1.

SEM
Mikroskop elektron
merupakan alat yang menggunakan sinar elektron berenergi tinggi untuk menguji objek yang
berukuran sangat kecil. Pengujian inidapat memperoleh informasi mengenai topografi,
morfologi, komposisi dankristalografi. SEM adalah salah satu tipe mikroskop elektron yang
mampumenghasilkan resolusi tinggi dari gambaran suatu permukaan sampel.

2. XRD
Difraksi Sinar X merupakan teknik yang digunakan dalam karakteristikmaterial untuk
mendapatkan informasi tentang ukuran atom dari material kristalmaupun nonkristal. Difraksi
tergantung pada struktur kristal dan panjanggelombangnya. Metode difraksi sinar X
digunakan untuk mengetahui struktur darilapisan tipis yang terbentuk.

3. STM
Scanning Tunneling Mikroscopies (STM)
merupakan mikroskop non-optikyang dapat digunakan untuk mengamati struktur permukaan
suatu material. STMadalah mikroskop non-optik yang membaca probe listrik pada
permukaan yangkemudian dicitrakan untuk mendeteksi arus listrik antara tip dan permukaan
atomyang dipelajari. STM memungkinkan untuk memvisualisasikan densitas elektrondan
mengetahui posisi masing-masing atom dan jari-jari permukaan kisi. STMmenghasikan
bentuk tiga dimensi dari permukaan yang berguna untukmengkarakterisasi kekasaran
permukaan dan mengetahui ukuran dan komposisimolekul yang menyusun permukaan atom.

4. XRF

XRF adalah alat yang digunakan untuk menganalisis kandungan unsurdalam bahan yang
menggunakan metode spektrometri. XRF merupakan pemancaran sinar X dari atom
tereksitasi yang dihasilkan oleh tumbukan elektron berenergi tinggi, partikel-
partikel lain, atau suatu berkas utama dari sinar X lain.Analisis menggunakan XRF dilakukan
berdasarkan identifikasi dan pencacahansinar-X karakteristik yang terjadi dari peristiwa
efekfotolistrik.

5. TEM

Sama seperti SEM, TEM juga digunakan untuk mengkarakterisasi suatumaterial, biasanya
untuk material berukuran nanometer. Namun TEM memilikiresolusi yang lebih tinggi
daripada SEM. Malah, High Resolutin TEM (HR-TEM)dapat menentukan lokasi atom-atom
dalam material. Cara kerjanya pun sangatmirip dengan prinsip Rontgen dalam kedokteran.

6. AFM

AFM merupakan alat pengkarakterisasi material dengan menggunakangaya atom antar tip
dan substrat. AFM adalah salah satu alat terpenting untuk pencitraan, mengukur, dan
memanipulasi materi pada skala nano.