PROSIDING SEMINAR NASIONAL

PENELITIAN DAN PENGELOLAAN PERANGKAT NUKLIR

Pusat Teknologi Akselerator dan Proses Bahan
Yogyakarta, 19 September 2006

PENGUJIAN KEKERASAN BAJA KARBON RENDAH ST 36 HASIL

NITRIDASI MENGGUNAKAN TEKNIK PLASMA LUCUTAN
PIJAR

Sumarmo, Irianto, J. Karmadi

PTAPB-BATAN Yogyakarta

ABSTRAK
PENGUJIAN KEKERASAN BAJA KARBON RENDAH ST 36 HASIL NITRIDASI
MENGGUNAKAN TEKNIK PLASMA LUCUTAN PIJAR. Telah dilakukan pengujian
kekerasan permukaan baja karbon rendah tipe ST 36 hasil nitridasi menggunakan
teknik plasma lucutan pijar. Untuk maksud tersebut spesimen uji ukuran diameter 20
mm dan tebal 10 mm dinitridasi pada kondisi jarak antar elektrode 4 cm, tekanan
vakum 2 × 10-1 Torr, sedang temperatur dan lamanya proses divariasi yaitu masing-
masing 200, 250, 300, 3500C dan 30, 60, 90, 120, 150 menit. Hasil nitridasi diuji
kekerasannya menggunakan alat uji keras Micro Hardness Tester MXT 70. Dari hasil
uji yang telah dilakukan menunjukkan bahwa kekerasan rata-rata awal baja ST 36
adalah sebesar 14,68 ± 0,03 KHN, setelah dinitridasi untuk berbagai variasi
temperatur dan lamanya proses diperoleh kekerasan optimum sebesar 386,74 ± 3,3
KHN. Hasil tersebut dicapai pada kondisi temperatur 3000C dan lamanya proses 150
menit. Dari data tersebut dapat disimpulkan bahwa proses nitridasi dapat
meningkatkan kekerasan permukaan sebesar 169,16%.

ABSTRACT
HARDNESS TETING OF NITRIDED ST 36 LOW CARBON STEEL USING GLOW
DISCHARGE PLASMA. Hardness testing of nitrided st 36 low carbon steel using glow
discharge plasma has been carried out. For the purpose, samples with dimension
diameter 20mm and thickness 10mm were nitrided at the following conditions,
electrodes distance 4cm, while temperature and the time were varied respectively
were 200, 250, 300, 3500C and 30, 60, 90, 120, 150 minutes. Nitrided sample were
tested their hardness using Micro Hardness Tester MXT 70. It has been found that the
surface hardness of row material is 143,68 ± 0,03 KHN. After nitriding process for
various temperature and time, the optimum hardness in orde of 386,74 ± 3,3 KHN.
This optimum hardness was achived at the following conditions temperature 3000C
and time 150 minutes. From this data, it can be concluded that there is an increasing
hardness in orde of 169,16%.

PENDAHULUAN dengan menggu-nakan teknik nitridasi dengan

plasma lucutan pijar. Dengan proses nitridasi ini
D alam usaha memperbaiki sifat-sifat mekanik
permukaan suatu logam (baja) biasa dilakukan
dengan proses pengerasan permukaan. Proses
dapat meningkatkan kekerasan permukaan suatu
meterial sehingga mampu mengurangi laju keausan
akibat gesekan dan mampu menahan gaya-gaya
pengerasan permukaan (Surface Hardening), adalah
dinamis [2].
suatu pengerasan material pada bagian permukaan,
Tujuan penelitian ini adalah untuk
sehingga bagian dalam-nya tetap bersifat ulet. Bila
mengeraskan permukaan komponen-konponen
material ini dibuat semua bagian keras, selain biaya
mesin yang selalu bergesekan dengan komponen
pembuatan lebih mahal, sifatnya adalah fragile
lainnya misalnya seperti ring seker, poros engkol,
(getas/mudah patah)[1]. Satu diantara metode
roda gigi dan lain sebagainya, sehingga umur
pengerasan per-mukaan suatu material adalah
pemakaian komponen tersebut lebih lama[3]. Dalam

74 ISSN 1410 - 8178 Sumarmo, dkk

 PROSIDING SEMINAR NASIONAL
PENELITIAN DAN PENGELOLAAN PERANGKAT NUKLIR
Pusat Teknologi Akselerator dan Proses Bahan
Yogyakarta, 19 September 2006
penelitian ini disajikan hasil uji kekerasan
permukaan dari baja karbon rendah ST 36 yang
dideposisi dengan teknik nitridasi dalam plasma
lucutan pijar.
DASAR TEORI
Nitridasi adalah proses penambahan un-sur
nitrogen pada permukaan bahan logam agar terjadi
perubahan fasa (Fe2N, Fe3N) sehingga kekerasan
permukaan meningkat. Modifikasi permukaan
logam untuk mendapatkan sifat khusus seperti
kekerasan dan ketahanan terhadap keausan dapat
dilakukan dengan cara nitridasi gas yang
diplasmakan.
Secara umum kekerasan diartikan sebagai
ketahanan suatu bahan terhadap deformasi plastis
dan angka kekerasan didefisinikan dengan beban
terpasang (gf=gram force) dibagi dengan luas jejak
(mm2).[4] Untuk jenis lapisan yang sangat tipis beban
maksimal yang diijinkan adalah 2000 gf. Uji
kekerasan dengan beban antara 10 gf sampai dengan
2000 gf dinamakan uji kekerasan mikro. Dalam
prakteknya pengujian kekerasan suatu permukaan
material dapat menggunakan uji keras Brinell,
Vikers atau Knoop. Perbedaan dari ketiganya
tersebut adalah bentuk jejak dari indentornya.
Dalam penelitian ini uji keras menggunakan
indentor Knoop dengan beban yang seringan
mungkin, karena bila bebannya terlalu berat hasil uji
kekerasannya tidak akan teliti, sebab ujung
indentornya akan menembus bahan dasarnya
sehingga hasil uji tidak seperti yang diinginkan.
Adapun angka kekerasan Knoop dapat dihitung
dengan persaman :
P isolasi double layer
KHN = 14,23 (1)
L2
dengan
P : beban yang terpasang (gf)
L : panjang diagonal jejak indentor ( µm)
Sedangkan prosentase kenaikan kekerasan mikro
yang diperoleh dari hasil nitridasi adalah
menggunakan persamaan berikut:
X1 − X 0
% KHN = x100%
X0
(2)
dengan
Xi = Nilai kekerasan mikro setelah dinitridasi
X0 = Nilai kekerasan mikro sebelum dinitridasi
TATA KERJA
Dalam melakukan penelitian ini melalui
beberapa tahapan, yaitu persiapan substrat, proses
nitridasi dengan plasma lucutan pijar, kemudian
Sumarmo, dkk ISSN 1410 – 8178
pengujian kekerasan material dengan meng-gunakan
Micro Hardness Tester MXT 70.
Bahan
Dalam penelitian ini digunakan material
baja karbon rendah ST 36, kertas gosok/ampelas
ukuran kekasaran 120, 220, 300, 400, 600, 800,
1000, 1200 dan 1500 mesh, kain bludru, pasta intan
ukuran 0,25 micron, kertas perekat dobel sisi, air
dan alkohol.
Peralatan
Satu unit plasma lucutan pijar, mesin poles,
gergaji, kikir, ultrasonic cleaner, tanggem, gunting
kertas, desikator dan Micro Hardness Tester MXT
70.
Persiapan cuplikan
Bahan yang akan di nitridasi terlebih dulu
harus dipersiapkan sebagai substrat. Oleh karena
lapisan yang terjadi pada permukaan material sangat
tipis maka permukaan cuplikan sendiri harus betul-
betul rata, halus dan mengkilap. Untuk membuat
permukaan substrat ini menjadi betul-betul rata,
halus dan mengkilap dipoles dengan menggunakan
mesin poles. Bagan mesin poles ini seperti disajikan
pada Gambar 1.
Adapun langkah persiapannya sebagai berikut
1. Bahan uji (baja karbon rendah ST 36) dipotong
dengan menggunakan gergaji dengan ukuran
diameter 20 mm dan tebal 10 mm.
2. Menghaluskan pada bagian kedua sisinya
dengan menggunakan kikir
3. Memasang kertas gosok pada piringan mesin
poles dengan cara direkatkan menggunakan
4. Menghaluskan salah satu sisi dari bahan uji
tersebut dengan cara menggosokkan diatas
mesin poles yang telah dipasang kertas gosok
pada awalnya digunakan kertas gosok dengan
ukuran 120 mesh sambil didinginkan dengan air
dengan cara meneteskan saat dilakukan
pemolesan. Kemudian secara berurutan diganti
dengan kertas gosok yang lebih halus dan yang
terakhir paling halus yaitu ukuran 1500 mesh.
5. Untuk mendapatkan substrat yang halus rata dan
mengkilap, substrat digosokkan diatas kain
bludru yang telah dibubuhi pasta intan dan
ditetesi air
6. Mencuci substrat menggunakan air dan detergen
agar substrat bebas dari lemak, kemudian
dikeringkan
7. Mencuci substrat dengan menggunakan alkohol
dengan cara dimasukkan di dalam gelas yang
telah diisi dengan alkohol kemudian dimasukan
kedalam ultra sonic cleaner yang telah diisi air,
75
 PROSIDING SEMINAR NASIONAL
PENELITIAN DAN PENGELOLAAN PERANGKAT NUKLIR
Pusat Teknologi Akselerator dan Proses Bahan
Yogyakarta, 19 September 2006

kemudian ultra sonic cleaner dihidupkan kurang

lebih 30 menit.
8. Subtrat dikeringkan dengan menggunakan hair
dryier kemudian dimasukkan ke dalam desikator
untuk menunggu proses nitridasi.

Gambar 1. Mesin poles

Keterangan gambar
1. Motor listrik
2. Piringan poles Gambar 2. Unit plasma lucutan pijar
3. Badan mesin poles
4. Sabuk pemutar Keterangan gambar
Proses nitridasi 1. Katup pengatur aliran gas
2. Tabung reaktor plasma
Untuk meningkatkan kekerasan permu- 3. Pirani meter
kaan suatu material satu diantaranya adalah dengan 4. Katup isolator vakum
teknik nitridasi menggunakan plasma lucutan pijar. 5. Pompa difusi
Nitridasi adalah proses penambahan unsur nitrogen 6. Katup by pass
pada permukaan bahan logam agar terjadi 7. Pompa rotari
perubahan fasa (Fe2N, Fe3N) sehingga kekerasan 8. Elektroda dan pemanas
permukaan meningkat. Bagan dari unit plasma 9. Variak
lucutan pijar disajikan pada Gambar 2.
Langkah-langkah proses nitridasi sebagai
berikut
1. Meletakkan substrat pada di dalam tabung
reaktor plasma lucutan pijar
2. Menghubungkan unit plasma lucutan pijar
dengan power listrik dari PLN
3. Pompa rotari dihidupkan, pemanas subtrat
dihidupkan dengan cara menaikkan tegangan
pada super volt sekitar 40 volt.
4. Setelah tekanan vakum mencapai 2 × 10-2 Torr
dan pemanas substrat mencapai suhu yang
diinginkan, proses nitridasi segera dimulai
dengan menghidupkan alat pencatat frekuensi,
mengalirkan gas nitrogen masuk tabung reaktor
plasma sampai tekanan vakum turun menjadi 2 × Gambar 3. Alat uji kekerasan Micro Hardness
10-1 Torr, kemudian mengidupkan sumber daya Tester MXT 70
RF. Keterangan gambar
5. Demikian selanjutnya dilakukan hal yang sama a. Indentor piramida intan
dengan suhu dan waktu yang divariasi sesuai b. Lensa obyektif
dengan yang diinginkan c. Tempat substrat
d. Lensa okuler
e. Tombol read
f. Knoop putar beban indentor
g. Knoop putar penggeser
substrat
h. Knoop putar pemfokus lensa
i. Knoop putar pengatur panjang diagonal jejak

76 ISSN 1410 - 8178 Sumarmo, dkk

 PROSIDING SEMINAR NASIONAL
PENELITIAN DAN PENGELOLAAN PERANGKAT NUKLIR
Pusat Teknologi Akselerator dan Proses Bahan
Yogyakarta, 19 September 2006

Proses pengujian 386,74 − 143,68

x100% = 169,16%
Apabila benda uji telah dinitridasi, maka 143,68
untuk mengetahui peningkatan kekerasannya perlu
diuji dengan menggunakan alat Micro Hardness Tabel 2. Angka kekerasan Knoop rata-rata untuk
Tester MXT 70, di PAU UGM. Gambar alat uji material baja karbon rendah St 36 hasil
kekerasan tersebut disajikan pada Gambar 3. Agar proses nitridasi plasma lucutan pijar
pengujian kekerasan ini lebih teliti setiap subtrat
diuji pada 3 tempat titik. Suhu Waktu
Kekerasan
Substrat nitridasi
Langkah pengujian sebagai berikut (KHN)
(0 C) (menit)
1. Menyambung alat uji kekerasan tersebut 30 191,46 ± 0,80
dengan sumber listrik PLN 60 204,78 ± 0,93
2. Meletakkan substrat pada tempatnya 200 90 234,72 ± 0,71
3. Pilih berat beban yang digunakan sebagai 120 276,58 ± 0,89
beban terpasang
150 307,80 ± 1,29
4. Dengan menggunakan alat uji tersebut pilih
permukaan yang paling rata dan tekan tempat 30 219,80 ± 0,86
tersebut selama 15 detik dengan 60 234,72 ± 0,71
menggunakan indentornya catat angka 250 90 264,30 ± 1,02
kekerasannya dicatat 120 306,66 ± 1,46
5. Demikian selanjutnya dilakukan pada setiap 150 343,90 ± 1,72
substrat pada 3 tempat titik. 30 247,00 ± 1,45
60 311,28 ± 1,08
HASIL DAN PEMBAHASAN 300 90 320,18 ± 1,13
120 346,62 ± 1,71
Pengujian kekerasan pada permukaan
150 386,74 ± 3,30
material hasil proses nitridasi
30 281,50 ± 0,93
Dari hasil pengujian kekerasan serta
60 292,36 ± 1,57
perhitungan deviasi standar terhadap permukaan 350
baja karbon rendah ST 36 sesudah dinitridasi
90 308,44 ± 2,58
plasma lucutan pijar dengan variasi suhu dan waktu 120 319,02 ± 2,58
nitridasi diperoleh angka kekerasan Knoop rata-rata 150 290,28 ± 1,34
seperti yang disajikan pada Tabel 2. Sedangkan Dengan prosedur yang sama maka akan
hasil uji kekerasan pada material awal seperti diperoleh prosentase peningkatan angka kekerasan
disajikan pada Tabel 1. Knoop dari meterial baja karbon rendah ST 36 se-
sudah proses nitridasi seperti disajikan pada Tabel 3.
Tabel 1. Angka kekerasan Knoop meterial awal Dari data-data tersebut maka dapat
No L (µm) KHN disimpulkan bahwa proses nitridasi plasama lucutan
1 31,4 144,6 pijar pada baja karbon rendah St 36 pada suhu
2 31,6 142,4 3000C dan waktu nitridasi 150 menit memberikan
3 31,4 144,6 angka kekerasan Knoop (KHN) yang tertinggi yaitu
4 31,5 143,4 sebesar 386,74 ± 33 KHN, ini berarti terjadi
5 31,5 143,4 peningkatan kekerasan sebesar 169, 16 %
dibandingkan dengan material awal yang angka
Dari data hasil pengujian kekerasan awal kekerasaannya sebesar 143,68 ± 0,93 KHN
baja karbon rendah ST 36 maka diperoleh kekerasan
awal rata-rata adalah sebesar 143,68 ± 0,03 KHN Pengaruh waktu nitridasi terhadap keke-
Dari data-data angka kekerasan Knoop tersebut, rasan
kemudian dilakukan perhitungan untuk menentukan Salah satu parameter yang divariasi dalam
perbandingan nilai kekerasan material baja karbon penelitian ini adalah waktu pendeposisian. Waktu
rendah ST 36 sebelum dan sesudah dilakukan proses pendeposisian ini akan mempengaruhi kualitas
nitridasi menggunakan plasma lucutan pijar dengan lapisan nitrida yang terbentuk misalnya tingkat
variasi suhu dan waktu nitridasi (contoh berikut kekerasan yang dihasilkan. Lamanya waktu pende-
diambil dari data hasil nitridasi dengan suhu 3000C posisian akan berpengaruh terhadap banyaknya
dan waktu nitridasi 150 menit), yaitu atom-atom nitrogen yang terdeposisi maupun
penetrasi atom-atom pada permukaan material dan

Sumarmo, dkk ISSN 1410 – 8178 77

 PROSIDING SEMINAR NASIONAL
PENELITIAN DAN PENGELOLAAN PERANGKAT NUKLIR
Pusat Teknologi Akselerator dan Proses Bahan
Yogyakarta, 19 September 2006

ketebalan lapisan nitrida yang terbentuk pada berdifusi menempati posisi sisipan pada kisis-kisi
permukaan substrat. kristal (batas butir) pada permukaan substrat,
Hubungan tingkat kekerasan dengan waktu pende- sehingga kerapatan bahan disekitar permukaan
posisian pada permukaan baja karbon rendah ST 36 meningkat dan menghasilkan lapisan tipis nitrida
hasil proses nitridasi plasma lucutan pijar untuk besi.
berbagai suhu substrat disajikan pada Gambar 4. Pada saat proses nitridasi dengan waktu
Tabel 3. Prosentase kenaikan kekerasan baja karbon pendeposisian kurang dari 150 menit ion-ion
rendah ST 36 sesudah peroses nitridasi nitrogen belum secara maksimal berikatan dengan
plasma lucutan pijar atom-atom Fe, dimana pada permukaan substrat
masih banyak terdapat ruang sisipan yang belum
Suhu Waktu Kekerasan terisi oleh ion-ion nitrogen, sehingga kekerasannya
substrat (0 C) nitridasi (KHN) belum maksimal.
(menit) Pada saat proses nitridasi dengan waktu
30 33,25 pendeposisian lebih dari 150 menit, ion-ion nitrogen
60 42,52 yang terdeposisi ke dalam permukaan substrat akan
200 90 63,36 semakin banyak. Hal ini akan menyebabkan
120 92,49 terjadinya ikatan yang kuat antara ion-ion nitrogen
150 114,22 dengan unsur Fe pada permukaan substrat sehingga
30 52,75 yang terbentuk bukan lagi sebagai karbida besi,
60 63,36 melainkan hanya merupakan unsur senyawa nitrida
250 90 83,95 besi. Jika waktu yang diberikan untuk proses
120 113,43 nitridasi semakin lama, maka kekerasan permukaan
substrat justru akan semakin turun, hal ini
150 139,35
disebabkan karena bahan mengalami sifat jenuh atau
30 71,90
adanya penyebaran lapisan sampai kesisi permukaan
60 116,64
sehingga yang terdapat pada permukaan bukan lagi
300 90 122,84 unsur senyawa nitrida besi melainkan hanya unsur
120 141,24 ion-ion nitrogen . Hal ini berarti penambahan waktu
150 169,16 hanya akan menyebabkan pemborosan waktu dan
30 95,92 biaya.
60 103,47
350 90 114,67 Pengaruh suhu substrat terhadap keke-
120 122,03 rasan
150 102,03 Gerakan atom-atom akan sangat berpe-
ngaruh dalam proses difusi ion-ion nitrogen dalam
permukaan substrat. Oleh karena itu dibuat variasi
suhu substrat mulai dari suhu 200, 250, 300, dan
3500C, dengan waktu pendeposisian mulai dari 30,
60, 90, 120 dan 150 menit. Meningkatnya suhu
substrat akan menyebabkan atom-atom pada subs-
trat akan bergetar karena pengaruh energi panas.
Dengan bergetarnya atom-atom pada permukaan
substrat maka jarak atom-atom akan semakin besar,
hal ini akan menyebabkan kelarutan atom-atom
nitrogen ke dalam permukaan substrat akan semakin
bertambah, juga penetrasi atom-atom nitrogen pada
permukaan substrat akan masuk lebih dalam.
Gambar 4. Grafik fungsi angka kekerasan terhadap Hubungan antara tingkat kekerasan dengan
waktu pendeposisian dengan variasi suhu suhu substrat pada permukaan baja karbon rendah
ST 36 hasil proses nitridasi plasma lucutan pijar
Dari Gambar 4 terlihat bahwa nilai untuk berbagai variasi waktu pendeposisian
kekerasan optimum dari baja karbon rendah ST 36 disajikan pada Gambar 5.
setelah mengalami proses nitridasi menggunakan
teknik plasma lucutan pijar dicapai waktu Dari Gambar 5 terlihat bahwa kekerasan
pendeposisian selama 150 menit. Hal ini disebab- permukaan baja karbon rendah ST 36 dicapai
kan karena pada permukaan substrat (atom-atom Fe) kekerasan optimum pada suhu 3000C dan waktu
telah berikatan kuat dengan ion-ion nitrogen yang pendeposisian 150 menit. Hal ini disebabkan karena
pada suhu getaran atom-atom substrat (atom-atom

78 ISSN 1410 - 8178 Sumarmo, dkk

 PROSIDING SEMINAR NASIONAL
PENELITIAN DAN PENGELOLAAN PERANGKAT NUKLIR
Pusat Teknologi Akselerator dan Proses Bahan
Yogyakarta, 19 September 2006
Fe) akan tinggi pula dan membuat jarak atara atom
semakin jauh sehingga atom-atom nitrogen akan
lebih mudah berdifusi diantara celah-celah atom Fe,
sehingga hal ini akan menye-babkan atom-atom
nitrogen mudah menyisip diantara atom-atom Fe
pada permukaan substrat.
Gambar 5. Grafik fungsi angka kekerasan terhadap
suhu substrat untuk berbagai variasi
waktu
Banyaknya atom nitrogen yang terde-posisi
kepermukaan substrat membuat kerapatan batas
butir meningkat dan menyebabkan permu-kaan
substrat lebih rapat dan halus sehingga
kekerasannya meningkat. Atom-atom nitrogen yang
masuk ke dalam permukaan substrat mem-punyai
ukuran yang lebih kecil dibanding dengan atom Fe
dan akan menempati ruang diantara atom Fe secara
interstsi.
KESIMPULAN
Dari data hasil penelitian dan pembahasan
yang telah dilakukan, maka dapat disimpulkan
sebagai berikut;
1. Terjadi peningkatan kekerasan permu-kaan
material sebesar 169,16% pada baja karbon
rendah ST 36 sesudah men-dapatkan
perlakuan pada permukaannya dengan
teknik nitridasi plasma lucutan pijar.
Dengan variasi suhu dan waktu
pendeposisian kekerasan tertinggi sebesar
386,74 ± 3,3 KHN dicapai pada waktu
pendeposisian 150 menit dan suhu substrat
3000C
2. Proses nitridasi dengan teknik plasma
lucutan pijar akan dapat meningkatkan
kekerasan permukaan material, akan tetapi
semakin tinggi suhu dan lama waktu
pendeposisian justru menyebabkan
semakin turun kekerasannya. Hal ini berarti
bahwa penambahan waktu hanya akan
menyebabkan pemborosan waktu dan
biaya.
Sumarmo, dkk ISSN 1410 – 8178
UCAPAN TERIMA KASIH
Pada kesempatan ini penulis ingin
mengucapkan terima kasih kepada Bapak Drs. BA.
Tjipto Sujitno, MT., APU yang telah banyak
membimbing dan memberikan dorongan sehingga
makalah ini dapat diselesaikan
DAFTAR PUSTAKA
1. TJIPTO SUJITNO, SUPARDJONO MUJIMAN,
1996. ” Pengaruh Waktu Nitridasi Terhadap
Kekerasan Permukaan Baja Karbon Rendah
AISI 1010 Yang Dinitridasi Dengan Teknik
Plasma Lucutan Pijar” Prosiding Pertemuan
Ilmiah, PPNY-BATAN Yogyakarta.
2. DIETER, G.E., 1987. ”Metallurgi Mekanik” Jlid
I, Edisi ketiga, Penterjemah Sriati Djapri,
Penerbit Erlangga, Jakarta
3. KONUMA, M., 1993.” Film Deposition by
Plasma Techiques” Springer-Verlag, New York
4. ANDI, W., 2002.” Proses Pengerasan
Permukaan Baja ST 40 dengan Metode
Carburizing Plasma Lucutan Pijar”. Sripsi
Universitas Diponegoro Semarang
TANYA JAWAB
Tony Rahardjo
¾ Bagaimanakah pengaruh tekanan vakum sebelum
dilakukan proses nitridasi terhadap hasil akhir
nitridasi dari baja karbon rendah ST 36
Sumarmo
— Semakin tinggi tekanan vakum sebelum
dilakukan proses nitridasi akan memberikan
hasil akhir yang semakin baik. Hal ini
disebabkan karena semakin tingginya tekanan
vakum maka atom-atom udara di dalam tabung
reaktor plasma semakin sedikit, sehingga dapat
menjamin tingkat kemurnian gas nitrogen
dialirkan ke dalam tabung reaktor plasmapada
saat dilakukan proses nitridasi. Sebaliknya bila
tekanan vakum semakin rendah maka atom-
atom udara di dalam tabuung plasma masih
cukup banyak sehingga akan menurunkan
tingkat ke-murnian gas nitrogen yang dialirkan
ke dalam tabung reaktor plasma pada saat
dilakukan proses nitridasi dan akan mem-
pengaruhi hasil nitridasi yang kurang baik.
79