Karakterisasi, Morfologi, Unsur dan Porositas Material

dengan Scanning Electron Microscope-Energi

Dispersive X-RAY (SEM-EDX)

www.presentationgo.com
Anggota Kelompok

16612118 16612128

16612113
16612123

AMIRA SITI R IRPAN AJI N CHICHI AMNE YUNI ASTUTI

UTAMI
www.presentationgo.com
 SCANNING ELECTRON MICROSCOPE
Scanning Electron Microscope (SEM) adalah sebuah mikroskop elektron yang didesain
untuk menyelidiki permukaan dari objek solid secara langsung.  SEM memiliki perbesaran
10 – 3000000x, depth of field 4 – 0.4 mm dan resolusi sebesar 1 – 10 nm.

TOPOGRAFI KOMPOSISI
Komposisi, yaitu data
1 Topografi, yaitu
ciri permukaan
ciri-
dan 3 kuantitatif unsur dan
senyawa yang
teksturnya
terkandung di dalam
(kekerasan, sifat
objek (titik lebur,
memantulkan
kereaktifan,
cahaya, dan
kekerasan, dan
sebagainya).
sebagainya).

MORFOLOGI INFORMASI
2 Morfologi, yaitu 4 Informasi
kristalografi, yaitu
bentuk dan ukuran informasi mengenai
dari partikel bagaimana susunan
penyusun objek dari butir-butir di
(kekuatan, cacat dalam objek yang
pada Integrated diamati
Circuit (IC) dan chip, (konduktifitas, sifat
dan sebagainya).
www.presentationgo.com elektrik, kekuatan,
dan sebagainya).
Prinsip SEM

www.presentationgo.com
 SEM memiliki beberapa detektor yang berfungsi
DETEKTORmemberikan
untuk menangkap hamburan elektron dan
informasi yang berbeda-beda. Detektor-
detektor tersebut antara lain:
BACKSCATTER DETECTOR
Backscatter detector, yang berfungsi
untuk menangkap informasi mengenai
nomor atom dan topografi. SECONDARY DETECTOR
Secondary detector, yang berfungsi
untuk menangkap informasi mengenai
topografi.

DETEKTOR EDX
Detektor EDX, yang berfungsi untuk
menangkap informasi mengenai
komposisi sampel pada skala mikro.

Pada dasarnya SEM EDX merupakan pengembangan SEM. Analisa SEM EDX dilakukan untuk
memproleh gambaran permukaan atau fitur material dengan resolusi yang sangat tinggi hingga
memperoleh suatu tampilan dari permukaan sampel yang kemudian di komputasikan dengan sofwere
untuk menganalitis komponen materialnya baik dari kuantitatif mau pun dari kualitalitatifnya.
www.presentationgo.com
Bagaimana cara mendapatkan output
data?
1 2 3 4

Electron gun menghasilkan Lensa magnetik Sinar elektron yang Ketika elektron mengenai
electron beam dari filamen. memfokuskan elektron terfokus memindai sampel, maka akan terjadi
Pada umumnya electron menuju suatu titik pada (scan) keseluruhan hamburan elektron,
gun yang digunakan adalah baik Secondary Electron
tungsten hairpin gun dengan
permukaan sampel. sampel dengan (SE) atau Back Scattered
filamen berupa diarahkan oleh koil Electron (BSE) dari
lilitan tungsten yang pemindai. permukaan sampel dan akan
berfungsi sebagai katoda. dideteksi oleh detektor dan
Tegangan yang diberikan dimunculkan dalam bentuk
kepada lilitan gambar pada monitor CRT.
mengakibatkan terjadinya
pemanasan.

www.presentationgo.com
www.presentationgo.com
 Terima Kasih

www.presentationgo.com