Detektor Radiasi Thermal : Thermopile

1.1 Thermopile
Sensor suhu thermopile adalah salah satu jenis detektor suhu pasif
infrared. Sebuah thermopile termasuk kelas inframerah (PIR) detektor pasif, yaitu
menghasilkan keluaran listrik dalam menanggapi IR tanpa daya eksternal yang
tersedia. Karakteristik dari sensor ini adalah mengukur suhu berdasarkan prinsip
pengukuran suhu radiasi inframerah. Radiasi inframerah merupakan radiasi
gelombang elektromagnetik dengan panjang gelombang 0,7 m hingga 300 m
yang dapat memancarkan panas pada suhu tertentu. Apabila dilihat dengan
menggunakan spektroskop cahaya maka radiasi dari sinar infrared akan terlihat
pada spektrum elektromagnet dengan panjang gelombang yang berada di atas
panjang gelombang cahaya merah. Dengan adanya panjang gelombang ini
menyebabkan sinar infrared tidak tertangkap mata, tetapi radiasi dari panas yang
ditimbulkan masih dapat terdeteksi.

Bahan di dalam thermopile terdiri dari beberapa thermocouples yang

dirangkai seri maupun paralel. Thermopile tidak merespon suhu yang absolute,
akan tetapi thermopile mendeteksi perbedaan temperature sekitar sebanding
dengan output tegangan yang dikeluarkan. Sama seperti thermocouple, thermopile
ini memanfaatkan Efek Seebeck yang merubah sebuah perbedaan panas menjadi

tegangan elektrik. Sebuah termokopel tunggal adalah perangkat-sensitivitas

rendah yang menghasilkan puluhan microvolts per satu oC dari gradien termal
antara sambungan yang "panas" dan "dingin". Kata "panas" dan "dingin" adalah
sisa-sisa dari jargon termokopel tradisional dan digunakan bersyarat disini sejak
persimpangan yang pada kenyataannya tidak dingin dan tidak panas.
Untuk meningkatkan rasio signal-to-noise, faktor konversi yang lebih
tinggi dari panas untuk tegangan diperlukan. Hal ini dicapai dengan meningkatkan
sejumlah termokopel yang diposisikan di permukaan atau tertanam ke membran.
Kelipatan termokopel membuat thermopile, seperti "menumpuk" termokopel.
Sebuah thermopile adalah rantai serial termokopel yang terhubung, biasanya
mulai dari 50 sampai 100 persimpangan yang diposisikan pada area radiasi
membran penyerap. Rantai tersebut akan menghasilkan sinyal listrik 50-100 kali
lebih kuat.
Sensor terdiri dari bingkai silikon yang memiliki massa termal relatif
besar, jadi suhunya relatif stabil dan tidak mudah berubah ketika sensor menerima
radiasi termal. Bingkai terpaku pada perumahan (tidak ditampilkan) untuk
stabilitas termal yang lebih baik. Pendukung tipis (<1 m tebal) membran, seperti
drum. Bingkai adalah tempat di mana persimpangan "dingin" disimpan,
sedangkan membran membawa persimpangan "panas" dari termokopel.
Ketika sensor IR tidak terkena objek apapun dan benar-benar terlindung
dari setiap radiasi termal eksternal, gradien suhu antara persimpangan adalah nol.
Pada paparan sumber panas eksternal, gradien suhu antara panas dan
persimpangan dingin muncul dan diubah menjadi tegangan output dengan
thermopile yang persimpangannya memiliki T faktor thermoelectric gabungan
untuk semua persimpangan bersama :

Faktor tidak benar-benar konstan-agak tanggung pada bingkai suhu Ts. Untuk
akurasi yang lebih baik, koefisien suhu g bisa dihitung dengan taksiran linear:

dimana 0 adalah koefisien termoelektrik pada suhu kalibrasi Ts0.

Dengan menggabungkan dua persamaan sebelumnya didapatlah output

thermopile tegangan sebagai fungsi dari objek dan sensor (bingkai) suhu:

Persamaan tersebut menunjukkan bahwa sensitivitas sensor dapat ditingkatkan

dengan peningkatan kopling optik koefisien A, s emisivitas membran, dan
menurunkan massa membran m. Hal ini juga meningkat dengan pilihan yang
benar dari jenis persimpangan termokopel () dan material membran (c).
Ketika thermopile digunakan dalam IR termometer noncontact, persamaan
yang digunakan untuk menghitung suhu benda di Kelvin:

di mana S adalah faktor sensitivitas yang ditentukan selama kalibrasi IR

termometer. Tegangan output thermopile bisa positif atau negatif, tergantung jika
objek lebih hangat atau lebih dingin dari sensor. Referensi tambahan sensor yang
termal digabungkan ke bingkai thermopile, mengukur Ts. Objek emisivitas
membuat kontribusi yang kuat untuk akurasi dan dengan demikian harus dikenal.
Sejak emisivitas berada dalam pembagi, jika terlalu kecil, ketidakpastian
pengukuran akan tumbuh secara dramatis. Sehingga suhu permukaan benda
emisivitas rendah (telanjang logam teroksidasi) tidak dapat diukur secara akurat
oleh sensor IR.
Kinerja terbaik dari thermopile ditandai dengan sensitivitas tinggi, cepat
respon, dan kebisingan yang rendah yang dapat dicapai dengan menggunakan
bahan

persimpangan

memiliki

koefisien

termoelektrik

yang

tinggi,

konduktivitas termal rendah, dan volume rendah resistivitas listrik. "Panas" dan
"dingin" pasangan sambungan harus memiliki koefisien termoelektrik dari tandatanda yang berlawanan. Ini menentukan pilihan bahan. Sayangnya, sebagian besar
logam memiliki tahanan listrik yang rendah (emas, tembaga, perak) hanya
memiliki koefisien termoelektrik yang sangat buruk. Logam tahanan listrik yang
lebih tinggi (terutama bismut dan antimon) memiliki koefisien termoelektrik yang

tinggi dan di masa lalu mereka dipilih untuk merancang thermopiles. Oleh doping
bahan-bahan ini dengan Se dan Te, koefisien termoelektrik diperbaiki hingga 230
V K-1. Bahan thermocouple lainnya termasuk silikon tipe-p di persimpangan
dengan strip aluminium diendapkan pada membran silikon.
Terlihat bahwa koefisien untuk kristal dan polikristalin silikon yang sangat
besar dan volume resistivitas relatif rendah. Keuntungan menggunakan silikon
adalah kemungkinan menggunakan standar proses IC yang menghasilkan
pengurangan biaya secara signifikan. Resistivitas dan termoelektrik koefisien
dapat disesuaikan dengan doping yang konsentrasi. Namun, kenaikan resistivitas
jauh lebih cepat dibanding sensitivitas, sehingga konsentrasi doping harus hatihati dioptimalkan untuk tingginya sensitivitas dan rendahnya rasio kebisingan.
Metode pembangunan thermopiles simpangan logam mungkin berbeda
untuk beberapa jenis, tapi semuanya menggabungkan teknik deposisi vakum dan
masker penguapan untuk menerapkan bahan termoelektrik dan pelapis yang
menyerap IR. Untuk meningkatkan absorptivitas (emisivitas) dari radiasi
inframerah, yang "panas" persimpangan pada membran yang sering dilapisi
dengan penyerap radiasi termal. Misalnya, mereka mungkin dilapisi dengan
Nikrom, 6 goldblack, cat organik, atau nanotube karbon. Membran silikon dengan
thermoelectric diendapkan strip. Ketika fabrikasi, bagian tengah substrat silikon
dihapus oleh sarana mensketsa anisotrop dari belakang, hanya menyisakan sekitar
1 m lapisan tipis (Membran) dari SiO2-Si3N4 di atas, yang memiliki
konduktivitas termal yang rendah. Menuju membran, konduktor tipis dari dua
bahan thermoelectric yang berbeda (misalnya, polysilicon dan aluminium) yang
disimpan. Hal ini memungkinkan produksi sensor dengan koefisien temperatur
yang sangat kecil dari sensitivitas (g), yang merupakan faktor penting untuk
operasi lebih dari kisaran luas ambien suhu.
Tren

modern

dalam

teknologi

penginderaan

IR

adalah

dalam

mengintegrasikan sensor thermopile bersama-sama dengan pengkondisi sinyal

yang meliputi penguat tegangan rendah offset, ADC, dan sirkuit pengolahan
lainnya. Sebuah perusahaan Belgia Melexis (www.melexis.com) mengembangkan

seluruh noncontact IR termometer MLX90615 di miniatur TO-46 bisa yang berisi

thermopile dan pengolahan data chip ASIC.

Sinyal output kecil dari thermopile yang diumpankan ke penguat presisi memiliki
offset tegangan sekecil 0,5 V. Sinyal digital prosesor (DSP) output diukur
suhu atau output individu dari IR dan referensi sensor dengan resolusi 15-bit.
Kemasan

termasuk

komponen

tambahan,

seperti

EEPROM

memory7 untuk menyimpan parameter kalibrasi. Perangkat tidak hanya mengukur

intensitas

radiasi

IR,

tetapi

juga

menghitung

suhu

dari

objek

luar

yang terdeteksi sinyal IR dan output data diukur melalui link serial (SM Bus atau
PWM).
Batas frekuensi operasi thermopile terutama ditentukan oleh thermal
kapasitas membran, yang dimanifestasikan melalui thermal waktu yang konstan.
Sebuah sensor thermopile menunjukkan kebisingan yang cukup rendah terutama
dengan termal kebisingan setara perlawanan sensor, yaitu 20-100 k. sifat khas
dari sensor thermopile diberikan dalam tabel berikut :

Dapat dikatakan bahwa thermopile seperti dijelaskan di atas adalah satupixel sensor radiasi termal. Namun, sebuah sensor IR dengan beberapa piksel

thermopile dapat dirancang dan digunakan untuk deteksi simultan radiasi termal
dari berbagai sumber atau untuk pencitraan termal. Thermopile piksel disusun
dalam matriks 32x31. Jumlah sambungan per pixel adalah 80 dan persimpangan
bahan thermoelectric adalah n-poli / p-poli Si. Piksel itu memiliki ukuran 150 m
dan diposisikan dengan nada 220 m. Penginderaan modul HTPA32x31 dari
Heimann Sensor memiliki preamplifiers yang tertanam, multiplexer, dan ADC.
Keuntungan dari modul pencitraan adalah bahwa hal itu tidak memerlukan
pendinginan cryogenic dan beroperasi pada rentang suhu lingkungan yang luas.
Elemen kunci dari sensor adalah membran tipis yang dapat menyerap
radiasi termal. Membran berfungsi sebagai pelat yang

menyerap IR. Proses

penginderaan terdiri dari beberapa langkah konversi energi: radiasi termal

mengenai permukaan membran-membran suhu, kemudian perubahan suhu diukur
dengan

sensor

suhu

kontak

digabungkan

pada

membran-sensor

suhu

menghasilkan output listrik.

Thermopile tidak menanggapi suhu mutlak (tetap), tetapi menghasilkan
output tegangan sebanding dengan perbedaan suhu ruangan, yang kemudian
disimpan ke dalam register masing-masing. Memilki memori EEPROM yang
gunanya dapat menyimpan data dan dapat dihapus dengan menggunaan perintah
elektris. Untuk jalur komunikasi antara sensor thermopile dengan mikrokontroler,
menggunakan SCL (Serial Clock) dan SDA (Serial Data) yang membawa
informasi data antara I2C dengan pengontrolnya. Pin ini memerlukan resistor
pull-up sebesar 1K5 dengan tegangan sebesar 5 VDC.
1.2 Arsitektur Termopile

Thermopile digunakan untuk memberikan output dalam menanggapi suhu

sebagai bagian dari perangkat suhu pengukuran, seperti termometer inframerah
banyak digunakan oleh profesional medis untuk mengukur suhu tubuh. Sensor
thermopile memiliki tegangan kerja 4,8V- 5,4V DC. Data yang dihasilkan dari
sensor thermopile berupa data biner 8 bit dari masing-masing pixel sensor yang
merupakan data suhu yang terukur. Misalkan pada salah satu sensor mendeteksi
suhu sebesar 48C, maka data yang dihasilkan pada sensor tersebut adalah 48
(30H). Sensor thermopile memiliki 10 register yang dapat diakses dengan
menggunakan protokol I2C. Data suhu dari tiap-tiap pixel sensor terdapat pada
register-register dapat dilihat pada tabel berikut :

Sensor thermopile dapat membaca data register dengan mengirimkan nilai alamat
register yang diinginkan dengan alamat register 002-009 untuk data sensor
pixel 1-pixel 8. Untuk sistem komunikasi I2C data yang terbaca pada register-

register yang menyimpan data sensor tiap pixel adalah data 8 bit yang
mempresentasikan nilai suhu yang terukur.
1.3 Kelebihan Termopile
1. Akurasinya lebih tinggi karena range suhu yang diukur 0C - 225C,
dengan akurasi sensor thermopile 2C.
2. Sensor tidak perlu kontak langsung dengan obyek yang diukur.
3. Visibilitas sensor thermopile 41 x 6.
4. Mampu mendeteksi api sebuah lilin atau panas di dalam ruangan bersuhu
20C pada jarak maksimum 2 m dari mata sensor.
5. Membutuhkan catu daya catu daya 4,8V - 5,4V DC, sehingga dapat
langsung dihubungkan dengan supply mikrokontroler.
1.4 Salah Satu Jenis Thermopile
Sensor thermopile MLX90247 dengan kemasan TO39

Penampang tampak atas dari pin sensor thermopile MLX90247 yang memiliki
empat kaki. Kaki 1 dan 3 merupakan output thermopile (Vir), sedangkan kaki 2
dan 4 terhubung ke termistor dan ground. Gambar itu menunjukkan rangkaian
penyusun sensor suhu thermopile MLX90247. Sensor suhu MLX90247 memiliki
bagian thermopile dan termistor yang terpisah. Bagian thermopile memiliki
resistansi sebesar 60 k yang terbagi dalam dua buah resistor. Keduanya
terhubung dengan absorber yang menghasilkan potensial listrik (Vir) sebagai

output dari thermopile pada kaki 1 dan kaki 2. Potensial listrik tersebut besarnya
sesuai dengan persamaan

Kaki 2 dan 4 merupakan output untuk resistansi termistor sebagai kompensasi

pengukuran suhu dengan thermopile yang merupakan suhu ambient sensor
thermopile tersebut ( ). Resistansi termistor dapat dihitung dengan persamaan :

Jangkauan (range) kerja optimal sensor MLX90247 adalah pada saat suhu
ambient -40 oC sampai dengan 85 oC[16]. Tegangan keluaran sensor ini akan
bernilai 46 V pada suhu objek 27C dan suhu ambient sensor 26C dengan field
of view (sudut pandangan) 100 % atau sekitar 88.
1.6 Aplikasi Thermopile
Adapun aplikasi-aplikasi dari sensor ini yang didapat dari beberapa jurnal
adalah :
1. Pengukuran konsentrasi alkohol menggunakan metode Non Difersif
Infrared

(NDIR),

menggunakan

thermopile

sebagai

sensor

mensensing radiasi infrared.

2. Thermoscanner
3. Thermotheraphy
4. dan pada bidang lain yang tidak perlu kontak dalam mengukur suhu.

yang

DAFTAR PUSTAKA
Fraden,Jacob. 2015. Handbook of Modern Sensor. San Diego : Springer.
Pambayun,Faraha.2012.Aplikasi Non-Dispersif Sensor untuk Mengukur
Konsentrasi Alkohol.Jurnal Teknik ITS Vol. 5 No. 1. ISSN : 23373539.
Prasetyanto,Wisnu Adi.2011.Aplikasi Thermopile dalam Akuisisi Suhu Pada
Terapi Hipertemia. Jurnal Teknik Elektro. Universitas Dian
Nuswantoro Semarang.
Santoso,Imam.2011.Aplikasi Kontrol PID untuk Pengontrolan Suhu Model
Sistem Hipertemia Berbasis Sensor Thermopile MLX90247.
Universitas Diponegoro.
http://www.researchgate.net/publication/277739505.