Metode-metode
lain
yang
digunakan
meliputi
interferometri
optik,
penginderaan kapasitif atau penopang AFM piezoresistif. Penopang ini dibuat dari unsurunsur pizoresistif yang dapat berperilaku sebagai tolok regangan. Dengan menggunakan
jembatan Wheatstone, regangan pada penopang AFM yang dikarenakan oleh pelengkungan
dapat diukur. Namun, metode ini tidak sesensitif metode interferometri.
Adapun cara kerja dari alat ini sangat mudah, untuk masalah sampel yang
digunakan persyaratan nya hanya memiliki paling tidak salah satu dimensinya berukuran <
100 nm.sample tidak perlu di lapisi dengan karbon atau lapisan apapun yang dapat
merusak sampel. Untuk persiapan awal terhadap sampel adalah sebagai berikut:
1. Letakkan sample pada tempat sample yang ada pada alat
2. Pastikan ujung tip berada tepat di permukaan sample
Selama scan, tip 'jarum' dari cantilever (sensor) maju mundur sepanjang
permukaan sample
2.
Gerak scan arah x,y, dan z dikontrol oleh tube scanner piezoelektrik
3.
Untuk mendeteksi setiap defleksi dari jarum, digunakan laser yang dipantulkan
ke ujung tip, selanjutnya malalui cermin laser menuju fotodiode.
4.
Cara terbentuknya gambar pada SEM berbeda dengan apa yang terjadi pada
mikroskop optic dan TEM. Pada SEM, gambar dibuat berdasarkan deteksi elektron baru
(elektron sekunder) atau elektron pantul yang muncul dari permukaan sampel ketika
permukaan sampel tersebut discan dengan sinar elektron. Elektron sekunder atau elektron
pantul yang terdeteksi selanjutnya diperkuat sinyalnya, kemudian besar amplitudonya
ditampilkan dalam gradasi gelap-terang pada layar monitor CRT (cathode ray tube). Di
layar CRT inilah gambar struktur obyek yang sudah diperbesar bisa dilihat. Pada proses
operasinya, SEM tidak memerlukan sampel yang ditipiskan, sehingga bisa digunakan
untuk melihat obyek dari sudut pandang 3 dimensi.
Demikian, SEM mempunyai resolusi tinggi dan familiar untuk mengamati obyek
benda berukuran nano meter. Meskipun demikian, resolusi tinggi tersebut didapatkan
untuk scan dalam arah horizontal, sedangkan scan secara vertikal (tinggi rendahnya
struktur) resolusinya rendah. Ini merupakan kelemahan SEM yang belum diketahui
pemecahannya. Namun demikian, sejak sekitar tahun 1970-an, telah dikembangkan
mikroskop baru yang mempunyai resolusi tinggi baik secara horizontal maupun secara
vertikal, yang dikenal dengan scanning probe microscopy (SPM). SPM mempunyai
prinsip kerja yang berbeda dari SEM maupun TEM dan merupakan generasi baru dari tipe
mikroskop scan. Mikroskop yang sekarang dikenal mempunyai tipe ini adalahScanning
Tunneling Microscope (STM), Atomic Force Microscope (AFM) dan Scanning Near-Field
Optical Microscope (SNOM). Mikroskop tipe ini banyak digunakan dalam riset teknologi
nano