TESIS
Oleh
AYU USWATUL LISSA SAPTA SETYADI
S911602002
PASCASARJANA
UNIVERSITAS SEBELAS MARET
SURAKARTA
2020
PENUMBUHAN LAPISAN TIPIS BARIUM TITANAT (BaTiO 3) DAN BARIUM
STRONTIUM TITANAT (Ba1-xSrxTiO3) MENGGUNAKAN METODE CHEMICAL
SOLUTION DEPOSITION (CSD) UNTUK APLIKASI SOLAR CELL
TESIS
Oleh
AYU USWATUL LISSA SAPTA SETYADI
S911602002
PASCASARJANA
UNIVERSITAS SEBELAS MARET
SURAKARTA
2020
PENUMBUHAN LAPISAN TIPIS BARIUM TITANAT (BaTiO 3) DAN BARIUM
STRONTIUM TITANAT (Ba1-xSrxTiO3) MENGGUNAKAN METODE CHEMICAL
SOLUTION DEPOSITION (CSD) UNTUK APLIKASI SOLAR CELL
TESIS
Oleh
AYU USWATUL LISSA SAPTA SETYADI
S911602002
TESIS
Oleh
Ayu Uswatul Lissa Sapta Setyadi
S911602002
Tim Penguji :
Jabatan Nama Tanda Tangan Tanggal
TESIS
Oleh
Ayu Uswatul Lissa Sapta Setyadi
S911602002
Telah dipertahankan di depan penguji dan dinyatakan telah memenuhi syarat pada
tanggal.............................................2020
Tim Penguji :
Mengetahui:
Direktur Pascasarjana UNS Kepala Program Studi
Ilmu Fisika
Ilmu Tanpa Agama adalah Kepincangan. Agama tanpa pengetahuan adalah kebutaan
-Albert Einstein-
”Tidaklah seorang mukmin tertimpa rasa sakit, rasa capek, kekhawatiran, sedih, kesusahan
hati, atau sesuatu yang menyakiti sampai pada duri yang menusuknya, itu semua akan
menghapuskan dosa-dosa”
(HR. Bukhari dan HR. Muslim).
Barang Siapa yang beriman kepada Allah dan hari akhir, maka hendaklah dia berkata yang
baik atau diam.
(HR. Bukhari dan HR. Muslim)
Tak perlu pelit ilmu, Semua orang bisa bernyanyi, namun tidak semuanya akan menyanyikan
lagu yang sama. Maka salurkan dan sampaikan lah ilmu itu sebagai amal jariah mu untuk
bekal diakhirat
(Penulis)
Kejarlah Akhirat maka akhirat pasti dapat dan dunia akan mengikutimu. Kejar Dunia maka
Akhirat Akan menjauhimu (Ustad Adi Hidayat)
Boleh jadi kamu membenci sesuatu, padahal ia amat baik bagimu, dan boleh jadi (pula) kamu
menyukai sesuatu, padahal ia amat buruk bagimu; Allah mengetahui, sedang kamu tidak
mengetahui
(QS. Al-Baqarah 216)
Hidup itu bukan mengenahi seberapa berat masalah yang datang menghampiri kita, namun
mengenahi seberapa positif kita mampu merespon segala permasalahan. Selalu Berfikir
positif karena “Sesungguhnya Allah berkata: Aku sesuai Prasangka Hambaku padaku, dan
aku bersamanya apabila ia memohon kepada ku”
(HR Muslim).
Berilah nasihat kepadaku ketika aku sendiri, Jauhilah memberikan nasihat di tengah-tengah
keramaian. Sesungguhnya nasihat di tengah-tengah manusia itu termasuk sesuatu Pelecehan
yang aku tidak suka mendengarkannya Jika engkau menyelisihi dan menolak saranku
Maka janganlah engkau marah jika kata-katamu tidak aku turuti
(Imam Syafi’i)
PERSEMBAHAN
OLEH
AYU USWATUL LISSA SAPTA SETYADI
Lapisan tipis BaTiO3 dan Ba1-xSrxTiO3 telah dibuat dengan variasi variasi jumlah lapis (3
lapis dan 5 lapis), variasi perlakuan pembuatan larutan (pengadukan dan pemanasan), variasi
konsentrasi mol Ba (0,4 mol dan 0,8 mol), variasi waktu tahan proses annealing (1 jam; 1,5
jam; 2 jam dan 2,5 jam) dan variasi konsentrasi mol doping Stronsium (1%, 3%, 5% dan
10%). Variasi dilakukan untuk mengetahui pengaruh beberapa variasi diatas terhadap struktur
mikro (ukuran kristal dan tingkat kekristalan), morfologi (ukuran butir dan ketebalan), sifat
optik (absorbansi, transmitansi, energi bandgap), sifat listrik lapisan. Penumbuhan lapisan
menggunakan metode Chemical Solution Deposition (CSD) dengan teknik spin coating.
menggunakan UV-Vis untuk mengetahui sifat optik (absorbansi dan transmitansi), X-Ray
Diffraction (XRD) untuk mengetahui struktur mikro, Scanning Electron Microcopy (SEM)
untuk mengetahui bentuk morfologi dan ketebalan lapisan, I-V meter digunakan untuk
mengetahui sifat listrik. Penghalusan menggunakan analisis Rietveld dengan software
General Structure Analysis System (GSAS). Berdasarkan hasil yang diperoleh semakin
banyak jumlah lapisan maka semakin besar ukuran kristal dan nilai absorbansi. Lapisan
BaTiO3 yang dibuat dengan perlakuan pembuatan larutan dengan pengadukan memiliki nilai
intensitas dan absorbansi yang lebih besar dibandingkan dengan perlakuan pembuatan larutan
dengan pemanasan. Semakin besar konsentrasi mol Ba yang dibuat menghasilkan ukuran
kristal, tingkat kekristalan, dan nilai absorbansi yang semakin tinggi. Semakin lama waktu
tahan maka nilai parameter kisi c semakin besar. Seiring dengan semakin lama waktu tahan
maka semakin besar ukuran kristal, nilai parameter kisi c, ukuran butir, ketebalan, dan energi
bandgap. Besar energi band gap pada lapisan BaTiO 3 dengan variasi waktu tahan berada
pada kisaran 3,33 eV hingga 3.64 eV. Terdapat pergeseran pada kurva I-V dari kondisi gelap
dan terang sehingga kondisi ini menunjukkan bahwa lapisan BaTiO 3 sensitif terhadap cahaya.
Lapisan BaTiO3 dengan variasi waktu tahan memiliki nilai konduktivitas pada orde 10 3
hingga 10-6 (S/cm), sehingga lapisan BaTiO3 termasuk sebagai bahan semikoduktor. Semakin
besar konsentrasi mol Sr, sudut difraksi bergeser ke arah kanan.
Puji syukur penulis panjatkan kepada Allah SWT yang telah melimpahkan segala nikmat
dan karunia-Nya sehingga penulis dapat menyelesaikan penulisan tesis ini. Semua rintangan,
teguran, hidayah, dan anugerah, perjuangan mewarnai langkah penulis dalam menyelesaikan
tesis ini.
Tesis dengan judul “PENUMBUHAN LAPISAN TIPIS BARIUM TITANAT (BaTiO 3) DAN
BARIUM STRONTIUM TITANAT (Ba1-xSrxTiO3) MENGGUNAKAN METODE CHEMICAL
SOLUTION DEPOSITION (CSD) UNTUK APLIKASI SOLAR CELL” disusun penulis
sebagai bagian dari syarat untuk mendapatkan gelar Magister Sains. Dalam penyususnan tesis
ini penulis menyadari tidak akan selesai tanpa bantuan dari berbagai pihak. Oleh karena itu,
dengan kerendahan hati penulis mengucapkan terimakasih kepada :
1. Prof. Dr. Jamal Wiwoho, SH, M.Hum., selaku Rektor Univesitas Sebelas Maret
Surakarta yang telah memberikan kesempatan dan fasilitas dalam menempuh pendidikan
pascasarjana.
2. Prof. Drs. Sutarno, M.Sc., Ph.D., selaku Direktur Pascasajana Univesitas Sebelas Maret
Surakarta yang telah memberikan kesempatan dan fasilitas dalam menempuh pendidikan
pascasarjana.
3. Drs. Harjana, M.Si, Ph.D., selaku Dekan Fakultas Matematika dan Ilmu Pengetahuan
Alam Univesitas Sebelas Maret Surakarta yang telah memberikan kesempatan dan
fasilitas dalam menempuh pendidikan pascasarjana.
4. Prof. Dr. Eng Budi Purnama S.Si, M.Si., selaku kepala Program Studi S-2 Ilmu Fisika
Fakultas Matematika dan Ilmu Pengetahuan Alam yang telah memberi bimbingan dan
pengarahan sehingga dapat menyelesaikan tesis ini dengan baik.
5. Dr. Yofentina Iriani. S.Si.,M.Si., selaku pembimbing 1 yang telah membimbing,
memberikan dana penelitian melalui Hibah, memberikan pengarahan, dukungan,
motivasi, dan kesabaran yang luar biasa sehingga dapat menyelesaikan tesis ini dengan
baik.
6. Dr. Fahru Nurosyid, S.Si., M.Si., selaku pembimbing 2 yang telah memberi bimbingan,
motivasi, saran, pengarahan dan kesabaran yang luar biasa sehingga dapat
menyelesaikan tesis ini dengan baik.
7. Prof. Dr. Eng Budi Purnama S.Si, M.Si., selaku penguji dalam sidang, yang telah
memberi bimbingan, pengarahan dan kesabaran sehingga dapat menyelesaikan tesis ini
dengan baik.
8. Bapak Khairuddin, S.Si, M.Phil, Ph.D., selaku penguji dalam sidang, yang telah
memberi bimbingan, pengarahan dan kesabaran sehingga dapat menyelesaikan tesis ini
dengan baik.
9. Bapak dan Ibu dosen, khususnya Pogram Studi S2 Ilmu Fisika Fakultas Matematika dan
Ilmu Pengetahuan Alam Univesitas Sebelas Maret Surakarta yang telah memberikan
ilmu pengetahuan dan membimbing penulis.
10. Bapak dan Ibu Staff Jurusan Fisika Fakultas Matematika dan Ilmu Pengetahuan Alam
Univesitas Sebelas Maret Surakarta (Mbak Hani, Mas Iwan, Mbak Win, Mas David, Pak
Ari, Pak Hari, Mbak Ning, Mbak Watik dan Mbak Imah, Pak satpam Lab Pusat) yang
memberikan izin kepada penulis untuk melakukan penelitian di Laboratorium tersebut
sehingga sehingga memperlancar penulis dalam mengerjakan penelitian.
11. Teman – teman dan adik-adik seperjuangan Grup Ferroelektrik (Dek Uli, Dek Rikha,
Dek Bendra, Dek Yuliana, Dek Rainisa, Dek Nila, Dek Denita, Dek yasin, Dek Nana)
yang telah berjuang bersama saling mendukung dan menyemangati, dan banyak
membantu selama penulis melakukan penelitian.
12. Teman- teman seperjuangan S2 Ilmu Fisika (Mb Dinasti, Mb Fatma, Mb Eliyana) yang
telah berjuang bersama saling mendukung dan menyemangati, dan banyak membantu
selama penulis melakukan penelitian.
13. Teman – teman dan adik-adik di Laboraturium Material Jurusan Fisika Fakultas
Matematika dan Ilmu Pengetahuan Alam Univesitas Sebelas Maret Surakarta (Dek
Anggit, dek Erin, Dek Nilam, Dek Nandani, Dek Regina) yang telah banyak membantu
selama penulis melakukan penelitian.
14. Sahabat-sahabat dan saudara ( Dek Rima, Dek Wandha, GengGong) yang memberikan
motivasi dan dukungan kepada penulis.
15. Semua teman – teman S2 Ilmu Fisika
Semoga Allah SWT membalas semua pengorbanan yang telah diberikan dengan balasan
pahala yang berlimpah. Penulis menyadari bahwa dalam penyusunan tesis ini masih banyak
kekurangan, oleh sebab itu kitik dan saran yang berisfat membangun sangat penulis harapkan
untuk menyempurnakan tesis ini. Penulis berharap semoga karya kecil ini bermanfaat bagi
dunia pendidikan.
Surakarta, Januari 2020
JUDUL ........................................................................................................................................
PERSETUJUAN PEMBIMBING.............................................................................................
PENGESAHAN PENGUJI........................................................................................................
PERNYATAAN ORISINALITAS DAN PUBLIKASI...........................................................
MOTTO.......................................................................................................................................
PERSEMBAHAN ......................................................................................................................
ABSTRAK ..................................................................................................................................
ABSTRACT ...............................................................................................................................
KATA PENGANTAR ...............................................................................................................
PUBLIKASI ...............................................................................................................................
DAFTAR ISI ..............................................................................................................................
DAFTAR TABEL ......................................................................................................................
DAFTAR GAMBAR .................................................................................................................
DAFTAR SIMBOL ...................................................................................................................
DAFTAR LAMPIRAN..............................................................................................................
BAB I PENDAHULUAN ..........................................................................................................
A. Latar Belakang ............................................................................................................... 1
B. Keaslian Penelitian......................................................................................................... 6
C. Rumusan Masalah .......................................................................................................... 8
D. Batasan Masalah ............................................................................................................ 9
E. Tujuan Penelitian ........................................................................................................... 9
F. Manfaat Penelitian ....................................................................................................... 10
C. Hipotesis ............................................................................................................... 27
B. Variasi pembuatan larutan pada lapisan BaTiO3 dengan suhu 900oC dan waktu
tahan 2 jam ........................................................................................................... 42
C. Variasi konsentrasi mol lapisan BaTiO3 pada suhu 900oC dan waktu tahan 2
jam .............................................................................................................................
.. 44
Tabel Halaman
Tabel 4.1 Hubungan intensitas, FWHM, ukuran kristal, dan tingkat kekristalan lapisan
BaTiO3 pada variasi jumlah
lapisan ..................................................................................... 41
Tabel 4.2 Nilai FWHM, ukuran kristal, dan tingkat kekristalan lapisan BaTiO3 pada variasi
perlakuan pembuatan larutan ................................................................................. 43
Tabel 4.3 Hubungan FWHM, ukuran kristal, dan tingkat kekristalan lapisan BaTiO 3 pada
variasi konsentrasi mol larutan BaTiO3 ................................................................. 45
Tabel 4.4 Hubungan intensitas, ukuran kristal, FWHM lapisan BaTiO3 pada variasi waktu
tahan ....................................................................................................................... 47
Tabel 4.5 Parameter kisi lapisan BaTiO3 hasil refiement ...................................................... 49
Tabel 4.6 Ukuran butir dan ketebalan lapisan BaTiO3 untuk variasi waktu tahan ................ 50
Tabel 4.7 Energi bandgap BaTiO3 variasi waktu tahan proses annealing ............................ 53
Tabel 4.8 Nilai Voc dan Isc lapisan BaTiO3 variasi waktu tahan proses annealing
menggunakan I-V
meter ............................................................................................................... 55
Tabel 4.9 Ukuran kristal dan tingkat kekristalan lapisan BaTiO3 dan Ba1-xSrxTiO3 variasi
konsentrasi mol doping Sr .....................................................................................
57
Tabel 4.10 Nilai Voc dan Isc lapisan BaTiO3 dan Ba1-xSrxTiO3 variasi konsentrasi mol doping
Sr ......................................................................................................................... 60
DAFTAR GAMBAR
Gambar Halaman
Gambar 2.1 Kurva Histerisis
....................................................................................................11
Gambar 2.7 Hasil XRD BaTiO3 dengan variasi jumlah lapis ................................................
20
Gambar 2.12. Hasil Karakterisasi I-V BST suhu annealing 900oC .........................................
25
Gambar 4.1 Kondisi fisik BaTiO3 pada substrat quartz setelah proses annealing dengan
variasi waktu tahan ............................................................................................. 38
Gambar 4.2 Kondisi fisik BaTiO3 pada substrat Si setelah proses annealing dengan variasi
waktu tahan ....................................................................................................... 39
Gambar 4.3 Kondisi Fisik Ba1-xSrxTiO3 Pada Substrat Si Setelah Proses Annealing dengan
Variasi Konsentrasi mol Sr ................................................................................. 39
Gambar 4.4 Pola difraksi lapisan BaTiO3 variasi jumlah lapisan .......................................... 40
Gambar 4.5 Absorbansi lapisan BaTiO3 dengan variasi jumlah lapisan ................................ 41
Gambar 4.6 Pola difraksi lapisan BaTiO3 variasi perlakuan pembuatan larutan ................... 42
Gambar 4.7 Absorbansi lapisan BaTiO3 variasi perlakuan pembuatan larutan ..................... 43
Gambar 4.8 Pola difraksi lapisan BaTiO3 variasi konsentrasi mol ........................................ 44
Gambar 4.9 Absorbansi lapisan BaTiO3 dengan variasi konsentrasi mol Ba ........................ 46
Gambar 4.10 Pola difraksi lapisan tipis BaTiO3 variasi waktu tahan ..................................... 47
Gambar 4.11 Hasil penghalusan pola difraksi lapisan BaTiO3 menggunakan GSAS pada suhu
annealing 850oC variasi waktu tahan ............................................................... 48
Gambar 4.12 Hasil SEM lapisan BaTiO3 variasi waktu tahan ............................................... 50
Gambar 4.13 Absorbansi BaTiO3 variasi waktu tahan proses annealing .............................. 51
Gambar 4.14 Enegri bandgap lapisan BaTiO3 variasi waktu tahan proses annealing ............ 52
Gambar 4.15 Hasil karakterisasi I-V lapisan BaTiO 3 variasi waktu tahan ..............................
54
Gambar 4.16 Pola difraksi lapisan tipis BaTiO3 dan Ba1-xSrxTiO3 variasi konsentrasi mol
doping Sr .........................................................................................................
56
Gambar 4.17 Transmitansi BaTiO3 dan Ba1-xSrxTiO3 variasi konsentrasi mol doping Sr ....... 58
Gambar 4.18 Hasil karakterisasi I-V lapisan BaTiO 3 dan Ba1-xSrxTiO3 ..................................
59
DAFTAR LAMPIRAN
Lampiran Hamalan