Pengertian SEM
Pengertian SEM
PENDAHULUAN
Sebuah SEM khas memiliki kemampuan untuk menganalisa suatu sampel tertentu
menggunakan salah satu metode yang disebutkan di atas. Sayangnya, setiap jenis analisis
dianggap merupakan tambahan perangkat aksesori untuk SEM.Yang paling umum
aksesori dilengkapi dengan SEM adalah dispersif energi x-ray detektor atau EDX (kadang-
kadang disebut sebagai EDS).Jenis detektor memungkinkan pengguna untuk menganalisis
sampel komposisi molekul.
Dengan biaya-biaya dari Scanning Electron Microscopes (SEM) yang turun dalam
beberapa tahun terakhir, SEM berubah melebihi pusat bursa yang berkisar pada pusat-
pusat penelitian, universitas, pusat-pusat analisis, dan sebagainya menjadi suatu alat yang
aplikasinya lebih luas yang mencakup sekolah-sekolah tinggi dan divisi pengendalian
mutu dari banyak industri. Demikian juga dengan munculnya kebutuhan untuk memahami
komposisi dan distribusi dari unsur-unsur disamping untuk mengamati bentuk material,
sekarang telah lazim untuk bisnis dan organisasi-organisasi memperkenalkan alat analisa
‘Energy Dispersive X-Ray’ (EDX) pada waktu yang bersamaan dengan pembelian SEM.
Peristiwa tumbukan berkas sinar electron, yaitu ketika memberikan energi pada
sampel, dapat menyebabkan emisi dari sinar-x yang merupakan karakteristik dari atom-
atom sampel. Energi dari sinar-x digolongkan dalam suatu tebaran energi spectrometer
dan dapat digunakan untuk identifikasi unsur-unsur dalam sampel.
elektron primer menghasilkan elektron energi yang rendah sekunder, yang cenderung
menekankan sifat topografi spesimen
elektron primer dapat backscattered yang menghasilkan gambar dengan tingkat tinggi
nomor atom kontras (Z)
atom terionisasi dapat bersantai transisi elektron shell-ke-shell, yang mengakibatkan
baik emisi X-ray atau elektron Auger ejeksi. Sinar-X dipancarkan merupakan
karakteristik dari unsur-unsur dalam beberapa pM atas sampel( Martinez, 2010 ).
SEM secara rutin digunakan untuk menghasilkan gambar resolusi tinggi dari bentuk
benda (SEI) dan untuk menunjukkan variasi spasial dalam komposisi kimia:
1) memperoleh peta elemental atau tempat analisis kimia menggunakan EDS
2) diskriminasi fase berdasarkan nomor atom rata-rata ( umum yang berkaitan dengan
kepadatan relatif) menggunakan BSE , dan
3) peta komposisi berdasarkan perbedaan "activitors" elemen jejak (biasanya logam transisi
dan unsur LTJ) dengan menggunakan CL .
SEM juga banyak digunakan untuk mengidentifikasi fase berdasarkan analisis kimia
kualitatif dan / atau struktur kristal. Pengukuran tepat dari fitur yang sangat kecil dan benda-
benda ke 50 nm dalam ukuran juga dicapai dengan menggunakan SEM. Gambar elektron
Backescattered ( BSE ) dapat digunakan untuk diskriminasi yang cepat dari fase dalam
sampel multifase. SEM dilengkapi dengan difraksi elektron detektor backscattered ( EBSD )
dapat digunakan untuk memeriksa orientasi microfabric dan kristalografi dalam banyak
bahan.
Aplikasi dari teknik SEM – EDS dirangkum sebagai berikut:
1. Topografi: Menganalisa permukaan dan teksture (kekerasan, reflektivitas dsb)
2. Morfologi: Menganalisa bentuk dan ukuran dari benda sampel
3. Komposisi: Menganalisa komposisi dari permukaan benda secara kuantitatif dan
kualitatif.
Alat SEM yang digunakan adalah SEM JEOSEMdapatmemberikan informasi tentang
strukturmikro
permukaan sampel dan melihat morfologi serbuk
hidroksiapatit.