perawatan khusus pada peralatan memakai sistem vakum.
Selain itu dalam periode tertentu akan terdapat waktu yang tidak produktif penurunan
pemompaan karena untuk pencapaian kevakuman yang diinginkan. Masalah ini dapat dikurangi
dengan menggunakan beberapa kunci beban vakum. Meskipun demikian daerah pengaruh
panas agak tak sebanyak di EBM tetapi bisa dihindarkan dengan formasi lapis kembali.

26 dari 26