Soot deposition
Metode OVPO
Fakultas Teknik Elektro 7
Metode VAD
Fakultas Teknik Elektro 8
O2
Cl2
1800o C
Metode MCVD
Fakultas Teknik Elektro 9
2,45 GHz
1000 – 1200oC
Metode PCVD