PROSIDING SEMINAR NASIONAL

PENELITIAN DAN PENGELOLAAN PERANGKAT NUKLIR

Pusat Teknologi Akselerator dan Proses Bahan
Yogyakarta, 19 September 2006

OPTIMASI KELUARAN ARUS BERKAS MESIN BERKAS

ELEKTRON 350 keV/ 10 MA PTAPB-BATAN

Suhartono, Djasiman, Heri Sudarmanto, Sumaryadi

Pusat Teknologi Akselerator Dan Proses Bahan

Abstrak
OPTIMASI KELUARAN ARUS BERKAS ELEKTRON MBE 350 keV/10 mA PTAPB.
Telah dilakukan optimasi keluaran berkas elektron MBE pada target dengan cara
mengukur arus berkas elektron pada penyetop berkas.. Pengukuran arus elektron
dilakukan dengan cara mengoperasikan MBE. Dengan mengvariasi parameter-
parameter operasi MBE sehingga diperoleh kondisi arus berkas yang optimum, yaitu
hubungan antara perubahan arus filamen terhadap arus berkas elektron pada
tegangan pemercepat tetap dan hubungan antara perubahan tegangan pemercepat
terhadap arus berkas elekron pada arus filamen tetap. Hasil pengukuran
menunjukkan bahwa pada arus filamen 9,8 A dan 12 mA dengan tegangan
pemercepat 200 kV diperoleh arus elektron ditarget 100 µA dan 850 µA. Pada saat
MBE beroperasi dengan sumber tegangan tinggi maksimum 342 kV, arus filamen 13
-6
A dan tingkat kevakuman 9,5 x 10 mbar arus berkas optimum yang dihasilkan
sebesar 5,2 mA.

Abstract
BEAM CURRENT OUTPUT OPTIMATION OF THE 350 keV/10 mA ELECTRON
BEAM MACHINE ON PTAPB. Beam current output optimation of the Electron Beam
Machine has been done, with to measure electron beam current on the beam stopper.
Electron beam current measurement was done with to operate Electron Beam
Machine. With variation of EBM operation parameters was obtained the optimum
beam current condition. Hence, it was obtained the correlation of filament current
changing to electron beam current on constant accelerator voltage and the correlation
of accelerator voltage changing to electron beam current on constant filament current.
The measurement result show that on 9.8 A and 12 mA filament current with 200 kV
accelerator voltage was obtained 100 µA and 850 µA electron current on target. At the
Electron Beam Machine operation with 342 kV maximum high voltage source, 13 A
filament current and 9.5 x 10-6 mbar vacuum level, optimum beam current that be
obtained was 5,2 mA.

PENDAHULUAN komponen utama diantaranya, sumber elektron,

tabung akselerator, sumber tegangan tinggi, sistem
P enelitian terhadap penggunaan teknologi nuklir
untuk tujuan damai dewasa ini berkembang
cukup pesat, tidak hanya dalam bidang fisika tetapi
optik, sistem vakum dan sistem instrumen kendali
(SIK).
Di dalam MBE yang dihasilkan adalah
meliputi berbagai bidang antara lain, industri,
berupa berkas elektron. Berkas elektron dihasilkan
kesehatan, pertanian, biologi, dan lain-lain. Salah
oleh sumber elektron secara emisi termionik pada
satu bentuk penggunaan teknologi nuklir adalah
filamen yang dialiri arus listrik. Dari sumber
pengunaan dengan menggunakan radiasi berkas
elektron, berkas elektron dilewatkan melalui tabung
elektron dengan suatu perangkat mesin akselator
pemercepat untuk dinaikkan energinya hingga
elektron atau mesin berkas elektron (MBE). MBE
mencapai energi yang diinginkan. Selanjutnya
adalah suatu mesin untuk mempercepat berkas
berkas elektron melewati jendela pemayar ditangkap
elektron sehingga memiliki energi gerak yang cukup
oleh sistem penyetop berkas. Untuk mengetahui
tingi. MBE pada umumnya mempunyai komponen-

Suhartono, dkk ISSN 1410 – 8178 55

 PROSIDING SEMINAR NASIONAL
PENELITIAN DAN PENGELOLAAN PERANGKAT NUKLIR
Pusat Teknologi Akselerator dan Proses Bahan
Yogyakarta, 19 September 2006

besarnya arus berkas dapat dilakukan dengan cara
memasang meter arus.
Keluaran arus berkas amat dibutuhkan
untuk kebutuhan iradiasi, mengingat keluaran arus
berkas belum memenuhi syarat, yaitu baru dicapai 2
mA dan diharapkan untuk tahun 2005 ini dapat
dicapai 5 mA, maka perlu dilakukan optimasi
keluaran arus berkas pada mesin berkas elektron
Arus berkas akan dapat diukur apabila
berkas dapat mencapai penyetop berkas. Besarnya
arus elektron yang dihasilkan sangat dipengaruhi
oleh beberapa parameter antara lain, suhu filamen
yang terkait dengan besarnya arus yang mengalir
pada filamen.
Besarnya dapat dihitung seperti pada persamaan
Richardson-Dushmann sebagai berikut (1) :
elektron. Setelah melewati pemercepat berkas
elektron masuk ke dalam sistem pemokus kemudian
menuju ke jendela pemayar. Arus berkas elektron
yang keluar dari jendela pemayar di tangkap oleh
sistem penyetop berkas yang letaknya di bawah
jendela pemayar yang dihubungkan dengan DC
Ampermeter.
Arus berkas elektron di amati sebagai
fungsi perubahan arus filament pada tegangan tinggi
pemercepat tetap dan peruabahan tegangan
pemercepat terhadap arus berkas pada arus filament
tetap.

Je = A.T2 exp (-eq/KT) (1)

Dengan: T menyatakan suhu filamen (ºK) dan
terkait dengan arus filamen, A menyatakan tetapan
termionik yang besarnya tergantung pada jenis
bahan (untuk bahan tungsten A = 75 Cm -2K-2), e
menyatakan muatan elektron (C), q menyatakan
fungsi kerja bahan (eV) dan K menyatakan tetapan
Boltman (1,3805x10-23 jK-1)
Dari persamaan tersebut terlihat besarnya Gambar 1. Susunan Pengukuran Arus Berkas M B E
rapat arus emisi sebagai fungsi suhu. Besarnya arus 350 keV/ 10 mA
juga dipengaruhi oleh bentuk dimensi dari pada
filamen (Ã= luas dalam Cm2) sehingga besarnya
arus adalah (2) HASIL DAN PEMBAHASAN
I = Ã x Je (2) Hasil pengujian optimasi arus berkas
dengan : I adalah arus emisi elektron , (Amp) elektron pada target dengan berbagai keadaan
à adalah luas penampang filamen, (cm2) setelah melewati jendela pemayar ditunjukkan pada
Je adalah rapat arus termionik, (Amp/cm2) gambar 2 – 3
Pada makalah ini disajikan pengujian Pengaruh Perubahan Arus Filamen
optimasi keluaran berkas MBE di penyetop berkas Terhadap Keluaran Arus berkas Elektron
setelah terkonstruksinya MBE. Pada Tegangan Pemercepat Tetap.
Hasilnya ditunjukkan pada tabel 1 dan kemudian
TATA KERJA dibuat gambar yang ditunjukkan pada Gambar2
Optimasi arus berkas elektron dilakukan Tabel 1.
pada MBE 350 keV/10 mA di PTAPB dengan cara
Arus berkas elektron (mA)
mengukur arus pada penyetop berkas dengan
No Arus Pada Pada Pada
menggunakan DC Ampermeter Susunan lengkap kondisi kondisi kondisi
Filamen
sistem pengukuran arus berkas seperti ditunjukkan (A) VP=200 VP=230 kV VP=300
pada Gambar 1. kV kV
MBE dioperasikan dengan langkah sesuai 1 9,7 0,10 0,30 0,60
petunjuk operasi yang ada dan dilakukan oleh 2 10,0 0,47 0,70 1,35
operator MBE. 3 10,3 0,60 0,80 2,00
Pada kondisi MBE beroperasi, elektron 4 10,6 0,70 1,20 2,50
keluar dari sumber elektron dipercepat dalam tabung 5 10,9 0,75 1,35 3,00
pemercepat. Percepatan ini menghasilkan berkas 6 11,0 0,80 1,40 3,20
elektron dengan energi kinetik dan arus berkas 7 11,5 0,83 1,50 3,40
tertentu. Besarnya energi kinetik elektron diatur 8 11,8 0,85 1,52 3,50
9 12,0 0,85 1,52 3,50
dengan memvariasi besarnya sumber tegangan
10 13,0 0,85 1,52 3,50
tinggi. Sedangkan besarnya arus berkas bervariasi
terhadap perubahan arus filament pada sumber

56 ISSN 1410 - 8178 Suhartono, dkk

 PROSIDING SEMINAR NASIONAL
PENELITIAN DAN PENGELOLAAN PERANGKAT NUKLIR
Pusat Teknologi Akselerator dan Proses Bahan
Yogyakarta, 19 September 2006

berkas yang dihasilkan tetap. Kejenuhan dari arus

Kondisi Parameter lain: berkas elektron ini disebabkan antara lain dimensi
Vakum : 9,5 x 10-6 mbar dari kawat sumber elektron atau dapat juga karena
Pemayar : 12 V kawat sumber elektron sudah teroksidasi oleh sisa-
Pemokus : 0,35 A sisa gas udara dalam sistem, mengakibatkan seperti
Pengarah resistansi artinya nilai hambatan filamen akan
Sumbu X :10 putaran mengalami perubahan, Jika tingkat oksidasi diruang
Sumbu Y 40 putaran sumber elektron semakin besar. Tingkat oksidasi ini
sangat dipengaruhi oleh tingkat kehampaan,
sehingga perlu dilakukan pembersihan/ perawatan
sumber elektron. Jumlah elektron yang dihasilkan
oleh sumber elektron jenis termionik telah
mengalami titik jenuh pada arus filament lebih besar
11,8 A ( tabel 1 ), akibatnya walaupun arus filamen
dinaikkan terus, arus elektron ditarget tetap 0,85 mA
pada tegangan pemercepat 200 kV.
Untuk kurva 2 dan 3 gambar 2 pada
tegangan pemercepat 230 kV dan 300 kV
menunjukkan karakteristik yang sama dengan kurva
1, perbedaannya dengan bertambah tingginya
tegangan pemercepat efek pemfokusan berkas
Gambar. 2. Pengaruh perubahan arus filamen elektron oleh elektrode tabung pemercepat semakin
terhadap arus berkas elektron pada bertambah besar akibat pemfokusan tersebut akan
tegangan pemercepat tetap. mengurangi penyebaran berkas elektron dan
Dari kurva 1 Gambar 2 tersebut dapat meningkatkan arus berkas elektron yang sampai
ditunjukkan bahwa pada arus filamen 9 A dan penyetop berkas.
tegangan pemercepat 200 kV menunjukkan adanya Pengaruh Perubahan Tegangan Pemercepat
arus berkas yang masih sangat kecil, karena emisi Terhadap Arus Berkas Pada
yang dihasilkan oleh sumber elektron masih sangat
Kondisi Arus filamen tetap. Hasilnya
rendah sehingga pada saat diekstraksi dan
diberikan pada tabel 2 dan kemudian dibuat gambar
dipercepat oleh tegangan pemercepat berkas hanya
yang ditunjukkan pada Gambar 3.
sedikit yang mampu menembus jendela pemayar.
Tabel 2
Kemudian arus filament dinaikkan menjadi 9,8 A
arus berkas sudah mulai terbaca 100 µA. Apabila
No Tegangan Arus Berkas
arus filamen dinaikkan terus, maka akan terjadi arus Pemercepat elektron (mA)
berkas yang dihasilkan mempunyai kecenderungan (kV) Pada kondisi If
untuk naik. Dari hasil pengukuran (Gambar 2) = 13 A
tampak bahwa arus filamen sangat berpengaruh 1 290 3,20
terhadap arus berkas keluaran. Hal ini sesuai 2 300 3,50
dengan persamaan 1, menunjukkan bahwa arus 3 307 3,53
emisi elektron ditentukan oleh suhu filamen 4 315 3,95
(katode), makin tinggi suhu katode, makin besar 5 325 4,30
arus emisi elektron. Hal ini berkaitan dengan energi 6 332 4,50
7 340 5,00
yang diberikan pada elektron untuk melepaskan dari 8 342 5,20
ikatannya. Makin tinggi suhu filamen berarti makin 9 343 5,20
besar energi yang diberikan kepada elektron 10 345 5,20
sehingga elektron tersebut makin mudah untuk
melepaskan dari ikatannya dan akibatnya makin Kondisi Parameter lain:
banyak elektron yang di emisikan. Demikian juga Vakum : 9,5 x 10-6 mbar
arus emisi elektron dipengaruhi oleh bentuk dimensi Pemayar : 12 V
sehingga merupakan perkalian antara rapat emisi Pemokus : 0,35 A
(Je) dengan luas permukaan filamen (Ã cm2). Pengarah
Dinyatakan dalam persamaan 2. Jadi arus emisi (I Sumbu X : 10 putaran
Amp) akan semakin besar. Tetapi terlihat pada Sumbu Y : 40 putaran
gambar diatas bahwa pada arus filament diatas 11,8
arus elektron pada target hampir mulai jenuh dan
meskipun arus dinaikkan terus sampai 13A arus

Suhartono, dkk ISSN 1410 – 8178 57

 PROSIDING SEMINAR NASIONAL
PENELITIAN DAN PENGELOLAAN PERANGKAT NUKLIR
Pusat Teknologi Akselerator dan Proses Bahan
Yogyakarta, 19 September 2006

UCAPAN TERIMAKASIH
Pada kesempatan ini penulis mengucapkan
terima kasih yang sebesar besarnya kepada Bp.
Djasiman selaku Ka. kelompok teknologi
akselerator dan fisika nuklir, kepada para teknisi
yang telah membantu dan berpartisipasi sehingga
dapat terselesainya laporan ini.

ACUAN
1. SIGFRIED SCILLER etc, Elektron Beam
Technology, John Willey & Sons, New York,
Gambar. 3. Pengaruh perubahan tegangan 1982.
pemercepat terhadap arus berkas 2. 2. WIDYASTUTI. N, Pembuatan Sumber
elektron pada kondisi arus filamen tetap Elektron Termionik Untuk Mesin Berkas
Pada Gambar 3 ditunjukkan hubungan Elektron, Sekripsi S-1, FMIPA, Universitas
antara pengaruh perubahan tegangan pemercepat Diponegoro, Semarang, 1996
tehadap arus berkas pada arus filamen tetap, yaitu 3. 3. SUPRAPTO, Pengembangan Rancang
13 A. Penetapan kondisi ini dengan pertimbangan Bangun Sumber Elektron Untuk Mesin Berkas
bahwa arus filamen benar-benar sudah terjadi Elektron 350 keV/ 10 mA P3TM-BATAN,
kejenuhan, disamping itu sekaligus untuk Presentasi Ilmiah, P3TM-BATAN Yogyakarta,
mengetahui optimumnya operasi filamen (batas 14 Juli 2004
maksimum operasi filamen adalah 15 A). .
Pada percobaan ini variasi tegangan
pemercepat dimulai dari tegangan 290 kV sampai
dengan 345 kV. Dari tabel 2 dan Gambar 3 tersebut
diatas terlihat bahwa arus berkas elektron akan terus
TANYA JAWAB
naik dengan naiknya tegangan pemercepat. dan arus
berkas mengalami kejenuhan pada tegangan 342 kV
dengan arus berkas mencapai 5,2 mA. Pada kondisi Triyono
ini ekstraksi berkas elektron mencapai optimum ¾ Salah satu cara/metode untuk menaikkan arus
sehingga elektron yang diemisikan oleh filamen berkas electron adalah dengan menaikkan suhu
dapat terekstraksi secara optimum oleh tegangan filament, apakah keanaikkan suhu filamen dapat
pemercepat tersebut. Jika tegangan pemercepat diukur, sehingga dapat diketahui korelasi antara
dinaikan terus sampai 345 kV (hampir mendekati suhu filament dan arus berkas filament
batas operasi MBE maksimum, yaitu 350 kV arus Suhartono
berkas elektron yang dihasilkan adalah konstan. — Suhu filamen pada sumber electron MBE tidak
Pengujian optimasi ini hanya dilakukan untuk diamati berapa oC, karena alasan teknik yaitu
sumber arus filamen 13 A, apabila sumber arus system sumber elektron berada didaerah
filamen dinaikkan terus, maka filamen dari sumber tegangan tinggi terisolir.
elektron dikhawatirkan akan putus dan tidak — Korelasinya dapat ditentukan dengan
diperbolehkan, Apabila hal ini terjadi, maka sumber persamaan
tegangan tinggi akan tidak terkendali, karena Je = AT 2 exp − eq / kT
tegangan keluaran dari pada sumber tegangan tinggi Je= besar arus electron
tersebut mendadak naik sehingga terjadi discharge A = Tetapan termionik
yang mengakibatkan rusaknya sistem sumber e = muatan electron
tegangan tinggi. k = tetapan Boltman
T = suhu filament (ini terkaait arus listrik yang
KESIMPULAN mengalir)
Dari hasil optimasi keluaran berkas elektron
MBE 350 keV/10 mA yang telah dilakukan maka
dapat disimpulkan bahwa:
Telah dapat dicapai keluaran arus berkas
elektron sebesar 5,2 mA, dari target 10 mA, pada
kondisi arus filament 13 A, dan tegangan
pemercepat 345 kV.

58 ISSN 1410 - 8178 Suhartono, dkk