Tugas 5 (Part 1)

Isian

Lengkapilah gambar berikut sesuai dengan Model Volume Interaksi elektron-

sampel! Auger e’s

Jawaban

1. Auger e’s
2. Secondary e’s

2
 3. Characteristic X-rays
4. Back-Scattered e’s
5. Bremsstrahlung X-rays
6. Secondary fluorescence

Essay

1. Menurut pendapatmu, mengapa kita perlu memahami interaksi elektron

materi?

Jawab:
Arah kita mengerti bagaimana gerak electron, yaitu ketika partikel bermuatan,
berbelok, dan tajam pada saat bertumbukan kita mengetahui nya.

2. Diagram Simulasi Monte Carlo

a. Buatlah diagram simulasi monte carlo, dengan dilengkapi keterangan SE

dan BSE!

Jawab:

3
 b. Jelaskan, apa saja yang terjadi pada saat elektron pemindai (electron
probe) memasuki sampel pada SEM?

Jawab:
yang terjadi ketika elektron Probe dihasilkan oleh electron Gun, kemudian
difoskuskan oleh seperangkat lensa electromagnet sehingga menjadi electron
primer.

4
3. Jelaskan perbedaan SE dan BSE berdasarkan diagram volume interaksi
elektron-materi

Jawab:
Perbedaannya :

SE digambarkan berada pada corong botol, yang menunjukan karakteristik

memiliki energy yang lebih lemah. Sedangkan BSE digambarkan berada pada
bagian bawah botol, menunjukan energy yang dimiliki BSE lebih besar, karena
mampu menembus sampel dengan kedalaman lebih besar.

4. Jelaskan kenapa perbedaan tegangan yang besar antara anoda dan katoda
akan membuat image SEM yang kurang jelas !

Jawab:
Image SEM pada dasarnya dihasilkan dari interaksi electron sampel yang
menghasilkan secondary Elektron (SE)dan Backscarttered electron (BSE)

5. Jelaskan hubungan antara jangkauan penetrasi elektron dengan nomor atom

penyusun sampel!

Jawab:
Hubungannya Semakin besar penetrasi electron ke daalam sampel, maka
menurunkan ke kontraks image sampel yang dilihat sebagai background image.
Dengan demikian perbedaan tegangan yang besar dapat menghasilkan image
yang kurang jelas.

5
Tugas 5 (Part 2)

Essay

1. Spektrum hasil interaksi elektron-materi

a. Gambarkan diagram interaksi elektron-materi serta spektrum-spektrum

yang dihasilkan!

Jawab:

6
 b. Spektrum apa yang digunakan oleh SEM pada umumnya? Mengapa ?

Jawab:
Spectrum yang digunakan oleh SEM adalah SE dan BSE untuk memindai
sampel, sehingga SEM tidak hanya dipakai untuk mengobservasi topografi dan
Morfologi permukaan sampel. Namun, juga dapat menganalisis atom penyusun
sampel

2. Mengapa SEM bisa memindai topografi dan morfologi, serta menganalisis

atom penyusun sampel?

Jawab:
Karena fitur SEM yang lebih lengkap ada : X ray, EDS, cathodoluminescence
dan electron transmisi.

3. Jelaskan perbedaan SE dan BSE berdasarkan diagram distribusi energi dan

emisi elektron berikut:

Jawab:
Perbedaan SE dan BSE terletak dari cara terbentuknya dan energy yang
dihasilkannya.

4. Jelaskan cara terjadinya dan fungsi spektrum xray pada instrumen SEM

Jawab:

7
Cara terjadinya alat ini menembakkan cahaya putih yang kemudian diuraikan
menjadi spectrum cahaya melalui cermin prima.

Fungsinya : Memastikan sumber cahaya bisa berfungsi dengan baik

5. Jelaskan fungsi elektron auger

Jawab:
Fungsinya : Menganalisis penyusun sampel

8
Evaluasi Formatif 5
Petunjuk pengerjaan: Pilihlah salah satu jawaban yang menurutmu paling
benar!
1. Perhatikan pernyataan berikut
(1) Semua elektron primer yang mengenai sampel akan langsung diteruskan
oleh sampel.
(2) Elektron primer akan mengalami interaksi berupa tumbukan dengan atom-
atom penyusun sampel, interaksi berlangsung dalam tiga dimensi yang
dapat dimodelkan seperti botol.
(3) Semua elektron primer yang mengenai sampel akan langsung dipantulkan
oleh sampel
(4) Secondary electron berada pada corong botol, sedangkan Backscattered
electron (BSE) berada pada bagian bawah botol.
Pernyataan berikut yang sesuai dengan model volume interaksi elektron-sampel
oleh Everhart adalah ...
A. (2) dan (4)

2. Perhatikan gambar berikut

9
Gambar diatas adalah Model Volume Interaksi Elektron-Sampel oleh Everhart.
Baris yang sesuai antara spektrum dan fungsinya berdasarkan diagram diatas
adalah ...

No Nama Spektrum Fungsi

A 1 dan 2 Elektron Auger dan Secondary Menganalisis atom

Electron penyusun sampel

3. Perhatikan gambar berikut

Gambar diatas adalah Model Volume Interaksi Elektron-Sampel oleh Everhart.

Spektrum yang digunakan untuk menganalisis struktur (Fase) sampel
ditunjukkan oleh nomor ...
A. 1
4. Perhatikan Gambar berikut:

10
Yang mempengaruhi jangkauan penetrasi elektron terhadap sampel adalah ...
B. Nomor atom dan beda tegangan antara anoda dan katoda

5. Scanning Electron Microscopy (SEM) menghasilkan pemindaian sampel

dengan kedalaman (Depth Of View) yang tinggi jika dibandingkan dengan
mikroskop optik biasa. Hal ini disebabkan oleh ...
C Memindai sampel menggunakan elektron pemindai yang hanya mengalami
tumbukan elastik terhadap sampel

11
6. Perhatikan gambar berikut:

Urutan spektrum dari yang energinya paling rendah ke tinggi adalah ...
A. Elektron auger, SE, X ray, BSE , Absorbed Elektron

7. Dua spektrum sinyal hasil interaksi elektron-sampel yang umumnya

dipakai untuk menghasilkan image oleh Scanning Electron Microscope
adalah ...
A. Secondary Electron dan Backscattered Electron

8. Spektrum sinyal hasil interaksi elektron-sampel yang menghasilkan

image monokrom dengan gradasi terang gelap yang menunjukkan morfologi
permukaan sampel dihasilkan oleh ...
A. Secondary Electron D. Secondary Fluorescent
B. Backscattered Electron E. Cathodoluminescence
C. X ray

9. Spektrum sinyal hasil interaksi elektron-sampel yang menghasilkan

image monokrom dengan gradasi terang gelap yang dapat membedakan logam
berat dengan logam ringan, dihasilkan oleh ...
B. Backscattered Electron
10. Perhatikan gambar berikut

12
Pernyataan yang benar adalah ...
C Secondary electron memiliki energi hingga 50 eV dengan jumlah elektron
emisi lebih besar dari elektron primer

Essay
1. Jelaskan apa yang terjadi saat elektron primer (elektron probe) mulai
mengenai sampel ! (SKOR 10)

Jawaban:
Yang terjadi ketika electron primer mulai mengenai sampel adalah dapat
memberi informasi mengenai atom penyusun sampel.

2. Berdasarkan model volume interaksi elektron-sampel, jelaskan mengapa

Secondary electron berada pada corong botol, sedangkan Backscattered electron
berada pada bagian perut botol ! (SKOR 10)

Jawaban:
SE: menunjukan karakteristik memiliki energy yang lebih lemah
Sedangkan
BSE : menunjukan energy yang dimiliki BSE lebih besar, karena mampu
menembus sampel dengan kedalaman lebih besar.

3. Jelaskan mengapa SEM tidak hanya digunakan untuk memindai

permukaan sampel saja, namun juga dapat untuk menganalisis atom komponen
dan struktur sampel ! (SKOR 10)

Jawaban:

13
Supaya spectrum electron lainnya ada dimanfaatkan oleh fitur SEM yang lebih
lengkap. Misalnya X ray, EDS,catchodoluminescence dan electron transmisi.

UMPAN BALIK
Setelah mengerjakan seluruh soal pada evaluasi formatif, periksalah jawabanmu
dengan kunci jawaban yang telah disediakan dan hitung berapa butir soal yang
kamu bisa jawab benar. Jika kamu dapat menjawab 80% soal dengan benar,
maka kamu dianggap telah memenuhi ketuntasan dan menguasai materi dalam
kegiatan pembelajaran ini. Namun jika belum mencapai, berarti kamu perlu
mengulang mempelajari kegiatan pembelajaran ini dengan lebih baik.

Selamat kamu telah menyelesaikan modul 1.5

14