Pandia
NIM : F1D214020
Prinsip kerja dari XRD ini adalah dengan mengukur hamburan sinar X
dari kristal berfasa kristalin dengan struktur kristalnya. XRD mendifraksi cahaya
yang melalui celah suatu kristal. Sinar X yang dihasilkan dari katoda, dimana
katoda memproduksi elektron dengan pemanasan katoda filamen tungsten yang
memiliki potensial negatif tinggi. Elektron tersebut kemudian terakselerasi ke
anoda dan menabrak anoda sehingga energi elektron tersebut berubah menjadi
Sinar X dan panas.
n λ=2 d sin θ
1. Sample Holder
Sample Holder adalah tempat diletakkannya sampel. Sampel yang
dikarakterisasi dapat berupa sampel padat (logam, bubuk kimia, kristal,
polimer, plastik, keramik, fosil, butiran, karbon, dan campuran partikel
logam), sampel biologi (sel darah, produk bakteri, fungal, ganggang,
benalu dan cacing, jaringan binatang, manusia dan tumbuhan). Sampel
tidak harus dapat menghantarkan elektron maupun listrik. Untuk sampel
non-logam dapat dilakukan pelapisan atau coating dengan melapisi sampel
dengan lapisan tipis penghantar elektron, seperti emas dan platina.
2. Electron Gun
Electron Gun menghasilkan elektron dari filamen. Pada umumnya electron
gun yang digunakan adalah tungsten hairpin gun dengan filamen berupa
lilitan tungsten yang berfungsi sebagai katoda. Tegangan yang diberikan
pada lilitan mengakibatkan terjadinya pemanasan. Anoda kemudian
membentuk gaya yang dapat menarik elektron melaju menuju anoda.
3. Lensa Magnetik
Lensa magnetik memfokuskan elektron yang dikeluarkan electron gun
menuju suatu titik pada permukaan sampel
4. Detektor
Ketika elektron mengenai sampel, maka akan terjadi hamburan elektron
dari permukaan sampel. Hamburan tersebut akan dideteksi oleh detektor,
dimana hasil interaksi yang keluar dari dalam material akan ditangkap oleh
tiga detektor:
Detektor SE, menangkap secondary electrons menghasilkan image
Detektor BSE, menangkap backscattered electrons dan
menghasilkan image sesuai perbedaan kontras berdasarkan
perbedaan berat massa atom
Detektor X-ray: identifikasi unsur kimia yang terdapat dalam
mineral
5. Monitor CRT (Cathode Ray Tube)
Elektron yang dideteksi oleh detektor akan dimunculkan dalam bentuk
gambar pada monitor CRT.
Aplikasi SEM-EDX dapat digunakan untuk:
Analisa Topografi, menganalisa permukaan dan tekstur (kekerasan,
reflektivitas)
Analisa Morfologi, menganalisa bentuk dan ukuran dari benda
sampel
Analisa Komposisi, menganalisa komposisi dari permukaan benda
secara kuantitatif dan kualitatif
Kelebihan dari penggunaan SEM-EDX:
Pemeriksaan struktur mikro spesimen metalografi
Pemeriksaan permukaan patahan dan permukaan yang memiliki
kedalaman tertentu yang tidak mungkin diperiksa dengan
mikroskop optik
Evaluasi orientasi kristal dari permukaan spesimen metalografi
seperti butir individual, fasa presipitat, dan dendrit (struktur khas
dari proses pengecoran logam)
Analisis unsur pada spesimen dalam range mikron pada permukaan
bulk specimen
Distribusi komposisi kimia pada permukaan bulk spesimen sampai
carak mendekati 1 mikron.
Sedangkan batasan-batasan dalam karakterisasi dengan menggunakan
metode SEM-EDX antara lain:
Kualitas gambar spesimen yang permukaannya relatif rata kurang
baik bila dibandingkan dengan mikroskop optik pada perbesaran
dibawah 300-400x
Resolusi gambar lebih baik dibandingkan dengan mikroskop optik
namun masih kalah bila dibandingkan dengan TEM
Memerlukan kondisi vakum
Sampel harus bahan yang konduktif, jika tidak konduktor maka
perlu dilapis logam konduktor yang harganya relatif mahal
Gambar 3. Contoh grafik hasil EDX pada kaca tellurite semi kristal titik 1