ATOMIC FORCE MICROSCOPE (AFM)/ Mikroskop Gaya Atom

1. Pendahuluan
Munculnya kesadaran terhadap ilmu dan teknologi nano di inspirasi dan di dorong oleh
pemikiran futuristik dan juga penemuan peralatan pengujian dan bahan-bahan. Pada
tanggal 29 Desember 1959 dalam pertemuan tahunan Masyarakat Fisika Amerika
(American Physical Society) di Caltech, memunculkan suatu isu yaitu permasalahan
memanipulasi dan mengontrol atom (dengan ukuran 0,001 nm) dan molekul (dengan
ukuran 0,1 nm) pada dimensi kecil (nanometer). Mikoskop gaya atom dikembangkan
oleh Gerd Binnig dan Heinrich Rohrer pada awal tahun 1980 di pusat penelitian IBM – Zurich.
Di tahun 1981, Scanning Tunneling Microscopy (STM) diciptakan oleh Heinrich Rohrer dan
Gerd Binnig (Pemenang Hadiah Nobel Fisika tahun 1986). Beberapa tahun kemudian
(1986), Gerg Binnig, Calfin F Quate, dan Christoph Gerber menemukan Atomic Force
Microscope (AFM). Melalui peralatan STM dan AFM, para ilmuwan dapat melihat,
memanipulasi, dan mengontrol atom-atom secara individu di dimensi nano. Walaupun
pengembangan AFM sudah dilakukan pada tahun-tahun sebelumnya, pada tahun 1986
inilah implementasi eksperimental AFM dilakukan pertama kalinya.

AFM salah satu metoda karakterisasi dari keluarga SPM (Scanning Probe Microscopy)
bekerja pada bagian permukaan bahan dengan melibatkan interaksi antara probe dan
permukaan bahan melalui proses fisis tertentu. Interaksi ini kemudian dapat men-generate
citra permukaan bahan pada skala mikroskopik, sehingga susunan partikel pada
permukaan bahan dapat terlihat dengan jelas. Berbeda dengan microscopy lainnya, metoda
karakterisasi ini hanya melibatkan gaya yang terjadi antara tip dan sampel. Gaya yang
terjadi bisa berupa gaya tarikan atau dorongan. Setiap gaya akan mengakibatkan
pembengkokan tertentu pada bagian cantilever dimana akan terdeteksi oleh berkas laser
dan kemudian ditangkap oleh detektor yang kemudian akan dicitrakan menjadi sebuah
image yang bernilai.

2. Pengertian AFM
Mikroskop gaya atom (Atomic force microscope, AFM) adalah jenis mikroskopdengan
resolusi tinggi yang mana resolusinya mencapai seperbilangan nanometer (1000 kali lebih
kuat dari batas difraksi optik). Nano adalah satuan panjang sebesar sepertriliun meter (1 nm
= 10-9 m). Bahan berstruktur nano merupakan bahan yang memiliki paling tidak salah satu
dimensinya berukuran <100 nm. Atomic force microscope mampu menampilkan gambar
dimana ukurannya lebih kecil dari 20 ms. Mikroskop ini juga memungkinkan menampilkan
gambar dari kristal yang lunak dan permukaan polimer
Mikroskop gaya atom ini merupakan salah satu alat untuk penggambaran, pengukuran, dan
manipulasi materi pada skala nano. Cara untuk mendapatkan informasi pada Mikroskop
gaya atom dengan meraba permukaan dengan menggunakan sebuah alat pemeriksa
mekanik yang disebut dengan piezoelektrik. Elemen piezoelektrik ini yang memfasilitasi
perintah elektronik gerak dengan sangat akurat dan tepat sehingga membuatnya dapat
memindai dengan presisi tinggi.

Mikroskop gaya atom terdiri dari sebuah penopang (cantilever) dengan ujung yang tajam
sebagai alat pemeriksa (probe) yang digunakan untuk memindai permukaan sampel.
Penopang tersebut biasanya terbuat dari silikon dengan radius kelengkungan ujung
mencapai bilangan nanometer. Ketika ujungnya dibawa mendekati permukaan sampel, gaya
antara ujung tajam pemindai dengan permukaan sampel menyebabkan pelengkungan
penopang sesuai dengan hukum Hooke. Tergantung pada situasinya, gaya yang diukur AFM
meliputi gaya kontak mekanik, gaya van der waals, gaya kapiler, ikatan kimia,
gaya elektrostatik, gaya magnet, gaya casimir, gaya pelarutan, dan lain-lain.
3. Resolusi (tingkat ketelitian) AFM
Atomic force microscope (AFM) merupakan suatu jenis mikroskop yang mampu
memberikan informasi topografi tiga dimensi suatu permukaan pada skala hingga
nanometer. Resolusi lateralnya mencapai 1,5 nm sedangkan resolusi vertikalnya mencapai
0,05 nm. Artinya ketelitian AFM dalam mengukur ketinggian suatu pemukaan lebih besar
daripada ketelitiannya dalam mengukur panjang atau lebar.

4. Kegunaan AFM
AFM merupakan alat yang di gunakan untuk memanipulasi ukuran atom atau molekul dan
struktur pada berbagai permukaan agar dapat mempermudah kegiatan dari berbagai
macam ilmu pengetahuan, misalnya dalam ilmu fisika, kimia, dan bidang biologi.

 Dalam ilmu Fisika, alat ini lebih mempermudah para ilmuwan dalam mengetahui struktur
atom secara langsung, sehingga dapat di ubah dan di manipulasi untuk kepentingan ilmu
sains.
 Dalam ilmu kimia, alat ini dapat menjelaskan bagaimana struktur dari berbagai macam
molekul, sehingga lebih mudah dalam membuat suatu reaksi kimia.
 Dalam bidang biologi yaitu untuk menyelidiki struktur, fungsi dan spesifik sel. Misalnya
untuk meyelidiki struktur dan fungsi hubungan antara bakteri Streptococcus mutans yang
merupakan dasar aetiological pada gigi mati tulang manusia (gigi).
 
5. Sampel AFM
AFM dapat digunakan untuk sampel yang bersifat konduktor maupun isolator seperti klaster
atom dan molekul, makromolekul, dan spesies biologi seperti sel, DNA, dan protein. Untuk
masalah sampel yang digunakan, persyaratannya hanya memiliki paling tidak salah satu
dimensinya berukuran < 100 nm. Sampel tidak perlu di lapisi dengan karbon atau lapisan
apapun yang dapat merusak sampel.

Untuk persiapan awal terhadap sampel adalah sebagai berikut :

1. Letakkan sample pada tempat sample yang ada pada alat

2. Pastikan ujung tip berada tepat di permukaan sample
3. Hidupkan alat dan layar komputer
6. Komponen-komponen AFM
Komponen-komponen penting yang ada pada mikroskop gaya atom diantaranya adalah :

1. Probe
Merupakan alat pemeriksa yang secara langsung berinteraksi dengan permukaan sampel
(Tip) dan cantilever dengan panjang 100 – 200 μm dengan lebar 10 – 40 nm, serta
ketebalan 0.3 – 2.0 μm.

2. Ujung jarum atau Tip

Tip merupakan ujung dari jarum pada ujung cantilever, tempat diamana terjadi kontak
dengan sampel yang akan dicitrakan. Tip digunakan untuk memindai, meraba (scanning)
sepanjang permukaan sampel/spesimen sehingga dapat mengkarakterisasi suatu bahan.
Panjang Tip kurang dari 5 μm dan diameter ujung Tip biasanya kurang dari 10 nm.
Ketelitian dari gambar yang dihasilkan sangat tergantung dari besar atau kecilnya tip ini.
Material yang dipakai pada tip ini biasanya terbuat dari Silikon atau Silikon Nitrida (Si3N4).
Material ini digunakan selain tahan lama juga menjadikan sampel menjadi anti air. Ujung
dari tip ini biasanya sekitar 10 nm atau 100 atom.

Gambar : Tip
       3. Cantilever

Merupakan sebuah penopang dan merupakan tempat dimana tip menempel. Berfungsi
sebagai  tempat mendaratnya  sinar laser. Bahan dari Cantilever ini pada umumnya sama
dengan bahan pada pada tip, bentuknya biasanya ”V” pada ujungnya atau berbentuk datar
saja “I”. Ukuran panjang dari suatu cantilever ini berkisar dari 100 – 500 μm, dan hanya
memiliki beberapa mikron untuk tebalnya. Keadaan ini menjadikan cantilever ini fleksibel
tetapi masih kuat untuk menahan, tip pada ujungnya.

Gambar : Cantilever
    4. Scaner piezoelectric

Scanner ini berfungsi untuk mengontrol pergerakan tip atau sampel pada arah x, y dan z.
Pada scanner terdapat piezoelectric material yang mampu memberikan pergerakan dalam
skala nanometer. Piezoelektrik dapat mengubah tekanan menjadi suatu tegangan listrik
untuk diolah pada komputer atau sebaliknya mengubah tegangan menjadi suatu tekanan.

     5. Laser

Devais elektronik yang berfungsi untuk menembakkan laser ke arah cantilever.

     6. Detektor

Merupakan pendeteksi laser pantulan.

     7. Photodioda

     8. Perangkat komputer

Digunakan sebagai pengolah data.

     7. Bentuk Fisis AFM

 
Skema AFM Secara Keseluruhan

Gambar : Probe, Head of AFM

 Gambar : Cartridge of AFM

      8. Prinsip Kerja AFM

Secara sederhana, prinsip kerja dari AFM yaitu saat posisi Tip dipermukaan sampel, maka
dapat di deteksi oleh laser dan dipantulkan ke photodioda untuk diteruskan ke detektor.
Kemudian, dari detektor langsung ke komputer/monitor untuk mendapatkan penggambaran
dalam skala nano atom. Secara teknis prinsip kerja AFM ditunjukkan pada Gambar di
bawah :
Pada posisi normal, sinar laser diarahkan pada ujung cantilever. Oleh cantilever, laser ini
dipantulkan menuju bagian tengah detektor photodioda. Ketika tip mendekati permukaan
sampel, terjadi gaya tarik atau gaya tolak antara tip dan permukaan sampel. Gaya ini akan
menyebabkan cantilever bengkok. Bengkoknya cantilever ini akan terdeteksi dengan
adanya pergeseran posisi laser yang ditangkap oleh photodioda. Semakin besar gaya
tarik/tolak antara tip dan permukaan sampel, pergeseran laser akan semakin besar. Karena
besarnya gaya tarik/tolak tergantung pada jarak antara tip dan permukaan sampel, maka
topografi permukaan sampel dapat diketahui dengan melakukan scanning tip sepanjang
permukaan sampel.

AFM bekerja dengan cara memanfaatkan gaya tarik-menarik dan tolak-menolak yang
bekerja antara cantilever dan permukaan sampel pada jarak beberapa nanometer.
Persamaan gaya ini dinyatakan dalam persamaan potensial Lennard-Jones. Gaya tarik
menarik terjadi saat cantilever dan sampel saling menjauh. Sementara itu, gaya tolak-
menolak terjadi saat cantilever dan sampel saling mendekat.

Pada AFM, cantilever bekerja meraba-raba (melakukan scanning) permukaan sambil

menjaga jarak antara cantilever dengan permukaan sampel tetap sama beberapa
nanometer. Gaya tarik-menarik dan tolak-menolak yang terjadi di antaranya menyebabkan
perubahan posisi cantilever. Perubahan posisi cantilever selama meraba-raba permukaan
sampel ditangkap dengan laser dan menyebabkan perubahan pantulan laser pada sensor
photodioda. Perubahan posisi tangkapan laser pada photodioda ini diolah dengan
rangkaian elektronik dan komputer untuk kemudian diwujudkan dalam bentuk data gambar
3D pada layar monitor.

Selama proses perabaan (scanning), pengaturan jarak antara cantilever dan permukaan
sampel serta pergerakan sampel diatur secara simultan dan sinergis melalui komunikasi
antara rangkaian elektronik (komputer) dengan cantilever dan material piezoelektrik. Proses
perubahan tekanan menjadi tegangan atau tegangan menjadi tekanan ini diatur oleh
piezoelektrik. Untuk menampilkannya dalam komputer sinyal tegangan ini  diubah ke sinyal
analog. Karena sangat kecil maka diperkuat dengan amplifier. Kemudian sinyal dikonversi
ke digital sehingga data dapat diolah oleh komputer.

Dengan memanfaatkan gaya tersebut, berbagai macam sampel dapat diamati, tidak
terbatas hanya pada benda yang bisa menghantarkan listrik saja. AFM juga bisa bekerja
pada suhu ruangan dan tekanan udara biasa. Hal ini menyebabkan sampel organik pun
bisa diamati dengan AFM. Untuk meningkatkan kemampuan AFM, diperlukan diameter
ujung tip yang sangat kecil dan juga frekuensi resonansi cantilever yang tinggi agar
sensitivitas terhadap perubahan posisi cantilever meningkat dan AFM bisa bekerja dengan
lebih cepat.

Untuk cara kerja alat Atomic force microscopy ini adalah:

1. Selama scan, tip (jarum) dari cantilever (sensor) maju mundur sepanjang permukaan sampel.
2. Gerak scan arah x,y, dan z dikontrol oleh tube scanner piezoelektrik.
3. Untuk mendeteksi setiap defleksi dari jarum, digunakan laser yang dipantulkan ke ujung tip,
selanjutnya malalui cermin laser menuju photodioda.
4. Piezoscanner dan photodioda terhubung melalui loop feedback, yaitu komponen yang
berfungsi untuk menterjemahkan signal yang diberikan oleh tip pada photodioda detektor.
Signal yang diterima akan diterjemahkan untuk menggerakkan piezoelectric material,
kemudian hasilnya di tampilkan pada layar komputer yang telah tersedia.
Input dan Output alat Aomic Force Microscope (AFM)

 Inputnya adalah atom atau molekul yang berukuran < 100 nm.
 Outputnya adalah berupa gambar dari suatu atom/molekul, dimana gambar yang dihasilkan
adalah gambar tiga dimensi sehingga gambar yang dihasilkan sangat jelas, baik bentuk
maupun struktur penyusun atom.

Gambar : hasil non-contact modedari butir titanium-nitrida, a) scanner 10μm b) 5 μm

 a. 300 nm x 300 nm topografi scan sampel partikel FeO.
b. Zoom ke dalam, scan ukuran 85 nm x 85 nm. Garis putih dengan panah menunjukkan posisi
dari sebuah profil garis.
Mikroskop gaya atom memiliki beberapa sifat fisis, diantaranya yaitu:
1. Perbesaran
Dimensi dan Perbesaran unit umum dari dimensi yang digunakan untuk membuat
pengukuran dalam mikroskop atom adalah nanometer. Pembesaran di mikroskop atom
adalah rasio ukuran sebenarnya fitur untuk ukuran fitur bila dilihat di layar komputer.

2. Keramik Piezoelektrik Transducer

Bahan piezoelektrik mengalami perubahan geometri ketika ditaruh dalam medan listrik.

3. Gaya Sensor
Mikroskop gaya atom membutuhkan kekuatan sensor untuk mengukur kekuatan antara
probe kecil dan permukaan yang dicitrakan. Jenis umum dari sensor gaya menggunakan
hubungan antara gerak penopang dan gaya diterapkan.

4. Kontrol Umpan Balik

Kontrol umpan balik digunakan umumnya untuk menjaga gerak suatu objek dalam suatu
hubungan tetap ke objek lain.

5. Resolusi pada Mikroskop Gaya Atom

 Resolusi plane tergantung pada geometri probe yang digunakan untuk memindai. Secara
umum, semakin tajam probe maka semakin tinggi resolusi gambar pada mikroskop gaya
atom.
  Resolusi Vertikal dalam Mikroskop gaya atom dibentuk oleh getaran relatif probe di atas
permukaan.
6. Interaksi Permukaan Probe
Interaksi permukaan probe dan permukaan mekanis, merupakan kekuatan yang terjadi
ketika atom-atom pada probe fisik berinteraksi dengan atom di permukaan.

7. Kontaminasi Permukaan
Kontaminasi ini dapat terdiri dari air dan hidrokarbon dan tergantung pada lingkungan
mikroskop.  Ketika probe Mikroskop gaya atom datang ke dalam kontak dengan
kontaminasi permukaan, gaya kapiler dapat menarik probe ke arah permukaan.

      9. Metode Kerja AFM

Metode kerja AFM sendiri ada beberapa macam di antaranya adalah :

1. Metode Sentuh
Pada metode sentuh, cantilever disentuhkan ke dalam permukaan sampel. Sambil
scanning dilakukan, perubahan posisi cantilever akibat gaya tolak menolak antara
cantilever dan permukaan sampel diolah dan diwujudkan dalam data gambar 3 dimensi
permukaan sampel.

                Skema dari metode sentuh dan gambar dari oligomer cholera
Pada metode sentuh, tip cantilever berada sangat dekat dengan permukaan sampel
sehingga terjadi gaya tolakan. Gaya tolakan ini menyebabkan cantilever menekuk.
Konstanta pegas dari cantilever ini lebih kecil daripada konstanta pegas antar atom
sehingga saat terjadi gaya tolak, cantilever inilah yang akan menekuk tanpa menyebabkan
kerusakan pada sampel. Saat tip menelusuri permukaan sampel, perbedaan tinggi
rendahnya sampel menyebabkan perbedaan gaya tolakan. Agar gaya tolakan selalu
konstan, feedback control mengirim signal ke piezo-electric material untuk bergerak ke atas
atau ke bawah. Pergerakan ini direkam dan diterjemahkan sebagai topografi 3D permukaan
sampel. Jenis tip yang digunakan pada AFM mode sentuh biasanya terbuat dari silikon
nitrida karena mempunyai fleksibilitas yang baik. Biasanya pihak perusahan menjual tip
dengan berbagai ukuran dan tipe coatingnya sehingga pengguna dapat menyesuaikannya
dengan sampel yang akan dianalisa.

Keuntungan metode sentuh :

 Scanning kecepatan tinggi dan Resolusi skala atomik.

 Sangat bagus pada bahan kasar dengan tingkat perubahan yang besar pada topography
vertical.
Kerugian metode sentuh :
 Gaya lateral yang berlebihan dapat menggores sampel dan merusak tip.

 Resolusi yang dihasilkan kurang baik terutama pada sampel yang soft (lunak).
 Mudah terjadi kontaminasi pada tip akibat kontak dengan material yang mudah lepas di
permukaan sampel.
 

2. Metode Tak sentuh

Pada metode tak sentuh, gaya yang bekerja antara cantilever dan permukaan benda diatur
agar tidak berubah. Pada awalnya cantilever digetarkan pada frekuensi resonansinya.
Sambil scanning dilakukan, perubahan tekstur atau jarak antara cantilever dan permukaan
benda menyebabkan terjadinya gaya antara keduanya yang merubah frekuensi
resonansinya. Gaya tarik menyebabkan frekuensi resonansi turun. Gaya tolak
menyebabkan frekuensi resonansi naik. Pada metode tak sentuh ini juga berlaku hukum
Hooke pada cantilever.

Skema metode tak sentuh dan gambar polimer raspberry

Pada metode tak sentuh, jarak antara tip dengan sampel lebih besar sehingga gaya yang
dirasakan adalah gaya tarikan. Mode ini relatif sulit dilakukan pada kondisi ambien karena
adanya lapisan air yang teradsorpsi pada permukaan tip ataupun permukaan sampel. Saat
tip mendekati permukaan sampel, lapisan air menyebabkan gaya kapiler terjadi secara tiba-
tiba sehingga tip langsung kontak dengan permukaan sampel.

Keuntungan metode tak sentuh :

 Baik digunakan pada sampel yang permukaannya lunak.

 Gaya lemah diberikan pada permukaan sampel tanpa merusak permukaan sampel.
Kerugian metode tak sentuh :
 Resolusi lateral yang rendah diakibatkan separasi tip-sampel.

 Biasanya digunakan pada sampel hidropobik.

 Sangat sensitif terhadap vibrasi eksternal.
 

3. Metode Tapping
Pada metode tapping, cantilever digetarkan (berisolasi) pada frekuensi resonansinya.
Probe melakukan proses “tap” pada permukaan sampel ketika proses scanning berjalan.
Saat scanning dilakukan, perbedaan topografi sampel menyebabkan pergeseran frekuensi
resonansinya. Pergeseran frekuensi ini yang kemudian diterjemahkan menjadi topografi
permukaan melalui serangkaian proses yang dilakukan oleh feedback control. Sama seperti
metode sentuh, metode tapping berada pada daerah gaya tolakan antara sampel dan tip.
Jenis tip yang digunakan biasanya terbuat dari kristal silikon. Jenis tip ini dapat bergetar
pada frekuensi tinggi namun lebih rapuh daripada tip dari silikon nitrida.

Keuntungan metode tapping :

 Resolusi lateral yang tinggi (1 nm – 5 nm).

 Sangat baik untuk sampel yang lunak seperti spesimen biologi, dan juga untuk sampel yang
mempunyai adhesi permukaan rendah seperti DNA dan karbon nanotubes.
 Gaya yang lemah serta kerusakan yang minim pada sampel.
 Hampir tidak ada gaya lateral.
Kerugian metode tapping :
 Kecepatan scan yang lebih lambat daripada metode sentuh.

Contoh gambar metode tapping dari sampel biologi, nucleosomal DNA

     10. Kelebihan dan Kelemahan AFM

Mikroskop gaya atom (AFM) memiliki beberapa kelebihan dan kelemahan jika dibandingkan
dengan mikroskop elektron.

Kelebihan Mikroskop gaya atom

  AFM mampu menampilkan gambaran permukaan sampel secara tiga dimensi sehingga kita
bisa mengetahui ukuran nano partikel secara lebih mendetail.
 Mikroskop gaya atom mampu menampilkan gambar dengan ukuran lebih kecil dari 20 nm
dan menampilkan gambar dari kristal yang lunak dan permukaan polimer.
 AFM digunakan baik untuk bahan konduktor, isolator, semikonduktor dan insulator.
 Sampel yang akan dilihat menggunakan mikroskop gaya atom tidak memerlukan perawatan
khusus seperti melapisi dengan karbon dan lain-lain yang dapat menimbulkan perubahan
ireversibel ataupun kerusakan pada sampel. AFM dapat bekerja sebaik mungkin dalam
kondisi lingkungan seperti apapun.
 AFM tidak membutuhkan kondisi hampa udara (vakum). Karena itu, AFM sangat baik
digunakan untuk deteksi sel dan sampel biologi lainnya tanpa membuat sel biologi tersebut
menjadi kering.
 Mikroskop gaya atom dapat bekerja dengan baik pada suhu ruangan dan tekanan udara biasa
atau bahkan pada lingkungan cair. Hal ini menyebabkan mikroskop gaya atom
memungkinkan untuk mempelajari biologi makromolekul, mengamati kehidupan suatu
organism dan makhluk hidup.
 Secara prinsip, mikroskop gaya atom menyediakan resolusi yang lebih tinggi dibanding
dengan mikroskop elektron. Hal tersebut telah dibuktikan bahwa mikroskop gaya atom dapat
memberikan resolusi atom lebih tinggi pada Ultra High Vacum (UHV)  dan dalam
lingkungan cair. Resolusi mikroskop gaya atom yang tinggi ini sebanding dengan resolusi
untuk mikroskop pemindai terowongan dan mikroskop elektron transmisi.
Kelemahan Mikroskop gaya atom
Dilihat dari scan ukuran gambar. Dalam satu kali scan, mikroskop elektron mendapatkan
gambar area dalam unit mm dengan kedalaman mm. Sedangkan pada mikroskop gaya
atom, hanya dapat menangkap gambar dengan ketinggian maksimum 10-20 mikrometer
dan luas maksimum pengamatan 150 x 150 mikrometer. Artinya, AFM hanya mampu
menampilkan gambar yang ukurannya sangat kecil, sehingga jika ukurannya cukup besar,
AFM tidak dapat menampilkan gambar. Memiliki pemindaian yang terbatas. Secara
tradisional, mikroskop gaya atom tidak dapat memindai gambar secepat mikroskop
elektron. Mikroskop gaya atom memerlukan waktu lebih lama untuk memindai, sedangkan
mikroskop elektron mampu memindai dengan cepat meskipun dengan hasil pemindaiannya
memiliki kualitas yang relatif rendah. Lambatnya proses scanning selama pemindaian oleh
mikroskop gaya elektron sering menyebabkan penyimpangan panas pada gambar
sehingga membuat mikroskop gaya atom kurang cocok untuk pengukuran akurat jarak
antara fitur topografi pada gambar. Namun, beberapa desain memberikan saran untuk
meningkatkan produktivitas mikroskop pemindaian dengan menggunakan video Mikroskop
gaya atom. Untuk menghilangkan distorsi pada gambar yang disebabkan oleh
penyimpangan panas, beberapa metode telah diperkenalkan.

Gambar Mikroskop gaya atom juga dapat dipengaruhi oleh histeresis dari bahan
piezoelektrik dan cros-talk antara x,y,z sumbu yang mungkin memerlukan perangkat
tambahan berupa pernagkat lunak dan penyaringan. Penyaringan ini bisa digunakan untuk
meratakan fitur topografi yang keluar. Namun, mikroskop gaya atom baru memanfaatkan
scanner loop tertutup yang praktis untuk menghilangkan masalah ini. Beberapa scanner
terpisah ortogonal juga berfungsi untuk menghilangkan masalah cros-talk. Seperti halnya
teknik pemindaian lain, ada kemungkinan gambar yang dihasilkan dari pemindaian tip  tidak
cocok. Gambar ini tidak dapat dihindari, namun kejadaian dan efeknya pada hasil dapat
dikurangi melalui berbagai metode.

Berdasarkan sifat dari probe Mikroskop gaya atom, biasanya tidak dapat untuk mengukur
dinding yang curam atau overhang. Maka, dibuat cantilever khusus sehingga Mikroskop
gaya atom dapat digunakan untuk memodulasi probe ke samping serta atas dan bawah
(seperti pada metode sentuh dan tak sentuh) untuk mengukur dinding samping.

 
     11. Aplikasi AFM
Beberapa aplikasi pada Mikroskop gaya atom (AFM) diantaranya adalah :

1. Sebagai pencitraan penggambaran dari struktur permukaan dalam bentuk padat

2. Analisa kekerasan substrat
3. Step formation pada deposisi epitaxial film tipis
4. Analisa ukuran grain (grain size)
5. Melalui proses AFM In Situ dengan perubahan temperatur, kita dapat mempelajari perubahan
struktur